JPS6095730A - 磁性膜作製装置 - Google Patents
磁性膜作製装置Info
- Publication number
- JPS6095730A JPS6095730A JP20324983A JP20324983A JPS6095730A JP S6095730 A JPS6095730 A JP S6095730A JP 20324983 A JP20324983 A JP 20324983A JP 20324983 A JP20324983 A JP 20324983A JP S6095730 A JPS6095730 A JP S6095730A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- vapor
- film
- evaporation source
- evaporation
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、真空蒸着法による磁性膜作製装置の改良に
関するものである。
関するものである。
磁気テープ等の磁気記録媒体は、高分子フィルム等の基
材の上に薄い磁性膜を形成することにより得られる。近
年、真空蒸着法により強磁性材料を基材表面に凝着させ
て磁性膜が形成された。いわゆる蒸着型の磁気記録媒体
が提供されるようになった。
材の上に薄い磁性膜を形成することにより得られる。近
年、真空蒸着法により強磁性材料を基材表面に凝着させ
て磁性膜が形成された。いわゆる蒸着型の磁気記録媒体
が提供されるようになった。
この真空蒸着の際、基材表面に対する磁性材料の蒸気の
入射方向、即ち磁性膜における結晶成長の向きによって
、いわゆる斜方（蒸着）磁性膜や垂直（蒸着）磁性膜と
いった２種類のものが得られる。前者は、コバルト合金
の蒸気を基材表面に斜めに入射さ、せて作製されるもの
である。後者は２Ｍ蒸気を基材表面に対し垂直に入射さ
せて作製されるも、のである。これらの磁性膜は、特に
高密度記録用の磁気記録媒体としてその有用性が認めら
れつ＼ある。
入射方向、即ち磁性膜における結晶成長の向きによって
、いわゆる斜方（蒸着）磁性膜や垂直（蒸着）磁性膜と
いった２種類のものが得られる。前者は、コバルト合金
の蒸気を基材表面に斜めに入射さ、せて作製されるもの
である。後者は２Ｍ蒸気を基材表面に対し垂直に入射さ
せて作製されるも、のである。これらの磁性膜は、特に
高密度記録用の磁気記録媒体としてその有用性が認めら
れつ＼ある。
この磁気記録媒体の使用上で特に問題となるのは、いわ
ゆるドロップアウトと呼ばれる一種のノイズの発生であ
る。特に、真空蒸着による磁気記録媒体では、高い周波
数域での特性の向上や信号のデジタル化に対応すること
が期待されているとごろから、上記ドロップアウトは大
きな問題とされていた。
ゆるドロップアウトと呼ばれる一種のノイズの発生であ
る。特に、真空蒸着による磁気記録媒体では、高い周波
数域での特性の向上や信号のデジタル化に対応すること
が期待されているとごろから、上記ドロップアウトは大
きな問題とされていた。
このドロップアウトの原因は種々あるが、磁気記録媒体
の基材表面に付着した異物、その中でも特に磁性を有す
る粉塵等（以下１磁性粉」という。）によって引き起こ
されるものが大きな原因であることが分かった。即ち、
上記磁性粉は、不均一な形状及び大きさを持ち、しがち
基材表面にランダムに４１着することから、該付着点で
磁気的な不連続状態が生じ、これがドロップアウトの主
原因になる。
の基材表面に付着した異物、その中でも特に磁性を有す
る粉塵等（以下１磁性粉」という。）によって引き起こ
されるものが大きな原因であることが分かった。即ち、
上記磁性粉は、不均一な形状及び大きさを持ち、しがち
基材表面にランダムに４１着することから、該付着点で
磁気的な不連続状態が生じ、これがドロップアウトの主
原因になる。
然しなから、真空蒸着により磁性膜を作製する場合は、
真空槽内の磁性材料１例えばコバルト合金の蒸気は、基
材の表面に付着する他、核種の内壁等にも付着する。こ
の付着物は１次第に剥離し、その一部は、細かい磁性粉
として該槽内を浮遊する。そして一部の磁性粉ば、被蒸
着中の基材表面に付着する。
真空槽内の磁性材料１例えばコバルト合金の蒸気は、基
材の表面に付着する他、核種の内壁等にも付着する。こ
の付着物は１次第に剥離し、その一部は、細かい磁性粉
として該槽内を浮遊する。そして一部の磁性粉ば、被蒸
着中の基材表面に付着する。
磁性材料は、気相状態では、磁性を持たないことに着目
した本発明者によって、この発明が行われた。即ち、こ
の発明は、磁性粉の発生源を一定の空間の中に閉じ込め
、この空間側から外へ漏洩しようとする磁性粉を磁界で
補足することによって、蒸気流内への磁性粉の混入を防
止し、これにより基材表面への磁性粉の付着を防止し、
いわゆるドロップアウトの発生を低減するようにしたも
のである。以下この発明の構成を図示の実施例に基づき
、詳細に説明する。
した本発明者によって、この発明が行われた。即ち、こ
の発明は、磁性粉の発生源を一定の空間の中に閉じ込め
、この空間側から外へ漏洩しようとする磁性粉を磁界で
補足することによって、蒸気流内への磁性粉の混入を防
止し、これにより基材表面への磁性粉の付着を防止し、
いわゆるドロップアウトの発生を低減するようにしたも
のである。以下この発明の構成を図示の実施例に基づき
、詳細に説明する。
この発明による磁性膜作製装置は、基材を含む空間と蒸
発源を含む空間を仕切り、磁性粉の発生源を後者の空間
内に閉じ込めると共に、この仕切りに開設したスリット
を介して、蒸発源を基材の被蒸着面に臨ませ、被蒸着面
への蒸気の入射径路を同スリットにより規制する。そし
て規制された蒸気の入射径路上に磁界を形成し。
発源を含む空間を仕切り、磁性粉の発生源を後者の空間
内に閉じ込めると共に、この仕切りに開設したスリット
を介して、蒸発源を基材の被蒸着面に臨ませ、被蒸着面
への蒸気の入射径路を同スリットにより規制する。そし
て規制された蒸気の入射径路上に磁界を形成し。
上記スリットを通る磁性粉のみを補足するようにしたも
のである。
のである。
この構成を磁気記録テープの製作装置を例にとって示し
た図面により、さらに詳細に説明する。図面は、真空槽
の内部を模式的に示したものであるか、同槽の中には、
一対のリール７゜８と冷却トラム６が配置されており、
一方のり−ル７から繰り出された長い１１分子フィルム
等の基＋Ａ５か冷却トラム２に添えられ、この状態で一
定の速度で送られながら、他方のリール８に巻き取られ
る。
た図面により、さらに詳細に説明する。図面は、真空槽
の内部を模式的に示したものであるか、同槽の中には、
一対のリール７゜８と冷却トラム６が配置されており、
一方のり−ル７から繰り出された長い１１分子フィルム
等の基＋Ａ５か冷却トラム２に添えられ、この状態で一
定の速度で送られながら、他方のリール８に巻き取られ
る。
一方、この冷却ドラム６の下方には、コバルトやコバル
ト合金等の蒸発源ｌＯを収納した坩堝３が配置されてい
るが、ここでは、上記基材５の被蒸着面ａを含む空間と
、蒸発源ＩＯを含む空間とを仕切るため、真空槽の中に
蒸発室ｌを設け、この中に上記蒸発源１０を収納してい
る。
ト合金等の蒸発源ｌＯを収納した坩堝３が配置されてい
るが、ここでは、上記基材５の被蒸着面ａを含む空間と
、蒸発源ＩＯを含む空間とを仕切るため、真空槽の中に
蒸発室ｌを設け、この中に上記蒸発源１０を収納してい
る。
これら雨空間の間、即ち蒸発室３を区画する壁には、ス
リット２が開設されており、これによって蒸発源■０が
上記被蒸着面ａ側に臨んでいる。このスリット［１は、
磁性膜を作製するため。
リット２が開設されており、これによって蒸発源■０が
上記被蒸着面ａ側に臨んでいる。このスリット［１は、
磁性膜を作製するため。
蒸発源ｌＯから発生した磁性材料の蒸気がこれを通って
被蒸着面ａに入射するに必要な形状及び広さに限定して
開設されており、これによって被蒸着面ａに対する蒸気
の照射径路（便宜上図面において中心線を符合“ｂ”で
示す）が規制される。
被蒸着面ａに入射するに必要な形状及び広さに限定して
開設されており、これによって被蒸着面ａに対する蒸気
の照射径路（便宜上図面において中心線を符合“ｂ”で
示す）が規制される。
蒸発室ｌの側方には、電子銃９が配置され。
これから発射した電子線ＥＢが蒸発源ＩＯに照射される
ようになっている。電子線ＥＢが蒸発源１０に照射され
ると、同蒸発源ｌＯから磁性材料が蒸発し、この一部の
蒸気が上記スリット２を通り。
ようになっている。電子線ＥＢが蒸発源１０に照射され
ると、同蒸発源ｌＯから磁性材料が蒸発し、この一部の
蒸気が上記スリット２を通り。
照射径路すに沿って所定の入射角で基材の被蒸着面ａに
入射し、そこに磁性膜が作製される。
入射し、そこに磁性膜が作製される。
一方、上記スリット２によって規制された蒸気の照射径
路すの途中には、磁界が形成される。
路すの途中には、磁界が形成される。
図示の場合は、スリット２を挟むようにしてその真上に
一対のマグネット４を配置し、磁束が上記照射径路すを
切るよう磁界が形成されている。この磁界は、蒸発源１
０に照射する電子線ＥＢや、基材５の表面に作製された
磁性膜に影響を与えないよう、蒸発室ｌの外側、即ち基
材５の被蒸着面ａを含む空間側にあって、なるべくスリ
ット２に近い位置に形成するのが望ましい。
一対のマグネット４を配置し、磁束が上記照射径路すを
切るよう磁界が形成されている。この磁界は、蒸発源１
０に照射する電子線ＥＢや、基材５の表面に作製された
磁性膜に影響を与えないよう、蒸発室ｌの外側、即ち基
材５の被蒸着面ａを含む空間側にあって、なるべくスリ
ット２に近い位置に形成するのが望ましい。
この発明による装置では、蒸発源１０がら発生した磁性
材料の蒸気の一部がスリット２を通って基材５の被蒸着
面ａに入射し′Ｃ磁性膜を形成し、他の蒸気は、蒸発室
Ｉの外へは出す、その内１則の壁ｄＩｊ等にｆ＝Ｊ着す
る。従ってト“ロソプアウトの原因となる磁性粉は、蒸
発室１の中に限定される。
材料の蒸気の一部がスリット２を通って基材５の被蒸着
面ａに入射し′Ｃ磁性膜を形成し、他の蒸気は、蒸発室
Ｉの外へは出す、その内１則の壁ｄＩｊ等にｆ＝Ｊ着す
る。従ってト“ロソプアウトの原因となる磁性粉は、蒸
発室１の中に限定される。
そしてこの蒸発室１がらスリット６を通ってその外側へ
出ようとする磁性粉は、照射径路すの途中で磁界の作用
を受り、照射径路がら分離される。既に述べたように、
このとき磁性材料の蒸気は、上記磁界の作用を受りない
ので、基材５の表面に蒸着される。
出ようとする磁性粉は、照射径路すの途中で磁界の作用
を受り、照射径路がら分離される。既に述べたように、
このとき磁性材料の蒸気は、上記磁界の作用を受りない
ので、基材５の表面に蒸着される。
従って基材の表面には、磁性膜の作製の前後を問わず磁
性粉の付着が殆ど無く、これを主因とじ−ζ発生ずるい
わゆるドロップアウトを低減することができる。
性粉の付着が殆ど無く、これを主因とじ−ζ発生ずるい
わゆるドロップアウトを低減することができる。
この点の効果を確認するため、この発明による装置で磁
気記録テープを試験的に製作し、そのドロップアウトを
定量的に測定した。
気記録テープを試験的に製作し、そのドロップアウトを
定量的に測定した。
蒸発材料として、 Ｃｏが７５賀Ｅ％、 Ｎｉが２５ｗ
ｔ％の合金を使用し、この蒸気を幅２５０１ｍ、厚さ
１２μのポリエチレンテレフタレートフィルムの上に幅
３０龍のスリットを通して入射させ、フィルム走行速度
２０ｍ／分にて厚さ約１０００人の磁性膜を作製し、Ｖ
Ｈ３型家庭用ビテオテープを製作した。このとき、上記
スリットを挾んでその上に希土類の永久磁石を配置し、
これによって蒸気の照射径路上に５０００ｅの磁界を形
成して蒸着を行った。なお、この時の蒸発海に照射する
電子線の加速電圧は、２０にシ、冷却ドラムの直径は。
ｔ％の合金を使用し、この蒸気を幅２５０１ｍ、厚さ
１２μのポリエチレンテレフタレートフィルムの上に幅
３０龍のスリットを通して入射させ、フィルム走行速度
２０ｍ／分にて厚さ約１０００人の磁性膜を作製し、Ｖ
Ｈ３型家庭用ビテオテープを製作した。このとき、上記
スリットを挾んでその上に希土類の永久磁石を配置し、
これによって蒸気の照射径路上に５０００ｅの磁界を形
成して蒸着を行った。なお、この時の蒸発海に照射する
電子線の加速電圧は、２０にシ、冷却ドラムの直径は。
６００１であった。
これに対し比較のため、上記と同じ条件にて。
蒸発室及びマグネットを使用しない従来の装置により同
じく磁気記録テープを作製し、これらについて記録信号
を再生させながら、減衰率２０ｄＢのノイズをトロツブ
アウトカウンターでそれぞれ計測したところ、前者の装
置により製作した磁気記録テープのトロツブアウトの個
数が２０個／分であるのに対し、後者の装置で製作した
磁気記録テープでは、 ６０個／分であった。即ち１ご
の発明の装置により製作した磁気記録テープでは、従来
の装置により製作したものに比べ。
じく磁気記録テープを作製し、これらについて記録信号
を再生させながら、減衰率２０ｄＢのノイズをトロツブ
アウトカウンターでそれぞれ計測したところ、前者の装
置により製作した磁気記録テープのトロツブアウトの個
数が２０個／分であるのに対し、後者の装置で製作した
磁気記録テープでは、 ６０個／分であった。即ち１ご
の発明の装置により製作した磁気記録テープでは、従来
の装置により製作したものに比べ。
トロツブアウトを１／３に低減することができたもので
ある。
ある。
図面は、この発明の一実施例を示す説明図である。
■ 蒸発源を含む空間を形成する蒸発室２−スリンＩ・
４−磁界形成用のマグネット５−基材 ａ−基材の被
蒸着面 ｂ−・−磁性材料の蒸発気流 特許出願人 太陽誘電株式会社 代理人 弁理士 北條和山
４−磁界形成用のマグネット５−基材 ａ−基材の被
蒸着面 ｂ−・−磁性材料の蒸発気流 特許出願人 太陽誘電株式会社 代理人 弁理士 北條和山
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 高分子フィルム等の基材の］二に磁性材料を真、
空−Ａ着して磁気記録媒体の・Ｍｌ性膜を作製する装置
において、基材を含む空：間と蒸発源を含む空間とに分
ける仕切りを設り、この仕切壁に開設されたスリットを
介して、蒸発源を基材の被、蒸着面に賜ま−ｌ、被蒸着
面への蒸気の入射径路を同スリノ１〜により規制すると
共に、同蒸気の入射径路上に磁界を形成してなることを
特徴とする磁性膜作製装置。 ２、磁界が、被蒸着面を含む、空間側にあり、スリット
の近くで磁束が蒸気の照射径路を切るよ、う、形成さ外
ている特許請求の範囲第１項記載の磁性膜作製装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20324983A JPS6095730A (ja) | 1983-10-29 | 1983-10-29 | 磁性膜作製装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20324983A JPS6095730A (ja) | 1983-10-29 | 1983-10-29 | 磁性膜作製装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6095730A true JPS6095730A (ja) | 1985-05-29 |
| JPH0370291B2 JPH0370291B2 (ja) | 1991-11-07 |
Family
ID=16470895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20324983A Granted JPS6095730A (ja) | 1983-10-29 | 1983-10-29 | 磁性膜作製装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6095730A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6378338A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPH04147433A (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5412708A (en) * | 1977-06-29 | 1979-01-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Production of magnetic recording media |
-
1983
- 1983-10-29 JP JP20324983A patent/JPS6095730A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5412708A (en) * | 1977-06-29 | 1979-01-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Production of magnetic recording media |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6378338A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPH04147433A (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0370291B2 (ja) | 1991-11-07 |
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