JPS6097288A - 距離測定装置 - Google Patents
距離測定装置Info
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- JPS6097288A JPS6097288A JP20509883A JP20509883A JPS6097288A JP S6097288 A JPS6097288 A JP S6097288A JP 20509883 A JP20509883 A JP 20509883A JP 20509883 A JP20509883 A JP 20509883A JP S6097288 A JPS6097288 A JP S6097288A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- fiber
- optical
- objective lens
- measured
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/08—Systems determining position data of a target for measuring distance only
- G01S17/32—Systems determining position data of a target for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated
- G01S17/36—Systems determining position data of a target for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated with phase comparison between the received signal and the contemporaneously transmitted signal
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、反射体としての被測定体の離間距離を測定す
る元ファイバーによる距離測定装置に係り、この距離測
定装置における遅延補正装置に関する。
る元ファイバーによる距離測定装置に係り、この距離測
定装置における遅延補正装置に関する。
既に提案されているこの種の元ファイバーによる距離測
定装置は、例えば、ダムの水位や石油り／りの液位等の
測定に使用されている。
定装置は、例えば、ダムの水位や石油り／りの液位等の
測定に使用されている。
即ち、上記ダムの水位や液位の測定手段として使用され
るこの種の光ファイ・ぐ−による距離測定装置は、第１
図に示されるように、例えば、レーザー元による光源１
の光を・ぞシス発振器２で適当な周波数の・ξシス信号
に変調し、このパルス発振器２からの・ぞシス信号をハ
ーフミラ−（半透鏡〕３ａ による光分岐装置３を介し
て二方向に分光し、この光分岐装置３の上記ハーフミラ
−３ａ で反射した反射光を受光器４へ送信し、この受
光器４で受光した変調波による・ぞシス信号を電気信号
に変換して位相比較器５に送信し、他方、上記光分岐装
置３の上記ハーフミラ−３ａを透過したパルス信号な送
り元ファイバー６を通して対物し／ズ７ニ伝送し、この
対物し／ズ７による平行光をコーナーミラーによる被測
定体８に入射し、この被測定体８からの反射光を、再び
、上記対物し／ズ７を通して戻り元ファイバー９へ伝送
し、この戻り元ファイバー９を伝送される・ぐシス信号
を他の受光器！Ｏで受光し、この受光器１０の／ｅルシ
ス号を電気信号に変換して上記位相比較器５へ送信し、
この位相比較器５によって上記ハーフミラ−３ａかもの
・ぐシス信号と上記被測定体８かもの・ξシス信号とを
比較測定することにより、上記対物レンズ７から被測定
物８−！での長さく光路長）な測定するようになってい
る。
るこの種の光ファイ・ぐ−による距離測定装置は、第１
図に示されるように、例えば、レーザー元による光源１
の光を・ぞシス発振器２で適当な周波数の・ξシス信号
に変調し、このパルス発振器２からの・ぞシス信号をハ
ーフミラ−（半透鏡〕３ａ による光分岐装置３を介し
て二方向に分光し、この光分岐装置３の上記ハーフミラ
−３ａ で反射した反射光を受光器４へ送信し、この受
光器４で受光した変調波による・ぞシス信号を電気信号
に変換して位相比較器５に送信し、他方、上記光分岐装
置３の上記ハーフミラ−３ａを透過したパルス信号な送
り元ファイバー６を通して対物し／ズ７ニ伝送し、この
対物し／ズ７による平行光をコーナーミラーによる被測
定体８に入射し、この被測定体８からの反射光を、再び
、上記対物し／ズ７を通して戻り元ファイバー９へ伝送
し、この戻り元ファイバー９を伝送される・ぐシス信号
を他の受光器！Ｏで受光し、この受光器１０の／ｅルシ
ス号を電気信号に変換して上記位相比較器５へ送信し、
この位相比較器５によって上記ハーフミラ−３ａかもの
・ぐシス信号と上記被測定体８かもの・ξシス信号とを
比較測定することにより、上記対物レンズ７から被測定
物８−！での長さく光路長）な測定するようになってい
る。
特に、上述した元ファイ・々−による距離測定装置は、
可撓性の元ファイバーを使用している関係上、上記対物
レンズ７の位置を自由に移動して被測定物８までの距離
を測定し得るようになっている。
可撓性の元ファイバーを使用している関係上、上記対物
レンズ７の位置を自由に移動して被測定物８までの距離
を測定し得るようになっている。
しかしながら、上述した元ファイノ々−による距離測定
装置は、対物レンズ７を自由に移動して配置できるけれ
ども、上記光分岐装置３と対物レンズ７との間に配線さ
れる送り元ファイバー６と戻り元ファイバー９との長さ
が同じでない関係上、上記両光ファイバー６と９の長さ
馨、予め、上記位相比較器５ｉＣ記憶しておき、上記両
光ファイノ々−６と９とによる遅延を補正して、実測距
離を算出しなければならず、しかも、予め、正確に上記
両光ファイバー６．９の長さを実測しておかなければな
らない等の難点がある。
装置は、対物レンズ７を自由に移動して配置できるけれ
ども、上記光分岐装置３と対物レンズ７との間に配線さ
れる送り元ファイバー６と戻り元ファイバー９との長さ
が同じでない関係上、上記両光ファイバー６と９の長さ
馨、予め、上記位相比較器５ｉＣ記憶しておき、上記両
光ファイノ々−６と９とによる遅延を補正して、実測距
離を算出しなければならず、しかも、予め、正確に上記
両光ファイバー６．９の長さを実測しておかなければな
らない等の難点がある。
本発明は、上述した難点を解消するために、対物レンズ
に近接して光分岐装置を配設し、この光分岐装置から受
光器に接続される分岐元ファイバーと上記光分岐装置か
ら他の受光器に接続される戻り元ファイバーとの長さを
同じにして、上記両光ファイバーの長さの差による伝送
の遅延による誤差を解消し、上記対物レンズから被測定
体までの離間距離を正確に測定し得るようにしたことな
目的とする距離測定装置を提供するものである。
に近接して光分岐装置を配設し、この光分岐装置から受
光器に接続される分岐元ファイバーと上記光分岐装置か
ら他の受光器に接続される戻り元ファイバーとの長さを
同じにして、上記両光ファイバーの長さの差による伝送
の遅延による誤差を解消し、上記対物レンズから被測定
体までの離間距離を正確に測定し得るようにしたことな
目的とする距離測定装置を提供するものである。
本発明は、光源からの光を、ｅシス信号に変調する／ξ
ルシスＪＭ器の光路上に主光ファイバーの一端に光分岐
装置を設け、この光分岐装置に分岐元ファイバーを介し
て受光器を接続し、この受光器に位相比較器を連結し、
他方、上記光分岐装置に対物レンズを付設し、この対物
し／ズに被測定体からの反射光を伝送し、しかも上記分
岐元ファイバーと同じ長さの戻り元ファイバーを介して
他の受光器に受光するようにし、この受光器に上記位相
比較器を連結して構成したものである。
ルシスＪＭ器の光路上に主光ファイバーの一端に光分岐
装置を設け、この光分岐装置に分岐元ファイバーを介し
て受光器を接続し、この受光器に位相比較器を連結し、
他方、上記光分岐装置に対物レンズを付設し、この対物
し／ズに被測定体からの反射光を伝送し、しかも上記分
岐元ファイバーと同じ長さの戻り元ファイバーを介して
他の受光器に受光するようにし、この受光器に上記位相
比較器を連結して構成したものである。
以下、本発明を図示の一実施例について説明する。
なお、本発明は、上述した具体例と同一構成部材には、
同じ符号を附して説明する。
同じ符号を附して説明する。
第２図において、符号１は、例えば、レーザー元による
光源であって、この光源１からの元は１、ｚルス発振器
２へ伝送されて、こ〜で、適当な周波数の・ぞシス信号
に変調されるようになっている。
光源であって、この光源１からの元は１、ｚルス発振器
２へ伝送されて、こ〜で、適当な周波数の・ぞシス信号
に変調されるようになっている。
又、この・ξシス発振器２の光路上には、主光ファイバ
ー１１が配設されており、この主光ファイバー１１の一
端部には、例えば、元カプラーによる光分岐装置１２が
設けられている。さらに、この光分岐装置１２には上記
主光ファイ・々−１１から分岐したきわめて短かいリレ
ー元ファイノ々−１３と分岐元ファイバー１４が区分し
て設けられており、この分岐元ファイバー１４の一端部
は、例えば受光累子のような受光器４に接続されている
。さらに又、この受光器４には、この受光器４で電気信
号に変換された変調波の位相を比較する位相比較器５が
連結されている。
ー１１が配設されており、この主光ファイバー１１の一
端部には、例えば、元カプラーによる光分岐装置１２が
設けられている。さらに、この光分岐装置１２には上記
主光ファイ・々−１１から分岐したきわめて短かいリレ
ー元ファイノ々−１３と分岐元ファイバー１４が区分し
て設けられており、この分岐元ファイバー１４の一端部
は、例えば受光累子のような受光器４に接続されている
。さらに又、この受光器４には、この受光器４で電気信
号に変換された変調波の位相を比較する位相比較器５が
連結されている。
他方、上記光分岐装置１２には、対物し／ズ７が、上記
リレー元ファイバー１３を介して接続されており、この
対物し／ズ７は、上記光分岐装置１２に接続したリレー
元ファイバー１３からの出力光を平行光にして出射する
ようになってＶ）る。さらに、この対物レンズ７の前方
には、距離測定の相手方となるミラーコーナーによる被
測定体（被測定物）８が配設されており、この被測定体
８からの反射光は上記対物レンズ７に再び入射し得るよ
うになっている。さらに又、この対物し／ズ７には、上
記分岐元ファイバー１４と同じ長さの戻り元ファイバー
１５が上記被測定体８からの反射光を受光して伝送し得
るようにして配設されており、この戻り元ファイノ々−
１５の一端部には、例えば、受光素子による他の受光器
１０が設けられている。又、この受光器１０には、上記
位相比較器５が連結されており、上記受光器１０は、上
記対物レンズ７と被測定体８とを往復した光（／ξルシ
ス号）を電気信号に変換し、この電気信号に変換された
変調波は、上記位相比較器５へ送信されるようになって
いる。
リレー元ファイバー１３を介して接続されており、この
対物し／ズ７は、上記光分岐装置１２に接続したリレー
元ファイバー１３からの出力光を平行光にして出射する
ようになってＶ）る。さらに、この対物レンズ７の前方
には、距離測定の相手方となるミラーコーナーによる被
測定体（被測定物）８が配設されており、この被測定体
８からの反射光は上記対物レンズ７に再び入射し得るよ
うになっている。さらに又、この対物し／ズ７には、上
記分岐元ファイバー１４と同じ長さの戻り元ファイバー
１５が上記被測定体８からの反射光を受光して伝送し得
るようにして配設されており、この戻り元ファイノ々−
１５の一端部には、例えば、受光素子による他の受光器
１０が設けられている。又、この受光器１０には、上記
位相比較器５が連結されており、上記受光器１０は、上
記対物レンズ７と被測定体８とを往復した光（／ξルシ
ス号）を電気信号に変換し、この電気信号に変換された
変調波は、上記位相比較器５へ送信されるようになって
いる。
なお、上記主光ファイＡ −１１、分岐元ファイ／々−
１４及び上記戻り元ファイＡ−１５は、一本の元ケーブ
ル１６によって構成されている。
１４及び上記戻り元ファイＡ−１５は、一本の元ケーブ
ル１６によって構成されている。
従って、上記光源１からの元は、・ぞシス発振器２へ伝
送されて、こ〜で、Ａシス信号に変調される。そして、
このパルス発振器２０ノクルス信号は、主光ファイバー
１１内を通して上記光分岐装置１２へ伝送され、この光
分岐装置１２は、上記Ａシス信号な二方向に分岐し、こ
又で分岐した一方のノＲシス信号は、分岐元ファイバー
１４を通して受光器４へ伝送され、この受光器４は、受
光した・ぐシス信号を電気信号に変換して上記位相比較
器５へ送信するようになっている。
送されて、こ〜で、Ａシス信号に変調される。そして、
このパルス発振器２０ノクルス信号は、主光ファイバー
１１内を通して上記光分岐装置１２へ伝送され、この光
分岐装置１２は、上記Ａシス信号な二方向に分岐し、こ
又で分岐した一方のノＲシス信号は、分岐元ファイバー
１４を通して受光器４へ伝送され、この受光器４は、受
光した・ぐシス信号を電気信号に変換して上記位相比較
器５へ送信するようになっている。
一方、上記光分岐装置１２で分岐した他方の／ｅルシス
号は、リレー元ファイバー１３を介して対物レンズ７に
伝送され、この対物し／ズ７による平行を上記コーナー
ミラーによる被測定体８に入射し、この被測定体８から
の反射光は、再び、上記対物し／ズ７を通して上記戻り
元ファイバー１５へ伝送される。しかして、この戻り元
ファイバー１５に伝送される・ぞシス信号は、他の受光
器１０によって受光される。さらに、この受光器ＩＯは
受光したｉｅルシス号を電気信号に変換して上記位相比
較器５へ送信される。
号は、リレー元ファイバー１３を介して対物レンズ７に
伝送され、この対物し／ズ７による平行を上記コーナー
ミラーによる被測定体８に入射し、この被測定体８から
の反射光は、再び、上記対物し／ズ７を通して上記戻り
元ファイバー１５へ伝送される。しかして、この戻り元
ファイバー１５に伝送される・ぞシス信号は、他の受光
器１０によって受光される。さらに、この受光器ＩＯは
受光したｉｅルシス号を電気信号に変換して上記位相比
較器５へ送信される。
このようにして上記位相比較器５に受信された上記両受
光器４とＩＯからの両電気信号は、比較測定され、これ
によって、上記対物し／ズ７から被測定物８までの離間
距離を測定するようになっている。
光器４とＩＯからの両電気信号は、比較測定され、これ
によって、上記対物し／ズ７から被測定物８までの離間
距離を測定するようになっている。
次に、本発明を計算式によって説明する。
上記主光ファイバー１１の長さをｔとし、上記分岐元フ
ァイバー１４と上記戻り元ファイノ々−１５の長さを同
じ長さのｔ′とし、さらに、上記対物レンズ７と被測定
物８との離間距離をＳとし、光速をＣとする。
ァイバー１４と上記戻り元ファイノ々−１５の長さを同
じ長さのｔ′とし、さらに、上記対物レンズ７と被測定
物８との離間距離をＳとし、光速をＣとする。
しかりて、上記光源工な出射した変調波が、前述したよ
うに、上記両光ファイバー１４ 、１５を通して両受光
器４と１０に到達するまでの位相差をめる。
うに、上記両光ファイバー１４ 、１５を通して両受光
器４と１０に到達するまでの位相差をめる。
なお、こ〜で使用される各元ファイバーは、グレーデッ
ドイノデックスフアイバーであって、光源１は、例えば
レーザー、ＬＥＤ（発光ダイオード）若しくはＬＤであ
り、その発振波長に対して元ファイバーのモード分散は
、最小に押えられており、約２〜３ＧＴＴＺ−ｋｍの６
ｄＢ帯域が確保されているものとする。
ドイノデックスフアイバーであって、光源１は、例えば
レーザー、ＬＥＤ（発光ダイオード）若しくはＬＤであ
り、その発振波長に対して元ファイバーのモード分散は
、最小に押えられており、約２〜３ＧＴＴＺ−ｋｍの６
ｄＢ帯域が確保されているものとする。
上記両光ファイバー１１ 、１４ 、１５内での光路長
をｔ、ｔ’に対し、これをＬ 、 Ｌ’と考えると、上
記受光器１０に入射する元の変調波の位相θ１゜は、 Ｌ ２８ Ｔ、’ θ１ｏ−２πｆ−＋２πｆ−＋２πｆｉ となる。
をｔ、ｔ’に対し、これをＬ 、 Ｌ’と考えると、上
記受光器１０に入射する元の変調波の位相θ１゜は、 Ｌ ２８ Ｔ、’ θ１ｏ−２πｆ−＋２πｆ−＋２πｆｉ となる。
Ｃ
但し、ｆ：周波数
同様に、上記受光器４に入射する光の変調波の位相θ４
は。
は。
Ｌ Ｌ’
０４＝２πｆ Ｅ＋２πｆて
両者の位相を減算して比較すると、
θ −θ−２πｆ亜
０４−Ｃ
対物レンズ７と被測定体８の距離ＳＩＣ起因する遅延分
が、上記位相比較器５で算出される。
が、上記位相比較器５で算出される。
このようにして本発明は、対物レンズ７と受光器［０と
の間に、分岐元ファイノｚ −１４と同じ長さの戻り元
ファイバー１５乞設け、上記両受光器４と１０とで受光
した遅延位相を上記位相比較器５によつて演算して、上
記対物レンズ７と被測定体８との離間距離を測定するこ
とができる。
の間に、分岐元ファイノｚ −１４と同じ長さの戻り元
ファイバー１５乞設け、上記両受光器４と１０とで受光
した遅延位相を上記位相比較器５によつて演算して、上
記対物レンズ７と被測定体８との離間距離を測定するこ
とができる。
因に、本発明は、ノぐシス変調器２による光源の変調手
段や位相比較器５を使用した具体例について説明したけ
れども、本発明の要旨を変更しない範囲内で、例えば、
光波距離計を使用するように設計変更することは自由で
ある。又、上記被測定体８は、例えば、コーナーミラー
を使用したものについて説明したけれども、通常の被写
体であっても差支えないこと勿論である。
段や位相比較器５を使用した具体例について説明したけ
れども、本発明の要旨を変更しない範囲内で、例えば、
光波距離計を使用するように設計変更することは自由で
ある。又、上記被測定体８は、例えば、コーナーミラー
を使用したものについて説明したけれども、通常の被写
体であっても差支えないこと勿論である。
以上述べたように本発明によれば１光源１からの元をパ
ルス信号に変調する・ぞシス発振器２の光路上に主光フ
ァイバー１１を配設し、この主光ファイバー【工の一端
部に光分岐装置１２を設け、この光分岐装置１２に分岐
元ファイノ々−１４を介して受光器４を接続し、この受
光器４に位相比較器５を連結し、他方、上記光分岐装置
４に対物レンズ７を付設し、この対物し／ズ７Ｖｃ被測
定体８からの反射光を伝送し、しかも、上記分岐元ファ
イバー１４と同じ長さの戻り元ファイノ々−１５を介し
て他の受光器１０に受光するようにし、この受光器１０
に上記位相比較器５を連結しであるので、光ファイノ々
−による７レキシビリテイを有効に利用することができ
るばかりでなく、両党ファイバーの長さの差による伝送
の遅延による誤差をなくして正確に離間距離を測定する
ことができる。さらに、本発明は対物レンズまでのファ
イバー長を随意とすることができ、汎用性なきわめて高
くすることができる。
ルス信号に変調する・ぞシス発振器２の光路上に主光フ
ァイバー１１を配設し、この主光ファイバー【工の一端
部に光分岐装置１２を設け、この光分岐装置１２に分岐
元ファイノ々−１４を介して受光器４を接続し、この受
光器４に位相比較器５を連結し、他方、上記光分岐装置
４に対物レンズ７を付設し、この対物し／ズ７Ｖｃ被測
定体８からの反射光を伝送し、しかも、上記分岐元ファ
イバー１４と同じ長さの戻り元ファイノ々−１５を介し
て他の受光器１０に受光するようにし、この受光器１０
に上記位相比較器５を連結しであるので、光ファイノ々
−による７レキシビリテイを有効に利用することができ
るばかりでなく、両党ファイバーの長さの差による伝送
の遅延による誤差をなくして正確に離間距離を測定する
ことができる。さらに、本発明は対物レンズまでのファ
イバー長を随意とすることができ、汎用性なきわめて高
くすることができる。
また従来では装置自体を移動して被測定体を測定してい
たけれども本発明では前述の構成としたので、自由に被
測定体をねらうことができる。
たけれども本発明では前述の構成としたので、自由に被
測定体をねらうことができる。
第１図は、既に提案されている距離測定装置な示す線図
、第２図は、本発明による距離測定装置を示す線図であ
る。 １・・・光源、２・・りぞシス発振器、４・・・受光器
。 ５・・・位相比較器、７・・・対物し／ズ、８・・・被
測定体、１０・・・受光器、 １１・・・主光ファイバ
ー、１２・・・光分岐装置、１４・・・分岐元ファイバ
ー、１５・・・戻り元ファイバー、１６・・・元ケーブ
ル。 出願人代理人 猪 股 清 第１０
、第２図は、本発明による距離測定装置を示す線図であ
る。 １・・・光源、２・・りぞシス発振器、４・・・受光器
。 ５・・・位相比較器、７・・・対物し／ズ、８・・・被
測定体、１０・・・受光器、 １１・・・主光ファイバ
ー、１２・・・光分岐装置、１４・・・分岐元ファイバ
ー、１５・・・戻り元ファイバー、１６・・・元ケーブ
ル。 出願人代理人 猪 股 清 第１０
Claims (1)
- 光源からの元をパルス信号に変調する。ｅシス発振器の
光路上に主光ファイバーを配設し、この主光ファイバー
の一端部に光分岐装置を設け、この光分岐装置に分岐元
ファイバーを介して受光器を接続し、この受光器に位相
比較器を連結し、他方、上記光分岐装置に対物し／ズを
付設し、この対物し／ズに被測定体からの反射光を伝送
し、しかも上記分岐元ファイバーと同じ長さの戻り元フ
ァイバーを介して他の受光器に受光するようにし、この
受光器に上記位相比較器を連結したことを特徴とする距
離測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20509883A JPS6097288A (ja) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | 距離測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20509883A JPS6097288A (ja) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | 距離測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6097288A true JPS6097288A (ja) | 1985-05-31 |
| JPH0410592B2 JPH0410592B2 (ja) | 1992-02-25 |
Family
ID=16501385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20509883A Granted JPS6097288A (ja) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | 距離測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6097288A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0325182U (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-14 | ||
| JP2011039052A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Faro Technologies Inc | 光スイッチを備える絶対距離計 |
| US9164173B2 (en) | 2011-04-15 | 2015-10-20 | Faro Technologies, Inc. | Laser tracker that uses a fiber-optic coupler and an achromatic launch to align and collimate two wavelengths of light |
| US9395174B2 (en) | 2014-06-27 | 2016-07-19 | Faro Technologies, Inc. | Determining retroreflector orientation by optimizing spatial fit |
| US9448059B2 (en) | 2011-04-15 | 2016-09-20 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional scanner with external tactical probe and illuminated guidance |
| US9482529B2 (en) | 2011-04-15 | 2016-11-01 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional coordinate scanner and method of operation |
| US9686532B2 (en) | 2011-04-15 | 2017-06-20 | Faro Technologies, Inc. | System and method of acquiring three-dimensional coordinates using multiple coordinate measurement devices |
| US9772394B2 (en) | 2010-04-21 | 2017-09-26 | Faro Technologies, Inc. | Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2633364B1 (en) * | 2010-10-25 | 2023-09-06 | Nikon Corporation | Apparatus, optical assembly, method for inspection or measurement of an object and method for manufacturing a structure |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5848881A (ja) * | 1981-06-09 | 1983-03-22 | エムテ−ツエ− メステヒニ−ク ウント オプトエレクトロニ−ク ア−ゲ− | 距離測定方法及び装置 |
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1983
- 1983-11-01 JP JP20509883A patent/JPS6097288A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5848881A (ja) * | 1981-06-09 | 1983-03-22 | エムテ−ツエ− メステヒニ−ク ウント オプトエレクトロニ−ク ア−ゲ− | 距離測定方法及び装置 |
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| US9482514B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-11-01 | Faro Technologies, Inc. | Diagnosing multipath interference and eliminating multipath interference in 3D scanners by directed probing |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0410592B2 (ja) | 1992-02-25 |
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