JPS61119699A - 金属または金属合金の箔を製造するシステム並びに方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ、産業上の利用分野 本発明は、増進された積層接着性を有する電着され且つ
／または処理された金属箔または金属合金箔を製造する
システムに係る。より明細には、本発明は電気的及び電
子的用途に用いる銅箔または銅合金箔を電気化学的に製
造及び／または処理するシステムに係る。

口、従来の技術 金属価を含有する電解溶液から金属箔または金属合金箔
を連続的に形成するための電着技術は、当業界において
よく知られている。これら技術を用いて高品質の箔を作
る能力は、しばしば、使用される電解溶液の品質に関係
する。不純物例えば大気からの粒状物質・グリース及び
またはオイルが電解溶液中に存在すると、箔の総合品質
は著しく低下されるおそれがある。この問題に対処する
ため、在来の電着システムの成るいくつかは、不純物を
電解溶液から除去するため単一の瀘過環路即ちループを
組込まれている。エジンンの米国特許第１４１７４６４
号及び第１４２５１８４号には、１個のそのような濾過
ループが開示されている。

今日、大部分の印刷配線回路は、電着または打込金属箔
を、普通は合成重合体から成るサブストレート即ち基板
材料に接着剤を用いて接着し、そしてかくのごとき複合
積層体に酸エツチング処理を施て所望の回路を作ること
によって形成される。

裸の箔、即ち無処理金ＪｌＩＷ３と非金属基板材料との
間の付着力は概して弱いから、金属箔の付着力即ち積層
接着性を増進する技術の開発に相当な努力が払われてき
た。これら接着性増進技術は、一般には、基板材料に接
着さるべき金属箔の少なくとも当該面を粗化することを
含む。接着性を増加するための初期技術は、一般的に、
基板材料に接着さるべき銅箔または銅合金箔表面上に付
着性酸化物層を形成することを含んだ。該酸化物層は、
典型的には、銅箔または銅合金箔を水性アルカリ酸化溶
液を用いて処理することによって形成された。

化学的及び電解的処理が使用された。スタインほかの米
国特許第３１０７１９７号及びコルネーの米国特許第３
１１４６８３号には、前記初期技術による処理法のいく
つかが説明されている。そのような処理の一つにおいて
は、陽琢的に生成された付着性の酸化物コーティングを
配された銅シートが、ＮａＯＨ浴を通過するように引張
られそして酸化物コーティングを金属鋼に還元するため
に陰極として極性を与えられた。基板材料に重ね合わさ
れる前処、錫または錫合金が銅に電着された。

ロスチャイルド・ノミネー社のフランス特許公開第１３
７１５１０号にはこの処理法が開示されている。

より最近、金属箔または金属箔上に樹枝状組織層を析出
形成することによって接着性を増進する技術が開発され
た。樹枝状組織は箔の表面積を増すのに役立ち、それに
よって、本質的に主として機械的である接着をより強固
にする。これら技術のほとんどにおいては、主として銅
または銅酸化物粒子である結節状粉末鋼層が箔表面上に
電着される。これら粒子は、箔総表面積を増加する不規
則な結節群の形を取る。これら結節状組成と、箔表面積
の増加の結果として、本質的に概ね機械的であるより強
固な結合部が、基板材料との間に形成される。樹枝状組
成層を構成する粒子は粉状であり、且つばらばらになり
易いから、第２の層即ち固定層が一般的に樹枝状層上に
形成される。この固定層は、典型的には、樹枝状層の形
状に合致するなめらかな銅またはその他金属析出層であ
る。

その作用は、−後の回路製作工程間、樹枝状層の粉移動
特性を減じさせ、そして倒板状結晶の形状をそのまま維
持することである。該固定層は、銅または銅合金層、ま
たはその他の金属または金属合金、例えばニッケル、コ
バルト、亜鉛、クロム及びそれらの合金、の層である。

これら技術の成るいくつかにおいては、樹枝状層形成工
程に先だって、金属箔または金属合金箔上に、予備洗浄
工程が実施される。この予備洗浄工程は、一般的に、酸
化物の無い、グリースを除去された表面を処理のために
提供することを目的とする。典型的な洗浄処理は、アル
カリ性洗浄溶液中への浸漬またはアルカリ性溶液中でグ
リースを電解除去することを含む。これら樹枝状処理の
例として、コンレーほかの米国特許第３２２０８９７号
；ルーズほかの米国特許第３２９３１０９号；ダーリン
ガーほかの米国特許第３３２２６５６号；ウォーターベ
リーの米国特許第３３２８２７５号：バイラ−ほかの米
国特許第３５１８１６８号：ルーズほかの米国特許第３
５８５（２１０号；カールソンの米国特許第３６９９（
２１８号；イエーツほかの米国特許第３８５７６８１号
；ウオルスキーほかの米国特許第３９１８９２６号：モ
リサキの米国特許第４０４９４８１号；ヤマシタほかの
米国特許第４０５３３７０号及びウオルスキーほかの米
国特許第３（２１８０号関連特許が挙げられる。

最も最近、当業界においてはさんご軟鋼処理と呼ばれる
樹枝軟鋼処理を、規則的に循環するパルスを有する電流
を用いて銅箔及び銅合金箔に施す技術が開発された。こ
の技術においては、処理さるべき箔は硫酸銅−硫酸溶液
中に陰極として浸漬される。前記パルス電流が供給され
るとき、銅樹枝状晶が各パルスの第１の部分間に箔表面
に形成され、そして各パルスの第２の部分間に箔表面に
固着する。ボランほかの米国特許第４４６８２９３号に
示されるこの技術は、銅箔または銅合金箔の接着特性を
著しく増進する確実に接着される樹枝状組織を形成する
ことが認められている。

ハ０発明が解決しようとする問題点 電着及び処理箔製造業者の両者を連続的に悩ましてきた
一つの問題は、低品質の箔である。電着箔製造業者にと
って、問題は、多数のピンホール及び／または元素不純
物を有する箔の生成を防ぐことである。処理箔製造業者
にとっては、問題は、主として、在来の処理法の成るい
くつかによって生じる均等の厚さを有しない鍍金である
。かくの如き不均等の鍍金の問題は、しばしば、処理箔
上の採点（ベカ・スポット）と、縞状無鍍金部の形式を
取る。これら採点と縞状無鍍金部は、完成された回路板
において接着不良区域になる。これは特により細く、よ
り狭い回路ライン及びより薄い金属箔の使用を志向する
現今の傾向に鑑み、きわめて望ましくない状態である。

本発明に従えば、現在市場で入手され得るそれらに比し
すぐれた表面外観、均等性及び再生産性を有する電着及
び／または処理金属箔を生産するシステムが提供される
。本発明のシステムは改良された品質の箔に加えて、経
済的利益をも提供する。

二０問題点を解決するための手段 本発明のシステムは、電着及び／または処理金属箔を形
成するのに用いられる電気化学溶液の品質を向上させる
装置を含む。これは、各オン−ライン加工／処理タンク
と組合わされた複式濾過系統の形式を取る。各タンクの
ための複式濾過系統は、各オン轡ライン加工／処理タン
クからの溶液がそれを通じて連続的に回収されそしてフ
ィルタを通らされて懸遊粒状物を除去するようにされた
溶液調節ループ（環路手段）を有する。さらに、本複式
濾過系統は各オン・ラインタンク内の溶液から表面不純
物を除去する手段を有する。この表面不純物除去手段は
、該タンク内の溶液の表面上に浮遊するスキマー即ち除
滓器及び／または該りンクから溶液を移転し、それをオ
フ令うイン溶孜補充／濾過ループを通らせるオーバーフ
ロー装置を有する。

本発明のシステムは、線点及び無鍍金区域の個数を減ら
された処理金属箔の形成においてきわめて有用であるこ
とが確認された。そのような箔を形成する一推奨システ
ムにおいては、電着または打込された箔のストＩＪツブ
が、先ず、第１の処理タンク内に収容された苛性溶液中
で電解的に洗浄される。洗浄されたのち、該第は第２の
処理タンクへ送られ、そこにおいて新しい金属層が、好
ましくは電解的に、前記箔の少なくとも一つの面に形成
される。前記新金属層は、前記少なくとも一つの箔面な
、爾後の樹枝状処理に対し、より均一に電解的に活性化
し旦つより受容的にさせる。そのあと直ちに、箔は第６
の処理タンクへ送られ、そこにおいて複数の樹枝状Ｍ賊
が前記新金属層を有する表面に電気的に析出されそして
固着される。

樹枝状組織層が箔表面に形成されたのち、箔はその外観
を向上させるため変色防止処理を施される。

該変色防止処理は、箔をさらに別の処理タンク内の変色
防止溶液中に浸漬すること妃よって施される。Ｒ終工程
として、処理箔は水洗されそして乾燥されたのち、巻取
リールに巻き取られる。

本発明の他の一実施例に従えば、金属または金属合金シ
ート、ス）　ＩＪツブまたは箔の接着特性は、初めに、
処理さるべき各表面に金属酸化物の実質的に均等の層を
形成し、そのあとで、該酸化物層を実質的に均等の金属
層を形成するように化学的に転化することによって改善
される。そのあと、新金属層付きの前記シート、ストリ
ップまたは箔は樹枝状処理を施される。

また、本金属箔処理システムは、前記溶液濾過／補充ル
ープの一部として、複数個のオフ・ライン・タンクであ
ってそれらの内部で各処理段階のための溶液が初めに調
製されそして、または、補充され得るものを有する。オ
フ・ライン溶液補充可能手段を設けることによって、箔
処理ラインに　　□関連するコストは著しく減じられる
。前述したごとく、溶液濾過／補充ループは溶液から、
その他の汚染物は勿論、表面不純物をも除去するのに用
いられる。溶液濾過／補充ループは、好ましくは、オン
・ライン・タンクから回収されそしてそれらへ戻される
溶液から汚染物及び／または表面不純物を除去するため
少なくとも１遣のフィルタを有する、各オン・ライン・
タンクと結合された溶液濾過／補充ループの一部として
、各オン・ライン・タンク内の溶液は、溶液の感知され
た状態に反応してバッチ（回分）として回収されそして
戻されるか、または連続的に回収されて新鮮な溶液によ
って置換され得る。

向上された品質を有する箔を生産する本発明のシステム
の能力は、各処理タンクのための溶液調節ループ（環路
）を設けることによってさらに高められる。各溶液調節
ループは、実質的に連続的に処理タンクから溶液を回収
し、そしてそれを濾過装置を通らせて循環させることに
よって粒状物及び望ましからざる残留汚染物を除去する
ための手段を有する。もし必要とされるならば、各溶液
調節ループは、回収された溶液の温度を修正するための
熱交換器を有し得る。溶液温度の修正は、粒状物及び汚
染物の除去を補助するため、及び／または処理タンクへ
所望温度の溶液を戻すため必要とされる。

表面不純物を除去するため溶液濾過／補充ループを用い
ることに代えて、または加えて、スキマー即ち除滓器が
各オン・ライン・タンクに配蓋され得る。その排出口は
適当な導管及び弁を通じて溶液濾過／補充ループまたは
オン・ライン・タンクと結合された溶液調節ループと接
続される。

改良された処理箔を提供することに加えて、本発明は改
良された品質の電着箔の製造にも応用されることが確認
された。そのような箔を製造するため、箔がそれから形
成される電気化学的溶液が、表面不純物、粒状物及びそ
の他の汚染物を除去するために連続的に濾過される。該
容部は連続的に電着処理タンクから回収されそしてフィ
ルタを有する溶液調節ループを通らされて溶液から粒状
物と望ましからざる化学物質とを除去される。、表面不
純物は、すべて、溶液表面上に浮遊する除滓器即ちスキ
マー及び／または溶液オーバーフロー装置によって溶液
濾過／補充ループ内へ移転される。

向上された品質の電着または処理箔を不変的に生産する
ため、形成または処理される箔は、各処理／加工タンク
を正確に通過しなくてはならない。

この目的のため、本システムは、箔がその上に接触する
各ロールを整合させるためのレーデ−ビーム整合システ
ムを含む。該整合システムは、箔の進行方向に対して平
行の基線装置と、基線装置に取付けられたレーデ−ビー
ム発生器と、直角整合ビームを生じさせるための可動光
学装置とを含む。

従って、本発明の目的は、向上された品質を有する処理
金属箔を製造するシステムを提供することである。

本発明のもう一つの目的は、前記のごときシステムであ
って向上された品質を有する電着箔を生産するものを提
供することである。

本発明のさらにもう一つの目的は、前記の如きシステム
であって大きな経済的利益を提供するものを提供するこ
とである。

本発明のさらにもう一つの目的は、前記のごときシステ
ムであって、電気的及び電子的用途に使用される銅箔及
び銅合金箔を形成及び／処理するものを提供することで
ある。

本発明のさらにもう一つの目的は、金属及び金属合金材
料の接着特性を増進し、そして処理された材料上の採点
及び縞状無鍍金部分の個数を減じるための処理手段を提
供することである。

これら及びその他の鎖目的並びに諸利点は、以下述べる
説明と、同一番号を以て同一部品が示される添付図面と
を検討することによって−そう明らかになるであろう。

ホ９作用 本発明に従えば、高品質の電着及び／または処理金属箔
を製造するシステムが提供される。本システムは、電着
及び／または処理金属箔を製造するのに用いられる溶液
から粒状物及びその他の不純物を除去するため複式濾過
技術を使用する。これら溶液からの粒状物及び不純物の
除去は、低品質の箔の主原因の一つを無くする。本発明
のシステムは電子的及び電気的用途に使用される金属箔
または金属合金箔の製造において特に有用である。

本発明は、銅及び銅合金箔の製造及び処理に関連して以
下説明されるが、本発明はさらに広い用途を有すること
が理解さるべきである。高品質のその他の金属箔及び金
属合金箔も本システムを用いて製造されそして処理され
得る。

本明細書において、用語「箔」は金属及び金属合金のス
）　ＩＪツブ及びシート材料を包含する。

先ず第１図と第２図とを参照すると、処理銅箔または銅
合金箔を製造するシステムが図示されている。処理さる
べき銅または銅合金箔１０は、図示されていないリール
から繰出される。箔１０は電着または打込された箔であ
る。もし望まれるならば、箔１０は表面のオイルおよび
グリースを除去するため予備洗浄処理を施され得る。こ
の予備洗浄処理は轟業界において知られている任意の好
適な処理を含み、そしてオン・ラインまたはオフ・ライ
ンの何れかで実施される。洗浄処理及び使用される洗浄
装置のタイプは、言うまでもなく、箔１０の組成特性お
よび除去さるべきグリース及び／またはオイルの種類に
応じて決定される。箔１０が銅を基材とする材料から形
成されているときは、グリース及びオイルは箔を塩化メ
チレン溶液中に浸漬することによって除去されることが
好ましい。

第１図及び第２図のシステムによって箔１０に施される
最初の処理は、箔の先行加工工程からの残留グリース、
オイル及びその他の汚染物を除去することを主目的とす
る洗浄処理である。箔１０はロール１２を越えて第１処
理タンク１４内へ入る。タンク１４は、残留汚染物、グ
リース及びオイルを除去するように意図された洗浄溶液
１６を収容する。この最初の処理においては任意の好適
な洗浄溶液及び洗浄技術が使用され得るが、苛性洗浄溶
液を用いて箔１０を電解洗浄することが推奨される。そ
のような技術を用いることが好ましいとされる理由は、
電解作用が苛性溶液の溶解作用を増進させることにある
。さらに明細に言えば、電解から発生する水素泡によっ
て箔表面において生じる擾乱は、溶液の洗浄作用を促進
する。任意の好適な苛性洗浄溶液も洗浄を行なうのに使
用され得るが、水性ＮａＯＨ溶液、例えば３壬〜１５係
ＮａＯＨ溶液またはＮａＯＨＸＮａ３ＰＯ４、Ｎａ２　
Ｓ　ｉ　Ｏ３及びＮａ２ＣＯ３の混合物である溶液は、
すぐれた洗浄／脱脂効果を提供する。洗浄溶液は室温ま
たはそれよりも高い温度で用いられる。例えば、１０．
５１／ｌのＮａＯＨ、９，６ｙ／　ｌのＮａ３ＰＯ４，
４（２１／１１のＮａ２ＳｉＯ３及び２０．９１１／ｌ
のＮａＣＯ３から成る溶液は、６０℃の温度で、銅また
は調合金箔１０を洗浄するのに使用される。

増進された洗浄効果は、洗浄溶液１６が高温に保たれて
いるとき得られることが発見された。

Ｎａ、ＯＲ溶液の場合、溶液１６の温度は、約４０℃か
ら溶液の概ね沸騰温度までの範囲、好ましくは約５０℃
〜７０℃、に保たれる。タンク１４内の溶液は、適切な
タンク内ヒータと制御ループ（環路）（図示せず）によ
って所望温度に保たれ得る。

当業界において既知である適切なタンク内ヒータ及び制
御ループはすべて使用可能である。

電解洗浄は、好ましくは、箔１０へ陰極電流を供給する
ことによって実行される。洗浄溶液１６を通過する箔１
０は、ローラ、例えばローラ１２）に接触することによ
って陰極性を付与される。ローラ１２は銅の如き導電材
料から形成されており、給電装置１８の負端子に電気的
に接続されている。

給電装置１８は当業界に知られている任意の好適なりＣ
またはＡＣ給電装置を以て構成され得る。

箔１０は任意の既知方法によって洗浄溶液を通過せしめ
られる。例えば、箔１０は、洗浄溶液１６中に漬浸され
゛た一連のローラ２０．２２゜２４．２６．２８に次次
に掛けられて蛇行せしめられ、従って、箔１０はタンク
１４の長さを通じていくつかの順統垂直平面に沿って昇
降を繰返して進む。垂直陽極板３０が箔表面に対面して
タンク１４内に据付けられる。陽極板３０は当業界にお
いて知られている任意の方式でタンク１４内に取付けら
れて、任意の既知方式で給電装置１８の正瑞子に電気的
に接続される。陽極板３０は、当業界に知られている任
意の好適な導電性の材料、例えば鉛及び鉛合金、白金及
びステンレス鋼、であって且つ洗浄溶液１６に対して不
活性であるものから形成される。洗浄は、約１．０　ｍ
Ａ／ａｎ２〜約５００ｍＡ／ｃＩＩＬ２）好ましくは約
２５　ｍＡ／ｍ２〜約２００　ｍＡ／ｃＴｔ２）の電解
電流密度を、陽極板３０と箔１０とに供給することによ
ってＮａＯＨ溶液を用いるとぎ達成される、 箔１０を陰極洗浄することが推奨されるが、電気的極性
を逆にして箔１０を陽極洗浄することも可能であり、効
果は同じである。代替的に、箔１０の酸性洗浄も前記苛
性洗浄に代えて採用され得る。

洗浄された後、箔１０は出口のローラ３２を越え、そし
てゆすぎステーション３４を通される。

もし希望されるならば、Ｗｌｌｏは、過多の洗浄溶液の
同伴を防ぐために、タンク１４から外部へ出るのに先だ
って、列置された空気ノズル（図示せず）を通過せしめ
られる。ゆすぎステーション３４において、流体、例え
ば水、が箔１０に吹付けられる。流体吹付げの作用によ
って、Ｗ３１０上の遊離粒子は除去され、そして苛性洗
浄溶液によって残された望ましくない化学薬品も流除さ
れる。

処理ラインのこの地点におけるゆすぎステーションの協
働は、また、下流の化学溶液が、苛性洗浄溶液中の化学
薬品によって汚染されないという観点からも望ましい。

ゆすぎステーション３４は、後に、より詳細に説明され
るであろう。

ゆすぎののちに、箔１０は、爾後の電気化学的処理に対
して、その表面をより均一に電気化学的に活性化し且つ
受容的にさせる一処理を施される。

この処理を行なうことによって樹枝状結晶処理が施され
たのち箔１０の被処理面に存在する採点即ち無鍍金区域
の個数は著しく減じられることが発見された。このこと
の重要な意味は、被処理箔が最後に基板材料に積層され
るとき、生じる接着性の劣る区域がより少なくなること
と、被処理箔と基板材料との間の接着力が著しくより強
くなることだある。

表面をより均一に活性化すため范１０に施される処理は
、好ましくは、処理さるべき各面上に、きわめて薄い実
質的に均等の銅層を電着することを含む。良好な接着・
樹枝状結晶鍍金被覆効果は、約０．（２１〜１．０μｍ
の範囲の厚さを有する銅層を以て箔表面を鍍金核種する
ことによって得られることが発見された。−推奨実施例
において、該鍍金看は約０．１〜約０．５μｍの厚さを
有する。この銅層または銅ストライクは箔１０をローラ
３６を超過して処理タンク４０内の電解溶液３８中に送
ることによって形成される。Ｗ３１０はそれを給電装置
の負端子に電気的に接続することによって再び陰極化さ
れる。給電装置は先行洗浄工程で使用されたそれと同じ
ものでもよく、または別個の給電装置５０でもよい、箔
１０は任意の好適な方式、例えば１個または複数個の導
電ローラとの接触によって給電装置に接続され得る。も
し別個の給電装置が用いられるならば、給電装置５０は
当業界に知られている任意の好適なりＣまたはＡＣ給電
装置を以て構成され得る。

タンク４０は複数のローラ、例えば所望の態様で電解溶
液３８を通って箔１０のループを形成するように配列さ
れた一連のローラ３６．４２゜４４．４６、を配設され
る。好ましくは、複数の陽極または陽極板４８が電解溶
液３８中、に漬浸される。これら陽極または陽極板は、
箔１０に陰極電流を供給するのに使用されている給電装
置の正端子に電気的に接続される。陽極または陽極板は
当業界において知られている任意の方式で、使用されて
いる給電装置に結合され得る。さらに、これら陽極また
は陽極板４８は銅のごとき消耗性の材料から作られ、ま
たは、白金、鉛及び鉛合金、例えばｐｂ　−６％ｓｂ、
を包含する非消耗性の金属及び金属酸化物から作られま
たはそれらで鍍金されたものから作られる。金属例えば
鉛及び鉛合金が使用されるときは、粒子が電解溶液を汚
染するのを防ぐため各陽極または陽極板４８を袋に入れ
ることが望ましい。陽極または陽極板４８は好ましくは
箔表面に平行の垂直平面に沿ってタンク４０内に据付ゆ
られる。当業界において知られている任意の好適な手段
が陽極または陽極板４８をタンク４０内に取付けるのに
使用される。

銅系の箔材を処理するときは、銅ストライクを形成する
のに用いられる電解溶液３８は好ましくは、樹枝状結晶
処理段階間に使用される溶液と同じ組成を有する水性硫
酸銅−硫酸溶液を含むことが有利である。そのようなＣ
ｕ５Ｏ４−Ｈ２ＳＯ，［、解溶液から銅層を電着鍍金す
るときは、該溶液の温度（六使用の容易性を促進するた
め実質的に室温に保たれる。満足される鍍金を達成する
には、溶液中の銅濃度を、工程を効率良く遂行するのに
充分なほど高く、しかも銅が硫酸鋼として沈殿する点以
下に保つことが望ましい。実質的に室温において、電解
溶液３８は好ましくは、約１５．９／ｌから約６（２１
／ｌの飽和濃度までの硫酸銅形式の銅濃度を有する。１
５１／ｌ以下の銅濃度においては、限界電流は鍍金工程
を合理的に遂行するには低過ぎるものになる。飽和点以
上においては硫酸銅が沈殿し、溶液中により多くの銅を
含ましめることは実質的に不可能になる。本発明の最も
推奨される実施例においては、実質的に室温に保たれる
Ｃ、８０４−Ｈ２ＳＯ４［解溶液中の銅濃度は約１５１
１７１〜約４（２１１／ｌの範囲である。

硫酸は銅を硫酸銅として沈殿させる濃度を上限とする濃
度を以てＣｕ５Ｏ４−Ｈ２ＳＯ，電解溶液中に存在する
。好ましくは、硫酸濃度は、実質的に室温に保たれるＣ
！ｕｓＯ４−Ｈ２ＳＯ４溶液に対し約１０！ｇ／ｌ〜約
１０（２１／ｌの範囲内である。

電解溶液は実質的に室温で使用されるが、高温に保たれ
るＣｕＳ　Ｏ４−Ｈ２８０４から銅層を電着鍍金するこ
とも可能である。前述した銅及び硫酸濃度は温度に応じ
て決定され、そして溶液が実質的に室温以外の温度に保
たれるときは調節されなくてはならないであろう。高温
度においては、銅濃度は、溶解限度が温度に従って増大
するから、比例的により高（され得る。高温度において
電解液を用いるために、給電装置１８は電解液を所望温
度に保つため当業界において知られている任意の好適な
装置を設けられ得る。

所望の銅鍍金またはストライク層は、約５　ｍＡ／α２
から電解溶液の概ね限界電流密度までの範囲内の電流密
度を用いることによって前述のＣ’ｕＳＯ。

−Ｈ２ＳＯ，溶液から形成され得ることが発見された。

好適な浸漬時間即ち析出時間は少なくとも約５秒から所
定電流密度で最大厚さの鍍金層を形成するのに要する時
間までの範囲内にあるそれらであることが発見された。

好ましくは、鍍金層は、約５秒から約２分までの範囲の
時間に対し、約５ｍＡ／ｃＩｒＬ２から約２５　ｍＡ／
’（Ｘ２の範囲内の電流密度を用いることによって形成
される。電解溶液を高温度に保つことは、比較的高い電
流密度を用いることによって、比較的速い速度で銅スト
ライク層の鍍金を可能にする。

前記の方法で箔１０上に薄い銅ストライク層を形成する
ことが推奨されるが、箔表面の軽電気化学的エツチング
が、箔表面をより均一に電気化学的に活性化すため鍍金
処理に代えて施され得る。

エツチング処理は当業界において既知の任意の好適なエ
ツチング技術及び溶液を用いて任意の所望の方式で実施
され得る。代替的に、薄い銅ストライク層は、処理さる
べき表面上に実質的に均等の酸化物層を形成し、次いで
該酸化物層を箔表面上の実質的に均等の新鮮な金属に化
学的に変化させることによっても形成され得る。約０．
（２１μｍから約１．０μｍの範囲内の厚さを有する酸
化物層を形成することによって良好な結果が得られるが
、処理さるべき各表面上に約０．１μｍから約０．３μ
ｍの範囲内の厚さを有する酸化物層を形成することが好
ましい。酸化物層が形成されるときの方式の故に、この
処理に先だって材料の洗浄／脱脂を行なうことを必ずも
必要としない。

次に第５図を参照すると、打込されたまたは圧延された
状態の銅または銅合金シート、ストリップまたは箔１０
は、リール（図示せず）から繰出されて、アルカリ性洗
浄溶液３１２内に浸漬される。銅または銅合金材料を処
理するとき、アルカリ洗浄溶液は約３幅〜約３０係のＮ
ａＯＨ、最も好ましくは約８％〜約１５％のＮａＯＨ、
を含む水性ＮａＯＨ溶液を以て成ることが好ましい。該
溶液は概ね室温から溶液の概ね沸騰温度までの範囲内の
温度を有し得るが、溶液温度は約り５℃〜約６０℃の範
囲内に保たれることが好ましい、、溶液３゛１２が室温
以外の温度で用いられるときは、タンク３１８は、当業
界において知られている任意の好適な温度維持制御装置
（図示せず）を設けられる。

所望の厚さを有する酸化第１ｗ４の実質的に均等の層が
、浸漬された箔に陽極電流を通すことによって、処理さ
るべと各表面に形成されることが好ましい。電流を供給
するための電源３１４と、溶ｇ３１２中に浸漬される１
個または複数個の陰極３１６が既知の方式で投げられる
。ｔｍ３１４は、当業界において既知である任意の好適
な給電装置を以て成る。同様に、１個または複数個の陰
極３１６は、当業界において知られている任意の好適な
金属または金属合金から形成され得る。酸化物層を形成
するための好適な電流密度は、約１００　ｍＡ／ｃｍ２
までのそれらである。好ましくは、約Ｉ　Ｑ　ｍＡ、’
（１７７Ｌ２から約４０　ｒｎｌｖ’ｃｍ２までの範囲
内の電流密度が、酸化物層を作るのに用いられる。、所
望の酸化物層を形成するのに要する露出時間即ち析出時
間は、供給を流密度の関数である、一般に、電流密度が
高いほど、要求露出時間は短い。好適な露出時間は、約
１５秒から約２分まで、好ましくは約１５秒から約１分
まで、の範囲内のそれらである。酸化物層形成処理の結
果として、銅または銅合金箔１０は暗い色に変色する領
内がある。

次の処理を施す前に、箔１０から過多のＮａＯＨを流除
することが好ましい。これは当業界において知られてい
る任意の好適な洗い装置３２０を用いて行われる。例え
ば、洗い装置３２０は、それを箔１０及び新たに形成さ
れた酸化物層が通過する水ゆすぎ装置を以て成る。洗わ
れたのち、箔１０とその酸化物層は、当業界において知
られている任意の好適な乾燥袋ｆ（図示せず）を用いて
乾燥される。

この処理は、新鮮な金属層が、処理さるべき各表面上に
設けられるから、採点または無鍍金区域の個数を減じる
と考えられる。新鮮な金属層は′爾後の電解処理例えば
表面上に礪枝状晶を電着させる処理、に対し表面をより
均一に電気化学的に活性化し且つより受容的にすると考
えられる。新鮮な金属層を形成するため、Ｗ３１０及び
その表面に形成される酸化物層は鉱酸溶液３２２中に浸
漬されることが好ましい。銅及び銅合金材料を処理する
ための推奨される鉱酸溶液は硫酸溶液を以て成る。該溶
液は、少なくとも約肌１釜の硫酸濃度を有する硫酸水溶
液であるか、または濃硫酸溶液である。好ましくは、該
溶液は、約１憾から約１０％までの範囲内の硫酸濃度を
有する硫酸水溶液を以て成る。銅または調合金箔１０が
そのような酸水＠液中に浸漬されるとき、それはそのピ
ンク色に復帰する。これは、酸化第１銅と硫酸との間の
化学作用のたぬである。この作用間、酸化第１銅中の銅
の一部分は溶液中に析出され、その一部は箔表面上に新
鮮な銅として付着する。酸化第１銅層は実質的に均等で
あるから、新銅層もまた実質的に当然均等である。

室温の鉱酸溶液３２２中に箔１０を浸漬することが推奨
されるが、室温以外の温度を有する溶液も使用され得る
。他温度の溶液が用いられるとき、タンク３２４は溶液
温度を所望レベルに保つだめの好適な装置（図示せず）
を設けられる。

前記酸化物層を電解によって形成することが推奨される
が、酸化物層は処理さるべき材料を、所望酸化物層を生
じさせるのに充分な時間に亘って、アルカリ性洗浄溶液
中に浸漬することによって非電解的にも形成され得る。

言うまでもなく、そのような酸化物層を形成するのに要
する浸漬時間は増大するであろう。

代替的に、薄い銅層は、パルス鍍金技術を用いても形成
され得る。

銅ストライク層が依然して新鮮である間に、箔１Ｑは処
理タンク４０または３２４から、樹枝状処理が箔に施さ
れる処理タンク５２へ送られる。

樹枝状処理は、箔１０の少なくとも１表面に複数の樹枝
状組織を析出するとともに該樹枝状組織を該表面に固着
させることを以て成る。樹枝状組織を形成しそしてそれ
らを箔表面に固着させる特殊技術は、ボランほかの米国
特許第４４６８２９３号に、より詳細に説明されている
。

この樹枝状処理を実施するため、箔１０は電解溶液５４
を通過せしめられ、そして例えば電源５５の負端子に電
気的に接続された１個または複数個のローラと接触する
ことによって總称性を与えられる。Ｗ３１０は例えばロ
ーラ５６．５Ｂ。

６０．６２の如き任意の好適な方法によって溶液５４を
通過せしめられる。

前述のごとく、溶液５４は溶液３８と同じ組成を有する
ことが好ましい。しかし、ここに説明される箔処理を実
施するための一推奨方法においては、溶液５４の温度は
、溶液３８の温度よりも低く保たれる。この理由は、処
理ラインに対するライン速度要求に関係する。システム
全体に亘って所望の実質的に一定のライン速度を保つた
めには、溶液５４の温度で運転することによって許され
るそれらよりも大きい電流密度を銅ストライク層処理タ
ンク４０内の箔１０及び溶液３８に対して供給すること
が必要であることが判明した。これは、所定時間に対す
る処理タンク４０内で鍍金される銅の量を増すことによ
って達成される。溶液３８は理想的には溶液５４と同じ
組成を有するから、その限界電流密度は、要求される鍍
金を実施する間にタンク４０内で樹枝状組織が形成され
るのを防ぐため大きくされなくてはならない、溶ｇ３８
の限界電流密度を大きくすることは、溶液３８を溶液５
４よりも高い温度に保つことによって行われることが好
ましい。溶液３８の温度を室温よりも少し高いそれから
、溶液の概ね沸騰温度までの範囲の温度、好ましくは約
り０℃〜約６０℃の範囲の温度、に保ち、一方これと同
時に、溶液５４の温度を、概ね室温から約６０℃までの
範囲の温度、好ましくは概ね室温から約４０℃までの範
囲の温度に保つことによって、所望の結果が得られる。

タンク４０と５２は、溶液３８と５４を所望の温度に保
つため、当業界において知られている任意の好適な温度
維持◆制御装置（図示せず）を設けられる。

樹枝状処理を施された後、箔１０はゆすぎステーション
６４を通過せしめられる。希望されるときは、箔１０は
過多の鍍金溶液の同伴を防ぐたぬ、タンク５２を出る以
前に、列装された複数のノズルを通過せしめられる。ゆ
すぎステーション６４は流体例えば水を、箔表面上に吹
きつげて、該表面上の遊離粒子を除去しそして電解溶液
３８．５４によって残された望ましくない化学薬品を流
除する。この地点にゆすぎステーションを組込むことは
、爾後の処理浴の汚染を防ぐ観点からも望ましいことで
ある。ゆすぎステーション６４は後にさらに詳細に説明
されよう、 本発明を説明するため、以下実施例を開示する。

例　　Ｉ ロール巻きされた状態の銅箔Ｃ１１０００のストリップ
は、先ず、６０℃の３４　ＮａＯＨ水溶液中で洗浄され
た。洗浄とゆすぎの後、０．２μｍの厚さを存する銅ス
トライク層が、１０　ｍｉ”の電流密度と６０秒の析出
時間とを用いて、２０９／１の銅と４５ｆｉ／ｌのＨ２
ＳＯ，とを含む電解液から析出された。鍍金処理は、陰
極゛としての箔と、ｐｂ　−６１ｓｂ陽極とを有する電
気化学容器（セル）内で行われた。Ｗ金後、約１．０μ
ｍの厚さを有する均等の実質的に欠陥の無い樹枝状組織
層が、鍍金工程に用いられたそれらと同じ電解液と同じ
容器とを用いて形成された。樹枝状処理の間、１００　
ｍＡ／ｃＩｔＬ２の電流密度が約８秒間供給された。

上記技術に従って処理された箔は、金箔表面積の１優以
下に線域を有したに過ぎない。これと比較して、市販処
理箔は、金箔表面積の１０チ以上に線域な有した。この
市販処理箔の線域は、全体的に、幅２〜５μｍ１長さ２
５〜６００μｍの、光沢のある、樹枝状晶の無い、縞の
形になっている。

例　　■ ロール巻きにされた状態の、約０．０６１／ｃｒｎ２（
２オンス／ｉ’ｔ”）の鋼合金Ｃ’１１０００箔サンプ
ルが、６０℃の１０　％　ＮａＯＨを含むアルカリ性水
溶液中に浸漬された。黒い酸化物層が、２０　ｍＪＪｃ
ｍ”の電流密度を有する陽極電流を６０秒間供給するこ
とによって箔に形成された。

次いで箔は前記酸化物層を新しく析出された銅に変える
ため、５秒間、散性溶液中に浸漬された、該酸性溶液は
室温であり、２０ｆ；！／ｌの銅濃度と、４５１／１１
の硫酸濃度とを有した。該酸性溶液中における浸漬の後
、樹枝状組織が、箔を同じ酸性溶液中に浸漬し、そして
約２０Ｈｚの周波数を育する変動鍍金電流を９秒間供給
することによって箔表面に形成された。該鍍金電流は、
２４０ｍＡ／３２のピーク電流密度と、４０ｍνｈ２の
最小電流密度とを有する５０％衝撃サイクルを有した。

処理された箔は、無鍍金スポットまたは縞を殆んど、ま
たは、全く有せず、実質的に均等に鍍金されていること
が判明した。

例　　■ 約０．０６　ｊｉ／ｃｒｎ２（２オンス／ｒｔ２）の銅
合金ｃ１１０００箔サンプルが、４５℃の３０壬ＮａＯ
Ｈを含むアルカリ水溶液中に浸漬された。−４０ｍＡ／
′ｃｒｎ”の電流密度を有する陽極電流が箔に３０秒間
供給された。黒ずんだ酸化物層が箔表面に形成された。

次いで、箔は例■において用いられたそれと同じ酸性溶
液中に５秒間浸漬されそして例■の場合と同じ樹枝状処
理を施された。このように処理された箔は、やはり、鍍
金層において均等性を有し、そして鍍金欠陥は実質的に
存在しなかった。採点及び無鍍金区域は、金箔表面積の
１条以下であつた。

箔１０に施されることが望ましい最終処理は、変色防止
処理である。変色防止処理は、樹枝状銅面は大気腐蝕を
非常に受は易いから必要とされる。

生産径縮れた状態に放置されると、樹枝状銅面は数分間
で黒変する。たとえ直ちに乾燥されたとしても、樹枝状
銅箔は数日で変色する。かくのごとき変色は、表面に酸
化物層が形成される結果である。この表面酸化物層は急
速に拡大する。その理由は、樹枝軟銅の表面積が大きい
ことと、新たに鍍金された金属の化学的活性が高いこと
に在る。

変色防止処理タンク６６内において、箔１０は変色を防
ぐ薄膜のコーティングを施される。タンク６６内の変色
防止溶液は、市販の多くの溶液の任意のもの、例えばク
ロム酸溶液でよい。変色防止溶液は、室温より少し高い
温度から約８０℃までの範囲内で高温度に保たれること
が、良好な変色防止効果を得るために望ましい。このた
め、タンク６６は好適な温度維持制御装置（図示せず）
を設げられる。使用される温度維持・制御装置（図示せ
ず）を設けられる。使用される温度維持・制御装置は、
当業界に知られている任意の好適な温度維持・制御装置
を以て構成され得る。

変色防止処理が施されたのち、箔１０はゆすぎステーシ
ョン６８を通過せしめられる。ゆすぎステーション６８
は、その構造において、ゆすぎステーション３４．６４
と同じである。

各ゆすぎステーションの構成は、次のことを考慮に入れ
ることが望ましいことが判明した、ゆすぎステーション
において箔は、その脆弱性の故に、箔がその上に沿って
通る相隣ローラ間の間隔を短くすることによって接近支
持されることを要する。

後続されるゆすぎが、スプレーに代えて使用される。か
くのごとき考慮を適用して各ゆすぎステーション３４．
６４．６８は好ましくは、箔１０の両側上に流体を霧吹
きするように箔の外縁に沿って複数のスプレーノズル（
図示せず）を配列される。スプレーノズルは、任意の好
適な相関位置を以て配列され且つ任意の望まれるノズル
形式を有し得るが、スプレーノズルは箔１００対向両側
に相隣方型ノズルの複数列として配置されることが推奨
される。

処理された箔が巻取リール（図示せず）が巻取られる前
に、箔は乾燥される。使用され得る多数の乾燥方法が当
業界に知られている。そのような方法の一つは、高温空
気トンネル乾燥段階が後続する水吹きとばし段階を設け
ることである。使用され得るもう一つの方法は、液相並
びに気相脱水のために加熱吹きとばし空気を用いること
である。

この後者の方法においては、高温空気は、箔がラインに
おいてドラムローラ上に存るときに箔に対して指向され
る。さらにもう一つの方法においては、少なくとも１個
の内部加熱されたドラムローラまたは赤外線加熱装置が
箔を芝燥するため使用される。乾燥ステーション７０は
これら乾燥方法の何れをも採用し得る。

本発明の処理が完了されたのち、処理された箔１０は、
基板材料例えば樹脂またはその他重合体材料忙対して積
層され得る。当業界に知られている任意の好適な技術及
び／または接着剤が使用され得る、 すぐれた品質の処理箔を一貫して不変に生産するために
は、三つのことが必要であると考えられる。第１に、各
処理タンク内の溶液は、処理箔の品質に不利に作用する
望ましからざる粒子、化学的不純物及び残留グリース並
びにオイルを除去するため連続的に調節されなくてはな
らない。第２に、処理温度は実質的に一定の値に維持さ
れなくてはならない。第３に、各溶液中の化学薬品濃度
は実質的に一定のレベルに維持されなくてはならない。

この目的のため、複式濾過装置と溶液補充装置が処理タ
ンク１４．４０．５２．６６のおのおのに装備される。

次に第２図を参照すると、各タンクは浴ｇ調節ループ７
２をそれに組み合わされている。この溶液調節ループは
、各処理タンクに装備される複式濾過装置の一行程を構
成する、各溶液調節ループＴ２は、処理タンクから溶液
を回収し、そして処理タンクへ溶液を復命させるため半
導体７４と８０と、これら導管を通じて溶液を循環させ
るポンプ７６と、溶液を調節するフィルタ７８とを含む
。溶液調節ループ７２を通じて溶液を各タンクから連続
的に回収してそれを調節することが推奨されるが、特定
時点に回収される溶液の量を制御するため適当な弁装置
（図示せず）が前記ループ７２に組込まれ得る。前記ポ
ンプ及び弁装置は当業界に知られている任意の好適なポ
ンプ及び弁装置を以て構成され得る。

フィルタ７８は、主として、懸遊するまたは懸遊してい
ない、粒状またはその仙の不純物を溶液から除去するた
め使用される。成る状況においては、フィルタ７８は先
行の浴溶液から同伴されるまたは大気から侵入する有機
汚染物を除去し得ることも望ましい。これら物質を溶液
から除去し得る、当業界に知られる任意のフィルタが使
用され得るが、市販のポリプロピレン・カートリッジ型
のフィルタを該フィルタ７８として用いることが推奨さ
れる。

濾過を促進するため、または所望の温度の溶液を処理タ
ンクへ送り返すため、回収溶液の温度を変えることが必
要とされる場合は、熱交換器８２が溶液調節ループ７２
に組込まれる。当業界に知られている任意の好適な在来
の熱交換器が採用され得る。

本システムの複式濾過装置の第１の行程は、各処理溶液
から表面不純物及び汚染物を除去する手段を含む、この
目的のため、各処理タンクは浮動除滓器８１を設けられ
る。当業界において知られる任意の好適な除滓装置が表
面不純物及び汚染物を除去するのに使用され得る。除滓
器８１排出口は、表面不純物及び汚染物を移転するため
の任意の好適な装置に結合される。例えば、除滓器８１
の排出口は、適切な導管及び弁によって調節ループ７６
の吸込側に接続され得る。そのような構成を設けること
によって、表面除滓器によって移転される溶液は、フィ
ルタ７日を通されて導管８０によってタンクへ戻され得
る。

除滓器８１に加えて、または代えて、タンクから所望液
位を越える溶液を移転する溶液オーバーフロー装置が、
各処理タンクから表面不純物または汚染物を除去するの
に使用され得る。溶液オーバーフロー装置は、所望液位
を越える溶液と表面不純物及び汚染物とを移転するため
半導体、ポンプ、弁及びフィルタから成る任意の好適な
システムを以て成り得る。−推奨実施例において、溶液
オーバーフロー装置は、各処理タンクと組合わされる溶
液補充／濾過ループの一部を形成する。各溶液調節ルー
プ７２を構成する要素は木質的に同じであるが、各処理
タンクのための溶液補充／濾過ループを構成する要素は
異なる。かくのごとき相異は、溶液補充／濾過の間に遭
遇される溶液の種々の組成及び／さまざまの不純物及び
汚染物のごとき、各処理溶液に関連するさまざまの異な
る要求を反映するものである。

苛性洗浄溶液のための溶液補充／濾過ループ８４ば、好
ましくは、オフ・ライン溶液調！０／保持タンク８６と
、タンク１４から汚染／または消耗溶液を回収しそして
タンク１４へ新鮮な洗浄溶液を供給するため半導体系統
８８とを含む。オフ・ライン溶液調製／保持タンク８６
は、所望の洗浄溶液を調製するのに必要な化学薬品がそ
れを通じて導入される１個または複数の吸込口９０．９
２を有する。必要とされるならば、タンク８６は、化学
薬品を混合するための攪拌器９４と、所望温度の新鮮な
洗浄溶液を提供するための加熱／冷却装置（図示せず）
とを設げられる。攪拌器９４及び加熱冷却装置は、当業
界において知られる任意の好適な攪拌及び加熱／冷却装
置を以て構成され得る。

導管系統８８は好ましくはポンプ９６と１個または複数
個の弁９８とを有する。弁９８は溶液をバッチとして回
収しそしてそれを戻すために用いられる。これら弁は、
洗浄溶液１６の感知された状態に反応して自動的にまた
は手動的に作動され得る。例えば、溶液１６は、操作者
が溶液の表面に非乳化オイルを肉眼で認めるとき、タン
ク内に存在する箔が濡れていない状態を示すとき、及び
／または処理済み箔上に相多数の鍍金欠除区域または斑
点が発見されると永、タンク１４から回収される。希望
される場合は、弁９８はタンク１４からの溶液１６の連
続的回収と、タンク１４への新鮮な溶液１６の連続的流
入とを許すように省除されるか、または、制御され得る
。既述のごとく、溶液の連続的回収は、表面不純物及び
汚染物の除去を行なうのに用いられる。

タンク４０．５２内の溶液３８．５４の処理に関連して
、単一の溶液補充／濾過ループ１００が両溶液を処理す
るのに用いられる。このことは、それらが同じ化学組成
を有するから可能である。

ループ１００は、タンク４０．５２から溶液を回収しそ
してそれらへ新鮮な溶液を供給するため半導体系統１０
４と、再調節さるべき回収／消耗溶液を受取るためのオ
フ・ライン・タンク１０２とを有する。受領／再調節用
のオフ・ライン・タンク１０２に加えて、前記ループ１
００は、処理タンクへ供給さるべき再調節溶液を貯える
ためのオフ・ライン溶液保持タンク１１６を有する。導
管系統１０４は、好ましくは、１個または複数のポンプ
１０６と、導管系統１０４を構成する各導管と組合わさ
れた複数の弁１０８とを有する。これらボンゾ及び弁は
当業界に知られている任意の在来のポンプ及び弁を以て
構成され得る。

処理タンク４０または５２からの溶液を再調節するため
、回収及び／または消耗溶液は入口１１０を通じてタン
ク１０２建入る。硫酸銅−硫酸溶液が処理溶液３８．５
４として用いられるときは、溶液再調節問題は銅及び硫
酸濃度の回復に集中する。銅ストライク及び樹枝状処理
の間、溶液３８゜５４の銅濃度は減じる。これは、銅が
箔１０上に鍍金即ち析出されるため該溶液から移転され
ることに起因する。これと同時に、溶液の硫酸濃度は、
浴溶液の電解によって硫酸が生成されるから増加する。

回収溶液中の銅及び硫酸の濃度は、溶液が再使朋され得
るように望ましい濃度レベルに回復されなくてはならな
い。一般に、銅及び硫酸濃度を所望レベルに回復するの
に゛用いられる技術は二つあり、これらは、消耗／回収
溶液に銅塩を添加することによる銅価の補充または金属
銅の消費による銅価の補充である。小型システムにおい
ては銅価を補充するのに推奨される方法は、銅塩を使用
することである。

銅濃度及び硫酸濃度は、タンク１０２内の回収溶液中に
おいて銅または銅塩例えば酸化第２銅または炭酸第２銅
を溶解することによって所望レベルへ回復され得る。銅
塩は好ましくは入口１１２を通じてタンク１０２へ供給
され゛る。回収／消耗溶液中への塩の溶解は、電解によ
って生成される硫酸とともに硫酸銅を形成することによ
って硫酸の一部分を中和し始める。硫酸銅の形成は硫酸
濃度を所望レベルに復し、そして箔に鍍金即ち析出され
得る新鮮な銅価な有午る溶液を提供する。この技術の利
点は、濾過作用を通じて不溶性化合物として酸価な除去
する必要が無いことである。

攪拌器９１がタンク１０２内の材料を混合するためにタ
ンク１０２内に設けられる。必要とされるならば、加熱
／冷却ループ（図示せず）もタンク１０２内に設けられ
る。攪拌器と加熱／冷却ループは、当業界に知られてい
る任意の在来の攪拌器と加熱／冷却ループを以て成り得
る。

−推奨実施例において、複数のフィルタ１２０゜１２１
がループ１００に組込まれる。フィルタ１２０、ｆ２１
は、おそらく回収溶液中に存在し且つ／または再調節過
程間に再調節溶液に侵入するかもしれない望ましからざ
る化学薬品、有機弘グリース、オイル及び粒子の如き汚
染物を除去するのに用いられる。当業界に知られている
任意の好適なフィルタが前記フィルタ１２０，１２１と
して採用され得るが、フィルタ１２１としては水平板フ
ィルタを、そしてフィルタ１２０としてはポリプロピレ
ン中カートリッジ型フィルタをそれぞれ使用することが
推奨される。炭素含有物質、例えば溶液の浄化のため意
図的に添加された活性炭素、を消耗／回収溶液から除去
することを授けるために、濾過補助剤、例えば珪藻土、
がタンク１０２内に投入され得る。希望されるならば、
濾過補助スラリー調製タンク１０３も設げられ得る。

溶液３８．５４が鍍金を補助するため界面活性剤、例え
ば硫酸ラウロイルまたはスルホコノ・り酸ジヘキシルナ
トリウム、であって補充される必要のあるものを含む場
合は、ループ１００は、タンク４０．５２へ戻される溶
液へ界面活性剤を添加するための適当な装置を設けられ
る。例えば、ループ１００は界面活性剤供給タンク１１
９、ポンプ１０６及び適当な導管を設けられる。

処理タンク４０または５４内の溶液はバッチ式または連
続式の何れかで回収される。パッチ式で移転されるとき
は、移転は溶液の感知された状態に反応して行なわれる
。例えば、溶液は、その定性的分析が銅濃度が成るパー
センテージ減じたことを示すとき回収される。処理タン
ク４０．５２内の溶液の連続回収は溶液表面に浮遊して
いる表夏汚染陶例えばグリース、オイルなどを除去する
のに用いられ得る。前述されたごとく、溶液の連続移転
が表面汚染物を除去するために用いられるトキ、オーバ
ーフロー装置例えば溶液オーバーフロー瞥（図示せず）
がループ１００に組込まれ得る。

変色防止処理タンク６６と組合わされる溶液補充／濾過
ループ１２２は、オフ・ライン溶液調１！！！／保持タ
ンク１２４と、処理タンク６６から消耗溶液を回収しそ
してそれから新鮮な溶液を供給するため半導体系統１２
６とを含む。タンク１２４は、変色防止溶液を補充する
のに必要とされる化学薬品がそれを通じてタンク１２４
内へ導入される１個または複数個の入口１２８を有する
。タンク１２４は化学薬品をたがいに混合するための攪
拌器１３０と、所望温度の新鮮な溶液を供給するための
加熱／冷却ループとを設けられる。攪拌器及び加熱／冷
却ループは、当業界において知られる任意の在来の攪拌
器及び加熱／冷却ループを以て成り得る。

導管系統１２６は好ましくはボンデ１３２と１個または
複数個の弁１３６とを含む。弁は例えば溶液中のクロム
酸塩イオン濃度のごとき溶液の感知された状態に反応し
てバッチ方式で処理タンク６６から消耗溶液を回収しそ
して処理タンク６６へ新鮮な溶液を供給するように作動
される。弁１３６は自動的にまたは手動的に作動される
。希望されるならば、弁１３６は処理タンク６６から溶
液を実質的に連続的に回収しそしてそれを新鮮な溶液と
置換するように作動される。連続溶液回収／供給システ
ムが採用されるときは、処理タンク６６は、好ましくは
、表面汚染物を除去するためオーバーフロー管のごとき
オーバーフロー装置を設けられる。必要とされるならば
、フィルタ１３４が導管系統１２６に組込まれ得る。フ
ィルタ１３４は処理タンク６６へ供給される溶液から粒
状物例えばちり、大気塵、グリース及び／またはオイル
を除去し得るものであるべきである。そのような汚染物
及び不純物を除去する当業界に知られている任意の好適
なフィルタが前記フィルタ１３４として使用され得る。

遊離粒子を除去するとともに望ましからざる化学的汚染
物を流除するためゆすぎステーション３４．６４．６８
によって箔１０に対し任意の好適な流体が吹きつげられ
るが、脱イオン化された水を用いることが推奨される。

この目的のため、第２図に示される金属処理システムは
、脱イオン水給源１３８と、該水を各ゆすぎステーショ
ンへ移転しそして回収するため半導体系統とを設けられ
る。希望されるならば、各ゆすぎステーションは水循環
ループ１４０を組込まれ得る。各水循環ループ１４０は
、好ましくは、ゆすぎステーションから水を回収しそし
て該ゆすぎステーションへ水を供給するためサージタン
クまたは水溜め１４２）ポンプ１４４、及び導管１４６
を含む。必要とされるならば、給源１３８からの脱イオ
ン水は、新鮮な溶液の調製を支援するため釦、オフ・ラ
イン溶液調製タンク８６．１０２及び／または１２４（
２１個または数個へ給送され得る。給源１３８からタン
ク８６，１０２及びまたは１２４へ水を給送するため適
当な導管が設けられる。

次に第６図を参照すると、電着金属箔を形成するための
システム２００が図示されている。システム２００は、
電解溶液２０４、陽極２０６及び陰極２０８を含むタン
ク２０２を有する。陽極２０６と陰極２０８は任意の所
望の方式で電源２１０と電気的に接続される。電源２１
０は、例えばＤＣ電力供給装置の如き当業界に知られる
任意の好適な電力供給装置を以て成り得る。陰極２０８
は好ましくは少なくとも部分的に電解溶液中に浸漬され
る比較的なめらかな鍍金面２１２を有する回転ドラムを
以て成る。陽極２０６は好ましくは弧形を有しそしてそ
れがドラム聾の陰極２０８の回転軸線に対して実質的に
同心になるよ５にタンク２０２内に据付けられる。これ
に加えて、陽極２０６は好ましくは、電解溶液２０４が
それを通じてポンプ２１４によってマニホルド２１６内
に送られ次いで陽極と陰極との間のギャップ２１８内に
送られる中央多孔区域を有する。

電解溶液２０４は一般に陰標鍍金面２１２上に鍍金され
るように成る濃度の金属イオンを含む酸性溶液を以て成
る。電着鍍金箔を形成するため、溶液２０４は硫酸銅−
硫酸溶液を以て成ることが好ましい。

運転間、陰極２０８は所望速度で回転され、そして好適
な電流密度を有する電流が陰極２０８と陽極２０６との
間に供給される。電解液は、マニホルド２１６を通じて
上方へ循環されて電極間のギャップ２１８内へ進入し、
そして陽極２０６の縁を越えてタンク２０２内へこぼれ
ることを許される。鍍金面２１２が電解液中に浸漬され
おり、そして電流が供給されている間に、金属がその表
面に析出される。金属析出物は、一般に金属箔２２０の
、比較的薄く、そして比較的なめらかな、連続したスト
リップの形を取る。Ｍ全面２１２が電解液から出現した
のち、金属箔は鍍金面２１２から移転または剥離される
。当業界に知られている任意の好適な装置２２２が箔を
鍍金面から移転するのに用いられる。例えば、金属箔は
デルダスの米国特許第２８６５８３０号及びクランシー
の米国特許第３４６１０４６号に示される剥離装置の一
つを用いて移転される。

既述されたように、すぐれた品質の電着箔を一買して不
変に製造することに対する主要な妨害の一つは、電解溶
液２０４中の不純物の存在である。

望ましからざる不純物を除去するため、複式溶液濾過シ
ステムが処理タンク２０２と組合わされる。

該複式溶液濾過システムは、溶液から主として粒状物を
除去するための＃液調節ループ２２４と、溶液から表面
汚染物を除去する装置とを含む。

溶液調節ループ２２４は、好ましくは、タンク２０２か
ら溶液を回収するため半導体２２８と、ポンプ２３０と
、フィルタ２３２と、溶液をタンク２０２へ戻すための
戻し導管２３４とを含む。

溶液温度が、濾過過程を助けるため及び／または特定温
度の溶液をタンク２０２へ戻すため修正を要する場合は
、熱交換器２３６が前記ループ２２４に組込まれる。熱
交換器２３６は当業界に知られる任意の好適な熱交換器
を以て成り得る。フィルタ２３２は粒状物、例えば大気
からの有機塵及びその他の望ましからざる不純物、を除
去するため知られている任意の好適なフィルタを以て成
り得る。カートリッジをのフィルタ、例えばポリプロピ
レンφカートリッジ型フィルタ、は前記のごとき調節ル
ープにおいて特に有効であると考えられる。

表面汚染物及び／または不純物例えばグリース及びオイ
ルを除去するため、タンク２０２は電解溶液２０４０表
面上で浮動する除滓器２３８を設けられる。前と同じよ
うに、該除滓器は当業界に知られる任意の好適な除滓器
を以て成り得る。その排出口は、除滓器２３８によって
タンク２０２から移転される溶液がフィルタ２３２を通
るように、ポンプ２３０の吸込側に接続される。

除滓器２３８に代えて、または加えて、表面不純物及び
／または汚染物は、電解溶液が、連続的にタンク２０２
から回収されそして溶液補充／濾過ループ２２６を通さ
れることによって除去され得る。該溶液補充／濾過ルー
フ″２２６は、好ましくは、導管系統２４０、これら導
管を通じて溶液を循環させるためのポンプ２４２）フィ
ルタ２４４及びオフ・ライン溶液補充／保持タンク２４
６とを含む。表ｆ不純物を除去するため、導管系統２４
０は所望液位を越える溶液を移転するためのオーバーフ
ロー管を含み得る。当業界において知られる任意の好適
な技術が、回収／消耗溶液中の金属価を補充するのに使
用され得る。例えば、当業界において知られる任意の好
適な元素温浸装置２４８例えばスクラップ・ワイヤー温
浸装置が、硫酸銅−硫酸電解溶液中の銅価を補充するの
に使用され得る。フィルタ２４４は、当業界において知
られる任意の好適なフィルタ例えば、一般的に、回収さ
れた電解溶液及、び使用される特定の補充技術と組合わ
される不純物及び／または汚染物を除去し得るカートリ
ッジ型フィルタを以て構成され得る。

もし希望されるならば、前記ループ２２６は熱交換器２
５０をも含み得る、該熱交換器は、当業界において知ら
れる任意の好適な熱交換器を以て成り得、そして所望温
度の溶液を提供するため、または、溶液の濾過を助ける
ため使用され得る。

電着箔を製造するシステムが第３図において説明された
が、該システム２００によって製造される箔は、その他
の処理を施され得ることが理解さるべきである。例えば
、該第はそれがタンク２０２を離れた後、変色防止処理
を施され得る。代替的に、電着箔は第１図に示される諸
処理を施され得る。

すぐれた品質の箔の製造にとって重要であることが判明
したもう一つの考慮事項は、加工処理間の箔の取扱いに
関係を有する。加工処理間、箔１０は複数のローラを越
遇しそしてそれらと接着する。これらローラは、比較的
薄くそして弱い箔１０を傷けることを防ぐため注意深く
整合されなくてはならない。本発明のシステムは、箔が
正確にシステムを通ることを可能にする望ましい態様に
前記ローラ及び各ローラの回転軸線をセットし得る整合
システム１５０を組込まれた。

次に第４図を参照すると、整合システム１５０は加工処
理ラインまたはシステムを通る箔の運動の方向１５１に
対し平行する光のビーム１５２を追跡することと、ロー
ラを整合する基準として光学的にセットされた方形及び
平行定規を用いることとによってローラの整合を行なう
。整合システム１５０は、特定加工または処理ラインの
全長に亘って延びる水平軌道光学ベンチ１５４のごとき
基準フレームを有する。該フレーム即ちベンチ１５４は
、箔運動方向に対して平行の長手方向軸線を有する。ベ
ンチ１５４には、その全長に沿って自在に運動するトロ
リ１５６が装架されている。

トロリ１５６はベンチ１５４に沿って運動することを許
す複数のローラ１５８またはそれらと同等の装置を設け
られいる。

基準ビーム１５２はレーデ−ビーム発生器１６０のごと
き光源をトロリ１５６に任意の好適な方法で取付けるこ
とによって形成される。レーデ−ビーム発生器１６０は
、基準ビーム１５２が加工及び／または処理タンクを通
じて′箔運動方向に対し平行に形成されるようにトロリ
１５６に取付げられる。レーデ−ビーム発生器１６０は
当業界に知られている任意の好適なレーデ−ビーム発生
器例；ｔ　ハ１　ｍ　Ｗヘリウム−ネオン赤色レーデ−
ビーム発生器を以て構成され得る。

レーデ−ビーム発生器に加えて、ビーム分割器１６２が
トロリ１５６に取付けられる。ビーム分割器１６２は、
好ましくはレーデ−ビーム発生器１６０によって生じる
元のビームの第１の部分１６４を、ベンチ１５４の長手
方向軸線に対し９０°の角度で方向変換し、一方、前記
ビーム発生器１６０によって生じる元ビームの第２の部
分の通過を許して基本ビーム１５２を形成させるための
光学装置から成る。ビーム分割器は任意の好適な方法で
トロリ１５８に取付げられる。

元ビームの方向変換された第２の部分１６４＆”Ｌロー
ラのおのおのを２個の平面に整合するのに用いられる。

ローラ整合ビームの発生は、ビーム分割器１６６と反射
鏡１６８を、トロリ１５６に取付げられたアーム１１０
に装架することによって行なわれる。アーム１７０は、
それがベンチ１５４の長手方向軸線に対し直角になるよ
うにトロリ１５６に取付けられる。ビーム分割器１６６
と反射鏡１６８は好ましくはそれらがフレームに清って
摺動することを可能にする態様でアーム１７０に架装さ
れる。当業界に知られている任意の好適な摺動装置１７
２，１７４が、ビーム分割器１６６と反射鏡１６８とを
アーム１７０に架装するのに使用され得る。

ビーム分割器１６６は、ビーム１６４を２個の部分１７
６．１７８に分割する。当業界に知られる任意の好適な
光学装置例えば半水銀張りの反射鏡が、ビーム１６４を
２個の所望部分に分割するのに使用され得る。第１のビ
ーム部分１７６は、基準ビーム１５２に対して平行に延
び、モしてローラの側壁を基準ビームに平行の平面に整
合するのに用いられる。第４図は側壁１８４をビーム１
７６によって整合された複数のローラ１８０゜１８２を
図示する。

第２のビーム部分１７８は、各ローラの回転軸線を整合
するのに用いられる。これは、ビーム１７８を垂直方向
１８５に転向させることによって為される。好ましくは
、反射鏡１６８のごとき光学装置がビーム１７８を転向
させるのに用いられる。転向されたビーム１８５は、次
いでローラの軸１９０上の一連の目標１８８上に集中さ
れる。

各ローラの両側の目標を整合させることによって、各ロ
ーラの回転軸線は基準ビーム１５２に対して直角に整合
され得る。

ト（２１Ｊ　１５６の設置は、各ローラが各個に整合さ
れることを可能にする。同様に、ビーム分割器１６６及
び反射鏡１６８のための摺動装置の設置は、各ローラの
両側の整合を可能にする。

前記光学整合システムは、水平基準フレームを有するも
のとして説明されたが、箔の運動方向に対し平行の方向
に整合された複数のスタンドが、ベンチ１５４に代えて
用いられ得る。そのような装置を使用するときは、トロ
リ１５６は、レーデ−Ｗ−ム発生器及び光学整合装置を
各スタンドに取付けるための任意の好適な支持装置によ
って代替され得る。

以上の説明において、すぐれた品質の金属箔を製造する
システムが説明された。このシステムを用いることによ
って、打込銅印刷回路箔において従来得られるそれらよ
りも良好且つ再生産可能の特性を有する処理箔が提供さ
れた。

本発明の苗処理システムは樹枝状処理の後に変色防止処
理を行なうものとして説明されたが、適当なオフ・ライ
ン支持手段を備えた追加の非銅金属電看過程も、樹枝状
処理過程と変色防止物質添着過程との間に設けられ得る
。

タンク３８及び５４内の溶液３８及び５４を処理するた
め単一の溶液補光／濾過ループ１００が第２図に図示さ
れたが、該処理タンクのおのおのは、もし希望されるな
らば、各個の溶液補充／濾過ループを配設され得る。

本発明は、箔１０の単一表面に処理を施すことに関連し
て説明されたが、もし希望されるならば、複数の表面に
処理を施すことも可能である。複数表面を処理するとき
は、個々の電気化学容器（セル）は、箔の複数の側に複
数の陽極を配設されなくてはならない。

前述のごとく、本発明の技術は、単に銅箔及び銅合金箔
を処理することだけに止どまらず、それ以上の大きな応
用性を有する。本発明な鋼また鋼合金材料以外の他の金
属または金属合金に対して応用するときは、さまざまの
運転パラメータ、例えば電解溶液濃度、電解溶液中の金
属濃度、電解溶液温度、供給電流密度及び析出時間即ち
浸漬時間、はそれに応じて調整されなくてはならない。

本発明に従って電気鍍金された及び／または、処理され
た金属箔を製造するシステムであって冒頭に説明された
鎖目的、諸手段及び諸利益を完全に満足させるものが提
供されたことは明らかである。本発明はいくつかのその
特定実施例に関連して説明されたが、多くの改変、修正
及び変更が、前述説明に照らして、轟業者（よって考え
られることは明らかである。従って、特許請求の範囲の
精神並びに一般的範囲内に入る全てのそのような改変、
修正及び変更を包含することが意図される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、金属箔を処理するための本発明に依るシステ
ムの概略図；第２図は第１図に示された処理タンクと結
合されるオフφライン処理タンク、溶液補充／濾過ルー
プ及び溶液調節ループとを示す概略図；第３図は電着箔
を生産するための本発明に依るシステムの概略図；第４
図は第１図のシステム及び第３図のシステムに使用され
るレーデ−整合システムの斜視図；第５図は処理金属箔
を形成するための一代替装置の概略図である。 図面において、１０は「箔Ｊ　；２０．　２２゜２４．
２６．２８．４２，４４は「ローラ」　；１４．４０．
５２．６６．２０２は「処理タンク」；１６．３８．５
４，２０４は「溶液に８１゜２３８は「除滓器Ｊ　ニア
２，２２４は「溶液調節ループ」を示す。

Claims (24)

【特許請求の範囲】
1. （１）すぐれた品質の金属または金属合金の箔（１０）
   を製造するシステムにおいて：溶液（１６、３８、５４
   、２０４）を収容する少なくとも１個の処理タンク（１
   ４、４０、５２、６６、２０２）と；前記溶液の表面に
   浮いている不純物を除去する第１の装置（８１、２３８
   ）と；前記少なくとも１個の処理タンクから溶液を回収
   しそして前記回収溶液から粒状物を除去する第２の装置
   （７２、２２４）とを有することを特徴とする、前記箔
   を製造するシステム。
2. （２）特許請求の範囲第１項記載のシステムにおいて：
   前記第２の装置が、各前記処理タンクと結合された溶液
   調節ループ（７２、２２４）を有し、該溶液調節ループ
   が、各前記結合された処理タンクから前記溶液を回収し
   そして該処理タンクへ新鮮な溶液を戻すための導管装置
   （７４、８０、２２８、２３４）と、前記ループを通し
   て前記溶液を循環させるポンプ（７６、２３０）と、前
   記粒状物を除去するための第１の濾過装置（７８、２３
   ２）とを有することを特徴とする、前記箔を製造するシ
   ステム。
3. （３）特許請求の範囲第２項記載のシステムにおいて：
   前記第１の装置が前記表面不純物を除去するため前記溶
   液の表面を除滓する装置（８１、２３８）を有し；前記
   表面除滓装置が、前記除滓された溶液が前記第１の濾過
   装置（７８、２３２）を通過するように、前記溶液調節
   ループの前記ポンプ（７６、２３０）に結合されている
   ことを特徴とする、前記箔を製造するシステム。
4. （４）特許請求の範囲第２項記載のシステムにおいて：
   前記第１の装置が前記各処理タンクと結合された溶液濾
   過ループ（８４、１００、１２２、２２６）を有し；前
   記各溶液濾過ループが、所望液位以上の溶液を前記結合
   された処理タンクから回収しそして新鮮な溶液を各前記
   結合された処理タンクへ戻すための導管系統（８８、１
   ０４、１２６、２４０）と、前記溶液を前記導管系統を
   通らせて循環させるためのポンプ（９６、１０６、１３
   ２、２４２）と、前記回収された溶液から前記表面不純
   物を除去するための第２の濾過装置（１２０、１２１、
   １３４、２４４）とを含み；前記溶液濾過ループが前記
   溶液調節ループから独立していることを特徴とする、前
   記箔を製造するシステム。
5. （５）特許請求の範囲第４項記載のシステムにおいて：
   前記溶液濾過ループが、さらに、前記回収された溶液を
   補充するための装置（８６、１０２、１１６、１２４、
   ２４６）を有し；前記溶液補充装置が、前記回収された
   溶液を受取りそして前記回収された溶液に補充材料を加
   給するための入口装置（９０、９２、１１０、１１２、
   １２８）を有するオフ・ライン溶液調製タンク（８６、
   １０２、１１６、１２４、２４６）を含むことを特徴と
   する、前記箔を製造するシステム。
6. （６）特許請求の範囲第１項記載のシステムにおいて；
   前記金属または金属合金の箔の積層接着性を増進させる
   装置を有し；前記積層接着性増進装置が前記箔が通過す
   る複数の処理タンク（１６、４０、５２、６６、３１８
   、３２４）を含み；前記積層接着性増進装置が、さらに
   、前記箔の少なくとも一つの表面に複数の樹枝状組織を
   電気的に析出してそれらを固着させる装置（５２、５４
   、５５）を有することを特徴とする、前記箔を製造する
   システム。
7. （７）特許請求の範囲第６項記載のシステムにおいて；
   前記積層接着性増進装置が、さらに、前記樹枝状組織の
   形成に先だって前記少なくとも一つの箔表面に新鮮な金
   属層を形成する装置（３８、４０、４８、５０、３１２
   、３１４、３１６、３１８、３２２、３２４）を有し；
   前記新鮮な金属層が前記少なくとも一つの箔表面を、前
   記樹枝状処理に対して、より一様に電気化学的に活性化
   しそしてより受容的にさせることを特徴とする、前記箔
   を製造するシステム。
8. （８）特許請求の範囲第７項記載のシステムにおいて；
   前記新鮮金属層形成装置が前記処理タンクの最初の１個
   内に鉱酸溶液（３８）を有し；前記箔が前記鉱酸溶液内
   に少なくとも部分的に浸漬され；そして前記新鮮金属層
   形成装置が、さらに、前記少なくとも部分的に浸漬され
   た箔に陰極電流を供給する装置（５０）を有することを
   特徴とする、前記箔を製造するシステム。
9. （９）特許請求の範囲第７項記載のシステムにおいて；
   前記新鮮金属層形成装置が前記少なくとも一つの箔表面
   に実質的に均等の酸化物層を形成する装置（３１２、３
   １４、３１６）と、前記酸化物層を前記実質的に均等の
   新鮮金属層に転化する装置（３２２）とを有し；前記酸
   化物層形成装置がアルカリ性水溶液（３１２）を収容す
   る前記タンク（３１８）の最初の１個と、前記箔に陽極
   電流を供給する装置（３１４）とを含み；前記転化装置
   が酸性溶液（３２２）を収容する前記タンク（３２４）
   の第２の１個を含むことを特徴とする、前記箔を製造す
   るシステム。
10. （１０）特許請求の範囲第７項記載のシステムにおいて
    ：前記積層接着性増進装置が、さらに、前記新鮮金属層
    の形成に先だって前記箔を洗浄する装置（１６、１８、
    ３０）と、前記樹枝状処理の後に、前記箔に変色防止溶
    液を供給する装置（６６）とを含むことを特徴とする、
    前記箔を製造するシステム。
11. （１１）特許請求の範囲第６項記載のシステムにおいて
    ；前記処理タンク内の複数のローラ（２０、２２、２４
    、２６、２８、４２、４４、５８、６０、１８０、１８
    ２）と；前記システムを通る箔の運動方向に対して横断
    方向の第１の平面と、前記第１の平面に対し直角で且つ
    前記運動方向に対して平行の第２の平面とにおいて前記
    ローラを光学的に整合する装置（１５０）とを有するこ
    とを特徴とする、前記箔を製造するシステム。
12. （１２）特許請求の範囲第４項記載のシステムにおいて
    ；前記金属または金属合金の箔を電解によって形成する
    ための装置（２００）を有することを特徴とする、前記
    箔を製造するシステム。
13. （１３）すぐれた品質の金属または金属合金の箔（１０
    ）を製造する方法において；前記金属の箔を処理または
    生産するための溶液を収容する少なくとも１個の処理タ
    ンク（１４、４０、５２、６６、２０２）を設けること
    と；前記タンクから前記溶液を実質的に連続的に回収し
    そして該回収溶液から粒状物を除去することと；前記溶
    液の表面に浮いている不純物を除去することによって前
    記タンク内の前記溶液の品質をさらに改善することとを
    含むことを特徴とする前記箔を製造する方法。
14. （１４）特許請求の範囲第１３項記載の方法において；
    前記溶液回収・粒状物除去過程が、各前記タンクのため
    の溶液調節ループ（７２、２２４）を設けることを含み
    ；該溶液調節ループが、前記タンクから前記溶液を回収
    しそして前記タンクへ新鮮な溶液を戻すため半導体装置
    （７４、８０、２２８、２３４）と、前記溶液を前記ル
    ープを通して循環させるポンプ（７６、２３０）と、前
    記粒状物を除去する第１の濾過装置（７８、２３２）と
    を有し；そして、前記回収された溶液を、前記溶液調節
    ループを通過させることを含むことを特徴とする、前記
    箔を製造する方法。
15. （１５）特許請求の範囲第１４項記載の方法において；
    前記表面不純物除去過程が、前記溶液の表面を除滓する
    装置（８１、２３８）を設けることを含み；前記表面不
    純物を前記除滓装置によって除去することと；前記除滓
    装置を前記溶液調節ループの前記ポンプに接続すること
    と；そして、前記除滓された溶液を前記第１の濾過装置
    を通過させることを含むことを特徴とする、前記箔を製
    造する方法。
16. （１６）特許請求の範囲第１４項記載の方法において；
    前記表面不純物除去段階が各前記タンクのための前記溶
    液調節ループから独立した溶液濾過ループ（８４、１０
    ０、１２２、２２６）を設けることと、所望液位以上の
    溶液を前記タンクから回収することと、該回収された溶
    液を前記溶液濾過ループを通って循環させることとを含
    むことを特徴とする、前記箔を製造する方法。
17. （１７）特許請求の範囲第１６項記載の方法において：
    前記溶液濾過ループにオフ・ライン溶液補充タンク（８
    ６、１０２、１１６、１２４、２４６）を設けることと
    ；前記回収溶液を前記オフ・ライン・タンクへ循環させ
    ることと；前記オフ・ライン・タンク内の前記溶液に補
    充材料を加給することと；そして、補充溶液を前記タン
    クへ戻すこととを含むことを特徴とする、前記箔を製造
    する方法。
18. （１８）特許請求の範囲第１６項記載の方法において：
    前記金属または金属合金の箔の積層接着性を増進させる
    段階を有し、該段階が第１の処理タンク（５２）内の鉱
    酸溶液（５４）中に前記箔を浸漬することと、前記箔の
    少なくとも一つの面に複数の樹枝状組織を析出させるた
    め前記箔に陰極電流を供給しそして前記樹枝状組織を前
    記箔の少なくとも一つの面に固着させることを含むこと
    を特徴とする、前記箔を製造する方法。
19. （１９）特許請求の範囲第１８項記載の方法において：
    前記樹枝状組織の形成に先だって前記箔の少なくとも一
    つの面に新鮮な金属層を形成することを含むことを特徴
    とする、前記箔を製造する方法。
20. （２０）特許請求の範囲第１９項記載の方法において：
    前記新鮮金属層形成段階が、第２のタンク（４０）内に
    鉱酸溶液（１８）を供給することと、前記タンク内の前
    記溶液中に前記箔を少なくとも部分的に浸漬することと
    ；前記少なくとも部分的に浸漬された箔に陰極電流を供
    給することとを含むことを特徴とする、前記箔を製造す
    る方法。
21. （２１）特許請求の範囲第１９項記載の方法において：
    前記新鮮金属層形成段階が、アルカリ性水溶液（３１２
    ）を収容するタンク（３１８）を設けることと、前記ア
    ルカリ性水溶液中に前記箔を少なくとも部分的に浸漬す
    ることと、前記箔の少なくとも一つの表面に実質的に均
    等の酸化物層を形成するために前記少なくとも部分的に
    浸漬された箔に陽極電流を供給することとを含み；そし
    て、前記新鮮金属層形成段階が、さらに、酸性溶液（３
    ２２）を収容するタンク（３２４）を設けることと、前
    記酸化物層を前記新鮮金属層に転化するため前記酸性溶
    液中に、前記酸化物層付きの前記箔を少なくとも部分的
    に浸漬することとを含むことを特徴とする、前記箔を製
    造する方法。
22. （２２）特許請求の範囲第１９項記載の方法において；
    前記新鮮金属層を形成するのに先だって苛性洗浄溶液（
    １６）中で前記箔を洗浄することと；前記樹枝状組織が
    前記箔に接着されたのち、前記箔に変色防止処理を施す
    こととを含むことを特徴とする、前記箔を製造する方法
    。
23. （２３）特許請求の範囲第２２項記載の方法において；
    複数の処理タンク（１４、４０、５２）を通る前記箔の
    運動の方向に対し横断方向の第１の平面と、前記運動の
    方向に対し平行且つ前記第１の平面に対し直角である第
    ２の平面とに前記複数のタンク内にローラ（２０、２２
    、２４、２６、２８、４２、４４、５８、６０、１８０
    、１８２）を整合することを含むことを特徴とする、前
    記箔を製造する方法。
24. （２４）特許請求の範囲第１６項記載の方法において；
    前記金属または金属合金の箔を電解によって形成するこ
    とを含むことを特徴とする、前記箔を製造する方法。