JPS6086999A - 超音波探触子の製造方法 - Google Patents
超音波探触子の製造方法Info
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- JPS6086999A JPS6086999A JP58194233A JP19423383A JPS6086999A JP S6086999 A JPS6086999 A JP S6086999A JP 58194233 A JP58194233 A JP 58194233A JP 19423383 A JP19423383 A JP 19423383A JP S6086999 A JPS6086999 A JP S6086999A
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
- G01H11/06—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means
- G01H11/08—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means using piezoelectric devices
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/852—Composite materials, e.g. having 1-3 or 2-2 type connectivity
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- Y10S310/80—Piezoelectric polymers, e.g. PVDF
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- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、超音波診断装置などに用いる超音波探触子に
関するものでるる。
関するものでるる。
超音波探触子を医用に使う場合、電気−超音波変換の担
い手である圧電体には電気と超音波の変換効率すなわち
電気機械結合係数が太きいのみならず、軟くて音響イン
ピーダンスの小さい材料が望ましい。しかし、ジルコン
・チタン酸鉛(PZT)系セラミックスなど電気機械結
合係数の大きい無機材料は硬くて音響インピーダンス高
く、人体とのマツチングが無い。また、有機物のように
軟いものは圧電性がないか、あっても電気機械結合係数
が小さいという欠点がある。そこでPzTセラミックの
ような無機材料と有機材料を組合わせ、それぞれの特長
を同時にもつ複合材料を作ろうという試みが盛んに行な
われるようになってきた。
い手である圧電体には電気と超音波の変換効率すなわち
電気機械結合係数が太きいのみならず、軟くて音響イン
ピーダンスの小さい材料が望ましい。しかし、ジルコン
・チタン酸鉛(PZT)系セラミックスなど電気機械結
合係数の大きい無機材料は硬くて音響インピーダンス高
く、人体とのマツチングが無い。また、有機物のように
軟いものは圧電性がないか、あっても電気機械結合係数
が小さいという欠点がある。そこでPzTセラミックの
ような無機材料と有機材料を組合わせ、それぞれの特長
を同時にもつ複合材料を作ろうという試みが盛んに行な
われるようになってきた。
その先駆的な研究は米国のニューナムらによってなされ
、例えばマテリアル・リサーチ・プリテン誌13巻52
5〜536頁にその有用性が記述されている。PZTセ
ラミックと有機物の複合化の仕方は多極考案されている
が、例えば第1図に示したハニカム構造の被合化が有効
であることがマテリアル・リサーチ・プリテン誌15巻
1371〜1379頁に示されている。これは、ハニカ
ム構造のPZTセラミックの空孔部に有機物を充填した
もので、このような複合圧電材料がノ・イドロフオン用
としてその性能指数がPZTセラミック自身のそれをは
るかに上回ることが示されている。
、例えばマテリアル・リサーチ・プリテン誌13巻52
5〜536頁にその有用性が記述されている。PZTセ
ラミックと有機物の複合化の仕方は多極考案されている
が、例えば第1図に示したハニカム構造の被合化が有効
であることがマテリアル・リサーチ・プリテン誌15巻
1371〜1379頁に示されている。これは、ハニカ
ム構造のPZTセラミックの空孔部に有機物を充填した
もので、このような複合圧電材料がノ・イドロフオン用
としてその性能指数がPZTセラミック自身のそれをは
るかに上回ることが示されている。
また逆に一様の圧さの有機物の板中に柱状の圧電体が多
数理め込まれている構造の複合圧電体も提案され同様な
効果を有している。
数理め込まれている構造の複合圧電体も提案され同様な
効果を有している。
本発明は、上述のような複合圧電材料を超音波を送受す
る超音波探触子に用いようとするものである。さて、こ
のような複合圧’a桐料の特徴は超音波の発生効率に直
接関係する圧電歪み定数(d定数)を低下させることな
く、音響インピーダンスおよび誘電率を下げられる点に
ある。しかし、これは、1)分散して存在する圧電セラ
ミックスの横方向の機械的結合がなく、il)複合材料
全体が厚み方向に一様に変位するという仮定のもとに成
り立つ。
る超音波探触子に用いようとするものである。さて、こ
のような複合圧’a桐料の特徴は超音波の発生効率に直
接関係する圧電歪み定数(d定数)を低下させることな
く、音響インピーダンスおよび誘電率を下げられる点に
ある。しかし、これは、1)分散して存在する圧電セラ
ミックスの横方向の機械的結合がなく、il)複合材料
全体が厚み方向に一様に変位するという仮定のもとに成
り立つ。
複合材料を超音波探触子に用いる場合、ビーム形成とい
う観点から′特に11)の条件は重要である。
う観点から′特に11)の条件は重要である。
しかしここで、1)の条件を満たすためには充填する有
機物が充分軟かくなくてはならないが、それでは11)
の条件が満たされないという矛盾がある。すなわち、複
合材料全体が一様に厚み方向に変位するためには充填す
る有機物はある程度硬くなくてはならない。
機物が充分軟かくなくてはならないが、それでは11)
の条件が満たされないという矛盾がある。すなわち、複
合材料全体が一様に厚み方向に変位するためには充填す
る有機物はある程度硬くなくてはならない。
そこで本発明の目的は、複合材料について1)と11)
を同時に満たすように構成された高感度の超音波探触子
を提供することにある。
を同時に満たすように構成された高感度の超音波探触子
を提供することにある。
本発明の超音波探触子は、板面内で圧電セラミックの領
域と有機物の領域とが交互に存在する複合材料を用いる
が、これにさらにセラミック部と有機物部が連動するよ
うに橋渡しする連結層を設けたことを特徴とする。この
とき連結層の厚みを超音波の波長の4分の1とすれば超
音波を放射する際に連絡層が負荷とならずビーム発生効
率が向上する。またこの連結層に音響インピーダンスが
水と複合材料の中間の物質を用いて音響整合層としての
役割も持たせることができる。このように構成すること
によシ複合圧電材料の特徴を活かした高感度の超音波探
触子を得ることができる。
域と有機物の領域とが交互に存在する複合材料を用いる
が、これにさらにセラミック部と有機物部が連動するよ
うに橋渡しする連結層を設けたことを特徴とする。この
とき連結層の厚みを超音波の波長の4分の1とすれば超
音波を放射する際に連絡層が負荷とならずビーム発生効
率が向上する。またこの連結層に音響インピーダンスが
水と複合材料の中間の物質を用いて音響整合層としての
役割も持たせることができる。このように構成すること
によシ複合圧電材料の特徴を活かした高感度の超音波探
触子を得ることができる。
以下本発明を実施例を参照しながら詳細に説明する。
厚み方向に一様に分極処理を施した10w角、0、6
mm厚のPZTセラミックスに第2図に示したように超
音波加工によJ)1.5mm角の穴を25個0、541
7111間隔で空けた。これにシリコンゴムを充填した
後、両面に電極としてクロムと金を順次蒸着した。充填
材に軟かいシリコンゴムを用いたのはPZTセラミック
間の横方向の機械的結合をなくすためである。このよう
にして得られた複合圧電材料の音響インピーダンスは〜
9 X 10’ K17m2s であった。
mm厚のPZTセラミックスに第2図に示したように超
音波加工によJ)1.5mm角の穴を25個0、541
7111間隔で空けた。これにシリコンゴムを充填した
後、両面に電極としてクロムと金を順次蒸着した。充填
材に軟かいシリコンゴムを用いたのはPZTセラミック
間の横方向の機械的結合をなくすためである。このよう
にして得られた複合圧電材料の音響インピーダンスは〜
9 X 10’ K17m2s であった。
次に、有機物としては比較的硬いエポキシ系樹脂で音響
インピーダンスが3 X 10 ’Kg/n12s程度
のものをPZTセラミック部とシリコンゴム部の音響連
結層として複合圧電材料の上に形成した(第3図)。こ
こで、音響連結層の厚みを〜0.13mmとした。また
1電気を供給するリード線を着けるために上部電極が一
部露出するようにした。連結層の厚みは本実施例におけ
る超音波の波長のほぼ4分の1になっている。
インピーダンスが3 X 10 ’Kg/n12s程度
のものをPZTセラミック部とシリコンゴム部の音響連
結層として複合圧電材料の上に形成した(第3図)。こ
こで、音響連結層の厚みを〜0.13mmとした。また
1電気を供給するリード線を着けるために上部電極が一
部露出するようにした。連結層の厚みは本実施例におけ
る超音波の波長のほぼ4分の1になっている。
このように作成した超音波探触子の性能を調べるために
パルス波形および感度の測定をした。音響条件は空気バ
ンキング浜なっており、探触子から水中に超音波を放射
し、反射体からのエコーを再び探触子で受波し、送受波
総合感度を評価した。
パルス波形および感度の測定をした。音響条件は空気バ
ンキング浜なっており、探触子から水中に超音波を放射
し、反射体からのエコーを再び探触子で受波し、送受波
総合感度を評価した。
パルス波形は、空気バッキングではあるが720d13
巾が約4.5λ(λは超音波の波長)と超音波撮像用と
して光分短かかった。感度測定に際しては、比較のため
にPZTセラミックスを用いた従来の構造の同一口径(
10咽角)の超音波探触子を作成した。この比較用探触
子は適当なバッキング材と音響整合層を組合せることで
、パルス長が本実施例の探触子と同程度(−20dB巾
が4,5λ)になるように作成した。両者の探触子で感
度比較を行なったところ、本実施例の探触子は従来の探
触子に比較し約15dB感度が高かった。
巾が約4.5λ(λは超音波の波長)と超音波撮像用と
して光分短かかった。感度測定に際しては、比較のため
にPZTセラミックスを用いた従来の構造の同一口径(
10咽角)の超音波探触子を作成した。この比較用探触
子は適当なバッキング材と音響整合層を組合せることで
、パルス長が本実施例の探触子と同程度(−20dB巾
が4,5λ)になるように作成した。両者の探触子で感
度比較を行なったところ、本実施例の探触子は従来の探
触子に比較し約15dB感度が高かった。
以上説明したように、圧電セラミックと有機物の複合材
料と、音響連結層を組合せることによシ、高感度の超音
波探触子が実現することは明らかである。
料と、音響連結層を組合せることによシ、高感度の超音
波探触子が実現することは明らかである。
第1図は本発明の前提となる複合圧電拐料の概念を示す
図、第2図は本発明の実施例に使用するハニカム構造圧
電セラミックを示す図、第3図は本発明の超音波探触子
を示す図である。
図、第2図は本発明の実施例に使用するハニカム構造圧
電セラミックを示す図、第3図は本発明の超音波探触子
を示す図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、厚み方向に一様に分極した圧電セラミックからなる
領域と、有機物からなる領域とが板面方向で交互に分散
して存在する板状の複合拐料と、該複合材料の両面に形
成された電極と、該複合材料の少なくも一面に形成され
、該有機物より硬い材料から成る連結層とを有する超音
波探触4子。 2、前記連結層は音響インピーダンスが水と該複合材料
の中間の物質から成ることを特徴とする特許請求の範囲
第1項の超音波探触子。 3、前記連結層は使用超音波の波長のほぼ4分の1の厚
さを有することを特徴とする特許請求の範囲第1項もし
くは第2項の超音波探触子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58194233A JPS6086999A (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | 超音波探触子の製造方法 |
US06/662,098 US4628223A (en) | 1983-10-19 | 1984-10-18 | Composite ceramic/polymer piezoelectric material |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58194233A JPS6086999A (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | 超音波探触子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6086999A true JPS6086999A (ja) | 1985-05-16 |
JPH0521400B2 JPH0521400B2 (ja) | 1993-03-24 |
Family
ID=16321179
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58194233A Granted JPS6086999A (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | 超音波探触子の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4628223A (ja) |
JP (1) | JPS6086999A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4831601A (en) * | 1986-10-31 | 1989-05-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Apparatus for transmitting and receiving ultrasonic signals |
EP0524749A2 (en) * | 1991-07-10 | 1993-01-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic probe for observing two orthogonal cross sections |
JP2008166715A (ja) * | 2006-12-04 | 2008-07-17 | Ngk Insulators Ltd | ハニカム型圧電/電歪素子 |
JP6265578B1 (ja) * | 2016-09-07 | 2018-01-24 | 株式会社アルバック | デバイス及びデバイスの製造方法並びにアレイ型の超音波プローブの製造方法 |
WO2018047585A1 (ja) * | 2016-09-07 | 2018-03-15 | 株式会社アルバック | デバイス及びデバイスの製造方法並びにアレイ型の超音波プローブの製造方法 |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4788096A (en) * | 1985-06-06 | 1988-11-29 | Hoechst Celanese Corporation | Devices for making piezoelectric ceramic or ceramic-base composite sensors |
JPS62150610A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-04 | 株式会社日立製作所 | 入力装置 |
US4760738A (en) * | 1986-07-08 | 1988-08-02 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Contact medium for use in probe of ultrasonic flaw detector |
US4933230A (en) * | 1986-09-17 | 1990-06-12 | American Cyanamid | Piezoelectric composites |
US5065068A (en) * | 1989-06-07 | 1991-11-12 | Oakley Clyde G | Ferroelectric ceramic transducer |
US5316000A (en) * | 1991-03-05 | 1994-05-31 | Technomed International (Societe Anonyme) | Use of at least one composite piezoelectric transducer in the manufacture of an ultrasonic therapy apparatus for applying therapy, in a body zone, in particular to concretions, to tissue, or to bones, of a living being and method of ultrasonic therapy |
US5684884A (en) * | 1994-05-31 | 1997-11-04 | Hitachi Metals, Ltd. | Piezoelectric loudspeaker and a method for manufacturing the same |
US5873154A (en) * | 1996-10-17 | 1999-02-23 | Nokia Mobile Phones Limited | Method for fabricating a resonator having an acoustic mirror |
JPH11187492A (ja) * | 1997-10-06 | 1999-07-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 複合超音波変換器 |
US6603241B1 (en) * | 2000-05-23 | 2003-08-05 | Agere Systems, Inc. | Acoustic mirror materials for acoustic devices |
US6601464B1 (en) | 2000-10-20 | 2003-08-05 | John P. Downing, Jr. | Particle momentum sensor |
US6921371B2 (en) | 2002-10-14 | 2005-07-26 | Ekos Corporation | Ultrasound radiating members for catheter |
US7036363B2 (en) * | 2003-07-03 | 2006-05-02 | Pathfinder Energy Services, Inc. | Acoustic sensor for downhole measurement tool |
US6995500B2 (en) * | 2003-07-03 | 2006-02-07 | Pathfinder Energy Services, Inc. | Composite backing layer for a downhole acoustic sensor |
US7513147B2 (en) | 2003-07-03 | 2009-04-07 | Pathfinder Energy Services, Inc. | Piezocomposite transducer for a downhole measurement tool |
US7075215B2 (en) * | 2003-07-03 | 2006-07-11 | Pathfinder Energy Services, Inc. | Matching layer assembly for a downhole acoustic sensor |
US7109642B2 (en) * | 2003-11-29 | 2006-09-19 | Walter Guy Scott | Composite piezoelectric apparatus and method |
WO2007126069A1 (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-08 | Panasonic Corporation | 超音波探触子 |
US7587936B2 (en) | 2007-02-01 | 2009-09-15 | Smith International Inc. | Apparatus and method for determining drilling fluid acoustic properties |
FR2922607A1 (fr) * | 2007-10-22 | 2009-04-24 | Thierry Vardon | Generatrice d'electricite a partir du mouvement du vent au contact d'une structure agissant sur des elements piezoelectriques |
US8117907B2 (en) | 2008-12-19 | 2012-02-21 | Pathfinder Energy Services, Inc. | Caliper logging using circumferentially spaced and/or angled transducer elements |
US8561270B2 (en) * | 2010-02-22 | 2013-10-22 | Cts Corporation | Composite ceramic structure and method of making the same |
JP5972581B2 (ja) * | 2012-01-23 | 2016-08-17 | 東芝メディカルシステムズ株式会社 | 超音波診断装置 |
US10921478B2 (en) * | 2016-10-14 | 2021-02-16 | Halliburton Energy Services, Inc. | Method and transducer for acoustic logging |
CN113533518B (zh) * | 2021-07-14 | 2024-04-26 | 北京信泰智合科技发展有限公司 | 一种大角度纵波探头及制备方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54131380A (en) * | 1978-03-31 | 1979-10-12 | Hitachi Medical Corp | Dumbbell type ultrasonic wave detecting contacting piece |
JPS55151896A (en) * | 1979-05-16 | 1980-11-26 | Toray Ind Inc | Ultrasonic transducer using high molecular piezoelectric film |
JPS55166980A (en) * | 1979-06-13 | 1980-12-26 | Toko Inc | Piezo-electric porcelain structure |
JPS5726986A (en) * | 1980-06-06 | 1982-02-13 | Siemens Ag | Ultrasonic wave converter and method of producing same |
JPS5822046A (ja) * | 1981-08-03 | 1983-02-09 | 株式会社日立メディコ | 超音波探触子 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4211948A (en) * | 1978-11-08 | 1980-07-08 | General Electric Company | Front surface matched piezoelectric ultrasonic transducer array with wide field of view |
US4233477A (en) * | 1979-01-31 | 1980-11-11 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Flexible, shapeable, composite acoustic transducer |
US4217684A (en) * | 1979-04-16 | 1980-08-19 | General Electric Company | Fabrication of front surface matched ultrasonic transducer array |
US4407054A (en) * | 1980-10-28 | 1983-10-04 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Method of making electromechanical transducers using improved flexible composite piezoelectric material |
US4366406A (en) * | 1981-03-30 | 1982-12-28 | General Electric Company | Ultrasonic transducer for single frequency applications |
US4412148A (en) * | 1981-04-24 | 1983-10-25 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | PZT Composite and a fabrication method thereof |
FR2531298B1 (fr) * | 1982-07-30 | 1986-06-27 | Thomson Csf | Transducteur du type demi-onde a element actif en polymere piezoelectrique |
US4422003A (en) * | 1982-08-16 | 1983-12-20 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Perforated PZT polymer composites |
-
1983
- 1983-10-19 JP JP58194233A patent/JPS6086999A/ja active Granted
-
1984
- 1984-10-18 US US06/662,098 patent/US4628223A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54131380A (en) * | 1978-03-31 | 1979-10-12 | Hitachi Medical Corp | Dumbbell type ultrasonic wave detecting contacting piece |
JPS55151896A (en) * | 1979-05-16 | 1980-11-26 | Toray Ind Inc | Ultrasonic transducer using high molecular piezoelectric film |
JPS55166980A (en) * | 1979-06-13 | 1980-12-26 | Toko Inc | Piezo-electric porcelain structure |
JPS5726986A (en) * | 1980-06-06 | 1982-02-13 | Siemens Ag | Ultrasonic wave converter and method of producing same |
JPS5822046A (ja) * | 1981-08-03 | 1983-02-09 | 株式会社日立メディコ | 超音波探触子 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4831601A (en) * | 1986-10-31 | 1989-05-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Apparatus for transmitting and receiving ultrasonic signals |
EP0524749A2 (en) * | 1991-07-10 | 1993-01-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic probe for observing two orthogonal cross sections |
US5327895A (en) * | 1991-07-10 | 1994-07-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnosing system using ultrasonic probe |
JP2008166715A (ja) * | 2006-12-04 | 2008-07-17 | Ngk Insulators Ltd | ハニカム型圧電/電歪素子 |
JP6265578B1 (ja) * | 2016-09-07 | 2018-01-24 | 株式会社アルバック | デバイス及びデバイスの製造方法並びにアレイ型の超音波プローブの製造方法 |
WO2018047585A1 (ja) * | 2016-09-07 | 2018-03-15 | 株式会社アルバック | デバイス及びデバイスの製造方法並びにアレイ型の超音波プローブの製造方法 |
US10568607B2 (en) | 2016-09-07 | 2020-02-25 | Ulvac, Inc. | Device, method of manufacturing the device, and method of manufacturing array type of ultrasound probe |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4628223A (en) | 1986-12-09 |
JPH0521400B2 (ja) | 1993-03-24 |
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