JPH042917A - ロータリーエンコーダ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明のロータリーエンコーダ装置はロボットＮＣ工作
機械等のＦＡ分野に利用でき、高トルクモータ、ＤＤモ
ータのドライブ軸に直接接続でき、カップリングを必要
としない為、高精度に位置及び回転速度信号を得ること
ができるものである。

［従来の技術］ 近年、各種のＦＡ機器は、ミクロンからサブミクロンへ
と、−層高密度な位置決めが要求されつつある。このよ
うな情勢の中で、光学式ロータリーエンコーダ装置等の
位置／速度検出装置が、市場の中で大勢を占めるように
なり、広く使用されている。かかる光学式ロータリーエ
ンコーダ装置には、基準位置からの相対移動量を検出す
るインクリメンタルタイプと絶対角度に対応した絶対番
地を検出するアブソリュートタイプとかあり、又、スリ
ットやピットを形成したロータリーエンコーダ円板の回
転による、透過光の変化によりこのスリットやピットを
検出する透過型と、反射光の変化によりこのスリットや
ピットを検出する反射型とがある。

第６図は、従来の透過型光学式インクリメンタルロータ
リーエンコーダ装置（以下単に「エンコータ装置」等と
記載することもある〉２１の代表例を概略的に示す斜視
図である。この図に示すように、従来例のエンコーダ装
置２１は、発光素子群８と受光素子群１０との間に、ロ
ータリーエンコーダ円板２と固定スリブ１へ板９とか配
置された構成になっている。

このロータリーエンコーダ円板２には、径方向に長い所
定幅のスリット４とこのスリット４間のマスク部５とが
、交互に所定数、等ピッチでリング状に配置されたエン
コーダトラック３が形成されている。この円板２は、中
心穴６を軸受（図示せず）に軸支された入力軸７に固定
され、例えは矢印にて図示の方向に一体的に回転する。

上記発光素子群８の例えばレーザ発振器である発光素子
８Ａ及び８Ｂ（以下同様にＡ相の方にＡを、Ｂ相の方に
Ｂを、夫々番号と共に付す）と、上記受光素子群１０の
例えばフォトダイオードである受光素子１０Ａ及び１０
Ｂとのそれぞれの光路上に、この円板２のエンコーダト
ラック３のスリット４及び固定スリット板９のスリット
９Ａ及び９Ｂが、それぞれ対応するように配置されてい
る。発光素子８Ａ及び８Ｂからのレーザー光線ａ、ｂは
、円板２の表面上に光スポット１１Ａ及び光スポラ１へ
１１Ｂとして照射され、円板２の回転に伴い、スリット
４及びマスク部５により断続されたレーザ光線は、スリ
ット９Ａ及び９Ｂを通過して、受光素子１０Ａ及び１０
Ｂに照射してここで電気信号に変換され、光スポット１
１Ａに対応してＡ相検出信号、光スポット１１Ｂに対応
してＢ相検出信号として出力される。この際、このＡ相
検出信号とＢ相検出信号との位相差が電気角９０°とな
るように、光スポット１１Ａ及び１１Ｂは、スリット４
の長手方向に対して所定の角度たけすらされている。

第７図は第６図の装置の検出信号波形を示す波形図であ
る。第７図（Ａ）、（Ｂ）に夫々示すように、Ａ相及び
Ｂ相検出信号波形ａ及びｂは、互いに電気角９０６の位
相差を持つ同振幅の正弦波、形である。そして、上記入
力軸７に直結された被測定物の駆動軸（図示せず）の回
転位置及び／又は速度は、ロータリーエンコーダ円板２
の１回転当たり１回の検出信号である図示しないＺ相検
出信号出力と共に、Ａ相及びＢ相検出信号出力により検
出される。

また、光学式ロータリーエンコーダ装置には、スリット
やピットを形成したロータリーエンコーダ円板の回転時
の透過光の変化により、スリットやピットを検出する透
過型と、かかるロータリーエンコーダ円板の回転時の反
射光の変化によりスリットやピットを検出する反射型と
がある。

反射型の光学式ロータリーエンコーダ装置は、ロータリ
ーエンコーダ円板の表面に、光ディスク、コンパクトデ
ィスク等の製造方法により形成したスリットやピット（
凹部又は凸部）を、円板の円周方向に所定のパターンで
リング状に配置したエンコーダトラックを、レーザ読取
装置により、レーザ光線の反射光の強弱の変化を電気信
号に変えて読み取るものである。

第８図は、従来のオートフォーカス回路４１を使用した
反射型ロータリーエンコーダ装置の１例を示す概略構成
図である。かかるエンコーダ装置２１は、図示の如く、
ロータリーエンコーダ円板２２やレーザ読取装置（光ピ
ックアップ）２８を更に備えて構成されている。また、
レーザ読取装置２８は、半導体レーザ発振器２９、グレ
イティング偏光板３０、コリメートレンズ３１、偏光ビ
ームスプリッタ３２、十波長板３３、対物レンズ３４、
円柱レンズ３７、フォトダイオード３８等から構成され
ている。

ロータリーエンコーダ円板２２は、中心孔２６を軸受（
図示せず）に軸支された入力軸２７に固定されて一体的
に回転する。この入力軸２７は、被測定物の駆動軸（図
示せず）と直結され、これにより回転駆動される。そし
て、レーザ読取装置２８により、エンコータトラック２
３のピット２４と隣接ピット間のランド部２５とによる
凹凸パターンを読み取り、これにより駆動軸の回転速度
や位置を検出するのである。

半導体レーザ発振器２９からのレーザ光線は、グレイテ
ィング偏光板３０により３本のビームに分けられる。こ
の３本ビームは、コリメートレンズ３１、偏光ビームス
プリッタ３２、十波長板３３、対物レンズ３４を通り、
ロータリーエンコーダ円板２２のエンコーダトラック２
３に、ピット２４のピッチと等しいピッチの光スポット
３５Ａ、光スポット３５Ｆ、光スポット３５Ｂとして照
射される。

これら３つの光スポット３５Ａ　、　３５Ｆ　、　３５
Ｂを光スポット３５と総称する。中央の光スポット３５
Ｆは、オートフォーカスサーボ用及びエンコーダトラッ
ク２３の読み取り用に、両側の光スポット３５Ａ。

３５Ｂは、トラッキングサーボ用又は電気角で９０６位
相かすれたこのエンコータトラック２３の読取り出力で
あるＡ、Ｂ各相の出力用に使用される。

第８図において、ロータリーエンコーダ円板２２は、コ
ンパクトディスク等の製造方法により製造された、凹部
又は凸部であるピット２４がその一表面に所定数、等間
隔にリンク状に形成された、例えばポリカーボネート樹
脂等の透明プラスチック製の円板状の基板と、この基板
のピット２４が形成された表面にアルミニウム等の金属
の蒸着又はスパッタリングにより形成された反射膜と、
この反射膜に密着して積層された紫外線硬化樹脂等から
なる保護膜とよりなる。

以降の説明は、ピット２４が基板側から見て、ピット２
４以外の平坦部分であるランド部２５に対して凸部であ
る例について述べる。

ピット２４の円周方向の長さは、ピット２４を基板側か
ら読み取るための後述する反射型光学式ロータリーエン
コーダ装置に伺えたレーザ読取装置（図示せず）からの
レーザ光線による光スポット３５の径以−Ｌであり、径
方向の幅は、光スポット３５の径より狭く、例えば略＋
に、又、高さは例えばレーザ光線の波長λの光学的に略
＋相当に形成されている。又、隣接ピット間のランド部
２５の円周方向の長さは、ピット２４の円周方向の長さ
と等しく形成されている。そして、ピッ１−２４と隣接
ピット間のランド部２５とか交互にリング状に、中心孔
２６と同心円状に配置されたエンコーダトラック２３の
凹凸パターンを、後述するレーザ読取装置により読み取
るのである。

以上のような構成のロータリーエンコーダ円板２２は、
オートフォーカス回路が使用された反射型光学式ロータ
リーエンコーダ装置に組み込まれて使用される。

ロータリーエンコーダ円板２２の前記反射膜の表面上で
反射した３本ビームの反射光は、対物レンズ３４及び（
−波長板３３を透過するが、この１波長板３３を２回通
過したことにより、入射光に対して位相か９０’変化す
るため、偏光ビームスプリッタ３２では反射されずに透
過し、円柱レンズ３７にて集光されてフォトタイオード
３８で電気信号に変換され、オートフォーカス回路４１
に内蔵されている増幅器で増幅されてフォカスサーボア
クチュエータ３９に出力される。

かかる構成において、光スポット３５が隣接ピット間の
ランド部２５を照射した場合は、この反射光の殆んどが
フォトダイオード３８に入射する。又、光スポット３５
かピット２４上を照射した場合は、このピット２４の頂
部からの反射光とランド部２５からの反射光とではく十
波長）×２の光路長の差が生しるため、この反射光は相
互に干渉し合い、又、回折することにより強度が大幅に
減少する。かかる反射光の強度変化か、フォトタイオー
ド３８で電気信号に変換され、フォーカスザーボアクチ
ュエ一夕３９を駆動することにより対物レンズ３４を上
下に変化させ、正しい焦点位置に微調整させようとして
いる。

以上が、従来例のオートフォーカス回路４１を使用した
反射型光学式ロータリーエンコーダ装置２１における、
ロータリーエンコーダ円板２２の入力軸２７への取付精
度による面振れに対して、レーザ光線の光スポット３５
の焦点を円板２２の表面に追従させる、いわゆるレーザ
読取装置（光ピックアップ）２８のオートフォーカスの
説明である。

［発明が解決しようとする課題］ 上記従来の装置が適用しているスリット方式は、光の回
折、干渉により、更なる高分解能化には、次の■〜■の
ような理由により限度があった。

■スリットの微細化に伴ない、光量が減少する。

■光の回折や干渉により、信号の劣化が生じる。

■スリット幅やスリット間隔に限度があり、軸負荷に弱
い。

■光反射方式のロータリーエンコーダにおいては、ディ
スクの偏心を充分におさえなければならす、回転軸に対
し、この偏心を０にする事は不可能であり、１回転中に
第９図（Ａ＞、（Ｂ）に示す様なＡＭ変調が生じた波形
となり、ロータリーエンコーダの波形整形時において、
パルス間のずれが生じる欠点がある。

■この偏心は１回転中の誤差の加算である累積精度誤差
に悪影響し、ロボット等のスイングアームに取り付けた
場合、回転する位置により回転距離が大きく変わる欠点
がある。

■モータと直結する為にカップリングを必要とし、この
カップリングによりロータリーエンコーダのディスクに
ひずみ、及びカップリンクロスが生じ悪影響を及ぼず問
題点かある。

［課題を解決するための手段］ 上記した課題を解決するために、本発明は下記の構成に
なるロータリーエンコーダ装置を提供する。

回転駆動装置の回転軸に直結可能な中空部を有する回転
部に固定され、その端面上に複数のピットが形成された
エンコーダ板と、 このエンコータ板の端面に形成された複数のピットに光
ビームの照射か可能な光ピックアップとを有し、 この光ピックアップのメインビームはフォーカス制御用
として用い、２つのサブビームは回転位相差検出用とし
て用いることを特徴とするロータリーエンコーダ装置。

［実施例］ 以下、本発明のロータリーエンコーダ装置を第１図〜第
５図に沿って説明する。

第１図は本発明のロータリーエンコーダ装置の一実施例
概略構成図、第２図はロータリーエンコーダ板の製造方
法を説明する図、第３図（Ａ）。

（Ｂ）はロータリーエンコーダ板の端面部部分拡大図、
同部分断面図、第４図は本発明のロータリーエンコーダ
装置を用いた光学式回転検出装置の回路図、第５図（Ａ
）〜（、Ｊ）はその出力波形図である。

本発明のロータリーエンコーダ装置は、光の回折や干渉
による影響を逆利用し、Ｍ、Ｐ、Ａ。

（旧ｃｒｏ　Ｐｉｔｔｏ　Ａｒｒｅｙ　、マイフロピ・
ｙドアレイ）が形成されたエンコーダ板による高分解能
を実現し、複数のマイクロピットアレイ群を持つ中空の
エンコーダ板を有し、このエンコーダ板の端面にスパイ
ラル状にピットを形成したものである。そしてモータの
シャフト軸に直結される中空の回転部に固定されたエン
コーダ板の端面方向に光ピックアップを取り付け、この
光ピックアップにより反射光を利用し電気角９０°の位
相差を持つ正弦波形のＡ相及びＢ相検出信号を出力する
ロータリーエンコーダを提供するものである。

又、ロボット等が使用される環境下においては高温状態
になる場合か多くこの様な場合ポリカーボネート等の樹
脂では問題がある。そこで本発明ではこの温度について
も考慮し、石英ガラスの端面にホトレジスタを添付し、
この端面にスパイラル状に光変調器によりマイクロピッ
トをホトエツチングする。とのホトエツチングされたエ
ンコーダ板にＡ、Ｉｌ又はＮｉの金属をスパッタ又は蒸
着しエンコーダ板を形成する。

更に、本発明は端面方向に等角度に複数のピットか形成
された反射部材を持つ光学式エンコーダ板に光ビームを
照射し、このエンコータ板からの反射光により前記複数
のピットを検出するピックアップを用いた光学式回転検
出方法に用いられ、前記光ビームはグレーテイング板に
より分割して３ビームとし、この３ビームの内、メイン
ビームは前記光学式エンコータに対する前記光ビームの
焦点合わせを制御するために使用し、両端のサブビーム
はそれぞれＡ相およびＢ相の回転検出信号を得るために
使用し、前記Ａ相とＢ相との回転検出信号の位相差は前
記クレーティング板の回転により電気角でｎπ／２ラジ
アン（ｎは正の整数）としたことを特徴とするロータリ
ーエンコーダ装置である。

第１図に示すように、本発明のロータリーエンコーダ装
置５０は、図示せぬモータ（回転駆動装置）のシャフト
軸（回転軸）に直結可能な中空部５１を有する回転部５
２に固定され、その端面５３ａ上に複数のマイクロピッ
トアレイ群（ピット）５４が形成されたエンコータ板５
３と、このエンコータ板５３の端面５３ａに形成された
複数のピット５４に光ビームの照射か可能な光ピックア
ップ５５とを有し、この光ピックアップ５５のメインビ
ーム５５ａはフォーカス制御用として用い、２つのサブ
ビーム５５ｅ。

５５ｆは回転位相差検出用として用いることを特徴とす
るものである。５３ｂは回転部５２を貫通するなめにエ
ンコータ板５３の中心に穿設された中心孔である。５６
は光ピックアップ５５が取付けられた筐体、５７は筐体
５６と回転部５２間に介挿されているベアリングホルタ
−５５８はポールベアリングである。

上記したエンコータ板５３の端面５３ａに複数のピット
５４を形成するには、第２図に示すように、まず、端面
５３ａに複数のピットが形成されていないエンコータ板
５３の中心孔５３ｂにモータ６０のシャフト軸６１を貫
通固定し、エンコータ板５３を所定速度で回転させた後
、レーザ発光源６２から出力されるレーザ光を光変調器
６３にて光変調して得た光ビームを集束レンズ６４を介
してエンコーダ板５３の端面５３ａに照射することによ
って、マイクロピットをホトエツチングする。このホト
エツチングされたエンコーダ板にＡ」又はＮｉの金属を
スパッタ又は蒸着しエンコーダ板５３を形成する。

光変調器６３は信号発生器６５を介してサブコード信号
発生器６６及び音楽ソース源６７からの出力に応じてレ
ーザ発光源６２からのレーザ光を光変調する。

上記した複数のマイクロピットアレイ群５４（５４ａ　
、　５４ｂ　、　５４ｃ　、　−）は、第３図に示され
る如く、等角度α、α、・・・の間隔をもちスパイラル
上に複数個形成され、同一円周上のピット幅Ｑとピット
間隙Ｐとは等しく　（Ｐ＝Ｑ＞形成されているので、ピ
ットピッチは２Ｐとなる。

さて、光ピックアップ５５は周知の構成（半導体レーザ
、ハーフミラ−等の光学系、フォーカスサーボ用駆動系
、グレーテイング板（回折格子板）くいずれも図示せず
）、及びフォトタイオード等よりなる光検出器）を有し
ている。上記グレーテイング板は半導体レーザよりのレ
ーザ光ビームを３つのビームに分割するものであり、第
４図に示すように、フォーカス制御をするための信号を
検出する光検出器Ｄ　　、Ｄ、、ＤＣ，Ｄｄは国字状に
配列され、この４つの光検出器Ｄ　〜Ｄｄからの電気出
力信号をそれぞれＡ、Ｂ、Ｃ，Ｄとし、回転検出信号を
得る光検出器り、Ｄｌからの電気量力信号をそれぞれＥ
、Ｆとする。電気出力信号Ａ〜Ｄはフォーカス制御部７
０に、前記出力信号Ｅ、Ｆはエンコータ信号処理部７１
にそれぞれ供給されている。

エンコーダ信号処理部７１に供給された信号Ｅは電流・
電圧変換回路７２、バッファ回路７３をシリーズに介し
、増幅回路７４に供給されている。同様に信号Ｆは電流
・電圧変換回路７５、バッファ回ｆＩ＠７Ｇをシリーズ
に介し、増幅回路７７供給されている。

増幅回路７４．７７の出力信号はそれぞれ比較回路７８
、７９に供給されている。

そして、比較回路７８の出力信号はモノマルチバイブレ
ータ８０とこれとは別にインバータ８１を介してモノマ
ルチパイプレーク８２とに供給され、同様に比較口Ｎ７
９の出力信号はモノマルチバイブレータ８３とこれとは
別にインバータ８４を介してモノマ１フ ルチバイブレーク８５とにそれぞれ供給されている。

ここで、比較回路７８．７９、モノマルチバイブレーク
８０．８２．８３．８５、インバータ８１．８４とでパ
ルス生成回路８６を構成しており、モノマルチバイブレ
ータ８０．８２．８３．８５のそれぞれの出力信号はＯ
Ｒ回１％８７に供給され、このＯＲ回路８７の出力信号
は出力端子８８よりエンコータ出力として取り出すよう
になっている。

また、８９は後述するインクリメント型のエンコータ板
５３の上部又は下部に設けた零番地を示すピットを検出
するための２相検出器であり、９０はこのＺ相検出信号
の出力端子である。

更に、光ピックアップ５５の出力信号は図示を省略した
が、エンコータ板５３の回転を一定に制御するための回
転サーボ検出回路及び回転方向を検出する回転方向検出
回路にそれぞれ供給されている。

このような構成の光学式回転検出装置の動作の説明を第
１図乃至第５図を参照して説明する。

エンコータ板５３がスピンドルモータ等の駆動手段の回
転力により定速度回転すると、光ピックアツブ５５の半
導体レーザ素子から出力する例えは、波長か０．７８μ
ｍのレーザ光ビームは、グレーテイング板により３つに
分割されて、光ピックアップ５５内蔵の光学系を経た後
、第３図（Ａ）に図示されるように、光学式エンコーダ
板５３の端面５３ａに、直径１．５μ■のメインビーム
５５ａ、サブビーム５５ｅ　、　５５ｆ　（３ビーム）
が照射される。

この照射されな３ビームは、第３図（Ｂ）に示すように
、光学式エンコーダ板５３の端面５３ａに形成された反
射ｇ　５３ａ１の表面に合焦し、ここでこの３ビームは
反射して再び光ピックアップ５５内蔵の光学系を経て、
光検出器Ｄ　〜Ｄｆに入光するが、メインビーム５５ａ
は光検出器Ｄ　〜Ｄｄに、サブビーム５５ｅは光検出器
り。に、サブビーム５５ｆは光検出器り、にそれぞれ入
光する。

ここで、ピット５４の深さｄは使用するレーザ光の波長
の約１であるので、ピット５４の境界部分でレーザ光の
干渉が生じるなめ、上記３ビームの反射量は、ピット５
４の境界部分で変化する。

従って、光検出器Ｄａ　、　Ｄｂ　、　Ｄｃ　、　Ｄｄ
　。

Ｄ、Ｄｆはピット５４を電気信号Ａ、Ｂ、Ｃ，ＤＥ、Ｆ
として得ることが出来る。

ここでは、光学式エンコーダ板５３の複数のピット５４
の同一円周上におけるピット幅Ｑとピット間隙Ｐとは等
しく形成されているので、電気信号Ａ〜Ｆの波形は、第
５図（Ａ）〜（Ｊ）のような極性変化のデユーティ比が
等しい信号が得られる。

これらの電気信号Ａ〜Ｄに基づき、ＣＤプレーヤ等で周
知のフォーカス制御部７０は、（Ａ　＋　Ｃ）と（Ｂ＋
Ｄ）との差が零になるようにして、光ピックアップ５５
のフォーカスを調整する。更に、光学式エンコーダを低
速回転あるいは回転角に保持するための回転サーボおよ
び回転方向の検出等がされる。

また、フォーカス制御部３２は、メインビーム５５ａが
光学式エンコータ板５３のピット５４に合焦した時、バ
ッファ回路７３．７６を動作させるようになっている。

一方、エンコーダ信号処理部７１に供給された信号Ｅ、
Ｆは、電流・電圧変換回路７２．７５でそれぞれ電圧に
変換された後、増幅回路７４．７７により所定レベルに
増幅されて第５図（Ａ）、（Ｂ）に図示の信号ａ、（Ａ
相信号と呼ぶ）と信号ｂ（Ｂ相信号と呼ぶ）とが得られ
る。

ここでは、Ａ相信号とＢ相信号との位相差は、電気角で
π／２ラジアンとなるようにグレーテイング板を回転さ
せて、２つのサブビームが回転方向に機械角度βだけ調
整可能にしである。

上記の信号ａおよび信号すはそれぞれ比較回路７８、７
９により第５図（Ｃ）、（Ｄ）に図示の矩形波の信号ｃ
、ｄに波形整形がされる。この信号Ｃ１ｄはそれぞれイ
ンバータ８１．８４により反転されて、第５図（Ｃ’　
）、（Ｄ’　）に図示の矩形波の信号ｃ′　　ｄ′とな
る。

モノマルチバイブレータ８０．８２．８３．８５は供給
される矩形波の立ち上り時に１パルスを送出するので、
それぞれの出力信号は、第２図（Ｅ）〜（Ｈ）に図示の
信号ｅ〜１〕となる。これらの信号ｅ〜ｈはＯＲ回路８
７により第５図（Ｈ）に図示のＡ相信号（Ｂ相信号）を
４分割した信号りが得られる。

従って、Ａ相信号とＢ相信号とをそのままエンコーダ出
力信号として用いるより信号１１を用いた方か、４倍の
精度のエンコーダ出力信号を得ることができる。

また、増幅回路７３．７６が送出するＡ相信号とＢ相信
号とを電気的に分割して更に高分解能のエンコータ出力
信号を得ることも可能である。

［発明の効果］ 上述したように、本発明になるロータリーエンコーダ装
置は、エンコーダ板の取付けが容易で偏心に対しても常
にメインビームよりオートフォーカスを行なう事により
ＡＭ変調の抑制が完全に行なえ、かつ、サブビームに係
るＡ相、Ｂ相の位相差がグレーティングの調整により簡
単にπ／２（ｒａｄ）の位置に調整可能であり、又、中
空′！ｌ！遺によりＤＤモータ等の回転駆動装置のドラ
イブ軸（回転軸）に直結可能である効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のロータリーエンコーダ装置の一実施例
概略構成図、第２図はロータリーエンコーダ板の製造方
法を説明する図、第３図（Ａ）（Ｂ）はロータリーエン
コーダ板の端面部部分拡大図、同部分断面図、第４図は
本発明のロータリーエンコーダ装置を用いた光学式回転
検出装置の回路図、第５図（Ａ）〜（Ｊ＞はその出力波
形図、第６図は従来の透過型光学式インクリメンタルロ
ータリーエンコーダ装置の概略斜視図、第７図＜Ａ）、
（Ｂ）は第６図の装置の検出信号波形図、第８図は反射
型ロータリーエンコーダ装置の概略構成図、第９図（Ａ
）、（Ｂ）はＡＭ変調波形図である。 ５０・・・ロータリーエンコーダ装置、５１・・・中空
部、５２・・・回転部、５３・・・エンコーダ板、５３
ａ・・・端面、 ５４・・・マイクロピットアレイ群（ピット）、５５・
・・光ピックアップ、５５ａ・・・メインビーム、５５
ｅ　、　５５ｆ・・・サブビーム。 特　許　出願人　日本ビクター株式会社代表者　埋木　
邦人 第 図 第 図 手続補正書 （方式 ％式％ ２、発明の名称 ロータリーエンコーダ装置 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住所　神奈川県横浜市神奈用区守屋町３丁目１２番地５
゜ ６゜ 平成２年７月３１日（発送口） 補正の対象 明細書の図面の簡単な説明の欄 補正の内容

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　回転駆動装置の回転軸に直結可能な中空部を有する回
   転部に固定され、その端面上に複数のピットが形成され
   たエンコーダ板と、 このエンコーダ板の端面に形成された複数のピットに光
   ビームの照射が可能な光ピックアップとを有し、 この光ピックアップのメインビームはフォーカス制御用
   として用い、２つのサブビームは回転位相差検出用とし
   て用いることを特徴とするロータリーエンコーダ装置。