JPS61122434A - 清浄乾燥空間に製品を保管するための装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電気電子機器、精密機器、それらの部品や半
製品、棄子頬、薬品類、その他、湿度や汚染を極端に嫌
う各種の製品や半製品を清浄な乾燥空間に保管（または
保管中に乾燥）するための装置に関する。

Ｃ従来の技術〕 最近の産業技術の発達に伴い、生産工程の途中または後
において、半製品または製品を所定の期間、特別に清浄
な環境量に保管するためのクリーンチャンバーに対する
要求が強くなってきた。そして、単に清浄な環境のみな
らず、低露点温度の空％ｌＺ、こノチャンバー内を維持
することによって製品を湿分からまもり、場合によって
はこの間に製品を乾燥することのできるクリーンドライ
チャンバーに対する性能向上が強く望まれるようになっ
てきた。

従来において、このようなりリーンチャンバーを形成す
るには、チャンバーに供給する空気を高性能フィルター
（以下、　ＨＥＰＡフィルターと呼ぶ）を通過させて浄
化するか、或いは、不活性ガス例えば窒素ガスを吹き込
むなどの処法が採られ、その気流吹き出しの状態を制御
したり、チャンバー形状に特別の工夫をこらしたりして
いた。また。

クリーンドライチャンバーを形成するには、ドライな空
気を得ることが必要となるが、これには。

化学吸湿剤を使用することによって空気中の湿分を除去
するという処法が一般に採られていた。すなわち、　　
ＬｉＣ１などの化学的吸湿剤を使用した除湿機（乾式ま
たは湿式除湿機）によって除湿された空気を製造し、こ
れをチャ・ンバーに吹き込むことが通常行われていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前述の不活性ガス吹き込み処法では湿分の除去ｉ　　　
　　に限界が存在し且つランニングコストが高くなると
言う問題があり、また化学的吸湿剤を使用したドライ空
気の製造では吸湿剤のキヤ・リオーバによってチャンバ
ー内に保管する製品の品質を損なうおそれがあると言う
問題がある０本発明は、まず第一に、このような従来処
決に内在する問題点を解決しようとするものである。

また保管庫に製品を出し入れすることによる周囲からの
汚染と侵入湿分の影響により室内のクリーン度の維持と
湿分の維持に問題がある。そして低露点温度の空気を得
るのに吸湿剤を使用する代わりに空気を低温にまで冷却
することによって湿分を凝集させて除去するいわゆる冷
却除湿処決を採用しようとする場合には、冷却器に霜が
発生して永続的な運転ができないという問題と始動時の
立上りに時間を要するという問題がある。第二に。

本発明はこのような問題を解決しようとするものである
。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は９図面に示したように、　製品保管庫１の出入
口の部分にエアーカーテンを形成するための空気吹出ノ
ズル２を設け、製品保管庫１内の空気を送風機、３によ
って製品保管庫１に再循環させる空気循環路４を設ける
と共にこの空気循環路にＨＨＰＡフィルター５を介装し
てなるクリーンドライチャンバー６と。

このクリーンドライチャンバー６にドライ空気を供給す
るための空気除湿装置７でありで、複数基の空気冷却器
８をドライ空気吐出管９に対して切替可能に接続してな
る空気除湿装置７と。

からなり、そして、空気除湿装置７のドライ空気吐出管
９を、　　Ｉｆ！ＰＡフィルター５′を介して空気吹出
ノズル２に送気管１０によって接続すると共に、空気除
湿装置７における複数基の空気冷却器８の夫々について
冷却除湿運転と除霜運転とに切替可能な送気路構造とし
たことを特徴とする装置を提供するものであり、これに
よって、前記の問題点を解決したものである。

以下に本発明の装置の構成と作用を図面に従って具体的
に説明する。

クリーンドライチャンバー６は、出入口Ｒ１１を有する
閉鎖空間であり、出入口扉１１を開かないかぎり外部雰
囲気とは実質上気密が保たれる。このクリーンドライチ
ャンバー６の内部は、さらに保管庫１と空気循環路４に
区分される。

保管庫１はクリーンドライチャンバー６の出入口扉１１
に面して設けられた製品収納室であり、その底部はは空
気が自由に通過する棚板１２を、また天井部にはＨＥＰ
Ａフィルター５を装着しである。そして出入口＃ｉ１１
に面する天井部にはエアーカーテンを形成するための空
気吹出ノズル２が設けである。製品は棚板１２の上に収
納される。

空気循環路４は、保管庫１の床下（棚板１２の下方空間
）から保管庫１の天井裏（ＨＥＰＡフィルター５の上方
空間）に至る空気通路であり、この通路には送風機３が
介装しである。この送風機３の駆動によって、−保管庫
１内の空気はこの空気循環路４を経て保管庫１内に循環
されることになるが。

そのさい、　ＨＥＰＡフィルター５を通過することによ
って浄化される。

このようにチャンバー内で空気を強制的に循環させる同
時に浄化されるように構成したクリーンドライチャンバ
ー６には、ドライ空気をチャンバ−外より供給するので
あるが、これは出入口扉１１の上方に設けられたエアー
カーテン形成用の空気吹出ノズル２から供給される。こ
の空気吹出ノズル２から吹き出されるドライ空気は出入
口扉１１の面積を覆うに十分なエアーカーテンを形成し
つつ前記の空気通路４に入って循環空気となる。

一方９本発明装置においては、この空気吹出ノズル２に
供給するドライ空気は、冷却除湿運転と除霜運転が運転
ができるように構成された特殊な空気除湿装置７によっ
て製造される。

空気除湿装置７は、空気（外気）取入口１４とドライ空
気吐出管９との間に互いに独立した複数基の空気冷却器
８を所定の関係をもって接続された構造を有している。

第１図には、空気冷却器８゜冷凍機１５．送風機１６を
同じ送気路構造のもとに構成した２系統の接続関係を示
す。図面には、一方の系統の機器にａ、他方の系統のも
のにｂを付し［、であるが２両者ともその内容は同じも
のである。

すなわち、空気冷却器８はその中に冷媒が通液するフィ
ンチューブ式熱交換器であり、冷媒は冷凍機１５から循
環供給されるようになっている。この空気冷却器８は１
周年にわたる全外気を露点温度が一５０℃の空気にまで
一過性に冷却除湿できるような能力をもたせる。

各系統とも空気冷却器８の下流側における合流点１７で
接続され、ドライ空気吐出管９に通ずることになるが、
各系統とも同じ送気路構造を有する互いに独立運転可能
なものである。これを具体的に説明すると、各系統とも
、空気取入口１４から合流点１７に至る主送気路１８に
送風機１６と空気冷却器８が介装される。そして、空気
冷却器８と合流点１７との間には、排気口１９に通ずる
排気路２０が分岐され、この排気路２０の途中から送風
機１６の吸込側主送気路１８にレタン路２１が接続され
ている。また合流点１７の近傍の主送気路１８には切替
ダンパ２２が介装され、排気路には排気ダンパ２３．レ
タン路２１にはレタンダンパ２４．空気取入口には取入
ダンパ２５が介装されている。これらのダンパはいずれ
もその開度を自由に調整できまた完全に送気を遮断でき
るものである。このように各系統を構成し。

これを合流点１７で接続することによって、除湿運転と
除霜運転が交互に切替ることができ、また準備運転のた
めの密閉運転もできるようになって。

常に一定したドライ空気の供給ができることになる。

この運転操作を次に説明する。

先ず、一方の系統Ａで切替ダンパ２２ａを開成して除湿
運転を行っている場合には、他方の系統Ｂでは切替ダン
パ２２ｂを閉成し、運転を休止するか或いは除霜運転ま
たは準備運転を実施する。すなわち、系統Ａでは、排気
ダンパ２３ａ、レタンダンパ２４ａは閉成し、空気冷却
器８で除湿されたドライ空気を吐出管９に供給する。そ
のさい系統Ｂでは、切替ダンパ２２ｂを閉成し、排気ダ
ンパ２３ｂを開、レタンダンパ２４ｂを閉にして除霜運
転を行うか、切、替ダンパ２２ｂを閉成し、排気ダンパ
２３ｂを閉、レタンダンパ２４ｂを開、取入れダンパ２
５ｂを閉にして準備運転を行うか、あるいは運転を休止
する。除霜運転では、冷凍機１５ｂからの冷媒の空気冷
却器８への通液を止めた状態で送風機１６ｂを駆動して
ホットガスを循環させ、空気冷却器８の表面に被着した
霜を除去し、その排気は排気口１８ｂから系外に排出す
る。準備運転は、系統を切り替えるさいの立上りに備え
るもので、立上り時に直ちにドライ空気を供給できるよ
うにすると共に立上り時間の短縮を図る運転であり、レ
タン路２１ｂを通じて空気冷却器８に系内の空気を閉回
路で循環を繰り返す運転である。これにより系内をドラ
イ空気で満たして系統の切替に備える。

次いで、系統Ａの空気冷却器８に霜が発生してその機能
の低下が始まったら、準備運転している系統Ｂと切替え
る（切替ダンパ２２ａを閉、切替ダンパ２２ｂを開に切
替える）、系統Ｂにおける準備運転から除湿運転の切替
は、レタンダンパ２４ｂを閉とし、取入れダンパ２５ｂ
を開にすることによって行う、系統Ａでは、系統Ｂの除
湿運転の間に。

前記と同様に除霜運転、休止、準備運転を適宜実施し１
次の切替に備える。

この切替によって、クリーンドライチャンバー６には連
続的に常に一定したドライ空気が供給されることになる
。

このように９本発明装置によると、吸湿剤を使用しない
でドライ空気を製造できるので、吸湿剤による製品の品
質低下の問題が回避されると共に冷却除湿方式であるに
もかかわらず露点温度が一５０℃程度のドライ空気を連
続供給できることになる。そして、切替にさいして、除
霜運転のほかに準備運転を実施して除湿運転に備えるこ
とにより運転コストの低減と一定したドライ空気の連続
供給ができることになる。また、クリーンドライチャン
バーにおいては、ドライ空気の循環によりクリーンドラ
イエアの雰囲気が常時維持され、製品の出入れに際して
も、外部雰囲気からの汚染と外気侵入による湿分の５経
がドライ空気によるエアーカーテンによって効果的に防
止されることになる。

【図面の簡単な説明】

も　　　　　　　第１図は本発明装置の一実施例を示す
機器配置系統図である。 １・・保管庫、　　２・・空気吹出ノズル。 ３・・送風機、　　４・・空気循環路。 ５．５゛・・ＨＨＰＡフィルター、　　６・・クリーン
ドライチャンバー、　　７・・空気除湿装置。 ８・・空気冷却器、　　９・・ドライ空気吐出管。 １１・・出入口、１２・・棚板、１４・・空気取入口、
１５・・冷凍機、１６・・送風機、　　１７・・合流点
、１９・・排気０．２１・・レタンダクト。 ２２・・切替ダンパ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 製品保管庫１の出入口の部分にエアーカーテンを形成す
   るための空気吹出ノズル２を設け、製品保管庫１内の空
   気を送風機３によって製品保管庫１に再循環させる空気
   循環路４を設けると共にこの空気循環路にＨＥＰＡフィ
   ルター５を介装してなるクリーンドライチャンバー６と
   、 このクリーンドライチャンバー６にドライ空気を供給す
   るための空気除湿装置７であって、複数基の空気冷却器
   ８をドライ空気吐出管９に対して切替可能に接続してな
   る空気除湿装置７と、からなり、そして、 空気除湿装置７のドライ空気吐出管９を前記の空気吹出
   ノズル２に送気管１０によって接続すると共に、空気除
   湿装置７における複数基の空気冷却器８の夫々について
   冷却除湿運転と除霜運転とに切替可能な送気路構造とし
   たことを特徴とする清浄乾燥空間に製品を保管するため
   の装置。