JPS6090844A - 光学系ガラス微粉末の堆積方法 - Google Patents
光学系ガラス微粉末の堆積方法Info
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- JPS6090844A JPS6090844A JP19713183A JP19713183A JPS6090844A JP S6090844 A JPS6090844 A JP S6090844A JP 19713183 A JP19713183 A JP 19713183A JP 19713183 A JP19713183 A JP 19713183A JP S6090844 A JPS6090844 A JP S6090844A
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- JP
- Japan
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- reactor
- gas
- reaction vessel
- flow rate
- uniform
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光学系ガラス微粉末の堆積方法に関する。
従来、■ＡＤ法によシ多孔質状の光フアイバ母材、ロッ
ドレンズ母材、ライトガイド母材など、所望のスートプ
リフォーム）創浩寸六ふ咎第１図に示すように給気口１
と排気口２とを備えた反応容器３内に、棒状のターゲッ
ト４を引上機構５によシ上下動自在かつ回転自在に挿入
し、ガス供給系６より供給される原料ガスおよび酸素、
水素をバーナ７に導き、同バーナ７により原料ガスを酸
水素炎中で加水分解してガラス微粉末を生成させ、と九
を上記ターゲット４上に軸方向に沿って堆積させるよう
にしている。
ドレンズ母材、ライトガイド母材など、所望のスートプ
リフォーム）創浩寸六ふ咎第１図に示すように給気口１
と排気口２とを備えた反応容器３内に、棒状のターゲッ
ト４を引上機構５によシ上下動自在かつ回転自在に挿入
し、ガス供給系６より供給される原料ガスおよび酸素、
水素をバーナ７に導き、同バーナ７により原料ガスを酸
水素炎中で加水分解してガラス微粉末を生成させ、と九
を上記ターゲット４上に軸方向に沿って堆積させるよう
にしている。
上記スートプリフォーム８はその先端位置が一定に保た
れるよう引上機構５により制御されて引き上げられると
共に、排気口２からは炎の熱気が給気口１から取シ入れ
られた空気と堆積しなかったガラス微粉末と共に、真空
ポンプ９によシ引かれて外部に排出される。
れるよう引上機構５により制御されて引き上げられると
共に、排気口２からは炎の熱気が給気口１から取シ入れ
られた空気と堆積しなかったガラス微粉末と共に、真空
ポンプ９によシ引かれて外部に排出される。
また反応容器３内の雰囲気を制御するため、前記排気口
２を形成した排気管１０に装着した圧力計１１によって
内圧を測定し、その圧力が一定となるよう上記排気管１
ｏから真空ポンプ９への配管１２に接続された調節弁１
３を制御するようになっている。
２を形成した排気管１０に装着した圧力計１１によって
内圧を測定し、その圧力が一定となるよう上記排気管１
ｏから真空ポンプ９への配管１２に接続された調節弁１
３を制御するようになっている。
ところが排気管１ｏ内には排気とともに排出されるガラ
ス微粉末が堆積すると共に、バーナ７の加水分解反応に
より生じた高温の腐食性ガスが流動するため、前記圧力
計１１での測定精度が悪く、反応容器３の内圧制御が不
完全となって、製造されるスートプリフォーム８の長手
方向の均一性が低下するといった問題点があった。
ス微粉末が堆積すると共に、バーナ７の加水分解反応に
より生じた高温の腐食性ガスが流動するため、前記圧力
計１１での測定精度が悪く、反応容器３の内圧制御が不
完全となって、製造されるスートプリフォーム８の長手
方向の均一性が低下するといった問題点があった。
本発明は上記の問題点に対処すべくなされたもので、以
下その構成を図示の実施例により説明する。
下その構成を図示の実施例により説明する。
本発明の１実施例を示す第２図において、反応容器３の
給気口１には第２の調節弁１４およびエアフィルター１
６を介して送風機１６が接続されていると共に、同容器
３内には上記給気口１よシ下位にオリフィス板１７が設
けられ、その絞り１了ａにターゲット４が貫通されてい
る。
給気口１には第２の調節弁１４およびエアフィルター１
６を介して送風機１６が接続されていると共に、同容器
３内には上記給気口１よシ下位にオリフィス板１７が設
けられ、その絞り１了ａにターゲット４が貫通されてい
る。
このオリフィス板１７の前後には反応容器３の側壁に導
圧管接続孔１８．１９が穿設されていると共に、凹孔１
８．１９には導圧管２ｏを介して差圧計２１が接続され
ている。
圧管接続孔１８．１９が穿設されていると共に、凹孔１
８．１９には導圧管２ｏを介して差圧計２１が接続され
ている。
そこで光フアイバ母材を製造する際、上記差圧計２１に
よってオリフィス板１７前後の差圧を測定し、これが一
定となるよう第２の調節弁ａ４によって給気量を調節す
ることにより、反応容器３内を流れる気体の流量を一゛
定に保つようになっている。
よってオリフィス板１７前後の差圧を測定し、これが一
定となるよう第２の調節弁ａ４によって給気量を調節す
ることにより、反応容器３内を流れる気体の流量を一゛
定に保つようになっている。
つぎに本発明の他の実施例を第３図により゛説明すると
、反応容器３の給気口１に第２の調節弁１４およびエア
フィルター１６を介して送風機１６が接続されている点
は上記の実施例と同じであるが、この実施例では反応容
器３の上部に流通路形成部材２２を設けて、ターゲット
４を貫通した流通路２３が形成され、上記給気口１には
同口１の流量を測定する第１の流量計２４が設けられて
いると共に、流通路２３には回路２３の流量を測定する
第２の流量計２６が設けられている。
、反応容器３の給気口１に第２の調節弁１４およびエア
フィルター１６を介して送風機１６が接続されている点
は上記の実施例と同じであるが、この実施例では反応容
器３の上部に流通路形成部材２２を設けて、ターゲット
４を貫通した流通路２３が形成され、上記給気口１には
同口１の流量を測定する第１の流量計２４が設けられて
いると共に、流通路２３には回路２３の流量を測定する
第２の流量計２６が設けられている。
この実施例では給気口１よりの気体の流入量ＶＴを第１
の流量計２４によって測定すると共に、ターゲット４周
辺の流通路２３より外部に流出する気体の流出量ｖＥを
第２の流量計２６によって測定し、 ｖＴ−ｖＥ−一定 となるよう第２の調節弁１４によって給気量を調節する
ことにより、反応容器３内を流れる気体流量を一定に保
つようになっている。
の流量計２４によって測定すると共に、ターゲット４周
辺の流通路２３より外部に流出する気体の流出量ｖＥを
第２の流量計２６によって測定し、 ｖＴ−ｖＥ−一定 となるよう第２の調節弁１４によって給気量を調節する
ことにより、反応容器３内を流れる気体流量を一定に保
つようになっている。
なお本発明でエアフィルター１５を設けたのは、清浄な
気体を反応容器３内に導入するためであり、そうするこ
とによってスートプリフォーム８を透明ガラス母材とし
たとき、発泡を少なくすることができると共に、ゴミな
ど不純物混入のない清浄な母材が得られ、上記エアフィ
ルター１６を通して送入される気体としては、空気ある
いはアルゴン、ヘリウムなどの不活性ガスが用いられる
。
気体を反応容器３内に導入するためであり、そうするこ
とによってスートプリフォーム８を透明ガラス母材とし
たとき、発泡を少なくすることができると共に、ゴミな
ど不純物混入のない清浄な母材が得られ、上記エアフィ
ルター１６を通して送入される気体としては、空気ある
いはアルゴン、ヘリウムなどの不活性ガスが用いられる
。
また上記の説明では反応容器３内の気体流量弁１４を調
節するようにしたが、排気管１ｏ側に設けた調節弁１３
を調節してもよいこともちろんである。
節するようにしたが、排気管１ｏ側に設けた調節弁１３
を調節してもよいこともちろんである。
一方圧力計１１は排気管１ｏに装着した場合について説
明したが、この圧力計１１は反応容器３の球状部３′に
装着されていてもよい。
明したが、この圧力計１１は反応容器３の球状部３′に
装着されていてもよい。
以上説明したように１本発明はバーナによる原料ガスの
火炎加水分解反応により生成した光学系ガラス微粉末を
、給気口と排気口とを備えた反応容器内で堆積成長させ
る方法において、調節弁およびエアフィルターを通した
気体を上気給気口より反応容器内に導入してその排気口
より排出し、該反応容器内の気体状態を測定して、当該
気体流量を一定に保つようにしたから、長手方向に均一
なスートプリフォームを製造することができる。
火炎加水分解反応により生成した光学系ガラス微粉末を
、給気口と排気口とを備えた反応容器内で堆積成長させ
る方法において、調節弁およびエアフィルターを通した
気体を上気給気口より反応容器内に導入してその排気口
より排出し、該反応容器内の気体状態を測定して、当該
気体流量を一定に保つようにしたから、長手方向に均一
なスートプリフォームを製造することができる。
第１図は従来法の説明図、第２図は本発明方法の１実施
例を示した説明図、第３図は同上の１・・・・・給気口 ２・・・・・排気口 ３・・・・・反応容器 ４ａ・・・・ターゲット ７・０・・バーナ ８・・・・・スートプリフォーム １４・・・・・調節弁 １６０・Φ・エアフィルター 特許出願人 代理人 弁理士 井 藤 誠
例を示した説明図、第３図は同上の１・・・・・給気口 ２・・・・・排気口 ３・・・・・反応容器 ４ａ・・・・ターゲット ７・０・・バーナ ８・・・・・スートプリフォーム １４・・・・・調節弁 １６０・Φ・エアフィルター 特許出願人 代理人 弁理士 井 藤 誠
Claims (1)
- バーナによる原料ガスの火炎加水分解反応によシ生成し
た光学系ガラス微粉末を、給気口と排気口とを備えた反
応容器内で堆積成長させる方法ニおいて、調節弁および
エアフィルターを通して気体を上記給気口よシ反応容器
内に導入してその排気口より排出し、該反応容器内の気
体状態を測定して、当該気体流量を一定に保つことを特
徴とした光学系ガラス微粉末の堆積方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19713183A JPS6090844A (ja) | 1983-10-21 | 1983-10-21 | 光学系ガラス微粉末の堆積方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19713183A JPS6090844A (ja) | 1983-10-21 | 1983-10-21 | 光学系ガラス微粉末の堆積方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6090844A true JPS6090844A (ja) | 1985-05-22 |
Family
ID=16369261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19713183A Pending JPS6090844A (ja) | 1983-10-21 | 1983-10-21 | 光学系ガラス微粉末の堆積方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6090844A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4740226A (en) * | 1986-01-27 | 1988-04-26 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Apparatus for the production of porous preform of optical fiber |
| WO2003062159A1 (fr) * | 2002-01-24 | 2003-07-31 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Procede de fabrication d'un corps sedimentaire constitue de particules de verre et procede de fabrication de materiau a base de verre |
| JP2007210837A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 多孔質ガラス母材の製造装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5735134A (en) * | 1980-08-08 | 1982-02-25 | Kenjiro Ando | Engine stopping device by welding rod operation only |
-
1983
- 1983-10-21 JP JP19713183A patent/JPS6090844A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5735134A (en) * | 1980-08-08 | 1982-02-25 | Kenjiro Ando | Engine stopping device by welding rod operation only |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4740226A (en) * | 1986-01-27 | 1988-04-26 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Apparatus for the production of porous preform of optical fiber |
| WO2003062159A1 (fr) * | 2002-01-24 | 2003-07-31 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Procede de fabrication d'un corps sedimentaire constitue de particules de verre et procede de fabrication de materiau a base de verre |
| US7143612B2 (en) | 2002-01-24 | 2006-12-05 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of manufacturing glass particulate sedimentary body, and method of manufacturing glass base material |
| JP2007210837A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 多孔質ガラス母材の製造装置 |
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