JPS5972012A - ギヤツプおよび角度の検出方法ならびに装置 - Google Patents
ギヤツプおよび角度の検出方法ならびに装置Info
- Publication number
- JPS5972012A JPS5972012A JP18322682A JP18322682A JPS5972012A JP S5972012 A JPS5972012 A JP S5972012A JP 18322682 A JP18322682 A JP 18322682A JP 18322682 A JP18322682 A JP 18322682A JP S5972012 A JPS5972012 A JP S5972012A
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- separated
- gap
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光ファイバを応用した計測において、被測定面
と測定用光ファイバのギャップおよび傾きを測定する方
法およびその装置に関するものである。
と測定用光ファイバのギャップおよび傾きを測定する方
法およびその装置に関するものである。
従来この種の装置では一定の強度の光を照射し、被測定
面で反射した光の強度を測定することにより検出器先端
と被測定面とのギャップを測るものであり、この場合に
は、反射光の強度は被測定面の表面状態に大きく左右さ
れ、測定面を変えると再校正が必要であった。また、傾
きについては測定できないという欠点があった。
面で反射した光の強度を測定することにより検出器先端
と被測定面とのギャップを測るものであり、この場合に
は、反射光の強度は被測定面の表面状態に大きく左右さ
れ、測定面を変えると再校正が必要であった。また、傾
きについては測定できないという欠点があった。
これらの次点を除去するため、本発明では反射光検出片
ファイバーを平行に多数配置し、反射光の位置と広がり
の大きさとからファイバ先端と被測定面のギャップおよ
び傾きを算出することを特徴とし、その目的は、前記ギ
ャップおよび傾きを同時に測定でき、小型で取り扱い容
易な測定器を提供することにある。
ファイバーを平行に多数配置し、反射光の位置と広がり
の大きさとからファイバ先端と被測定面のギャップおよ
び傾きを算出することを特徴とし、その目的は、前記ギ
ャップおよび傾きを同時に測定でき、小型で取り扱い容
易な測定器を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明は、たてよこ同一ピ
ッチで多数配列され、一端はファイバ中心軸と垂直に研
摩され、他端はファイバごとに単体分離された光ファイ
バ束と、前記ファイバ束の分離された側に接続された光
電変換部と、光電変換部で得られた２次画像を２値化す
る２値化部と、２値化画像の中かり楕円形の図形を抽出
する反射像検出部と、前記図形の最大外径を算出する外
径演算部と、前記図形の中心座標を求める偏位量演算部
と、前記量大外径と中心座標とから、ファイバ研摩面と
これに対向する被測定面との間隔および傾きを算出する
ギャップ・角度演算部と、算出されたデータを表示する
表示部とから構成される。
ッチで多数配列され、一端はファイバ中心軸と垂直に研
摩され、他端はファイバごとに単体分離された光ファイ
バ束と、前記ファイバ束の分離された側に接続された光
電変換部と、光電変換部で得られた２次画像を２値化す
る２値化部と、２値化画像の中かり楕円形の図形を抽出
する反射像検出部と、前記図形の最大外径を算出する外
径演算部と、前記図形の中心座標を求める偏位量演算部
と、前記量大外径と中心座標とから、ファイバ研摩面と
これに対向する被測定面との間隔および傾きを算出する
ギャップ・角度演算部と、算出されたデータを表示する
表示部とから構成される。
以下図面を参照して本発明の実施例を詳Ｌ ＜説明する
。
。
第１図は本発明の原理を示す略図である。図において、
入射光４は入射ファイバ１を通って被測足面３に照射さ
れ、反射した光は反射ファイバ２で検出される。この時
、入射ファイバから出射される光はコア径ｄに等しい断
面を有するが、αなる放射角をもつため、被測定面とフ
ァイバ先端との距離Ｇおよび傾きθによって、その反射
像の大きさＤおよび中心位置りが変化する。これらの値
（ｄ、 ａ、 Ｇ、θ、Ｄ、Ｌ）の間には幾何学的関係
が成り立ち、ｄとαが与えられ、ＤとＬを測定すること
により、Ｇとθを求めることができる。また、反射ファ
イバ２の先端で得られた反射像は反射ファイバ２により
導いてもその相対的位置は変わらないため、任意の場所
で反射像を観測することが可能となり、結果としてファ
イバ先端の密度に比例して検出分解能を上げることがで
きる。
入射光４は入射ファイバ１を通って被測足面３に照射さ
れ、反射した光は反射ファイバ２で検出される。この時
、入射ファイバから出射される光はコア径ｄに等しい断
面を有するが、αなる放射角をもつため、被測定面とフ
ァイバ先端との距離Ｇおよび傾きθによって、その反射
像の大きさＤおよび中心位置りが変化する。これらの値
（ｄ、 ａ、 Ｇ、θ、Ｄ、Ｌ）の間には幾何学的関係
が成り立ち、ｄとαが与えられ、ＤとＬを測定すること
により、Ｇとθを求めることができる。また、反射ファ
イバ２の先端で得られた反射像は反射ファイバ２により
導いてもその相対的位置は変わらないため、任意の場所
で反射像を観測することが可能となり、結果としてファ
イバ先端の密度に比例して検出分解能を上げることがで
きる。
第２図は本発明の実施例の構成を示す略図で、反射ファ
イバ２がマトリックス状に配置され、中央に入射ファイ
バｌが位置していることが判る。
イバ２がマトリックス状に配置され、中央に入射ファイ
バｌが位置していることが判る。
また、光電変換部５は反射ファイバ２を通ってきた光を
電気信号に変えて制御部７に送る。６Ｆｉ入射光４を発
生するだめの光源である。
電気信号に変えて制御部７に送る。６Ｆｉ入射光４を発
生するだめの光源である。
第３図は本発明における信号の流れを示すブｐツク図で
ある。ここで、反射ファイバ２から取り込んだ画像は光
電変換部５において電気信号に変換された後、２値化部
８で２値画像となる。次に、この２値画像の中から反射
像位置検出部９において楕円形の画像を抽出し、外径演
算部１０でその最大外径を、偏位量演算部１１でその中
心座標を算出する。この最大外径および中心座標から、
前述の原理に基づき、ファイバ先端と被測定面のギャッ
プおよび傾きをギャップ・角度演算部１２にて算出し、
表示部１３に表示する。
ある。ここで、反射ファイバ２から取り込んだ画像は光
電変換部５において電気信号に変換された後、２値化部
８で２値画像となる。次に、この２値画像の中から反射
像位置検出部９において楕円形の画像を抽出し、外径演
算部１０でその最大外径を、偏位量演算部１１でその中
心座標を算出する。この最大外径および中心座標から、
前述の原理に基づき、ファイバ先端と被測定面のギャッ
プおよび傾きをギャップ・角度演算部１２にて算出し、
表示部１３に表示する。
以上説明したように、本発明によれば、被測定面の位置
および傾きを同時にかつ校正することなく容易に測定で
きる。特に、検出器先端を十分細くできるので今まで測
定できなかった狭い部分でも容易に測定できる。
および傾きを同時にかつ校正することなく容易に測定で
きる。特に、検出器先端を十分細くできるので今まで測
定できなかった狭い部分でも容易に測定できる。
（５）
第１図は本発明の原理を示す略図、第２図は本発明の実
施例の構成を示す略図、第３図は信号の流れを示すプｐ
ツク図である。 図において １・・・入射ファイバ ２・・・反射ファイバ３・
・・被測定面 ４・・・入射光５・・・光電変
換部 ６・・・光源７・・・制御部
８・・・２値化部９・・・反射像位置検出部 １０・・
・外径演算部１１・・・偏位量演算部 １２・・・ギ
ャップ・角度演算部１３・・・表示部 である。 （６）
施例の構成を示す略図、第３図は信号の流れを示すプｐ
ツク図である。 図において １・・・入射ファイバ ２・・・反射ファイバ３・
・・被測定面 ４・・・入射光５・・・光電変
換部 ６・・・光源７・・・制御部
８・・・２値化部９・・・反射像位置検出部 １０・・
・外径演算部１１・・・偏位量演算部 １２・・・ギ
ャップ・角度演算部１３・・・表示部 である。 （６）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）たてよこ同一ピッチで並行に多数配列し、一端はフ
ァイバ中心軸と垂直に研摩し、他端はファイバごとに単
体分離した光フアイバ束中の中央のファイバに前記の分
離された側から光を入射して、研摩された側から出射さ
れる光を被測定平面に反射させ、前記ファイバの分離さ
れた側から反射光を観測して、反射光の範囲の大きさと
片寄りとからファイバ束研摩面と被測定平面とのギャッ
プおよび傾きを検出することを特徴とするギャップおよ
び角度の検出方法。 ２）たてよこ同一ピッチで並行に多数配列し、一端はフ
ァイバ中心軸と垂直に研摩し、他端はファイバごとに単
体分離した光ファイバ束と、前記ファイバ束の分離され
た側に接続した光電変換部と、光電変換部で得られた２
次元画像を２値化する２値化部と、２値化像の中から楕
円形の図形を抽出する反射像検出部と、前記図形の最大
外径を算出する外径演算部と、前記図形の中心座標を求
める偏位量演算部と、前記量大外径と中心座標とからフ
ァイバ研摩面とこれに対向する被測定面との間隔および
傾きを算出するギャップ・角度演算部と、算出されたデ
ータを表示する表示部とから構成されることを特徴とす
るギャップ・角度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18322682A JPS5972012A (ja) | 1982-10-19 | 1982-10-19 | ギヤツプおよび角度の検出方法ならびに装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18322682A JPS5972012A (ja) | 1982-10-19 | 1982-10-19 | ギヤツプおよび角度の検出方法ならびに装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5972012A true JPS5972012A (ja) | 1984-04-23 |
Family
ID=16131994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18322682A Pending JPS5972012A (ja) | 1982-10-19 | 1982-10-19 | ギヤツプおよび角度の検出方法ならびに装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5972012A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61205810A (ja) * | 1985-03-11 | 1986-09-12 | Nippon Soken Inc | 移動物体の角度変位測定装置 |
| JPS61167507U (ja) * | 1985-04-05 | 1986-10-17 | ||
| JPS62142206A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-25 | Inoue Japax Res Inc | 物体の表面位置測定装置 |
| US4879664A (en) * | 1985-05-23 | 1989-11-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Three-dimensional position sensor and three-dimensional position setting system |
| WO1990007690A1 (en) * | 1985-05-23 | 1990-07-12 | Toshimitsu Suyama | Sensor and system for setting three-dimensional position |
| WO2004011878A1 (en) * | 2002-07-26 | 2004-02-05 | Honeywell International Inc. | Method and system for optical distance and angle measurement |
| JP2017167145A (ja) * | 2016-03-16 | 2017-09-21 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングＤｒ． Ｊｏｈａｎｎｅｓ Ｈｅｉｄｅｎｈａｉｎ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ | 光学式の距離センサおよび光学式の距離センサを備える位置測定装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56130603A (en) * | 1980-03-18 | 1981-10-13 | Ricoh Co Ltd | Noncontacting displacement meter |
-
1982
- 1982-10-19 JP JP18322682A patent/JPS5972012A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56130603A (en) * | 1980-03-18 | 1981-10-13 | Ricoh Co Ltd | Noncontacting displacement meter |
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|---|---|---|---|---|
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