JPS6110165Y2 - - Google Patents

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JPS6110165Y2
JPS6110165Y2 JP7539783U JP7539783U JPS6110165Y2 JP S6110165 Y2 JPS6110165 Y2 JP S6110165Y2 JP 7539783 U JP7539783 U JP 7539783U JP 7539783 U JP7539783 U JP 7539783U JP S6110165 Y2 JPS6110165 Y2 JP S6110165Y2
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JP
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workpiece
measuring instrument
center
diameter
displacement detectors
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JP7539783U
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】
この考案は中ぐり加工等に於て、加工と同時に
平均直径等の測定、いわゆる中ぐり精度のインプ
ロセス測定を行なう被加工物の平均直径同時測定
装置に関するものである。 従来の中ぐり穴内径のインプロセス測定に於て
は、第1図及び第2図に示す如く、中ぐり棒2に
仕込まれた2個の空気マイクロメータ等の変位検
出器1,1を用いて平均直径の測定が行なわれて
いた。しかし、この方法では中ぐり棒2中心の偏
心や振動による変位が少なからず平均直径の測定
精度に影響を及ぼしていた。 また従来、測定器本体の周囲等配位置に90゜間
隔で4個の変位検出器を取付け、測定器本体中心
を通る直線上に対向配置された2個1対の変位検
出器により、被測定物の直径を縦と横について別
個独立して演算するようにしたものが、特開昭47
−13486号公報で紹介されている。しかし、この
方式は高価な変位検出器を4個使用するものであ
り、かつ、縦直径と横直径との2つの演算を行う
回路を別々に必要としており、しかも、被測定物
の中心と測定器本体の中心との偏心に基づく誤差
を演算する回路が必要であるため、測定装置全体
としては、4個の変位検出器の測定器本体への組
込み性に難点があり、制約されたスペース内への
組込みに不利であり、演算回路全体の構成も複雑
である等の点で十分満足できるものではなかつ
た。 この考案は、変位検出器を3個使用し、これと
特定配置角度で配置し、しかも、被加工物中心と
測定器本体中心との偏心に基づく誤差の修正を、
上記特定の配置角度で一義的に決定されて定数化
された1つの簡単な演算式の演算回路で構成して
上記従来の装置の問題点が一挙に解決し得るイン
プロセス制御用の測定装置を提供せんとするもの
である。以下、その測定原理について説明すると
次の通りである。 第3図に示すように、3個の変位検出器(例え
ば、空気マイクロメータ、電気マイクロメータ、
静電容量変位計等)を有した中ぐり棒3の中心O
が、被加工物4の既加工内径上の3点W1,W2
W3で定義される円(以下平均円と称す)の中心
Oとeだけの偏心を有して、内径の平均直径を測
定する場合を考える。3個の検出器の配置角を
各々τ,φとし、これらの検出器により測定され
る間隙量はy1,y2,y3で与えられる。尚、中ぐり
棒3の径は既知であり、その半径をRとする。 検出器により間隙y1,y2,y3が測定され、中ぐ
り棒3の半径Rは既知であるので、本測定法によ
りY1=R+y1,Y2=R+y2,Y3=R+y3の値が
読み取られる。 しかし、実際に求めたい量は12
3であるので、これらの長さを測定器により
検出される量と、幾何学的に決められる諸量とで
表わせば、1 =Y1cosα+ecosδ〓 (1)2 =Y2cosβ−ecos(π−α+β−τ−
δ)3 =Y3cosγ+ecos(−α−γ+φ−δ) そこで被加工物4内径の平均半径Rpを、123の算術平均で与えるとすれ
ば、 Rp=1/3(123) =1/3{Y1cosα+Y2cosβ+Y3cosγ+ecosδ −−ecos(π−α+β−τ−δ) +ecos(−α−γ+φ−δ)} (2) ここで、角α,β,γは微小であると仮定すれ
ば、cosα≒1,cosβ≒1,cosγ≒1となり、
(2)の式は次のようになる。 Rp=1/3〔(Y1,Y2,Y3)+e{cosδ +cos(δ+τ)+cos(φ−δ)}〕 (3) 上式の第2項、e{cosδ+cos(δ+τ)+cos
(φ−δ)}が、中ぐり棒3の中心O′が被加工物
4内径の平均円の中心Oと一致していない為に生
ずる誤差項である。 そこで偏心の影響をなくすように(3)式の誤差項
をゼロとするために、以下の手法を導入する。 測定器の3個の検出器から、最終的に被加工物
4の平均半径123が(1)式のように
計算される訳であるが、これらの値に1:a:b
(a≠1,b≠1)の重みをかけて、それからの
和を考えれば、123 =Y1+ecosδ+a{Y2+ecos(δ+τ)} +b{Y3+ecos(φ−δ)} ={Y1+aY2+bY3}+e{cosδ(1+acosτ +bcosφ)−sinδ(asinτ−bsinφ)} (4) ここで、1+acosτ+bcosφ=O〓 (5) asinτ−bsinφ=O となるように検出器配置角τ,φと倍率a,bを
設定する。 即ち、(5)式に於いて変数は検出器配置角τ,φ
と重みa,bの計4個で、方程式は2個であるか
ら、幾何学的なτ,φの組合せを与えれば、a,
bは次式を用いて計算されることになる。 a=−sinφ/sin(τ+φ),b=−sinτ
/sin(τ+φ)(6) ここで(5)式について、φを求めると、 cosτ=−1/2a(a2−b2+1)〓 (7) cosφ=1/2a(a2−b2−1) sinτ= 1/2a√−4+22 24+22+22+1 sinφ= 1/2a√−4+22 24+22+22−1 a>O,b>Oとして(7)式で示される三角関数
の絶対他は1以下であるとの条件から、次の不等
式が導かれる。 (a−b+1)(a+b−1)
(a−b−1)≦O (8) (8)式の不等式を図示すれば第4図のようにな
る。但し、重みa,bは共に1でないので、この
点は含まれない。 第4図のa,bのとりうる範囲をτ,φのとり
うる範囲に交換すると、第5図のようになる。但
し、a≠1,b≠1なので、τ,φ=(120゜,
120゜)の点は除かれる。 即ち、第5図の斜線部の領域に入るτ,φを決
めた上で、(6)式より重みa,bを計算により求め
ることができる。 例として、τ,φの値を数種とり、(6)式により
a,bの値を計算した結果を表1に示すと、
【表】 実際にτ,φの値を決定するに際しては、精度
測定の原則からも、3個の検出器の感度がほぼ一
様になることが望ましく、表1の計算結果例から
も明らかな如く、τ,φの値がほぼ1近くになる
任意の角度を選べばよいことになる。 従つて、検出器配置角τ,φから、倍率a,b
を決めると、(4)式の誤差項は消去され、しかも速
定点W1,W2,W3で定義される円は一義的に決め
られるものであるから、結局(4)式は次のようにな
る。 (1+a+b)Rp=Y1+aY2+bY3 (9) Rp=Y+aY+aY/1+a+b これから、 Dp=2(Y+aY+bY)/1+a+b(10
) となり、求める平均直径Dpが算出される。 以上がこの考案の測定原理であつてこれをブロ
ツク線図的にあらわしたのが、第6図の演算回路
である。第6図の演算回路について説明すれば、
先ず空気マイクロメータ、電気マイクロメータ等
の変位検出器により中ぐり棒3と被加工物4の既
加工内径との間隙y1,y2,y3が検出される。これ
を電気的に変換し、更に既知の中ぐり棒3の半径
Rをそれぞれに加算することにより、中ぐり棒中
心O′から測定点W1,W2,W3までの距離Y1
Y2,Y3が求められる。このうちY2,Y3の測定値
に重みa,bを乗じてそれらの総和を求め、更に
2/1+a+bを乗ずれば(10)式で表わされる平均直径
p が演算により求められる。 以下第7図に基き、この考案の実施例について
説明する。 第7図に於て、5は中ぐり盤主軸、6は中ぐり
棒、7は刃工具、8は被加工円筒工作物、9はマ
イクロメータで、既加工面を測定できるように刃
工具7より軸方向へ後方に位置している。10は
変位変換器、11は水銀スリツプリング、12は
パルス発生器、13は増幅器、14はA−D変換
器、15はデイジタル計算機を示す。 この考案は以上のような構成で、先ず空気マイ
クロメータ9により中ぐり棒6と被加工円筒工作
物8の内径との間隙が検出される。これを圧力変
換器等の変位検出器10により電気量に変換し、
この電気信号を水銀スリツプリング11等の信号
取出し部を介して外部に取り出して増幅器13に
より増幅すると同時に、ロータリエンコーダ等の
主軸5回転に同時したパルス発生器12からのク
ロツク信号により、主軸51回転中にN回の信号
を採取し、A−D変換器14によりA−D変換
器、ミニコンピユータ等のデイジタル計算機で演
算させる。即ち、 (Dp)ave=−〓〓〓(Dp)i (11) ここで、(Dp)iはi番目のクロツク信号によ
り計算される平均直径 (11)式で表わされるN回のデータの平均値(Dp
aveを中ぐり穴の平均直径とすれば、中ぐり穴の
形状精度の影響をも含めたより平均的な直径が測
定されることになる。 上記のようにこの中ぐり穴のインプロセス測定
法によれば、偏心や振動による中ぐり棒の偏位に
影響されることなく、中ぐり穴内径の精密なイン
プロセス測定が可能である。 又、平均直径Dpの変動を観測することによ
り、真円度に関する情報も得られ、更に、変動成
分の大小を判別することにより切削時に生じる中
ぐり棒と被加工物との相対振動いわゆるびびり振
動の検出も可能となる。そして更に、中ぐり穴内
径の測定により、工具寸法補正機構の付加により
中ぐり加工の精度向上が可能である。 尚、上記実施例では中ぐり精度のインプロセス
測定について説明したが、第8図及び第9図に示
す如く、被加工物が回転する旋削や研削などの円
筒状工作物の外径のインプロセス測定にも適用が
可能である。即ち、第8図は小形円筒物の外径測
定を示すもので、16は被加工物、17は測定器
本体、18は測定子である。第9図は円筒物が大
形になるために測定器本体を分割させたもので、
19は被加工物、20は定盤、21は測定子であ
る。又、大形円筒物の内径測定も同様に測定本体
を分割させて行うこともできる。 以上説明したようにこの考案は、測定器本体中
心に対して半径方向へ出没変位可能とされる3個
の変位検出器を、1つを基準にして他の2つを
τ,φ(τ及びφは120゜ではなく、120゜近傍の
値)の角度で測定器本体中心から等距離の円周上
に配置し、この3個の変位検出器により、被測定
物内外径上の3点の測定器本体中心からの寸法
Y1,Y2,Y3を検出するようにし、かつ、加工工
具の一部に装着した測定器本体と、測定器本体の
上記検出値Y1,Y2,Y3を電気量に変換し、その
値に1:a:b(但し、a,b≠1,a=−
sinφ/sin(τ+φ),b=−sinτ/sin
(τ+φ))の電気量を積 算すると共に、これら3つの積算値Y1,aY2
bY3を電気的に加算し、この加算値(Y1+aY2
bY3)に2/1+a+bの電気量を乗じて被測定物の直
径 を電気的に求め、これを工具又は被加工物の1回
転中、複数回求めて、その算術平均値を当該被加
工物の平均直径として求める演算回路とで構成し
たから、3個の変位検出器の検出値から直接的に
被加工物の内外径が測定でき、被加工物中心と測
定器本体中心との偏位角δ及び偏位量eを求める
ための演算回路や演算時間が不要となり、演算回
路を簡単安価とできる他、演算時間も短縮化で
き、より高速度で直径測定ができる。 即ち、3個の変位検出器の配置角τ,φは、測
定器本体に上記特定の値で取付けられるため既知
量となるのであり、従つて、既知のτ及びφから
a及びbも既知量(定数)として予め設定してお
くことができるため、直径の演算は、3個の変位
検出器の検出値から、 Dp=2/1+a+b(Y1+aY2+bY3)の式によつて直
接 求められるのであり、前記偏心角δや偏心量eの
演算を不要化できる利点がある。 また、変位検出器は、測定精度に直接影響を及
ぼす関係から比較的高価であり、その取扱いにも
最新の注意が必要でもあるから、これを4個から
3個に減少させることは、コストダウンを図る上
で多大のメリツトがあり、測定器本体への組込み
性においても有利であり、一層小径の測定にも利
用できるようになり、また、各変位検出器には、
これを電気量に変換する電気回路が付属するので
あつて、この変位検出器を4個から3個に減少さ
せることは、電気回路をもコンパクト化できて一
層安価となし得る利点がある。また、特に、加工
と併行して平均直径、真円度の測定が同時に実施
でき、内外径インプロセス測定による適応制御工
作機械用センサーとして好適である。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は従来の内径インプロセス測
定の測定要領を示す図面、第3図はこの考案に係
る平均直径の測定原理を示す概略図、第4図は倍
率a,bのとりうる範囲を示す座標、第5図は検
出器配置角τ,φのとりうる範囲を示す座標、第
6図はこの考案測定装置の演算回路ブロツク線
図、第7図はこの考案被加工物の平均直径同時装
定装置の実施例である中ぐり精度のインプロセス
測定の実験装置概略図、第8図及び第9図はこの
考案の他の実施例である。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 測定器本体中心に対して半径方向へ出没変位可
    能とされる3個の変位検出器を、1つを基準とし
    て他の2つをτ,φ(τ及びφは120゜ではな
    く、120゜近傍の値)の角度で測定器本体中心か
    ら等距離の円周上に配置し、この3個の変位検出
    器により、被測定物内外径上の3点の測定器本体
    中心からの寸法Y1,Y2,Y3を検出するように
    し、かつ、加工工具に一部に装着した測定器本体
    と、測定器本体の上記検出値Y1,Y2,Y3を電気
    量に変換し、その値に1:a:b(但し、a,b
    ≠1、 a=−sinφ/sin(τ+φ)、b=−sinτ/
    sin(τ+φ))の電気 量を積算すると共に、これら3つの積算値Y1
    aY2,bY3の電気的に加算し、この加算値(Y1
    aY2+bY3)に 2/1+a+bの電気量を乗じて被測定物の直径を電気 的に求め、これを工具又は被加工物の1回転中、
    複数回求めてその算術平均値を当該被加工物の平
    均直径として求める演算回路とで構成したことを
    特徴とする被加工物の平均直径同時定装置。
JP7539783U 1983-05-19 1983-05-19 被加工物の平均直径同時測定装置 Granted JPS5917806U (ja)

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JPS5917806U JPS5917806U (ja) 1984-02-03
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP5010487B2 (ja) * 2008-01-21 2012-08-29 三菱重工業株式会社 エアマイクロメータの計測ヘッド
JP2012132784A (ja) * 2010-12-21 2012-07-12 Tokai Kiyouhan Kk エアマイクロメータの測定ヘッド装置
JP6101584B2 (ja) 2013-07-09 2017-03-22 株式会社日立製作所 形状計測方法及び装置

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