JPS61113134A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

磁気記録媒体の製造方法

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JPS61113134A
JPS61113134A JP23374084A JP23374084A JPS61113134A JP S61113134 A JPS61113134 A JP S61113134A JP 23374084 A JP23374084 A JP 23374084A JP 23374084 A JP23374084 A JP 23374084A JP S61113134 A JPS61113134 A JP S61113134A
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JP
Japan
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thin film
magnetic recording
substrate
magnetic
ferromagnetic thin
Prior art date
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Pending
Application number
JP23374084A
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English (en)
Inventor
Yoshihiro Arai
芳博 荒井
Ryuji Shirahata
龍司 白幡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP23374084A priority Critical patent/JPS61113134A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は非磁性支持体上に磁気記録層として斜方入射蒸
着法による強磁性金属薄膜を設けてなる磁気記録媒体の
製造方法に関し、とくに耐候性および耐久性が改良され
た磁気記録媒体の製造方法に関する。
〔従来技術〕
従来よシ磁気記録媒体としては、非磁性支持体上にT−
Fe203、CoをドープしたrFe2O3、F e 
304、CofドープしたF e 304、γ−Fe2
O3とF e 304のベルトライド化合物、CrO2
等の磁性粉末あるいけ強磁性合金粉末等を粉末磁性材料
を塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、スチレン−ブタジ
ェン共重合体、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂等の有
機バインダー中に分散せしめたものを塗布し乾燥させる
塗布型のものが広く使用されてきている。近年高密度記
録への要求の高まシと共に真空蒸着、スパッタリング、
イオンブレーティング等のペーパーデポジション法ある
いけ電気メッキ、無電解メッキ等のメッキ法によシ形成
される強磁性金属薄膜を磁気記録層とする。バインダー
を使用しない、いわゆる非バインダー型磁気記録媒体が
注目を浴びてお如実用化への努力が種々性なわれている
従来の塗布型の磁気記録媒体では主として強磁性金属よ
シ飽和磁化の小さい金属酸化物を磁性材料として使用し
ているため、高密度記録に必要な薄形化が信号出力の低
下をもたらすため限界にきておシ、かつその製造工程の
複雑で、溶剤回収あるいは公害防止のための大きな附帯
設備を要するという欠点を有している。非バインダー型
の磁気記録媒体では上記酸化物より大きな飽和磁化を有
する強磁性金属をバインダーのごとき非磁性物質を含有
しない状態で薄膜として形成せしめるため、高密度記録
化のために超薄形にできるという利点を有し、しかもそ
の製造工程はより簡略化される。
真密度記録用の磁気記録媒体に要求される条件の一つと
して、高抗磁力化、薄層化が理論的にも実験的にも提唱
されており、塗布型の磁気記録媒体よりも一桁小さい薄
膜化が容易で、飽和磁束密度も大きい非バインダー型磁
気記録媒体への期待は大きい0 ゛ とくに真空蒸着による方法はメッキの場合のような
排液処理を必要とせず製造工程も簡単で膜の析出連間も
大きくできるため非常にメリットが大きい。真空蒸着に
よって磁気記録媒体に望ましい抗磁力および角型比を有
する磁性膜を製造する方法としては、米国特許33グコ
432号、同334t2≦33号等に述べられている斜
め蒸着法が知られている。
しかしながら、強磁性金属薄膜から成る磁気記録媒体に
かかわる大きな問題として腐蝕がある◇磁気記録媒体の
保存中に腐蝕等による経時変化によって記録された信号
の減少あるいは消失のないことが要求される。さらに非
バインダー型磁気記録媒体に係わる問題として耐久性が
ある。VTRでのスチル耐久性等について、蒸着による
磁気記録媒体は従来の塗布型磁気記録媒体に比し劣るた
めその改良が実用上強く望まれている。
真空蒸着による磁気記録媒体における耐候性を改良する
方法の一つとして従来のCOあるいはCoNi系の磁性
薄膜にCrを適量添加する方法が特開昭r7−/J−グ
θ7号、特開昭!7−コ/30り号、特開昭!ターt1
0/J号、特開昭jデーぶ10/4を号、特開昭よデー
4I10r号、特開昭!?−乙!927号、特開昭j7
−6ぶ706号、特開昭!ターフ4t40j号、特開昭
!デー74tに0g号、特開昭!ターフ4t6号、特開
昭j?−7jグー7jダ特開昭!?−′7お一7号号に
開示されている。しかしながらCrを添加する方法は耐
候性は改良されるものの耐久性が劣シ、耐久性を改良す
るためにCrに加え酸素を磁性膜中に含有させると耐候
性が劣化してしまうため実用上問題であシ、耐候性と耐
久性の両立するような蒸着法による磁気記録媒体が必要
とされてきた。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、すぐれた耐候性および耐久性を有する
金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法を提供するにある。
〔発明の構成〕
本発明は、移動する非磁性基体上に連続斜方蒸着法によ
シ強破性薄膜を形成したのち、該基体を移動させつつ該
強磁性薄膜表面を分圧100.t17jTorrの水蒸
気を含む雰囲気中にさらすことを特徴とする磁気記録媒
体の製造方法、に関する。
本発明において連続斜方入射蒸着法とは基体表面の法線
に対し膜形成金属材料の蒸気流をある入射角θで入射さ
せ基体表面上に蒸着薄膜を析出させる方法である。本発
明においては斜方入射蒸着法によシ磁性薄膜を形成せし
める際、入射角θmaxにて斜方入射蒸着を開始し、基
体の移動と共に入射角θを連続的に減少させるように変
化させて入射角θminにて磁性薄膜の析出を停止させ
るものである。
本発明に用いられる磁性金属材料とし、ては、Fe1C
o、Ni等の金属あるいはF e −Co 。
Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Co−Ni。
F e −Rh 、 F e −Cu 、 Co −C
u 、 Co −Au、ICo−Y、Co−La1Co
−Pr、C。
−Gd゛、Co−8m、Co−Pt、Ni−Cu。
Fe−Cr、Co−Cr、Ni−Cr、Fe −Co−
Cr、Ni−Co−Cr1Fe−Co−Ni−Cr等の
強磁性合金である◇特に好ましいのはCOあるいはCo
を70重量%以上含有するような合金である。磁性金属
蒸着薄膜形成を酸素のような反応性ガスを含む雰囲気中
で行なってもよい。
本発明における蒸着とは、上記米国特許第33タコご3
−2号の明細書等に述べられている通常の真空蒸着の他
、電界、磁界あるいは電子ビーム照射等によシ蒸気流の
イオン化、加速化等を行って蒸発分子の平均自由行程の
大きい雰囲気にて支持基体上に薄膜を形成させる方法を
も含むものであって、例えば特開昭タ/−/グ900?
号明細書に示されているような電界蒸着法、特公昭グ3
−//6.2j号、特公昭4t≦−コ0グ♂ダ号、特公
昭グロー2乙!7り号、特公昭ゲタ−4tj’1.3り
号、特開昭ダ9−jjJ’り0号、特開昭グ9−34t
4trJ号、特開昭ダツー!3j号公報に示されている
ようなイオン化蒸着法も本発明に用いられる。
本発明に用いられる基体としてはポリエチレンテレフタ
レート、ポリイミド、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、三
酢酸セルロース、ポリカポネート、ポリエチレンナフタ
レートのようなプラスチックベースが好ましい。
本発明の方法による磁気記録媒体の強磁性薄膜上に潤滑
剤層を設けてもよい。潤滑剤としては、炭素数72〜/
♂個の脂肪fJ(RtCOOH,Rtは炭素数//〜/
7のアルキルまたはアルケニル基);前記脂肪酸の金属
塩;シリコンオイル炭素数2〜20個の−塩基性脂肪酸
と炭素数3〜/コ個の一価のアルコールから成る脂肪酸
エステル類から選ばれた少なくとも7種を含有するもの
が特に好ましい。
上記潤滑剤は、磁性膜上に0 、 j 〜20 tny
 7m2塗役せしめるのがよく、潤滑剤の塗布は、必要
に応じて磁性膜上、あるいは支持体裏面に塗布して潤滑
剤を磁性膜上へ転写させるようにしても良い。
本発明の方法による磁気記録媒体においては、必要に応
じ支持体裏面にいわゆるパック層を設けてもよい。
また、磁性金属蒸着膜と支持体との間、あるいは磁性蒸
着膜間に有機あるいは無機物からなる層を設けてもよい
〔実施例〕
以下に実施例によシ本発明を具体的に説明する。
本発明がこれらに限定されるものではないことはいうま
でもない。
実施例−1 第1図に示す巻取シ式蒸着装置を用いて、実験を行なっ
た。
高分子基体2/として23μm厚PET(ポリエチレン
テレフタレート)ベースを用い、送出しローラλにセッ
トした。グロー室//を3 X / y3Torrの真
空度に保ち、グロー放電電極/2aに/kVの直流電圧
を印加してベースコ0の表面にグロー放電処理を行なっ
た後、回転ドラム10上で磁性金属材料Mを4tOOの
入射角でルツボ/3から斜方蒸着した。入射角はマスク
/!I/Cよシ設定した。磁性金属材料MとしてCo・
8Ni・2 を用い、酸素導入口/7から酸素ガスを導
入して酸素分圧/×/θ−’Torrで高分子基体−〇
に真空蒸着した。材料Mの加熱は電子ビーム照射装置/
ダにより行なわれる。
真空蒸着後、直ちに、該基体は処理室2λに通される。
処理室、22に分圧2oOTorrとなるよう水蒸気を
導入した。
処理室22と蒸着室ダおよび巻取り室!は差圧室、2j
、、2&、コ!、λ6を介して連結している。
処理室2−2の気圧調整は調整管3/を通して行なった
。処理後蒸着フィルムは巻取シローラ3に巻取られる。
蒸着室グ、グロー室/コ、巻取り室!、差圧室コグ、コ
!、コイは排気ロアg、/♂、コ/1J?、30によシ
真空排気される。
上記の水蒸気処理を施した後、該基体はグロー室/2を
経て、巻き取りローラー3で巻き取られた。
こうして得られた磁気テープの耐候性をよび耐久性を測
定した。耐候性は発露型ウェザ−メーター(山崎精機研
究所E−/2WG型)中i1?:、24を時間保存後の
錆の発生状況を!段階評価により判定した。耐久性につ
いてはVH8型VTRにてテープを70分間スチルモー
ドにかけた後、磁性膜面のヘッドの傷発生状況を顕微鏡
観察し、これも!段階評価によシ判定した。
実施例−2 実施例−1と同様にCoo・5Nio・2合金を真空蒸
着し、その後水蒸気処理を実施せず、グロー処理のみを
行なって巻き取ったロールを再び、直ちに送シ出しロー
ラーλから送シ出し、クーリングキャン//を通した後
、差圧室−コにおいて水蒸気処理のみを実施した。
上記処理は、基体を水蒸気分圧4t!θTo’rrの雰
囲気中を10m/minの搬送速度で通すことにより行
なった。
このようにして得られたサンプルを実施例−1と同様に
評価した。
比較例−1 実施例−1と同様にCoo・8Nio・2合金を真空蒸
着した後、グロー処理のみを実施して巻き取った。この
ようにして得られたサンプルを実施例−1と同様に評価
した。
これらの結果を表に示した。
*!段階評価による(jが最良) このように本発明による方法で製造した磁気記録媒体は
耐候性ならびに耐久性にすぐれることが明らかである。
なお、実施例−2では蒸着後水蒸気処理を蒸着機を用い
て行なったが、処理専用機を用いてもよい。
〔発明の効果〕
このように本発明による製造方法によυ得られる磁気記
録媒体は耐候性および耐久性の改良された金属薄膜型磁
気記轍媒体で、本タイプの磁気記録媒体の実用上のメリ
ットは大である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明方法を実施する装置の一例を示す概略図
である。 /・・・・・・蒸着装置     コ・・・・・・送出
しローラ3・・・・・・捲取シローラ   ダ・・・・
・・蒸着室よ・・・・・・巻取室    //・・・・
・・回転ドラム/2・・・・・・グロー室    /2
3・・・・・・グロー放1!電極/3・・・・・・ルツ
ボ /4t・・・・・・電子ビーム照射装置  /!・・・
・・・マスク/呂・・・・・・排気口   /7・・・
・・・酸素導入口M・・・・・・磁性金属材料 2/・
・・・・・基 体22・・・・・・処理室

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 移動する非磁性基体上に連続斜方蒸着法により強磁性薄
    膜を形成したのち、該基体を移動させつつ該強磁性薄膜
    表面を分圧100〜475Torrの水蒸気を含む雰囲
    気中にさらすことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法
JP23374084A 1984-11-06 1984-11-06 磁気記録媒体の製造方法 Pending JPS61113134A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5440361A (en) * 1993-09-03 1995-08-08 The Walt Disney Company Method for flattening acetate-based films using steam

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60236118A (ja) * 1984-05-08 1985-11-22 Sony Corp 薄膜磁気記録媒体の製造方法

Patent Citations (1)

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