JPS61102036A - 間隔調整装置 - Google Patents
間隔調整装置Info
- Publication number
- JPS61102036A JPS61102036A JP59224923A JP22492384A JPS61102036A JP S61102036 A JPS61102036 A JP S61102036A JP 59224923 A JP59224923 A JP 59224923A JP 22492384 A JP22492384 A JP 22492384A JP S61102036 A JPS61102036 A JP S61102036A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- distance
- focal length
- optical system
- tabular
- space
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
- G03F9/7023—Aligning or positioning in direction perpendicular to substrate surface
- G03F9/7026—Focusing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C3/00—Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
- G01C3/32—Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders by focusing the object, e.g. on a ground glass screen
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/08—Systems determining position data of a target for measuring distance only
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/28—Systems for automatic generation of focusing signals
- G02B7/30—Systems for automatic generation of focusing signals using parallactic triangle with a base line
- G02B7/32—Systems for automatic generation of focusing signals using parallactic triangle with a base line using active means, e.g. light emitter
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は間隔：Ａ整装置に関し、特に光学的位置検知手
段により間隔調整を行う間隔調整装置に関する。
段により間隔調整を行う間隔調整装置に関する。
従来この種の間隔調整装置としては、２重態点レンズを
用いる方法（特開昭５６−１３０９２２参照）等が知ら
れているが固定焦点であるために、（１）位置合わせ間
隔が固定であり、位置合わせ間隔を変更するためには光
学系の交換もしくは再調整が必要、（２）デフォーカス
量がある値以下にならないと、位置合わせ動作を開始で
きず、位置合わせ時間が長い、等の欠点があった。
用いる方法（特開昭５６−１３０９２２参照）等が知ら
れているが固定焦点であるために、（１）位置合わせ間
隔が固定であり、位置合わせ間隔を変更するためには光
学系の交換もしくは再調整が必要、（２）デフォーカス
量がある値以下にならないと、位置合わせ動作を開始で
きず、位置合わせ時間が長い、等の欠点があった。
本発明の目的は、上述した従来技術による問題点を改良
した間隔調整装置を提供することにある。
した間隔調整装置を提供することにある。
以下、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施例に
ついて説明する。第１図および第２図は本発明の間隔調
整装置を概略的に示した図である０図中１は焦点距離可
変レンズ、２，３はそれぞれ間隔調整すべき第１の物体
、第２の物体、４は投影状態検知手段、５はステージ、
６は処理装置、Ｍ１〜Ｍ３は位置合わせマークである。
ついて説明する。第１図および第２図は本発明の間隔調
整装置を概略的に示した図である０図中１は焦点距離可
変レンズ、２，３はそれぞれ間隔調整すべき第１の物体
、第２の物体、４は投影状態検知手段、５はステージ、
６は処理装置、Ｍ１〜Ｍ３は位置合わせマークである。
第１図を参照して本発明の間隔調整装置の動作を説明す
る。
る。
まず、第１の板状体の位置検知を行う際には、投影状態
検知手段４より得られる出力により、板状体２にピント
が合うように焦点距離可変レンズ１の焦点距離を調節し
、その時のマークＭ２゜Ｍ３の位置情報を得る０次に同
様の方法で板状体３にピントが合うように焦点距離可変
レンズ１の焦点距離を調節し、その時のマークＭ１の位
置情報を得る０以上の方法により得られたＭ１〜Ｍ３の
位置情報に従い、ステージが駆動され、所定の位置合わ
せが行われる。
検知手段４より得られる出力により、板状体２にピント
が合うように焦点距離可変レンズ１の焦点距離を調節し
、その時のマークＭ２゜Ｍ３の位置情報を得る０次に同
様の方法で板状体３にピントが合うように焦点距離可変
レンズ１の焦点距離を調節し、その時のマークＭ１の位
置情報を得る０以上の方法により得られたＭ１〜Ｍ３の
位置情報に従い、ステージが駆動され、所定の位置合わ
せが行われる。
第２図は本発明の間隔調整装置の他の実施例を示したも
のであり、３組の光学系を通して得られる３組の位置情
報に従い、６自由度を持つステージ５により立体的位置
合わせを行う。
のであり、３組の光学系を通して得られる３組の位置情
報に従い、６自由度を持つステージ５により立体的位置
合わせを行う。
第３図は板状体位置と、光学系を通して得られる像の投
影状態を示す合焦信号であり、信号がほぼ線形となる点
線に囲まれた部分が位置検知範囲である。この範囲内で
合焦信号より位置を知ることができる。
（第４図は本発明の間隔調
整装置により得られる信号である。ピント位置をＡ、Ｂ
、Ｃと変化させることにより、位置検知範囲Ａ、Ｂ、Ｃ
が発生する。となり合う検知範囲が接するか、もしくは
若干型なり合うように光学系を設定しておけば、・ピン
ト位置を変化させることにより、単一のピント位置に固
定された場合よりも、広い検知範囲を得ることが可能と
なる。また、検知範囲の広さと検知感度は相反する関係
にあり、通常、検知範囲を広くとると検知感度は低下す
る。しかしながら、本発明によれば、高い検知感度を保
ったまま、広い検知範囲を実現することが可能となる。
影状態を示す合焦信号であり、信号がほぼ線形となる点
線に囲まれた部分が位置検知範囲である。この範囲内で
合焦信号より位置を知ることができる。
（第４図は本発明の間隔調
整装置により得られる信号である。ピント位置をＡ、Ｂ
、Ｃと変化させることにより、位置検知範囲Ａ、Ｂ、Ｃ
が発生する。となり合う検知範囲が接するか、もしくは
若干型なり合うように光学系を設定しておけば、・ピン
ト位置を変化させることにより、単一のピント位置に固
定された場合よりも、広い検知範囲を得ることが可能と
なる。また、検知範囲の広さと検知感度は相反する関係
にあり、通常、検知範囲を広くとると検知感度は低下す
る。しかしながら、本発明によれば、高い検知感度を保
ったまま、広い検知範囲を実現することが可能となる。
またピント位置の変化は焦点距離可変レンズの焦点距離
を変化させることにより行われる。
を変化させることにより行われる。
焦点距離可変レンズ１に関しては、既に本件出願人によ
り出願された特開昭５７−１５７２１３、特開昭５８−
１１８６１８．特願昭５８−１１９１８０等に詳しく開
示されている。
り出願された特開昭５７−１５７２１３、特開昭５８−
１１８６１８．特願昭５８−１１９１８０等に詳しく開
示されている。
他の変形例を以下に説明する。まず（１）光学系を焦点
距離可変レンズのみでなく１通常の固定焦点レンズと組
合わせて使用することもでき。
距離可変レンズのみでなく１通常の固定焦点レンズと組
合わせて使用することもでき。
（２）２つの板状体の位置合わせの用途のみならず、１
個又は３個以上の物体の位置合わせも可能、（３）投影
状態の検知方法としては合焦状態のみならず、他の方法
例えば反射ビームの角度の検知等によっても実現できる
。
個又は３個以上の物体の位置合わせも可能、（３）投影
状態の検知方法としては合焦状態のみならず、他の方法
例えば反射ビームの角度の検知等によっても実現できる
。
以上説明したとおり本発明の間隔調整装置においては、
機械的動作を必要とせずに広い範囲で高精度の位置合わ
せが可能で、位置合わせ間隔の設定値の自由度が高く、
位置合わせ時間が短縮できる等の効果がある。
機械的動作を必要とせずに広い範囲で高精度の位置合わ
せが可能で、位置合わせ間隔の設定値の自由度が高く、
位置合わせ時間が短縮できる等の効果がある。
第１図および第２図はそれぞれ本発明の好ましい実施例
を示した図である。 第３図は投影状態と位置の関係を示した図である。 第４図は本発明による投影状態と位置の関係を示した図
である。 ｌ−一一一焦点距離可変レンズ、２ 、３−−−一板状
体、４−一一一投影状態検知手段、５−一一一ステージ
、６−−−−処理装置。
を示した図である。 第３図は投影状態と位置の関係を示した図である。 第４図は本発明による投影状態と位置の関係を示した図
である。 ｌ−一一一焦点距離可変レンズ、２ 、３−−−一板状
体、４−一一一投影状態検知手段、５−一一一ステージ
、６−−−−処理装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、第１の物体と第２の物体の間隔を任意の設定値に調
整するための装置であって、電気的手段により焦点距離
を変化させることができる少なくとも１つの焦点距離可
変レンズを備えた光学系を有し、前記光学系により投影
された像の投影状態を検知することにより、第１の物体
と第２の物体の間隔を調整することを特徴とする間隔調
整装置。 ２、前記焦点距離可変レンズの焦点距離を変化させるこ
とによって、第１の物体と第２の物体の間隔の設定値を
変化させることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の間隔調整装置。 ３、焦点距離可変レンズを備えた光学系を少なくとも３
つ有し、前記光学系により投影された像の投影状態を示
す少なくとも３つの信号により、第１の物体と第２の物
体の間隔調整を行うことを特徴とする特許請求の範囲第
１項又は第２項記載の間隔調整装置。 ４、前記光学系により投影された像の合焦状態を光軸方
向距離に対応させることにより、間隔調整すべき物体ま
での距離を検知し、 更に前記焦点距離可変レンズの第１の焦点距離における
有限の距離検知範囲と、第２の焦点距離における距離検
知範囲とからなる距離検知範囲において、間隔調整すべ
き物体までの距離を検知することにより、第１の物体と
第２の物体の間隔を調整することを特徴とする前記特許
請求の範囲のうちのいずれか１項に記載の間隔調整装置
。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59224923A JPS61102036A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | 間隔調整装置 |
| FR8515821A FR2572515B1 (fr) | 1984-10-25 | 1985-10-24 | Dispositif de detection de position |
| DE3538062A DE3538062C2 (de) | 1984-10-25 | 1985-10-25 | Positionserfassungsgerät |
| GB08526374A GB2167262B (en) | 1984-10-25 | 1985-10-25 | A position detecting device |
| US07/218,447 US4830498A (en) | 1984-10-25 | 1988-07-12 | Position detecting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59224923A JPS61102036A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | 間隔調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61102036A true JPS61102036A (ja) | 1986-05-20 |
| JPH0525169B2 JPH0525169B2 (ja) | 1993-04-12 |
Family
ID=16821285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59224923A Granted JPS61102036A (ja) | 1984-10-25 | 1984-10-25 | 間隔調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61102036A (ja) |
-
1984
- 1984-10-25 JP JP59224923A patent/JPS61102036A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0525169B2 (ja) | 1993-04-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |