JPS61108485A - レーザ加工機の自動ティーチング方法 - Google Patents

レーザ加工機の自動ティーチング方法

Info

Publication number
JPS61108485A
JPS61108485A JP59227224A JP22722484A JPS61108485A JP S61108485 A JPS61108485 A JP S61108485A JP 59227224 A JP59227224 A JP 59227224A JP 22722484 A JP22722484 A JP 22722484A JP S61108485 A JPS61108485 A JP S61108485A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tape
laser beam
center
light
machining
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP59227224A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH033550B2 (ja
Inventor
Kozaburo Shibayama
耕三郎 柴山
Hidehiko Nakao
英彦 中尾
Takashi Ikeda
隆 池田
Manabu Kubo
学 久保
Kazuo Takashima
和夫 高嶋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP59227224A priority Critical patent/JPS61108485A/ja
Publication of JPS61108485A publication Critical patent/JPS61108485A/ja
Publication of JPH033550B2 publication Critical patent/JPH033550B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B23K26/044Seam tracking

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Numerical Control (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザビームによう溶接、切断等の加工を行
なうレーザ加工機において、加工線を自動的に記憶させ
る自動ティーチング方式に関するものである。
〔従来の技術〕
レーザ加工機において社、レーザビームを投射するヘッ
ドがx、y、zの三輪方向に駆動されるものとなってお
り、あらかじめ人為的に記憶させた加工線に沿ってヘッ
ドを移動し、所定の加工線によシ被加工物へ加工を行な
うものとなっているが、加工線を記憶させる操作をティ
ーチングと称し、従来は、制御箱のスイッチによ)ヘッ
ドを移、動させ、この移動軌跡を座標位置としてメモリ
へ逐次格納するものとなっている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、加工形状が複雑となれば、スイッチの操作によ
る手動ティーチングでは、これの所要時間が大になると
共に、高精度のティーチングが困難になる等の問題を生
じている。
本発明は、従来のかかる問題点を根本的に解決する目的
を有し、加工面へ加工線に沿ってマーキングを施すのみ
によシ、ティーチングが自動的に行なえるものとした極
めて効果的な、レーザ加工機の自動ティーチング方式を
提供するものである。
〔問題点を解決するための手段〕
前述の目的を達成するため、本発明はつぎの手段によ勺
構成するものとなっている。
すなわち、被加工物の加工面上へ光線反射率が加工面と
異なるマーキングを加工線の中心に沿って施し、光源か
ら加工面へ投射される光スポットに基づく反射光の変化
を検出し、レーザビームを投射するヘッドを反射光の変
化が反復する方向に沿って移動させ、マーキングによる
反射光の変化が生ずる中心位置の座標点を求め、この座
標点を逐次メモリへ格納するものとしている。
〔作用〕
したがって、マーキングが光学的に検出され、これの中
心位置を示す座標点が逐次メモリへ格納されるものとな
勺、これがティーチングされたデータとなるため、加工
線上へマーキングを施すのみによ)、ティーチングが自
動的に行なわれる。
〔実施例〕
以下、実施例を示す図によって本発明の詳細な説明する
第2図は、レーザビームを投射するヘッドの断面図でち
ゃ、外筒1の内部へ設けられた加工レンズ2により集束
されたレーザビーム3は、被加工物4へ投射され、この
部位に対して加工を行なうものとなっていると共に、外
筒1の一側方には、レーザビーム3と別個な波長のレー
ザ光を発生する半導体レーザ発振器等の光源6が配され
、これからのレーザ光は、投射側に設けた投光レンズ7
によプ集束されたうえ、被加工物4の面上におけるレー
ザビーム3の近傍へ光スポット8として投射されるもの
となっている。
光スポット8は、被加工物4の面上において反射され、
外筒1の他側方に設けた撮像レンズ11へ反射光として
入射し、受光素子としての’PSD(Position
 5ensitive Detector、)  12
へ結像となって投影され、PSD12の両端からは、結
像による光線の入射位置に応じた電流iA+laが各個
に送出される。
ここにおいて、PSDI2上の結像位置Pは、加工レン
ズ2と被加工物4との対向距離t1投光レンズTと撮像
レンズ11との水平間隔LXおよび撮像レンズ11と被
加工物4との対向間隔Aに応じて定まり、電流をl A
 l i Bとしたとき次式によシ与えられる。
〔X:光軸13と入射点との間隔、D : PSD12
の端から光軸13までの寸法〕 また、対向間隔Aは、レーザビーム3の光軸9に対する
光スポツト80光軸との角度φ、および撮像レンズ11
の光軸13との角度θに応じて定ま、す、次式により示
される。
したがって、Aは一定値であると共に、対向間隔Aと対
向距離tとの差も一定であるため、これらを基準とした
Pの値に応じ、対向距離tは次式によ)求められる。
t=K @P             @Φ・働・(
3)〔K:定数〕 このため、tの値が規定値となる方向へヘッドを修正駆
動すれば、光スポット8が常にレーザビーム30投射点
にほぼ一致するものとな9、レーザビーム3の投射を行
なわない状態において、PSD12の出力変化を判断す
れば、被加工物4の加工面上へ施したマーキングを検出
することが自在となる。
第3図は光スポット8によるマーキングの検出状況を示
す平面図であシ、被加工物4の加工面上へ、光スポット
8に対する光線反射率が加工面と異なるテープ21を加
工線の中心22に沿って貼着し、これによってマーキン
グを施すと共に、この例では、被加工物4の長軸方向を
Xt−x2軸と一致させ、これを図上省略したレーザ加
工機の加工台上へ載置するものとしている。
したがって、ヘッドを手動操作によシテープ21の基準
点23へ一致させると共に、走査方向を指示したうえ、
自動制御によりヘッドを各軸X1  rX2t Yt 
+ Yz方向へ駆動すると共に、対向距離tを正規に保
ち、光スポット8による走査軌跡24を点線によシ示す
とおシ、テープ21による反射光の変化が反復する方向
に沿ってヘッドを移動させれば、テープ21の一側辺2
5および他側辺26と走査軌跡24とが交差する度毎に
反射光の変化が生じ、辷れによってテープ21の@Wが
求められるため、これの中心を算出すると、加工線の中
心22を示す座標点が逐次求められる。
すなわち、tJc4図に反射光の変化状況を波形として
示すとおシ、テープ21の幅Wと対応するパルス幅のパ
ルスが生じ、これをクロックパルスのカウント等によ勺
数値として求め、更に1/2を乗ずれば中心22が求め
られ、これにしたがって、パルスの前縁と後縁との生じ
た座標点を基準として演算すれば、中心22と一致する
中心位置の座標点が求められる。
第5図は、PSD12の出力を処理すると共に、各種の
制御を行なう制御部のブロック図であり、マイクロプロ
セッサ等のプロセッサ〔以下、cptr)31を中心と
し、固定メモリc以下、ROM、132、可変メモリ〔
以下、RAM)33、インターフェイス〔以下、I/l
’134〜39を周辺に配し、母線によりこれらを接続
しており、ROM32へ格納された命令をCPU31が
実行し、所定のデータをRAM33ヘアクセスしながら
制御を行なうものとなっている。
また、光スポツト80反射光に基づ(PSD12からの
出力電流i A l i !Iは、各々が負荷抵抗器R
へ通じ、これの端子電圧が増幅器41A 、 418 
Kよ勺各個に同一利得として増幅されたうえ、I/F3
5からの制御信号に応じ、高速によシ選択動作を行なう
セレクタ42を介し、アナログ拳ディジタル変換器〔以
下、〜Φ〕43へ与えられ、ここにおいてディジタル信
号へ変換されてから、I/F36を経てCPU31へ与
えられるものとなっており、これに基づいてCPTJ3
1が上述の距離測定演算を行ない、対向距離tを規定値
へ保つ方向の制御信号を送出し、I/F39および駆動
回路〔以下、DR)53を介して2軸用のモータ〔以下
、Mz〕  を駆動するものとなっている。
一方、CPU31は、操作箱44からのI/F34を介
する指令に応動し、VF’3γ、38およびDR51,
52を経て、図上省略した三軸移動機構に備えるX軸周
のモ〜り〔以下、Mx)54およびY軸用のモータ〔以
下、MY)55を駆動し、ヘッドを第3図に示すXt−
X2方向およびy、−Y、方向へ移動させると共に、自
動ティーチングの際には、A/D 43の出力によって
示される′反射光の変化に応じ、Mx54.Mr55を
駆動して第3図に示す走査制御を行ない、中心22の各
座標点を求めたうえ、これを逐次RAM33へ格納し、
これを加工時に読み出してヘッドを自動的に移動させる
制御を行なう。
第1図は、CPU31による自動ティーチング時の制御
状況を示すフローチャートであり、第4図のパルス@W
をクロックパルスのカウントによ)求めるための″Wカ
ウンタ・クリア″101、および、求めた中心位置の座
標点を格納するRAM33のアドレス指定を行なう”ア
ドレスカウンタ←0″102を行ない、初期状態を設定
すると共に、第3図に示す基準点23の座標点をMX5
4.MY55の現制御状況に基づいて求め、1基準X−
Y−4RAM”103により格納してから、”M x 
” X 1方向駆動”111、”My−Y1方向駆動″
112、および、”Mz*修正駆動′113を行ない、
”A/D 出力変化あり?”114がNOの間はステッ
プ111以降を反復する。
光スポット8がテープ21の一側辺25から逸脱し、ス
テップ114がYESとなれば、”アドレスカウンタ+
1”121によりアドレス指定を歩進させたうえ、”M
ye反転方向駆動″122および’Mz・修正駆動″1
23を行ない、ヘッドをテープ21側へ移動させ、”A
/D出力変化あり?”131がYESとなり、光スポッ
ト8がテープ21の一側辺25へ達すれば、これの座標
点を”X−Y→バッファメモリ”132によ、りRAM
33のバッファエリアへ格納し、Wカウンタによる”W
カウント開始”133を行ない、更に、”Mz・修正駆
動”134によ勺対向距離tを規定値としながら、同一
方向へヘッドを移動させる。
ただし、ステップ131がNoの間は、CPU31中に
構成したタイマーにより所定時間”11経過?”141
を監視し、これがNoであればステップ123以降を反
復するが、タイマーのタイムアツプによりステップ14
1がYESとなれば、MX・反転方向駆動”142によ
り今までと反対に、X2方向の移動とし、”A/D出力
変化あシ?”142がYESになるとステップ132へ
移行する。
また、ステップ143がNoの間は、同様のタイマーに
よシ”t2経過?”151を監視し、NOであればステ
ップ123以降を反復するが、ステップ151がタイム
アツプによ、9 YESとなれば、”My・反転方向駆
動”152によりヘッドを今までと反対のY1方向へ移
動させ、ステップ123以降を反復する。
したがって、ヘッドをステップ111および122によ
、9XlおよびY2方向へ移動させても、テープ21が
存在しなければ、ステップ142 、152によ)X2
およびY2方向への移動に転じ、テープ21の探索が行
なわれる。
テープ21の一側辺25が検出され、ステップ132〜
134が実行された後は、光スポット8がテープ21を
横断し他側辺26へ達すると、″A/D出力変化あシ?
”161がYESとなシ、このときの座標点を”X−Y
→バッファメモリ”162によシRAM33のバッファ
エリアへ格納し、″Wカウント停止” 163を行なっ
てから、Wカウンタのカウント値に基づき”W/2演算
″164シよび”中心座標点演算”165を行ない、こ
れによって求めた中心位置の座標点を1中心X−Y→R
AM”166によ、9、RAM33のアドレスカウンタ
によって指定されたアドレスへ格納し、′Wカウンタ・
クリア”167を行なった後、”A/D出力なし?”1
91がN。
の間はステップ121以降を反復する。
ただし、ステップ161のNOに対し、上述と同様に”
t3経過?”171〜”A/D出力変化あp7”173
、′t4経過?”181、My・反転方向駆動”182
の各ステップが設けてあり、テープ21の横断方向誤り
の修正を行なうものとなっている。
このため、第3図のとお、!7、”MY・反転方向駆動
″122 、152 、182および′Mx・反転方向
駆動”142 、172により、各々直前の状態と反対
方向の走査がなされ、テープ21に対する反復走査が行
なわれ、−側辺25および他側辺26による″′〜Φ出
力変化あシ?”131 、143 、161 、173
がYESとなる状態を反復する方向へヘッドが移動し、
ステップ121によるアドレス指定の歩進にしたがいス
テップ166により中心22と一致する中心位置の各座
標点X−YがRAM33へ逐次格納される。
また、テープ21の走査を完了し、光スポット8が被加
工物4から逸脱すれば、ステップ191がYESとなシ
、タイマーによる”t5経過?”192がYESとなる
のに応じ、’ Mx l My I Mz  停止”1
93を行ない、自動ティーチングを終了する。
したがって、テープ21を加工線上へ貼着するのみによ
勺、加工線の各座標点がRAM33へ格納され、加工開
始の指令に応じてCPU31がRAM33の各座標点を
逐次読み出し、これにしたがったMX54、My55の
駆動を行なうものとなル、加工線に沿ったレーザビーム
3による加工が自動的に行なわれるため、ティーチング
の容易化および高速化ならびに高精度化が実現する。
ただし、光源6を複数とし、レーザビーム3の近傍周囲
へ互に対称な位置として光スポット8を投射すると共に
、これらの反射光をPSD12によシ一括受光し、各党
スポット8による平均位置に基づいて対向距離tを測定
してもよく、光源6としては、ランプ、発光ダイオード
等の発光素子を用いても同様であり、光源の種別にした
がい、これらの発光波長を通過させ、かつ、レーザビー
ム3および加工点の発熱による発光波長を阻止する光学
フィルタを撮像レンズ11側へ設ければよい。
また、SPDを用いる代シに、7オトダイオードアレイ
等を用いてもよく、これに応じて抵抗器R乃至A/D 
43の回路を選定すれば同様であ、り、CPU31を用
いず、各種の論理回路および演算回路の組み合せを用い
てもよい等、M4図の構成は選定が任意であると共に、
第1図においては、状況によ)ステップを入替え、また
は、同等の他のものと置換し、あるいは、不要のものを
省略してもよく、条件によ)走査軌跡24を正弦波状、
矩形波状とし、あるいは、テープ21の曲折に応じて走
査周期を短縮してもよい。
なお、テープ21を貼着する代りに、加工面と異なる光
線反射率の塗料等によりマーキングを施しても同様であ
)、マーキングの色彩が加工面と異なれば、光線反射率
がほぼ同等であっても、光学フィルタによ勺判別を可能
とすればよい等、本発明は種々の変形が自在である。
〔発明の効果〕
以上の説明によシ明らかなとおり、本発明によれば、加
工線のティーチングが容易かつ高速になると共に高精度
となシ、自動加工を行なうレーザ加工機において顕著な
効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の実施例を示し、第1図は制御状況のフロー
チャート、第2図はヘッドの断面図、第3図はマーキン
グの検出状況を示す平面図、第4図は反射光の変化状況
を示す波形図、第5図は制御部のブロック図である。 1・@@−外筒、2@・#−加エレンズ、3・・・・レ
ーザビーム、4・・・・被加工物、6・・・・光源、T
・・・・投光レンズ、8・・・・光スポット、11・・
・・撮像レンズ、12@・・・PSD (受光素子)、
21・・・・テープ(マーキング)、22・・・・中心
、23・・・・基準点、24・・・・走査軌跡、25・
・・・−側辺、26・・・・他側辺、31・・・・cp
u(プロセッサ)、32・□・・・ROM(固定メモリ
)、33・・・・RAM(可変メモリ)、44・・・・
操作箱、54・・・・Mx(X軸用のモータ)、55・
・・・My(Y軸用のモータ)、56・・・串M、(Z
軸用のモータ)。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. テイーチングされた加工線に沿つて加工を施し、かつ、
    光源より被加工物へ投射された光スポットを撮像してレ
    ーザビームを投射するヘッドと前記被加工物との対向距
    離を測定するレーザ加工機において、前記被加工物の加
    工面上へ光線反射率が加工面と異なるマーキングを加工
    線の中心に沿つて施し、前記光スポットによる反射光の
    変化を検出し、前記ヘッドを前記反射光の変化が反復す
    る方向に沿つて移動させ、前記マーキングによる反射光
    の変化が生ずる中心位置の座標点を求め、該座標点を逐
    次メモリへ格納することを特徴とするレーザ加工機の自
    動テイーチング方式。
JP59227224A 1984-10-29 1984-10-29 レーザ加工機の自動ティーチング方法 Granted JPS61108485A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59227224A JPS61108485A (ja) 1984-10-29 1984-10-29 レーザ加工機の自動ティーチング方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59227224A JPS61108485A (ja) 1984-10-29 1984-10-29 レーザ加工機の自動ティーチング方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61108485A true JPS61108485A (ja) 1986-05-27
JPH033550B2 JPH033550B2 (ja) 1991-01-18

Family

ID=16857441

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59227224A Granted JPS61108485A (ja) 1984-10-29 1984-10-29 レーザ加工機の自動ティーチング方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61108485A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01141303A (ja) * 1987-11-27 1989-06-02 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 3次元加工用ティーチングセンサ
US4906418A (en) * 1987-10-23 1990-03-06 Toyoda-Koki Kabushiki-Kaisha Method for teaching a machining line
JP2020163423A (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 株式会社総合車両製作所 レーザ溶接方法及びレーザ溶接装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58209481A (ja) * 1982-05-28 1983-12-06 Hitachi Zosen Corp 倣い制御方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58209481A (ja) * 1982-05-28 1983-12-06 Hitachi Zosen Corp 倣い制御方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4906418A (en) * 1987-10-23 1990-03-06 Toyoda-Koki Kabushiki-Kaisha Method for teaching a machining line
JPH01141303A (ja) * 1987-11-27 1989-06-02 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 3次元加工用ティーチングセンサ
JP2020163423A (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 株式会社総合車両製作所 レーザ溶接方法及びレーザ溶接装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH033550B2 (ja) 1991-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6600254B2 (ja) ウェーハの加工方法
US20180299260A1 (en) Laser processing system having measurement function
JP7223939B2 (ja) 形状測定機及びその制御方法
JPH11351858A (ja) 非接触三次元測定装置
JP6710243B2 (ja) 工具形状測定装置
JPH0122977B2 (ja)
JP3269405B2 (ja) 数値制御工作機械の自動測定装置
JPS61108485A (ja) レーザ加工機の自動ティーチング方法
JP7379096B2 (ja) 測定装置、及び光量制御方法
JPH1133962A (ja) ロボットの三次元位置センサのキャリブレーション 方法とその装置
JP2000046529A (ja) 3次元曲面を持つ被計測体の形状計測方法および装置
JPS6125003A (ja) 形状計測方法
JP2000193429A (ja) 形状測定装置
JP2669147B2 (ja) レーザ溶接装置およびレーザ溶接方法
JP3647120B2 (ja) 走査露光装置および方法、ならびにデバイス製造方法
JPH0324603B2 (ja)
JPH05337785A (ja) 研削ロボットの研削経路修正装置
JPH05280927A (ja) レーザスリット光の位置検出方法
JP2812716B2 (ja) 自動位置合せ計測用センサ装置
JPH11156577A (ja) 突合せ位置検出装置
JPS63130294A (ja) レ−ザ加工装置
JP3252248B2 (ja) スペックル利用非接触直径測定装置
JPH09203688A (ja) レーザスキャナユニットのビーム形状評価方法及び装置
JPS63278686A (ja) 面直検知機能を備えた加工機
JPS63252204A (ja) 距離・傾斜角測定器