JPS61130927A - 液晶表示装置 - Google Patents
液晶表示装置Info
- Publication number
- JPS61130927A JPS61130927A JP25180784A JP25180784A JPS61130927A JP S61130927 A JPS61130927 A JP S61130927A JP 25180784 A JP25180784 A JP 25180784A JP 25180784 A JP25180784 A JP 25180784A JP S61130927 A JPS61130927 A JP S61130927A
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- JP
- Japan
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- film
- metal wiring
- liquid crystal
- crystal display
- display device
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は液晶表示装置に係わり、特に金属配線保１１１
ＮＸの構造に関するものである。
ＮＸの構造に関するものである。
第１図は従来の液晶表示装置の一例を示す要部断面図で
ある。同図において、１は液晶表示装置を構成する例え
は透光性のソーダガラス板からなる基板、２は基板１上
に周辺シール材３を介して対向配置された透光性のソー
ダガラス板からなる前面基板、４は前面基板２の内面に
形成されたパターン表示用のセグメント電極、５は基板
１の内面にセグメント電極４に対向して形成されたコモ
ン電極、６は前面基板２と基板１との間に封入された液
晶であシ、これらの各部材によシ、パターンを表示する
液晶表示素子Ｔを構成している。８は基板１の表面に被
着形成された金属配線であシ、この金属配線８の一端側
は液晶表示素子７内のコモン電極５に接続され、この金
属配線８の他端側には金属半田９を介して液晶表示素子
７を駆動させるＬＳＩ素子１・Ｏが搭載されている。１
１は金属配線８を保護する樹脂膜である。
ある。同図において、１は液晶表示装置を構成する例え
は透光性のソーダガラス板からなる基板、２は基板１上
に周辺シール材３を介して対向配置された透光性のソー
ダガラス板からなる前面基板、４は前面基板２の内面に
形成されたパターン表示用のセグメント電極、５は基板
１の内面にセグメント電極４に対向して形成されたコモ
ン電極、６は前面基板２と基板１との間に封入された液
晶であシ、これらの各部材によシ、パターンを表示する
液晶表示素子Ｔを構成している。８は基板１の表面に被
着形成された金属配線であシ、この金属配線８の一端側
は液晶表示素子７内のコモン電極５に接続され、この金
属配線８の他端側には金属半田９を介して液晶表示素子
７を駆動させるＬＳＩ素子１・Ｏが搭載されている。１
１は金属配線８を保護する樹脂膜である。
なお、このような液晶表示装置の構造は、例えば、特開
昭５６−５０３６８号公報に詳細に記載されている。
昭５６−５０３６８号公報に詳細に記載されている。
しかしながら、このように構成される液晶表示装置にお
いては、金属配線Ｂ上に形成される表面保獲膜としての
樹脂膜１１がフェス等の樹脂をコーティングして形成さ
れているため、高温高湿下の通電試験において樹脂膜１
１内に水分が浸入し、金属配線８に電蝕を発生させ、液
晶表示装置の品質、信頼性を低下させるという問題があ
った。
いては、金属配線Ｂ上に形成される表面保獲膜としての
樹脂膜１１がフェス等の樹脂をコーティングして形成さ
れているため、高温高湿下の通電試験において樹脂膜１
１内に水分が浸入し、金属配線８に電蝕を発生させ、液
晶表示装置の品質、信頼性を低下させるという問題があ
った。
したがって本発明は、前述した従来の問題に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、高温高湿下
の通電試験における金属配線の電蝕の発生を防止し、品
質、信頼性の高い液晶表示装置を提供することにある。
れたものであり、その目的とするところは、高温高湿下
の通電試験における金属配線の電蝕の発生を防止し、品
質、信頼性の高い液晶表示装置を提供することにある。
このような目的を達成する九めに本発明は、金属配線の
保護膜を、有機膜と無機膜との積層膜で構成するもので
ある。
保護膜を、有機膜と無機膜との積層膜で構成するもので
ある。
第２図は本発明による液晶表示装置の一実施例を示す要
部断面図であシ、第１図と同一部分は同一符号を付しで
ある。同図において、基板１の表面に形成される金属配
線８は、Ａ−Ａ’断面拡大図を第３図に示すように基板
１のソーダガラスと密着性の良好な例えばＯｒなどの第
１層金属配線８ａと、半田９とぬれ性の良好な例えばＣ
ｕなどのｖＪ２層金属配線８ｂと、Ｓ Ｉ Ｏｘと密着
性の良好な例えばＯｒなどの第３層金属配線８Ｃとを順
次積層して構成されている。この場合、この金属配線８
は第１層、第３層金属配線８ａ、８ｃは各々約０．１μ
ｍ＋第２１金属配線８ｂは約２．０μｍで合計約２．２
μｍ程度の膜厚を有して形成されている。
部断面図であシ、第１図と同一部分は同一符号を付しで
ある。同図において、基板１の表面に形成される金属配
線８は、Ａ−Ａ’断面拡大図を第３図に示すように基板
１のソーダガラスと密着性の良好な例えばＯｒなどの第
１層金属配線８ａと、半田９とぬれ性の良好な例えばＣ
ｕなどのｖＪ２層金属配線８ｂと、Ｓ Ｉ Ｏｘと密着
性の良好な例えばＯｒなどの第３層金属配線８Ｃとを順
次積層して構成されている。この場合、この金属配線８
は第１層、第３層金属配線８ａ、８ｃは各々約０．１μ
ｍ＋第２１金属配線８ｂは約２．０μｍで合計約２．２
μｍ程度の膜厚を有して形成されている。
さらにこの金属配線８上に！’：ｆＳｉＱｚｔ約２．２
μｍ８度の厚さにスパッタリングして無＠膜としてのＳ
ｔ（ｈｇ１２が形成されている。そして、この５ｉＯ１
膜１２のＬＳＩ素子１０搭載部にはフォト″エツチング
によりスルーホールが形成され、表面に露出した第３１
１金属配線８ｃ ｔ−エツチングし、第２Ｎ金属配線８
ｂにＬＳＩ素子１０が半田９により電気的に接続されて
いる。また、このＬＳＩ素子１０の周縁部全体がエポキ
シ樹脂１３でポツティングされ、さらに液晶表示素子７
ｔ−除く全表 １面にはｖ模膜として例えばウ
レタン系間層を約５μｍ程度の厚さにコーティングして
樹脂膜１１が形成されている。
μｍ８度の厚さにスパッタリングして無＠膜としてのＳ
ｔ（ｈｇ１２が形成されている。そして、この５ｉＯ１
膜１２のＬＳＩ素子１０搭載部にはフォト″エツチング
によりスルーホールが形成され、表面に露出した第３１
１金属配線８ｃ ｔ−エツチングし、第２Ｎ金属配線８
ｂにＬＳＩ素子１０が半田９により電気的に接続されて
いる。また、このＬＳＩ素子１０の周縁部全体がエポキ
シ樹脂１３でポツティングされ、さらに液晶表示素子７
ｔ−除く全表 １面にはｖ模膜として例えばウ
レタン系間層を約５μｍ程度の厚さにコーティングして
樹脂膜１１が形成されている。
このような構成において、金属配線８上に無機膜として
のＳ ｉ Ｏｘ膜１２全形成し、さらにその上に有機膜
としての樹脂膜１１を形成し九ことによジ、高温高湿下
の通電試験において、外面側の樹脂膜１１に水分が浸入
しても、内側の５ｉｎｓ膜１２により狙止することがで
きるとともに、５ｉ０２膜１２の成膜時に発生する多数
のピンホール等の欠陥部分に樹１１１１１１１１か充填
されるので、５ｉＯ１膜１２内への欠陥部分からの水分
の浸入全阻止し、金属配：ｔａａの＊ｍｔ確英に防止す
ることができる。
のＳ ｉ Ｏｘ膜１２全形成し、さらにその上に有機膜
としての樹脂膜１１を形成し九ことによジ、高温高湿下
の通電試験において、外面側の樹脂膜１１に水分が浸入
しても、内側の５ｉｎｓ膜１２により狙止することがで
きるとともに、５ｉ０２膜１２の成膜時に発生する多数
のピンホール等の欠陥部分に樹１１１１１１１１か充填
されるので、５ｉＯ１膜１２内への欠陥部分からの水分
の浸入全阻止し、金属配：ｔａａの＊ｍｔ確英に防止す
ることができる。
なお、無＆膜としての５ｉＯｚ膜１２の膜厚は、約３μ
ｍを＠えると５ｌｏｚ膜１２の剥れが生じ烏〈なり、約
２μｍ未満では、金属配線８の段差を十分に被覆するこ
とかできなくなるとともにピンホール等の欠陥部分が生
じるので、２〜３μｍの軛白か好適でるる。
ｍを＠えると５ｌｏｚ膜１２の剥れが生じ烏〈なり、約
２μｍ未満では、金属配線８の段差を十分に被覆するこ
とかできなくなるとともにピンホール等の欠陥部分が生
じるので、２〜３μｍの軛白か好適でるる。
なお、＠述した実施例においてに、金属配線８上にＳ
ｉ ０２族１２．南脂膜１１の順序で保護膜を形成した
場合について説明したが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、第４図、第５因にそれぞれ示すように金属
配線８上に樹脂膜１１゜Ｓｔｏｗ膜１２の順序で保護膜
を形成しても前述と全く同等の効果が得られるとともに
、樹脂膜１１゜ＬＳＩ素子１０．半田９およびエポキシ
樹脂１３等の耐湿信頼性を向上させることができる。
ｉ ０２族１２．南脂膜１１の順序で保護膜を形成した
場合について説明したが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、第４図、第５因にそれぞれ示すように金属
配線８上に樹脂膜１１゜Ｓｔｏｗ膜１２の順序で保護膜
を形成しても前述と全く同等の効果が得られるとともに
、樹脂膜１１゜ＬＳＩ素子１０．半田９およびエポキシ
樹脂１３等の耐湿信頼性を向上させることができる。
また、金属配線ａ上に無機膜として５ｉｎｓ膜１２のみ
を形成し、樹脂Ｌ！１１１を形成しなかった場合ｒｃ
（’！、温に７０′Ｃ，湿度９５％、駆動電圧１０Ｖ（
ＤＣ）の条件で約５００時間経過後にピンホールに起因
する金属配線８の電蝕が発生し次。ま次、金属配線８上
に有機膜として樹脂膜１１のみを形成し、５ｌＯ９膜１
２を全く形成しなかった場合には前述と同一の試験条件
で約１００時間経過後に吸湿に起因する金属配線８の電
蝕が発生し友。よって実施例で説明したように金属配線
８上に樹脂ａｌｌとＳ ｉ Ｏｘ膜１２との２Ｎからな
る積層保護膜を形成することにより、前述と同一の試験
条件で約１０００時間経過後においても金属配線８の電
蝕か全く発生しなかった。
を形成し、樹脂Ｌ！１１１を形成しなかった場合ｒｃ
（’！、温に７０′Ｃ，湿度９５％、駆動電圧１０Ｖ（
ＤＣ）の条件で約５００時間経過後にピンホールに起因
する金属配線８の電蝕が発生し次。ま次、金属配線８上
に有機膜として樹脂膜１１のみを形成し、５ｌＯ９膜１
２を全く形成しなかった場合には前述と同一の試験条件
で約１００時間経過後に吸湿に起因する金属配線８の電
蝕が発生し友。よって実施例で説明したように金属配線
８上に樹脂ａｌｌとＳ ｉ Ｏｘ膜１２との２Ｎからな
る積層保護膜を形成することにより、前述と同一の試験
条件で約１０００時間経過後においても金属配線８の電
蝕か全く発生しなかった。
ｉ之、前述しｆｃ実施例において、無機膜として５ｉｎ
ｓ膜を用いｆｃ場合について説明したが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、酸化チタン、酸化アルミニ
ウムるるいは窒化物を用いても同等の効果が得られるこ
とに勿論でるる。
ｓ膜を用いｆｃ場合について説明したが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、酸化チタン、酸化アルミニ
ウムるるいは窒化物を用いても同等の効果が得られるこ
とに勿論でるる。
以上説明したように本発明によれば、金属配線の保護膜
を、有機膜と無機層との積層膜で構成したことにより、
金属配線の電蝕の発生全防止することができるので、品
質および信頼性の高い液晶表示装置が得られるという極
めて鉦れた効果會有する。
を、有機膜と無機層との積層膜で構成したことにより、
金属配線の電蝕の発生全防止することができるので、品
質および信頼性の高い液晶表示装置が得られるという極
めて鉦れた効果會有する。
一面の清単な説明
第１図は従来の液晶表示装置の一例を示す要部断面図、
第２図は本発明による液晶表示装置の一笑確例全示す要
部断面図、第３図は第２１０Ａ−Ａ′断面拡大図、第４
図は本発明の他の実捲例を示す装部ｍｒ面図、第５図に
第４図のＡ−Ａ’断面拡大図でるる。
第２図は本発明による液晶表示装置の一笑確例全示す要
部断面図、第３図は第２１０Ａ−Ａ′断面拡大図、第４
図は本発明の他の実捲例を示す装部ｍｒ面図、第５図に
第４図のＡ−Ａ’断面拡大図でるる。
１・・・・基板、２・・・・前面基板、３Φ・・・周辺
シール材、４・・・・セグメント電極、５・・・・コモ
ン電極、６・・・・液晶、７・・・・液晶表示素子、８
・・・・金属配線、８ａ ・・・・第１ノー金属配線
、８ｂ ・・・・第１ノ金属配線Ｎ ８ｃ ・・・
・第３層金属配線、９・・・・金属半田、１０・・・・
ＬＳＩ素子、 １１・・・・樹脂膜、１２・・・・５１
０２ｇ、１３・・・・エポキシ樹脂。
シール材、４・・・・セグメント電極、５・・・・コモ
ン電極、６・・・・液晶、７・・・・液晶表示素子、８
・・・・金属配線、８ａ ・・・・第１ノー金属配線
、８ｂ ・・・・第１ノ金属配線Ｎ ８ｃ ・・・
・第３層金属配線、９・・・・金属半田、１０・・・・
ＬＳＩ素子、 １１・・・・樹脂膜、１２・・・・５１
０２ｇ、１３・・・・エポキシ樹脂。
第１図
第２図
第３図
第４図
第５図
Claims (1)
- 液晶表示素子の基板上にＬＳＩ素子を搭載し、画素子を
該基板上に形成した金属配線により電気的に接続してな
る液晶表示装置において、前記金属配線上に有機膜と無
機膜との積層構造からなる保護膜を設けたことを特徴と
する液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59251807A JPH0614159B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 液 晶 表 示 装 置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59251807A JPH0614159B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 液 晶 表 示 装 置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61130927A true JPS61130927A (ja) | 1986-06-18 |
| JPH0614159B2 JPH0614159B2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=17228213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59251807A Expired - Lifetime JPH0614159B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 液 晶 表 示 装 置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0614159B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02115825A (ja) * | 1988-10-25 | 1990-04-27 | Nec Corp | 表示パネル |
| JPH02136825A (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-25 | Toppan Printing Co Ltd | 表示装置用電極板及びその製造方法 |
| JPH02256029A (ja) * | 1989-03-29 | 1990-10-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アクティブマトリックス基板 |
| JP2003036035A (ja) * | 2001-07-25 | 2003-02-07 | Kyocera Corp | 表示デバイス装置 |
| KR100467546B1 (ko) * | 2001-04-16 | 2005-01-24 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 전기 광학 장치, 그 제조 방법 및 전자 기기 |
| JP2005024626A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Casio Comput Co Ltd | 表示装置の電子部品取付構造 |
| JP2006235333A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Optrex Corp | 表示装置 |
| US7304711B2 (en) | 2004-08-06 | 2007-12-04 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display and method of manufacturing the same |
| JP2008134670A (ja) * | 2001-06-29 | 2008-06-12 | Citizen Holdings Co Ltd | 液晶表示パネル |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5870212A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-04-26 | フアオ・デ−・オ−・ア−ドルフ・シントリング・アクチエンゲゼルシヤフト | 電子光学的表示素子およびその製造 |
-
1984
- 1984-11-30 JP JP59251807A patent/JPH0614159B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5870212A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-04-26 | フアオ・デ−・オ−・ア−ドルフ・シントリング・アクチエンゲゼルシヤフト | 電子光学的表示素子およびその製造 |
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| KR100467546B1 (ko) * | 2001-04-16 | 2005-01-24 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 전기 광학 장치, 그 제조 방법 및 전자 기기 |
| JP2008134670A (ja) * | 2001-06-29 | 2008-06-12 | Citizen Holdings Co Ltd | 液晶表示パネル |
| JP2003036035A (ja) * | 2001-07-25 | 2003-02-07 | Kyocera Corp | 表示デバイス装置 |
| JP2005024626A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Casio Comput Co Ltd | 表示装置の電子部品取付構造 |
| US7304711B2 (en) | 2004-08-06 | 2007-12-04 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display and method of manufacturing the same |
| JP2006235333A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Optrex Corp | 表示装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0614159B2 (ja) | 1994-02-23 |
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