JPS61108358U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61108358U JPS61108358U JP19146184U JP19146184U JPS61108358U JP S61108358 U JPS61108358 U JP S61108358U JP 19146184 U JP19146184 U JP 19146184U JP 19146184 U JP19146184 U JP 19146184U JP S61108358 U JPS61108358 U JP S61108358U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum container
- opening
- container
- transport means
- substrate holders
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は、本考案によるスパツタ装置の一実施
例を示す縦断面図、第２図は、第１図のＡ―Ａ視
断面図、第３図は、従来のスパツタ装置の一例を
示す縦断面図、第４図は、第３図のＢ―Ｂ視断面
図である。 １……真空容器、５……真空ポンプ、７……副
真空室、８……開口、１１……ドラム、１３……
…基板ホルダ、２０……プツシヤ、２７……エア
シリンダー、２８……主真空室。
例を示す縦断面図、第２図は、第１図のＡ―Ａ視
断面図、第３図は、従来のスパツタ装置の一例を
示す縦断面図、第４図は、第３図のＢ―Ｂ視断面
図である。 １……真空容器、５……真空ポンプ、７……副
真空室、８……開口、１１……ドラム、１３……
…基板ホルダ、２０……プツシヤ、２７……エア
シリンダー、２８……主真空室。
Claims (1)
- 筒状の真空容器と、該真空容器に接続した排気
手段と前記真空容器内に同心状に設けた回転搬送
手段と、該搬送手段に等角度間隔に設けた複数個
の基板ホルダーと、前記真空容器の側壁に基板ホ
ルダに対向する如く設けた開口と、該開口に対し
複数個の前記基板ホルダを個々に気密に押圧、離
関せしめる駆動手段とを具備したことを特徴とす
るスパツタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19146184U JPS61108358U (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19146184U JPS61108358U (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61108358U true JPS61108358U (ja) | 1986-07-09 |
Family
ID=30748900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19146184U Pending JPS61108358U (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61108358U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59179786A (ja) * | 1983-03-30 | 1984-10-12 | Hitachi Ltd | 連続スパツタ装置 |
-
1984
- 1984-12-19 JP JP19146184U patent/JPS61108358U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59179786A (ja) * | 1983-03-30 | 1984-10-12 | Hitachi Ltd | 連続スパツタ装置 |