JPS61117420A - 赤外線検出器 - Google Patents
赤外線検出器Info
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- JPS61117420A JPS61117420A JP59238252A JP23825284A JPS61117420A JP S61117420 A JPS61117420 A JP S61117420A JP 59238252 A JP59238252 A JP 59238252A JP 23825284 A JP23825284 A JP 23825284A JP S61117420 A JPS61117420 A JP S61117420A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/34—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using capacitors, e.g. pyroelectric capacitors
Landscapes
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野1
本発明は、焦電素子の両面に設けられた対向電極のいず
れをも入射赤外線の受光面として用いることによって、
該焦電素子の両面のいずれの方向から入射する赤外線に
対しても感応する機構の簡単な赤外線検出器に関するも
のである。
れをも入射赤外線の受光面として用いることによって、
該焦電素子の両面のいずれの方向から入射する赤外線に
対しても感応する機構の簡単な赤外線検出器に関するも
のである。
[従来技術1
焦電性の平板またはシートを検出素子として内蔵した赤
外線検出器で従来のちのは、該平板またはシートの両面
に設けられた電極のうち片面は、該平板またはシートを
固定すべき台上に密着せしめんがため、入射赤外線の受
光面としては、残りの一面のみが赤外線の入射方向に開
放され電極表面に赤外線吸収皮膜を付した構造となって
いた。
外線検出器で従来のちのは、該平板またはシートの両面
に設けられた電極のうち片面は、該平板またはシートを
固定すべき台上に密着せしめんがため、入射赤外線の受
光面としては、残りの一面のみが赤外線の入射方向に開
放され電極表面に赤外線吸収皮膜を付した構造となって
いた。
そのため赤外線検出器の機能は、片面の電極に受光した
赤外線のエネルギーに対して感応するのみである。
赤外線のエネルギーに対して感応するのみである。
当然このような構造では裏側に入射してくる赤外線を受
光させようとするには、別の平板またはシート状の焦電
素子を1枚必要とするかさもなければ、反射板またはプ
リズム等によって、裏側への入射赤外線を方向転換の上
、表面に入射させる必要がある。
光させようとするには、別の平板またはシート状の焦電
素子を1枚必要とするかさもなければ、反射板またはプ
リズム等によって、裏側への入射赤外線を方向転換の上
、表面に入射させる必要がある。
第2図には従来の赤外線検出器の典型的な構造の例を示
す。
す。
第3図は表、裏の電極面に入射する赤外線をいずれも受
光、検知せしめる従来型の赤外線検出器の構造例であっ
て、2枚の平板またはシート状の焦電素子を配置した例
である。
光、検知せしめる従来型の赤外線検出器の構造例であっ
て、2枚の平板またはシート状の焦電素子を配置した例
である。
これらの図に於いて、焦電素子1および1゛は固定用台
4に密着されており、その両面に設けられた電極2.2
゛および2゛、2゛゛のうち、例えば2゛および21゛
は電界効果型トランジスタなどのインピーダンス変換器
(以下FETと略す)5に接続さK、電極2は、検出器
のケース7とともに接地されると同時に、その表面には
赤外線吸収1!3および3゛が形成されている。
4に密着されており、その両面に設けられた電極2.2
゛および2゛、2゛゛のうち、例えば2゛および21゛
は電界効果型トランジスタなどのインピーダンス変換器
(以下FETと略す)5に接続さK、電極2は、検出器
のケース7とともに接地されると同時に、その表面には
赤外線吸収1!3および3゛が形成されている。
第2図では、検出器は受光面である電極2の方向にのみ
開口部8を有し、入射赤外Vs6の受光にのみ感応する
構造であった。
開口部8を有し、入射赤外Vs6の受光にのみ感応する
構造であった。
一方第3図は固定用台4の両面に同様な焦電素子jおよ
び1゛を配置したちのであり、検出器は受光面である2
および2゛゛の両方向に開口部8および8゛を有してお
り、電極2゛および2゛°を接続することによって二素
子を用いて入射赤外線6ないし6゛のいずれに対しても
感応する構造としたものである。
び1゛を配置したちのであり、検出器は受光面である2
および2゛゛の両方向に開口部8および8゛を有してお
り、電極2゛および2゛°を接続することによって二素
子を用いて入射赤外線6ないし6゛のいずれに対しても
感応する構造としたものである。
この図の池に、従来の構造で素子の両方向から入射する
赤外線に感応させるためには、例えば固定用台を対象と
する波長の赤外線に対してできるだけ透明な材料を選ぶ
方法や、反射板を設ける方法もあるが、前者は固定用台
での赤外線の減装が大きいため、この方向から入射する
赤外線に対して感度が低く、後者に於いても、検出器全
体がかさぼるだけでなく、機構が複雑になり、いずれら
欠点を有していた。
赤外線に感応させるためには、例えば固定用台を対象と
する波長の赤外線に対してできるだけ透明な材料を選ぶ
方法や、反射板を設ける方法もあるが、前者は固定用台
での赤外線の減装が大きいため、この方向から入射する
赤外線に対して感度が低く、後者に於いても、検出器全
体がかさぼるだけでなく、機構が複雑になり、いずれら
欠点を有していた。
[発明の目的1
本発明は、平板またはシート状の焦電素子の両面に設け
られた電極のいずれをも赤外線の受光面とすることによ
って、1個の焦電素子に対して、その片面に入射する赤
外線のみならず、裏面に入射する赤外線に対しても同様
に感応することが可能であり、且つ機構の簡単な赤外線
検出器を提供しようとするものである。
られた電極のいずれをも赤外線の受光面とすることによ
って、1個の焦電素子に対して、その片面に入射する赤
外線のみならず、裏面に入射する赤外線に対しても同様
に感応することが可能であり、且つ機構の簡単な赤外線
検出器を提供しようとするものである。
[発明の構成1
本発明は少なくとも1個の平板またはシート状の焦電素
子を備えた赤外線検出器に於いて、その平板またはシー
トの両面に設けられた電極のいずれをも赤外線の受光面
として利用することを要件とするものである。
子を備えた赤外線検出器に於いて、その平板またはシー
トの両面に設けられた電極のいずれをも赤外線の受光面
として利用することを要件とするものである。
第1図は、本発明による赤外線検出器の原理を示すもの
である。
である。
焦電性を有する平板またはシート1は、固定用台4でそ
の周辺部のみが固定されており、検出器7はその平板ま
たはシートの両面に設けられた電極2および2゛の両方
向に開口部8およ18゛を有し、6ないし6゛で示され
る入射赤外線のいずれにも感応できる構造になっている
。
の周辺部のみが固定されており、検出器7はその平板ま
たはシートの両面に設けられた電極2および2゛の両方
向に開口部8およ18゛を有し、6ないし6゛で示され
る入射赤外線のいずれにも感応できる構造になっている
。
該電極のうちいずれが一方、例えば2′はFETに接続
され、且つ残りの一方の電極2は検出器のケースと共に
接地されると同時に2および2゛いずれの電極上にも赤
外線吸収膜3および3゛が形成されている。
され、且つ残りの一方の電極2は検出器のケースと共に
接地されると同時に2および2゛いずれの電極上にも赤
外線吸収膜3および3゛が形成されている。
本発明に用いる焦電素子としては、チタン酸鉛系、チタ
ン酸ジルコン酸鉛系あるいはチタン酸ジルコン酸ランタ
ン酸鉛系などのセラミック焼結体、タンタル酸リチウム
、トリグリシンサルフェート、ニオブ酸リチウムなどの
単結晶、延伸ポリ7ツ化ビニリデンなどに代表される高
分子強誘電体、あるいは該セラミック焼結体粉末と高分
子との複合体などが例としてあげられる。
ン酸ジルコン酸鉛系あるいはチタン酸ジルコン酸ランタ
ン酸鉛系などのセラミック焼結体、タンタル酸リチウム
、トリグリシンサルフェート、ニオブ酸リチウムなどの
単結晶、延伸ポリ7ツ化ビニリデンなどに代表される高
分子強誘電体、あるいは該セラミック焼結体粉末と高分
子との複合体などが例としてあげられる。
また、これらを直列もしくは並列に接続集積した焦電素
子であってもよい。
子であってもよい。
また本発明に於いては、平板またはシート状の焦電素子
の両面に設けられた電極は、いずれら入射赤外線の受光
面として機能するものであって、対象とする波長の赤外
線に対して吸収能の良好な黒化処理、あるいは反射防止
膜の形成などを両面の電極上に施こさなければならない
。
の両面に設けられた電極は、いずれら入射赤外線の受光
面として機能するものであって、対象とする波長の赤外
線に対して吸収能の良好な黒化処理、あるいは反射防止
膜の形成などを両面の電極上に施こさなければならない
。
[発明の効果]
本発明にもとづく赤外線検出器は、従来のように焦電素
子のいずれが一方の電極のみを赤外線の受光面としてい
た方法に比較して、いずれの電極も赤外線の受光面とし
て利用することによって、機構が極めて簡単で、そのい
ずれの方向からも入射する赤外線に対して感応すること
を可能にせしめるものである。
子のいずれが一方の電極のみを赤外線の受光面としてい
た方法に比較して、いずれの電極も赤外線の受光面とし
て利用することによって、機構が極めて簡単で、そのい
ずれの方向からも入射する赤外線に対して感応すること
を可能にせしめるものである。
[実施例1
電極として20μm厚の銀ペーストを焼付けた厚さ0゜
3職のチタン酸ンルコン酸鉛セラミック(16,5mm
φ、誘電率1,850)の両電極上に、黒色ツヤ消し塗
装を施こして黒化膜を形成し焦電体とした。
3職のチタン酸ンルコン酸鉛セラミック(16,5mm
φ、誘電率1,850)の両電極上に、黒色ツヤ消し塗
装を施こして黒化膜を形成し焦電体とした。
次いで0.5+nm厚のアルミナセラミックを固定台と
して、14mmφの穴を形成し、焦電素子をこの穴の上
に周辺部だけエポキシ樹脂で接着固定したあと、素子近
傍に接合型FETを接続してインピーダンス変換器とし
た。
して、14mmφの穴を形成し、焦電素子をこの穴の上
に周辺部だけエポキシ樹脂で接着固定したあと、素子近
傍に接合型FETを接続してインピーダンス変換器とし
た。
これらを両電極方向の2方向を開口したステンレスケー
ス内に納め、電極の一方およびFETのアース部と共に
ケース全体を接地して赤外線検出器を構成した。
ス内に納め、電極の一方およびFETのアース部と共に
ケース全体を接地して赤外線検出器を構成した。
この検出器と開口部方向の2方向に立てられた2本口−
ンクの距離とを640mmに保ち、且つ素子の電極面が
ローソク炎の照射方向と垂直になるように配置した。
ンクの距離とを640mmに保ち、且つ素子の電極面が
ローソク炎の照射方向と垂直になるように配置した。
この状態で一方のローソクを高さ25叩の炎になるよう
にともした時、検出器の出力は300mVであった。
にともした時、検出器の出力は300mVであった。
同様に池方のローソクのみを高さ25mmの炎となるよ
うにともした時、検出器の出力は同様に3 (l f’
l m Vであり、いずれの開口部の方向から入射する
赤外線ら同等に検出可能であった。
うにともした時、検出器の出力は同様に3 (l f’
l m Vであり、いずれの開口部の方向から入射する
赤外線ら同等に検出可能であった。
更に両方向から同時にローソクの炎をともした時の出力
は600n+Vであり、各々の方向から入射する赤外線
による出力の加算性ら確認できた。
は600n+Vであり、各々の方向から入射する赤外線
による出力の加算性ら確認できた。
第1図は本発明にもとづく検出器の原理図である。
第2図および第3図は従来の検出器の原理図である。
図中1,1゛は焦電素子 2 、21 、211 、2
111は電極3.3゛は赤外線吸収膜 4は固定用台
5はインビーグンス変換器 6,6゛は入射赤外線 7
はケース 8,8゛は開口部を示す。 出願人 住友ベークライト株式会社区
区 ト〜 へ憾
★ 因 Cワ ★
111は電極3.3゛は赤外線吸収膜 4は固定用台
5はインビーグンス変換器 6,6゛は入射赤外線 7
はケース 8,8゛は開口部を示す。 出願人 住友ベークライト株式会社区
区 ト〜 へ憾
★ 因 Cワ ★
Claims (1)
- 両面に赤外線吸収皮膜を付した電極面を有する焦電体平
板またはシートを赤外線検出素子として内蔵した検出器
に於いて、該電極面の両面を入射赤外線の受光面として
用いることを特徴とする赤外線検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59238252A JPS61117420A (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 | 赤外線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59238252A JPS61117420A (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 | 赤外線検出器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61117420A true JPS61117420A (ja) | 1986-06-04 |
Family
ID=17027410
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59238252A Pending JPS61117420A (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 | 赤外線検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61117420A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5485011A (en) * | 1994-01-28 | 1996-01-16 | Larry C. Y. Lee | Two-sided integrated-circuit PIR sensor package |
JP2012211791A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-11-01 | Mitsubishi Materials Corp | 赤外線センサ |
JP2017009370A (ja) * | 2015-06-19 | 2017-01-12 | Tdk株式会社 | 濃度センサ |
-
1984
- 1984-11-14 JP JP59238252A patent/JPS61117420A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5485011A (en) * | 1994-01-28 | 1996-01-16 | Larry C. Y. Lee | Two-sided integrated-circuit PIR sensor package |
JP2012211791A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-11-01 | Mitsubishi Materials Corp | 赤外線センサ |
JP2017009370A (ja) * | 2015-06-19 | 2017-01-12 | Tdk株式会社 | 濃度センサ |
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