JPS61107031A - クリ−ンル−ム装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、清浄室を、その塵埃を極端に低減させて清
浄な環境に保持するためのクリーンルーム装置に関し、
特に、天井を形成する多数の送風ユニットを、空気吹き
出し態様の異なる複数種類の送風ユニットから、クリー
ンルーム装置の用途に応じて適宜選択された−又は複数
種類の送風ユニットにより構成し、しかも天井を形成す
るこれら送風ユニットは、上方から吊られ且つ送風ユニ
ット相互間が連結されることにより、天井に送風ユニッ
ト取付けのための骨組を不要とする。

〔従来の技術〕

従来のクリーンルーム装置としては、例えば特開昭５８
−１１０９３８号公報に記載されるようなものがある。

これは多数の送風ユニットを、天井裏から吊った格子状
の骨組に取付けてなるものであり、しかも多数の送風ユ
ニットは同一種類のものを用いている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような従来のクリーンルーム装置に
あっては、使用される多数の送風ユニットがいずれも天
井裏から吊った格子状の骨組に取付けられているため、
クリーンルーム装置の建造に際しては、骨組を天井から
吊る作業と骨組に送風ユニットを取付ける作業とが必要
になって、作業工数が嵩むという問題点がある。

また前記従来例にあっては、送風ユニットの種類が一種
類であるため、その下側の清浄室に向けての送風がいず
れの送風ユニットも同一の態様になる。このため、清浄
室の使用目的によっては、例えば清浄室の一部にエアカ
ーテンを形成するような、場所によっては他と相違する
送風をする必要がある場合等に的確に対応することがで
きないという問題点″もある。

この発明は、このような従来例の問題点に着目してなさ
れたものであり、送風ユニットの取付けのための骨組を
不要として建造作業の簡素化を図り、且つ清浄室の利用
目的に対応して送風の態様を決定することの可能なりリ
ーンルーム装置とすることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この出願は、空気吹き出し態様の異なる複数種類の送風
ユニットの中から選択された１つの種類又は複数種類の
多数の送風ユニットを、天井室と清浄室との間に所定の
配列をもって配置し、各送風ユニットは、上方から吊ら
れ且つ他の送風ユニットと結合される枠と、枠の下部に
形成された空気吹き出し口と、枠内に設置された送風機
と、枠内で送風機の下流側に形成された与圧室と、枠内
で与圧室の下流側に設置されたエアフィルタとを備えて
クリーンルーム装置を構成して特定発明としている。

また併合発明は、前記特定発明の構成に、さらに、床又
はその近くに清浄室内の空気の吸い込み口を形成し、こ
の吸い込み口と天井室とを、空調機を備えた循環路と、
清浄室側部にあって送風機とフィルタとを備えた循環ユ
ニットとの両峰路により並列に接続して空気の循環経路
を２系統形成した構成を付加して構成している。

〔作用〕

前記特定発明は、クリーンルーム装置の使用目的に対応
して、複数種類の送風ユニットのうち１つ又は複数種類
を選択し、これを所定の配列で上方から吊り、且つ送風
ユニット相互間を結合することにより、多数の送風ユニ
ットで天井を構成する。各送風ユニットは、送風機によ
り天井室の空気を与圧室に吹き出して与圧室の気圧を上
昇させる。与圧室の気圧が上昇すると、その空気はフィ
ルタを通過してここで空気中の塵埃が除去されたうえ清
浄室内に吹き出される。前記与圧室での気圧の上昇は、
与圧室全体の気圧の均等な上昇となって表れるから、フ
ィルタを通過する空気の速度もフィルタ各部で均等とな
り、従って送風ユニットの１つの゛吹き出し口から吹き
出される風はその吹き出し口の各部において均一な速度
となる。

前記併合発明は、特定発明によって清浄−内に吹き出さ
れた空気を、床の吸い込み口から吸い込み、その空気の
一部を空調機を備えた循環路を経由して、温湿度を調整
したうえ天井室に循環させ、且つ空気の他の一部を、清
浄室側部にあって送風機とフィルタとを備えた循環ユニ
ソ１−を経由して天井室に循環させる。送風ユニットか
ら清浄室に吹き出す空気の全体の温湿度の調整は、その
空気のうちの一部の空気の温湿度を調整することによっ
て行うことが可能であって、全体が空調機を通過する必
要はない。このため、一部の空気の空調を行うことによ
って全体の空気の温度と湿度とを調整し、以て空調機を
備えた循環路とその空調機の規模を縮小することを可能
にした。

〔実施例〕

第１図（ａｌ〜［ｄ）は、夫々清浄室の天井を清浄室か
ら見上げた状態の図である。第１図［ａ）は、天井全面
に層流ユニット１を設置して層流領域Ａとし、天井全面
から均一な空気吹き出しをするための例であり、同図（
ｂ）は、天井に層流ユニット１を複数の列をなすように
配置し、各列の間には空気を吹き出さない盲ユニット２
を列をなすように配置した例である。同１’ｑ　（Ｃ）
は、層流ユニット１を一面に配置した層流領域へと、多
数の盲ユニット２の間に層流ユニット１を間隔をおいて
配置した乱流領域Ｂと、両領域へ、Ｂ間に、一部に形成
された細長状の開口からエアーカーテン状に空気を吹き
出し且つ他の部分の略全面から空気を均等に吹き出すハ
イブリットユニット３を配置した例である。

また同図（ｄ＋は、天井の中央部に層流ユニット１をま
とめて配置してここを層流領域Ａとし、天井の周囲に近
い部分には盲ユニソ１−２を配置してここを青領域Ｃと
した例である。層流領域Ａと青領域Ｃとの間には、一部
に形成された細長状の開口からエアーカーテン状に空気
を吹き出すエアーカーテンユニット４が配置される。

かくしてこれら各図においては、層流ユニット１と盲ユ
ニット２とハイブリットユニット３とエアーカーテンユ
ニット４との各送風ユニットの中から選択された１又は
複数の送風ユニットを、清浄室の用途に応じた所定の配
列をもって配置している。

次に各送風ユニットについて説明する。

第２図＋８）〜（Ｃ）は層流ユニット１を示す図である
。

周囲と上面とが囲まれた枠１１の上面四隅には、この枠
１１を上方から吊るための吊りボルトが係合する穴１１
ａが形成され、また枠１１の内部には、高い位置に送風
機１２が設置される。送風機１２の上側位置では枠１１
が開口され、ここにプレフィルタ１３が配設されて、こ
のプレフィルタ１３から天井室の空気が送風機１２に供
給されるようにしである。

送風機１２の下流側には枠１１内には、送風機１２と同
一の高さ位置に与圧室１４が形成される。

与圧室１４は、送風機１２から吹き出された空気によっ
て圧力を増大させ、この空気圧をパスカルの原理に基づ
いて、その下側のニアフィルタ１５全面に平均した圧力
で空気を供給するものである。

与圧室１４の下側にはエアフィルタ１５が、枠１１の平
断面積に近い面積にわたって架設される。

このエアフィルタ１５下側には、枠１１の下面開口全体
に散光板１６が装着され、散光板１６とエアフィルタ１
５との間には照明灯１７が設置される。散光板１６はハ
ニカム状をなしていて、その上側の照明灯１７の光線が
分散されて清浄室を照明し、且つエアフィルタ１５を通
過した空気がこれを通過するようにしである。

而して、送風ａ１２の運転により、天井室の空気をプレ
フィルタ１３で濾過した後、与圧室１４に送出する。与
圧室１４は送風機Ｉ２の運転により気圧が上昇するが、
上昇した気圧はエアフィルタ１５にパスカルの原理によ
って均等に作用して、この空気はエアフィルタ１５を、
その各部において均等に′ａ遇し濾過される。ここで濾
過された空気はニアフィルタ１５下面に均等に吹き出さ
れ、散光板１６を通過してそのまま清浄室に吹き出され
る。

層流ユニットから吹き出される清浄空気の風量は、調速
装置３２により送風機１２０回転数を変化させることに
より、その室の清浄度の要求に応じて変更させる。

第３図（ａｌ〜（Ｃ１はエアーカーテンユニット４を示
す図である。このエアーカーテンユニット４は、枠１１
と穴１１ａと送風機１２とプレフィルタ１３と与圧室１
４と照明灯１７とについてはいずれも前記層流ユニット
１のそれらと同一である。そして与圧室１４の下流側に
あるエアフィルタ１８は、与圧室１４の横断面積と同程
度の断面積をもつものであって、枠１１の横断面積の大
体半分の横断面積をもつ。

枠１１の下面開口部にはアクリル樹脂からなる盲板１９
が固定され、前記エアフィルタ１８の下方に位置する、
盲板１９の一辺には、その辺に沿って細長い吹き出し口
２０が開口される。この吹き出し口２０の長さは枠１１
の内側の一辺と同一であり、この長さにわたってエアカ
ーテン状に空気を吹き出す。なお照明灯１７は盲板１９
の下面に設置されて、盲板１９は照明の反射板を兼ねる
ものである。

而して、狭い吹き出し口２０のみから空気を吹き出すた
めに、吹き出し口２０から吹き出す空気の速度は大であ
り、且つ吹き出し口２０の平面形状が細長いために、こ
れから吹き出す空気はエアカーテン状になる。

第４図（ａ）〜（Ｃ）はハイブリットユニット３を示す
図である。このハイブリットユニット３は散光板１６の
一部に、前記エアーカーテンユニット４の吹き出し口２
０と同一の吹き出し口２０が形成される他は第２図（ａ
ｌ〜（Ｃ）に示した層流ユニット１と同一である。ここ
で、散光板１６のハニカム状の格子が細かく、且つ細長
い吹き出し口２０の開口が大きいため、エアフィルタ１
５を通過した空気が清浄室に吹き出す際に、散光板１６
の流通抵抗が大であり、吹き出し口２０の流通抵抗が小
となるから、吹き出し口２０からの空気吹き出しは散光
板１６のそれよりも高速となる。

而して、散光板１６から清浄室に吹き出す空気は均一な
流れ（層流）になり、且つ吹き出し口２０から吹き出す
空気はエアカーテン状になる。従ってこのハイブリット
ユニット３を、第１図（，１１に用いた多数の層流ユニ
・シトの中に１列分だけ配置して、清浄室をエアカーテ
ンで区分し、一方は清浄度の高い層流領域とし、他方は
清浄度の低い層流領域とすることも可能である。

□盲ユニット２については詳細に図示してないが、前記
した層流ユニット１の枠１１の下面に、散光板１６に代
えて盲板を装着したものであり、枠１１内部には格別の
機器類は存在しない。前記盲板の下側には照明灯１７が
配置されていてもよい。

そして、各送風ユニットは上方から吊りボルトによって
吊られ、且つ各送風ユニットは、相互間に必要によりシ
ール材が介在されて、隣接するどうしで連結される。こ
の連結のための構造は図面においては省略しである。な
お、前記した各送風機１２は空気吹き出し速度を段階的
に調整可能に構成される。また各送風ユニットにおいて
照明灯１７は必須の構成要件ではないが、前記のように
照明灯１７を予め取付けておくことにより、照明設備の
取付は作業が簡略化される効果がある。

第５図は、前記層流ユニット１．盲ユニット２゜ハイブ
リットユニット３．エアーカーテンユニット４の中から
選択された１つの種類または複数種類の多数の送風ユニ
ットＵと、その上側の天井室２１と、送風ユニットＵの
下側の清浄室２２と、清浄室２２の床２３と、その下側
の床下室２４との関係を示す説明図である。床２３は格
子状をなしていて、その格子の孔が清浄室２２の空気の
吸い込み口をなす。

床下室２４と天井室２１とは２つの経路により接続され
ている。即ち、その１つが空調機２５と送風機２６とを
備えた循環路２６ａであり、この循環路２６ａは、清浄
室２２の空気を床下室２４を介して吸い込み、空調機２
５で温湿度を調整して、送風機２６により天井室２１に
循環させるものである。空調機２５には新鮮な空気を適
宜混入する構造になっている。

また他の１つは、第６図に示すように、送風機２７とエ
アフィルタ２８とを備えて、清浄室２２の側部に配置さ
れる循環ユニット２９の経路であり、清浄室２２の空気
を床下室２４を介して循環ユニット２９内に下から吸い
込み、この内部でエアフィルタ２８で濾過し送風機２７
で天井室２１に循環させるものである。循環ユニット２
９と床２３との間には高さ調整パネル３０があって、清
浄室２２の高さに応じてこの高さ調整パネル３０の上下
の長さを調整すれば、Ｖａ環ユニット２９は各種畜さの
清浄室２２に適応できる。３１は循環ユニット２９の吊
りボルトである。

また清浄室２２の側面には排気口３２が形成され、これ
に排気ファン３３を備えた排気ダクト３４が連続してい
る。

ところで、清浄室２２の温湿度を制御するに必要な循環
風量は、全循環風量の２０〜５０％あれば足りる。この
ことから、循環する空気を空調機２５により空調する量
は２０〜５０％あればよく、他は循環ユニット２９を経
由して循環させればよいことになる。そこでこの実施例
では、床下室２４と天井室２１とを空ｉＦＩ機２５を通
過する経路と循環ユニット２９を通過する経路の２つの
経路により接続している。このため、空調機２５を通過
する風量が、全循環風量に比して少なくなるから、空１
１ｉ２ｓ、送風機２６の規模を小さくすることができる
。

第７図（ａｌは、第１図（ｂｌに示した如く、層流ユニ
ット１を列をなすように配置して清浄室２２に清浄空気
を送風する実施例の斜視説明図であり、層流ユニット１
．天井室２１．清浄室２２．床２３゜床下室２４．循環
ユニット２９は前記と同一である。また空調機２５には
送風ａ２６を内蔵しており、また新鮮空気が空調機２５
に導入できるようにしである。また第７図（ｂｌは、第
１図（Ｃ）の乱流領域Ｂの如く、層流ユニット１を間隔
をおいて配置した実施例の斜視説明図である。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明によれば、送風ユニット
を上方から吊って取付けるため、天井に骨組を造り、こ
れに送風ユニットを取付けるという複雑な作業がなくな
り、現場作業の簡略化を図ることができる。また、空気
吹き出し態様の異なる複数種類の送風ユニットの中から
実際に使用する送風ユニットを選択して配置するもので
あるから、清浄室の利用目的に対応してこれに最適な送
風の態様を決定することができる効果もある。

また、清浄室内の空気を吸い込む吸い込み口と天井室と
を、空調機を備えた循環路と、循環ユニソ１−との両経
路により並列に接続して空気の循環経路を２系統形成し
たため、空調機により清浄室内の温湿度は充分に制御で
きる一方、空調機の負担を軽減してその規模を縮小する
ことも可能になった。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜Ｆｄｌは、夫々送風ユニットの種類と配
置の例を示す天井の下面図、第２図（ａｌは層流ユニッ
トの下面図、同図ｆｂｌは同側面図、同図（Ｃ）は同上
面図、第３図（ａ）はエアーカーテンユニットの下面図
、同図（ｂｌは同側面図、同図（Ｃ）は同上面図、第４
図（ａｌはハイブリットユニットの下面図、同図（ｂｌ
は同側面図、同図（Ｃ）は同上面図、第５図はクリーン
ルーム装置全体を示す説明図、第６図は循環ユニットの
縦断面図、第７図（ａ）はクリーンルーム装置の一例の
斜透視図、同図（ｂ）はクリーンルーム装置の他の例の
斜透視図である。 Ａ・・・層流領域、Ｂ・・・乱流領域、Ｃ・・・青領域
、Ｕ・・・送風ユニ・ノド、１・・・層流ユニット、２
・　・　・盲ユニット、３・　・　・ノ＼イフリソトユ
ニソト、４・・・エアーカーテンコ、二・ノド、１１・
・・枠、ｌｌａ・・・穴、１２・・・送風機、１３・・
・プレフィルタ、１４・・・与圧室、１５・・・エアフ
ィルタ、１６・・°散光板、１７・・・照明灯、１８・
・・エアフィルタ、１９・・・盲板、２０・・・吹き出
し口、２１・・・天井室、２２・・・清浄室、２３・・
・床、２４・・・床下室、２５・・・空調機、２６・・
・送風機、２６ａ・・・循環路、２７・・・送風機、２
８・・・エアフィルタ、２９・・・ｗｉ環ユニット、３
１・・・吊りボルト、３２・・・調速装置。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）天井室からその下側の清浄室に清浄空気を吹き出
   して清浄室を清浄に維持するクリーンルーム装置におい
   て、空気吹き出し態様の異なる複数種類の送風ユニット
   の中から選択された１つの種類又は複数種類の多数の送
   風ユニットを、天井室と清浄室との間に所定の配列をも
   って配置し、各送風ユニットは、上方から吊られ且つ他
   の送風ユニットと結合される枠と、枠の下部に形成され
   た空気吹き出し口と、枠内に設置された送風機と、枠内
   で送風機の下流側に形成された与圧室と、枠内で与圧室
   の下流側に設置されたエアフィルタとを備えたことを特
   徴とするクリーンルーム装置。
2. （２）複数種類の送風ユニットには、下面の略全面から
   空気を吹き出す層流ユニットと、下面の一部に形成され
   た細長状の吹き出し口からエアカーテン状に空気を吹き
   出すエアカーテンユニットと、下面の一部に形成された
   細長状の開口からエアカーテン状に空気を吹き出し且つ
   下面の他の部分の略全面から空気を均等に吹き出すハイ
   ブリットユニットと、を備えた特許請求の範囲第１項記
   載のクリーンルーム装置。
3. （３）天井室からその下側の清浄室に清浄空気を吹き出
   して清浄室を清浄に維持するクリーンルーム装置におい
   て、空気吹き出し態様の異なる複数種類の送風ユニット
   の中から選択された１つの種類又は複数種類の多数の送
   風ユニットを、天井室と清浄室との間に所定の配列をも
   って配置し、各送風ユニットは、上方から吊られ且つ他
   の送風ユニットと結合される枠と、枠の下部に形成され
   た空気吹き出し口と、枠内に設置された送風機と、枠内
   で送風機の下流側に形成された与圧室と、枠内で与圧室
   の下流側に設置されたエアフィルタとを備え、床又はそ
   の近くには清浄室内の空気の吸い込み口を形成し、この
   吸い込み口と天井室とを、空調機を備えた循環路と、清
   浄室側部にあって送風機とフィルタとを備えた循環ユニ
   ットとの両経路により並列に接続したことを特徴とする
   クリーンルーム装置。