JPS61113006A - 光結合器およびその製造方法 - Google Patents
光結合器およびその製造方法Info
- Publication number
- JPS61113006A JPS61113006A JP23550684A JP23550684A JPS61113006A JP S61113006 A JPS61113006 A JP S61113006A JP 23550684 A JP23550684 A JP 23550684A JP 23550684 A JP23550684 A JP 23550684A JP S61113006 A JPS61113006 A JP S61113006A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- plate
- optical
- lithium niobate
- optical coupler
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は情報処理分野あるいは光通信、光応用計測制御
分野に使用される光導波路とレーザおよびファイバとの
結合を可能にする光結合器および光結合器の製造方法に
関するものである。
分野に使用される光導波路とレーザおよびファイバとの
結合を可能にする光結合器および光結合器の製造方法に
関するものである。
従来の技術
従来ニオブ酸リチウムY板(Y軸と垂直に切断した面を
持つ基板)」−にスラブ光導波路を設け、音響光学効果
を利用して光偏向器などが作製されている。このLiN
b○3Y板に光を入射する方法として端面を鏡面に研磨
する方法が主に用いられてきた。第3図aはニオブ酸リ
チウムY板の端面研磨後の断面図である。1はニオブ酸
リチウムY板、2はスラブ光導波路、3は光学研磨され
た端面である。スラブ光導波路2の形成されたニオブ酸
リチウムY板1に同図すに示すように同材質のやとい1
aを密着させて光学研磨を行っていた。
持つ基板)」−にスラブ光導波路を設け、音響光学効果
を利用して光偏向器などが作製されている。このLiN
b○3Y板に光を入射する方法として端面を鏡面に研磨
する方法が主に用いられてきた。第3図aはニオブ酸リ
チウムY板の端面研磨後の断面図である。1はニオブ酸
リチウムY板、2はスラブ光導波路、3は光学研磨され
た端面である。スラブ光導波路2の形成されたニオブ酸
リチウムY板1に同図すに示すように同材質のやとい1
aを密着させて光学研磨を行っていた。
これに対してニオブ酸リチウムX板では臂開面である(
01.2)面より光結合を行っていた。
01.2)面より光結合を行っていた。
(1、Appl 、 Phys 51(8) 、Aug
ust 1980P4379〜4384 I 、P、
Kaminow et ag、) 4だ、ニオブ酸リチ
ウムX板では破断法により(11,0)面。
ust 1980P4379〜4384 I 、P、
Kaminow et ag、) 4だ、ニオブ酸リチ
ウムX板では破断法により(11,0)面。
(12,0)而または(21.0)面を破断しその破断
面より光結合を行っていた。(特願昭59−3 ベー7 140877号) 発明が解決しようとする問題点 しかしニオブ酸リチウムY板では破断または襞間により
光結合を実現した例はなく、端面研磨法が主であった。
面より光結合を行っていた。(特願昭59−3 ベー7 140877号) 発明が解決しようとする問題点 しかしニオブ酸リチウムY板では破断または襞間により
光結合を実現した例はなく、端面研磨法が主であった。
端面研磨法においてニオブ酸リチウムY板1とやとい1
aの密着が悪いと第3図Cに示されるように面ダレ4を
生じ導波路厚みが小さい場合特に光結合効率が低下する
。また第3図dに示されるように光導波路2に端面3が
垂直となっていなければ同様に光結合効率が低下する。
aの密着が悪いと第3図Cに示されるように面ダレ4を
生じ導波路厚みが小さい場合特に光結合効率が低下する
。また第3図dに示されるように光導波路2に端面3が
垂直となっていなければ同様に光結合効率が低下する。
以上のように端面研磨法は難しいうえに光学研磨を行う
ため手間と時間がかかるなど数多くの問題点を有してい
る。
ため手間と時間がかかるなど数多くの問題点を有してい
る。
問題点を解決するだめの手段
本発明は上記問題点を解決するため光導波路が形成され
たニオブ酸リチウムY板の(21,0)面より光の入射
捷たは出射を行うものである。
たニオブ酸リチウムY板の(21,0)面より光の入射
捷たは出射を行うものである。
作 用
本発明は上記した構成より、簡単に再現性良く高効率結
合を実現するものである。
合を実現するものである。
実°施例
本発明の実施例を以下図面を用いて説明する。
第1図は本発明による光結合器の製造方法の一実施例を
示す斜視図である。第1図aで1′はニオブ酸リチウム
Y板で基板の厚みは0.5がだである。また2はスラブ
光導波路でTiを熱拡散して作製されている。この光導
波路の深さは約3μmである。
示す斜視図である。第1図aで1′はニオブ酸リチウム
Y板で基板の厚みは0.5がだである。また2はスラブ
光導波路でTiを熱拡散して作製されている。この光導
波路の深さは約3μmである。
6はダイヤモンドカッターで入れた切欠は部であり+7
面の−Z端面(以下これを(+Y、−Z)部とする)に
設けである。また7は破断の際に支点となる0、5闘φ
のカンタル線である。このカンタル線7は切欠は部6の
直下にありZ軸方向に置かれている。切欠は部6から左
右に等距離(5馴)のところに力点8がある。この力点
8に力を加えることにより破断が切欠は部6、(十Y、
−Z)部より発しカンタル線7に沿って+Z方向に進行
した。第1図すは破断直後の概略斜視図である。
面の−Z端面(以下これを(+Y、−Z)部とする)に
設けである。また7は破断の際に支点となる0、5闘φ
のカンタル線である。このカンタル線7は切欠は部6の
直下にありZ軸方向に置かれている。切欠は部6から左
右に等距離(5馴)のところに力点8がある。この力点
8に力を加えることにより破断が切欠は部6、(十Y、
−Z)部より発しカンタル線7に沿って+Z方向に進行
した。第1図すは破断直後の概略斜視図である。
破断によシ現われた破断面9は平坦でありX線分析によ
り(21,0)面であることが判明した。臂5 “−ン 開では結晶で最も割れ易い面を出せるのに対しこのよう
に破断ては襞間面以外の割れにくい面を出現させること
ができる。破断の際、+7面では(十Y、−Z)部に、
また−7面では(−Y、十Z)部に切欠けを入れると、
再現性良く鏡面が得られる。
り(21,0)面であることが判明した。臂5 “−ン 開では結晶で最も割れ易い面を出せるのに対しこのよう
に破断ては襞間面以外の割れにくい面を出現させること
ができる。破断の際、+7面では(十Y、−Z)部に、
また−7面では(−Y、十Z)部に切欠けを入れると、
再現性良く鏡面が得られる。
第2図は上記作製された光結合器の一実施例の構成図で
ある。コア径6μmのシングルモード光ファイバ1oと
直接結合している。反射損を除いて60襲の光結合効率
を得た。
ある。コア径6μmのシングルモード光ファイバ1oと
直接結合している。反射損を除いて60襲の光結合効率
を得た。
発明の効果
以上のように本発明の光結合器およびその製造方法によ
れば従来では困難であったニオブ酸リチウムY板の光導
波路に垂直な(21,0)面を破断法を用いて簡単に所
望の部分で破断できその破断面(21,0)面は面ダレ
がなく光導波路に対して垂直に形成されているため高効
率な光結合が可能である。
れば従来では困難であったニオブ酸リチウムY板の光導
波路に垂直な(21,0)面を破断法を用いて簡単に所
望の部分で破断できその破断面(21,0)面は面ダレ
がなく光導波路に対して垂直に形成されているため高効
率な光結合が可能である。
第1図は本発明による光結合器の製造方法の−6ページ
実施例を示す斜視図、第2図は同光結合器の一実施例を
示す構成図、第3図は従来例の端面研磨法を示す断面図
である。 1・・・・・・ニオブ酸リチウムY板、2・・・・・・
スラブ光導波路、9・・・・・・破断面。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名藁3
図 手続補正書(方式) %式% 光結合器およびその製造方法 正をする者 事件との関係 特 許 出 願
人任 所 大阪府門真市大字門真1006番地名
称 (582)松下電器産業株式会社代表者 山
下 俊 彦 理人 〒571 住 所 大阪府門真市大字門真1006番地松下電器
産業株式会社内 正命令の日付 昭和60年2月26日 −一〜7、補正の
内容 明細書第2頁第16行から第17行の r (J 、 Appl、 PhyS 61(8)、
August 1980P4379〜4384
工 、P 、Kaminowetal、)4を「〔応
用物理学会誌51 (8)、 1980年8月、437
9頁〜4384頁、アイ・ピー・カミノウ他(J 、
Appl、Phys 51(8)、 August19
80 P4379〜4384 1.P。 Kaminow at a5.) 、] Jに補正いた
し丑す。
示す構成図、第3図は従来例の端面研磨法を示す断面図
である。 1・・・・・・ニオブ酸リチウムY板、2・・・・・・
スラブ光導波路、9・・・・・・破断面。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名藁3
図 手続補正書(方式) %式% 光結合器およびその製造方法 正をする者 事件との関係 特 許 出 願
人任 所 大阪府門真市大字門真1006番地名
称 (582)松下電器産業株式会社代表者 山
下 俊 彦 理人 〒571 住 所 大阪府門真市大字門真1006番地松下電器
産業株式会社内 正命令の日付 昭和60年2月26日 −一〜7、補正の
内容 明細書第2頁第16行から第17行の r (J 、 Appl、 PhyS 61(8)、
August 1980P4379〜4384
工 、P 、Kaminowetal、)4を「〔応
用物理学会誌51 (8)、 1980年8月、437
9頁〜4384頁、アイ・ピー・カミノウ他(J 、
Appl、Phys 51(8)、 August19
80 P4379〜4384 1.P。 Kaminow at a5.) 、] Jに補正いた
し丑す。
Claims (4)
- (1)光導波路が形成されたニオブ酸リチウムY板の(
@2@1.0)面より光の入射または出射を行うことを
特徴とする光結合器。 - (2)光導波路厚みが0.3μm〜6μmであることを
特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の光結合器。 - (3)光導板路が形成されたニオブ酸リチウムY板の(
@2@1.0)面を破断法を用いて形成することを特徴
とする光結合器の製造方法。 - (4)切欠け部を(+Y、−Z)部または(−Y、+Z
)部に形成することを特徴とする特許請求の範囲第(3
)項記載の光結合器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23550684A JPS61113006A (ja) | 1984-11-08 | 1984-11-08 | 光結合器およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23550684A JPS61113006A (ja) | 1984-11-08 | 1984-11-08 | 光結合器およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61113006A true JPS61113006A (ja) | 1986-05-30 |
Family
ID=16987015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23550684A Pending JPS61113006A (ja) | 1984-11-08 | 1984-11-08 | 光結合器およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61113006A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5089967A (en) * | 1987-08-10 | 1992-02-18 | Nippondenso Co., Ltd. | Auxiliary steering system associated with anti-skid control system for use in motor vehicle |
US7516965B2 (en) | 2006-08-29 | 2009-04-14 | Honda Motor Co., Ltd. | Variable rear wheel toe angle control system for a vehicle |
-
1984
- 1984-11-08 JP JP23550684A patent/JPS61113006A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5089967A (en) * | 1987-08-10 | 1992-02-18 | Nippondenso Co., Ltd. | Auxiliary steering system associated with anti-skid control system for use in motor vehicle |
US7516965B2 (en) | 2006-08-29 | 2009-04-14 | Honda Motor Co., Ltd. | Variable rear wheel toe angle control system for a vehicle |
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