JPS61118614A - エンコ−ダの製造方法 - Google Patents
エンコ−ダの製造方法Info
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- JPS61118614A JPS61118614A JP59241444A JP24144484A JPS61118614A JP S61118614 A JPS61118614 A JP S61118614A JP 59241444 A JP59241444 A JP 59241444A JP 24144484 A JP24144484 A JP 24144484A JP S61118614 A JPS61118614 A JP S61118614A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/3473—Circular or rotary encoders
Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明け、ロボット、工作機械、レコーダなどにおいて
、計測やフィード・くンク制御の位置検出のために好適
に実施さｎるエンコーダの製造方法に関する。
、計測やフィード・くンク制御の位置検出のために好適
に実施さｎるエンコーダの製造方法に関する。
背景技術
制御機械の回転部品の回転角度などの位置を検出する手
段として、ロータリエンコーダがある。
段として、ロータリエンコーダがある。
六とえはロータリエンコーダの中で光を利用する光電式
ロータリエンコーダには、ノ〜ウジングに固定さね１周
辺部に光を通過するためのスリットを有するフェースプ
レートと、同様にして周辺部に光を通過するためのスリ
ットを有し、前記フェースプレートと同心に相互に角変
位するコードホイールか設けらｎている。コードホイー
ルのスリットが設はられた周辺部に光を投光し、コード
ホイールが接続さｆまた回転検出軸と共番こ回転するこ
とに２って、コードホイールの前記スリットとフェーズ
プレートの前記スリットとか一致して通過する光を受光
し、光電変換された出力電流の変化に基づいて、前記回
転検出軸の回転角度が検出ｇｈる。このような光電式ロ
ータリ式エンコーダでは。
ロータリエンコーダには、ノ〜ウジングに固定さね１周
辺部に光を通過するためのスリットを有するフェースプ
レートと、同様にして周辺部に光を通過するためのスリ
ットを有し、前記フェースプレートと同心に相互に角変
位するコードホイールか設けらｎている。コードホイー
ルのスリットが設はられた周辺部に光を投光し、コード
ホイールが接続さｆまた回転検出軸と共番こ回転するこ
とに２って、コードホイールの前記スリットとフェーズ
プレートの前記スリットとか一致して通過する光を受光
し、光電変換された出力電流の変化に基づいて、前記回
転検出軸の回転角度が検出ｇｈる。このような光電式ロ
ータリ式エンコーダでは。
回転検出軸の回転方向を検出するため、および角度検出
精度を倍にするために１位相が９０°ずｎた位置変化を
示す２つの位置検出信号が導出さ力る。
精度を倍にするために１位相が９０°ずｎた位置変化を
示す２つの位置検出信号が導出さ力る。
このため前記フェーズプレートには２つのスリットが設
けられており、その各スリットを通過する光の光量を検
出して得らｊる信号の位相が９０すねるように配置さね
ている。ところかコードホイールが偏心して回転される
と、その位相差が９０からすね、てしまう。第８図には
この状伸か簡略化して示さ名て論る。フェーズブレー）
ＰＰにけ９０の位相差の信号が得ら力るようにあらかじ
め定めら７また角度θを隔てて一対のスリットＳ１．、
Ｓ２が設けられており、コードホイールＣＷにはフェー
ズプレートＰＰのスリットＳｌ、Ｓ２の配置位置に一致
するようにスリットＳ３．Ｓ４か形成さｊている。しか
しコードホイールＣＷの回転中心Ｃ２がフェーズプレー
トＰＰの中心Ｃ】から距離Ａだけ偏心してず釣ると、コ
ードホイールＣＷのスリットＳ３，８４ｉｊフエーズプ
レー）ＰＰのスリットＳｌ、Ｓ２に一致しなくなる。あ
らかじめ？めらｒた角度θか、この場合角度θ＋２αと
なるため検出される２つの位置検出信号の位相差は９０
°とけならなくなる。この結果１回転検出軸の実際の角
度位置とエンコーダによる検出角度位置とが異なること
番こなる。
けられており、その各スリットを通過する光の光量を検
出して得らｊる信号の位相が９０すねるように配置さね
ている。ところかコードホイールが偏心して回転される
と、その位相差が９０からすね、てしまう。第８図には
この状伸か簡略化して示さ名て論る。フェーズブレー）
ＰＰにけ９０の位相差の信号が得ら力るようにあらかじ
め定めら７また角度θを隔てて一対のスリットＳ１．、
Ｓ２が設けられており、コードホイールＣＷにはフェー
ズプレートＰＰのスリットＳｌ、Ｓ２の配置位置に一致
するようにスリットＳ３．Ｓ４か形成さｊている。しか
しコードホイールＣＷの回転中心Ｃ２がフェーズプレー
トＰＰの中心Ｃ】から距離Ａだけ偏心してず釣ると、コ
ードホイールＣＷのスリットＳ３，８４ｉｊフエーズプ
レー）ＰＰのスリットＳｌ、Ｓ２に一致しなくなる。あ
らかじめ？めらｒた角度θか、この場合角度θ＋２αと
なるため検出される２つの位置検出信号の位相差は９０
°とけならなくなる。この結果１回転検出軸の実際の角
度位置とエンコーダによる検出角度位置とが異なること
番こなる。
従来技術においてはコードホイールを組み込んり後、フ
ェーズプレートの設置位置を調整したり。
ェーズプレートの設置位置を調整したり。
組み立て部品の精度や部品の加工精度の向上によって対
処しているが、こ力らの方法でけ１，１１み立てに要す
る時間が長くなったり、製造コストも高くなるという問
題点がある。またエンコーダの位置検出精度を向トする
ためにスリットの数を増やすとこ力らの問題か一層顕著
になるとともに、スリットの加工技術を高度なものとす
る必要が生じる。
処しているが、こ力らの方法でけ１，１１み立てに要す
る時間が長くなったり、製造コストも高くなるという問
題点がある。またエンコーダの位置検出精度を向トする
ためにスリットの数を増やすとこ力らの問題か一層顕著
になるとともに、スリットの加工技術を高度なものとす
る必要が生じる。
目 的
シ
本発明の目的は、上述の問題を解決し、予め定めら７″
１に位相差を有する２つの位置検出信号を位相すねのな
いように′検量することかできるエンコーダの製造方法
を提供することである。
１に位相差を有する２つの位置検出信号を位相すねのな
いように′検量することかできるエンコーダの製造方法
を提供することである。
実施例
笛１図は１本発明のエーコーダの製造方法を説明するた
めの図である。ハウジング１の空間１ａを形成する内周
壁に固定して、予め光通過領域であるスリット２が穿設
さηにフェーズプレート３が取り付けらカでいる。ハウ
ジング１の基部１ｂにけ、軸受中で支持さカる検出軸５
が回転自在に増り付けら力でおり、その回転軸５Ｉこけ
保持部材６を介して光通過領域が形成さねてぃないコー
ド７ｆｅ Ｆｊ−ルアが固着さねている。コードホ′イ
・−ル７ケ、ハウシング１の前記空間１ａにおりて、フ
ェーズプレート３とハウジング１の内端面１ｃの間の空
間内で、検出軸５の回転に共なって角変位さｒる。検出
軸５け、連結部材８を介してサーボモータ９によって回
転駆動さｎる。サーボモータ９け前記コードホイール７
に形成さｎるべき光通過領域と同一の光通過領域を有す
るコードホイールを含むエーコーダ１０が連結部材１１
を介して接続さ力ており、そのエンコーダ１０の出方に
応じて制御手段１２によってサーボモータ９がフィード
バック制御される。ハウジング１の開口部上方には、フ
ェーズプレート３のスリット２が設けらｈた位置にレー
ザ光りを照射するためのレーザ光照射手段】３が備えら
ｎている。レーザ光照射手段１３け、前記制御手段１２
によってレーザ光りの照射時期が制御される。
めの図である。ハウジング１の空間１ａを形成する内周
壁に固定して、予め光通過領域であるスリット２が穿設
さηにフェーズプレート３が取り付けらカでいる。ハウ
ジング１の基部１ｂにけ、軸受中で支持さカる検出軸５
が回転自在に増り付けら力でおり、その回転軸５Ｉこけ
保持部材６を介して光通過領域が形成さねてぃないコー
ド７ｆｅ Ｆｊ−ルアが固着さねている。コードホ′イ
・−ル７ケ、ハウシング１の前記空間１ａにおりて、フ
ェーズプレート３とハウジング１の内端面１ｃの間の空
間内で、検出軸５の回転に共なって角変位さｒる。検出
軸５け、連結部材８を介してサーボモータ９によって回
転駆動さｎる。サーボモータ９け前記コードホイール７
に形成さｎるべき光通過領域と同一の光通過領域を有す
るコードホイールを含むエーコーダ１０が連結部材１１
を介して接続さ力ており、そのエンコーダ１０の出方に
応じて制御手段１２によってサーボモータ９がフィード
バック制御される。ハウジング１の開口部上方には、フ
ェーズプレート３のスリット２が設けらｈた位置にレー
ザ光りを照射するためのレーザ光照射手段】３が備えら
ｎている。レーザ光照射手段１３け、前記制御手段１２
によってレーザ光りの照射時期が制御される。
第２図にはフェーズプレート３の平面図が示さねている
。フェーズプレート３には１周方向に予め定めらｎた角
度間隔をあけて、一対のスリット２ａ、２ｂが穿設さね
ている。この１１ようなフェーズプレート３のたとえば
一万のスリット２ａにレーザ光照射手段１３によってレ
ーザ光りが照射されると、そのスリン）２ａで規制さｊ
る光通過領域からコードホイール７にレーザ光りが照射
されることになる。エンコーダ１０に含まねるコードホ
イールの光通過領域のスリットバタンに従って。
。フェーズプレート３には１周方向に予め定めらｎた角
度間隔をあけて、一対のスリット２ａ、２ｂが穿設さね
ている。この１１ようなフェーズプレート３のたとえば
一万のスリット２ａにレーザ光照射手段１３によってレ
ーザ光りが照射されると、そのスリン）２ａで規制さｊ
る光通過領域からコードホイール７にレーザ光りが照射
されることになる。エンコーダ１０に含まねるコードホ
イールの光通過領域のスリットバタンに従って。
制御手段１２からレーザ光照射手段１３に対して。
コードホイール７が角変位され、スリットが形成さ力る
べき位置に来たとき、レーザ光りが狙射さ力るような制
御信号が出力さ力る。エンコーダ１０に含ｆｆｌるコー
ドホイールのスリンドパタンに従って、レーダ光が断続
的にコードホイール７に照射さｎると、その照射位置に
はエンコーダ１０のコードホイールのスリットバタンと
同様のスリンドパタンか形成される。このようにして周
方向に等間隔あけて複数のスリット７ａが形成されたコ
ードホイールは第３図に示すＩうになる。フェーズプレ
ート３けレーザ光りによって影響を受けないようにその
板厚を厚くシタリ、レーザ光りが反射しやすくするため
鏡面仕上げや反射率のよい材料たとえば銅や銀などの材
料で形成するか、または前記材料で表面がメッキさｆｌ
ｉ材料を用いることによって形成される。コードホイー
ル７け。
べき位置に来たとき、レーザ光りが狙射さ力るような制
御信号が出力さ力る。エンコーダ１０に含ｆｆｌるコー
ドホイールのスリンドパタンに従って、レーダ光が断続
的にコードホイール７に照射さｎると、その照射位置に
はエンコーダ１０のコードホイールのスリットバタンと
同様のスリンドパタンか形成される。このようにして周
方向に等間隔あけて複数のスリット７ａが形成されたコ
ードホイールは第３図に示すＩうになる。フェーズプレ
ート３けレーザ光りによって影響を受けないようにその
板厚を厚くシタリ、レーザ光りが反射しやすくするため
鏡面仕上げや反射率のよい材料たとえば銅や銀などの材
料で形成するか、または前記材料で表面がメッキさｆｌ
ｉ材料を用いることによって形成される。コードホイー
ル７け。
レーザ光りの照射によってスリット７ａが穿設されるＩ
うに材料が選ばｊる。またコードホイール７け、ガラス
基板に感光材を蒸着し、レーザ光して化学反応に１って
その蒸着膜を取り除いてスリン）７ａを形成さｎてもよ
い。コードホイール７は、各スリン）７ａが形成される
位置毎に停止するように回転制御さ力てもよいし、また
レーザ光りの照射時間か短いと一定速度で回転さ力ても
よい。
うに材料が選ばｊる。またコードホイール７け、ガラス
基板に感光材を蒸着し、レーザ光して化学反応に１って
その蒸着膜を取り除いてスリン）７ａを形成さｎてもよ
い。コードホイール７は、各スリン）７ａが形成される
位置毎に停止するように回転制御さ力てもよいし、また
レーザ光りの照射時間か短いと一定速度で回転さ力ても
よい。
このようにして実現さｔ′１だエンコーダに、たとえげ
第４図に示さηるようにハウジング１の内端面】ａに一
対の発光素子１４を設け、ハウジング】の開口部に固着
さηる印刷配線基板を含む蓋体】５に一対の受光素子１
６を取り付けて完成される。一対の発光素子１４け１発
光される光かコードホイール７のスリントラ介シて、フ
ェーズプレート３の一対のスリット２ａｍ ２ｂを通
過して。
第４図に示さηるようにハウジング１の内端面】ａに一
対の発光素子１４を設け、ハウジング】の開口部に固着
さηる印刷配線基板を含む蓋体】５に一対の受光素子１
６を取り付けて完成される。一対の発光素子１４け１発
光される光かコードホイール７のスリントラ介シて、フ
ェーズプレート３の一対のスリット２ａｍ ２ｂを通
過して。
受光素子１６に受光さ力る工うに取り付けらねている。
この受光素子】６の受光出力はたとえば第５図に示すよ
うな電気回路によって光電変換される。電流制限抵抗Ｒ
１と発光素子１４の直列回路≦こ電圧Ｖｃｃ が印加さ
り、ると１発光素子１４から元が発光さｊ、コードホイ
ール７およびフェーズプレート３のスリット２，７ａを
介して受光素子 １１６で受光さ力る。受光素子１
６から出力される電流信号は受光素子】６にｍ列に挿入
さｆｌａ？抵抗Ｒ２に２って電圧信号Ｖ１に変換さｎ、
コンパレータＣＰおよび帰還抵抗Ｒ３よりなるシュミッ
トトリガ回路ＳＴに入力さ名る。電圧信号ｖ１の変化け
、スリット２．７３の重なりかコードホイール７の回転
にともなって除々に小さくなった後。
うな電気回路によって光電変換される。電流制限抵抗Ｒ
１と発光素子１４の直列回路≦こ電圧Ｖｃｃ が印加さ
り、ると１発光素子１４から元が発光さｊ、コードホイ
ール７およびフェーズプレート３のスリット２，７ａを
介して受光素子 １１６で受光さ力る。受光素子１
６から出力される電流信号は受光素子】６にｍ列に挿入
さｆｌａ？抵抗Ｒ２に２って電圧信号Ｖ１に変換さｎ、
コンパレータＣＰおよび帰還抵抗Ｒ３よりなるシュミッ
トトリガ回路ＳＴに入力さ名る。電圧信号ｖ１の変化け
、スリット２．７３の重なりかコードホイール７の回転
にともなって除々に小さくなった後。
除々に開いていくので、第６図番こ示さ力るような平均
値がある直流レベルを有する近似正弦波となる。この近
似正弦波である電圧信号ｖ ｒ ｕ、その平均値をしき
い値レベルＶＣ近傍に設定されたシミツトトリガ回路Ｓ
Ｔで、デユーティ比か５０％の方形波である。第６図に
示されるような位置検出信号ＭＰが得ら力るようになっ
ている。本実施例のようなインクリメントタイプのエン
コーダにおいては、Ｊ：記位置検出信号ＶＰけ検出軸の
回転方向を検出するためおよび角度検出精度を倍にする
ために位相差が９０°ずｊた２つの信号となっている。
値がある直流レベルを有する近似正弦波となる。この近
似正弦波である電圧信号ｖ ｒ ｕ、その平均値をしき
い値レベルＶＣ近傍に設定されたシミツトトリガ回路Ｓ
Ｔで、デユーティ比か５０％の方形波である。第６図に
示されるような位置検出信号ＭＰが得ら力るようになっ
ている。本実施例のようなインクリメントタイプのエン
コーダにおいては、Ｊ：記位置検出信号ＶＰけ検出軸の
回転方向を検出するためおよび角度検出精度を倍にする
ために位相差が９０°ずｊた２つの信号となっている。
背景技術で述べたようにコードホイール７の取付状態が
悪く、偏心して回転されると位置検出信号ｖＰの位相差
が９０°からすねて、被検出体の回転角度を正確に検出
することができなくなる。
悪く、偏心して回転されると位置検出信号ｖＰの位相差
が９０°からすねて、被検出体の回転角度を正確に検出
することができなくなる。
本発明では、絹み立て後、コードホイール７のスリン）
７ａカ≦形成されるので１位相差がハラつくことなく正
確な検出角度を得ることができる。
７ａカ≦形成されるので１位相差がハラつくことなく正
確な検出角度を得ることができる。
Ｌ述の実施例で汀１回転角や回転速度などを検出するた
めに用いら力るロータリタイプについて説明したが１本
発明に直線移動の位置やその変位速度などを検出される
ために用いらｎるリニアタイプに実施さねでもよい。
めに用いら力るロータリタイプについて説明したが１本
発明に直線移動の位置やその変位速度などを検出される
ために用いらｎるリニアタイプに実施さねでもよい。
効果
以辷のように本発明によねば、ハウジングに固定さｊた
第１プレートに予め第１光通過領域を形成しておき、第
２プレートを他のエンコーダで検出した予め定めた変位
量だけ変位駆幼し、その変位位置で、駆】光通過領埴を
通過するレーザ光などで、第２プレートに第２光通過領
域を形成するので、予め定めらねり位相差を有する２つ
の位置検出信号をその位相差がばらつくことなく得るこ
とができ、その位相差のばらつきに起因する検出誤差を
なくすことができる。
第１プレートに予め第１光通過領域を形成しておき、第
２プレートを他のエンコーダで検出した予め定めた変位
量だけ変位駆幼し、その変位位置で、駆】光通過領埴を
通過するレーザ光などで、第２プレートに第２光通過領
域を形成するので、予め定めらねり位相差を有する２つ
の位置検出信号をその位相差がばらつくことなく得るこ
とができ、その位相差のばらつきに起因する検出誤差を
なくすことができる。
第１図は１本発明のエンコーダの製造方法を説明するた
めの図、第２図はフェーズプレート３の平面図、第３図
は、コードホイール７の平面図。 男４図は本発明に従って製造さｎたエンコーダの断面図
、第５図は位置検出信号ｖＰを得るための電気回路図、
第６図に電圧信号Ｖｉの波形図、第７図は位置検出信号
ｖＰの波形（ン１．第８図はコードホイール７の偏心ず
ｊによる位置検出信号の位相差のすｈを説明するための
図である。 １・・・ハウジングｍ２，７ａ・・・スリット、３・・
・フェーズプレート、７・・・コードホイール、９・・
・サーボモータ、１０・・・エンコーダ、１２・・・制
御手段。 ］３・・・レーザ光照射手段 代理人 弁理士 西教圭一部 第１図
めの図、第２図はフェーズプレート３の平面図、第３図
は、コードホイール７の平面図。 男４図は本発明に従って製造さｎたエンコーダの断面図
、第５図は位置検出信号ｖＰを得るための電気回路図、
第６図に電圧信号Ｖｉの波形図、第７図は位置検出信号
ｖＰの波形（ン１．第８図はコードホイール７の偏心ず
ｊによる位置検出信号の位相差のすｈを説明するための
図である。 １・・・ハウジングｍ２，７ａ・・・スリット、３・・
・フェーズプレート、７・・・コードホイール、９・・
・サーボモータ、１０・・・エンコーダ、１２・・・制
御手段。 ］３・・・レーザ光照射手段 代理人 弁理士 西教圭一部 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ハウジングと、ハウジングに固定された第１プレートと
、第１プレートに相互に変位する第２プレートとを含み
、第１プレートには変位方向に間隔をあけて形成された
少なくとも２つの第１光通過領域と、第２プレートに変
位方向に形成された複数の第２光通過領域とを通過する
光の光量を検出するエンコーダの製造方法において、 ハウジングに固定された第１プレートには予め前記第１
光通過領域を形成しておき、 第２プレートを変位する駆動手段によつて、予め準備し
たエンコーダを用いて計測した変位量だけ変位し、この
変位した状態で、第１プレートの第１通過した光によつ
て第２プレートに第２光通過領域を形成することを特徴
とするエンコーダの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59241444A JPS61118614A (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 | エンコ−ダの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59241444A JPS61118614A (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 | エンコ−ダの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61118614A true JPS61118614A (ja) | 1986-06-05 |
Family
ID=17074395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59241444A Pending JPS61118614A (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 | エンコ−ダの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61118614A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6331325U (ja) * | 1986-08-15 | 1988-02-29 | ||
| JP2007042854A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | アルミニウム系ｉｉｉ族窒化物結晶の製造方法および結晶積層基板 |
| JP2013024572A (ja) * | 2011-07-15 | 2013-02-04 | Sanyo Denki Co Ltd | エンコーダ |
| JP2015148627A (ja) * | 2015-04-14 | 2015-08-20 | 株式会社東京精密 | 角度測定方法及び角度測定システム |
-
1984
- 1984-11-15 JP JP59241444A patent/JPS61118614A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6331325U (ja) * | 1986-08-15 | 1988-02-29 | ||
| JPH0421070Y2 (ja) * | 1986-08-15 | 1992-05-14 | ||
| JP2007042854A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | アルミニウム系ｉｉｉ族窒化物結晶の製造方法および結晶積層基板 |
| JP2013024572A (ja) * | 2011-07-15 | 2013-02-04 | Sanyo Denki Co Ltd | エンコーダ |
| JP2015148627A (ja) * | 2015-04-14 | 2015-08-20 | 株式会社東京精密 | 角度測定方法及び角度測定システム |
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