JPS6086402A - 基板検査装置 - Google Patents
基板検査装置Info
- Publication number
- JPS6086402A JPS6086402A JP19422783A JP19422783A JPS6086402A JP S6086402 A JPS6086402 A JP S6086402A JP 19422783 A JP19422783 A JP 19422783A JP 19422783 A JP19422783 A JP 19422783A JP S6086402 A JPS6086402 A JP S6086402A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- board
- memory circuit
- substrate
- measured
- controlled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7088—Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/024—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of diode-array scanning
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
この発明は、基板に正しく部品がとう載されているか否
かを検査する基板検査装置の改良に関するものである。
かを検査する基板検査装置の改良に関するものである。
（従来技術とその問題点）
第１図に従来方式のブロック図を示す。
１は撮像装置、２，３は比較器、４は制御装置、５はメ
モリ回路、６は同期信号発生回路、７はＸＹテーブル駆
動装置である。この方式では、１」゛φ像装置１で撮影
した被測定基板の影像の輝度レベルを比較器２にて、し
きい値十〇と比較して、２値化を行い、一方、メモリ回
路５にあらかしめ記憶された基準映像パターン（２値化
されたもの）を同期信号発生回路６から発生するアドレ
スにより読出し、比較器３により画素即位で比較し、不
一致情報を制御装置４へ送出する。
モリ回路、６は同期信号発生回路、７はＸＹテーブル駆
動装置である。この方式では、１」゛φ像装置１で撮影
した被測定基板の影像の輝度レベルを比較器２にて、し
きい値十〇と比較して、２値化を行い、一方、メモリ回
路５にあらかしめ記憶された基準映像パターン（２値化
されたもの）を同期信号発生回路６から発生するアドレ
スにより読出し、比較器３により画素即位で比較し、不
一致情報を制御装置４へ送出する。
制御装置４では、この画素ごとの不一致情報を数え、そ
の数が最少となるように、Ｘ−Ｙテーブル駆動装置７を
制御する方式である。
の数が最少となるように、Ｘ−Ｙテーブル駆動装置７を
制御する方式である。
この方式で、Ｏ，ｌ＋師以下の位置ずれを検出かつ補正
するためには高精度のＸＹテーブル駆動装置が必要とな
り、高価な・・−ドウエアを必要とした。
するためには高精度のＸＹテーブル駆動装置が必要とな
り、高価な・・−ドウエアを必要とした。
（目ｎ勺）
との発明は２位置ずれを検出するために、被測定基鈑を
動かずのではなく、メモリ回路の読出しアドレスを制御
することで、基準映像の位置を電気的に動かずことによ
って実現し、その目的は位置ずれを安価なハードウェア
により、高精度で検出し、補正することにある。
動かずのではなく、メモリ回路の読出しアドレスを制御
することで、基準映像の位置を電気的に動かずことによ
って実現し、その目的は位置ずれを安価なハードウェア
により、高精度で検出し、補正することにある。
（実施例）
以下この発明の実施例を第２図により説明する。
１は印像装置、２，３は比較器、４は制御装置、５はメ
モリ回路、６は同期信号発生回路、８，９は加鏝−回路
である。
モリ回路、６は同期信号発生回路、８，９は加鏝−回路
である。
本発明は比較器３により出力される画素単位の不一致情
報を制御装置４へ送出し、制御装置４では、アドレス制
御を行う。すなわち、前記不一致・清報の敬が最少とな
るように、メモリ回路５の読出しアドレス（ｘ、ｙ）を
加算器８．９により、△Ｘ。
報を制御装置４へ送出し、制御装置４では、アドレス制
御を行う。すなわち、前記不一致・清報の敬が最少とな
るように、メモリ回路５の読出しアドレス（ｘ、ｙ）を
加算器８．９により、△Ｘ。
△Ｙを加えることで制御し、メモリ回路５から出力され
る基亭映像の位置を制御する方式である。
る基亭映像の位置を制御する方式である。
次にこの動作を具体的に説明する。第３図は水平方向（
Ｘ）の位置制御の一例をタイミング図で面像装置１から
のビデオ信号Ａは比較器２によって。
Ｘ）の位置制御の一例をタイミング図で面像装置１から
のビデオ信号Ａは比較器２によって。
−Ｉ−Ｅのレベルで２値化され、２仙化化−＋；１３と
フ、（す。
フ、（す。
比較器３に送出される。比較器３では、２植°化信号Ｂ
とメモリ回路５からの基準信号Ｃとを比較し。
とメモリ回路５からの基準信号Ｃとを比較し。
水平方向のずれ幅（−ΔεＸ）を検出し、制御装置４へ
送出する。制御装置４ではメモリ回路５の読出しアドレ
ス制御データとして、−ΔεＸに相当したデータとして
、△Ｘを加算器８に送出する。加算器８では同期信号発
生器６からの読出しアドレスＸと△Ｘとを加算すること
によって、新しい水平方向の読出しアドレスＸ、−Δε
Ｘ を算出し、メモリ回路５に送出する。
送出する。制御装置４ではメモリ回路５の読出しアドレ
ス制御データとして、−ΔεＸに相当したデータとして
、△Ｘを加算器８に送出する。加算器８では同期信号発
生器６からの読出しアドレスＸと△Ｘとを加算すること
によって、新しい水平方向の読出しアドレスＸ、−Δε
Ｘ を算出し、メモリ回路５に送出する。
すなわち、メモリ回路５からの基桑信号は。
−Δε、補正された信号Ｃ′となり、すれ幅−ΔεＸは
補正される。
補正される。
このようにして、補正された基板の位置ずれ補正量すな
わち、アドレス制御幅か一定量を越えた場合、当該基板
を不団とｒ−１１１Ｘｌ−＋する。
わち、アドレス制御幅か一定量を越えた場合、当該基板
を不団とｒ−１１１Ｘｌ−＋する。
（効果）
本発明によれば、高精度のＸＹテーブル駆動装置を必要
とせず、メモリのアドレスを制御する簡単な加算器を伺
加するだけで、高精度の位置ずれ検出並びに補正を行う
ことが可能となる。
とせず、メモリのアドレスを制御する簡単な加算器を伺
加するだけで、高精度の位置ずれ検出並びに補正を行う
ことが可能となる。
第１図は従来の基板検査装置のブロック図、第２図は本
方式による基板検査装置のブロック図。 第３図は本方式による基板検査装置のタイミング図であ
る。 １：１１１８Ｌ像装置、２．３：比較器、４：開側１装
置、。 ５：メモリ回路、６：同期信号発生回路、７：ＸＹテー
ブル駆動装置、８．９：加算回路である。 第１図 第２図 第３図 一△ε× Ｃ′−
方式による基板検査装置のブロック図。 第３図は本方式による基板検査装置のタイミング図であ
る。 １：１１１８Ｌ像装置、２．３：比較器、４：開側１装
置、。 ５：メモリ回路、６：同期信号発生回路、７：ＸＹテー
ブル駆動装置、８．９：加算回路である。 第１図 第２図 第３図 一△ε× Ｃ′−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 撮像装置により被測定基板を撮影し、その映像をあらか
じめメモリに記憶された基準映像と比較し、被測定基板
に正しく部品がと５載されているか否か、また１部品と
う載の位置すれか、どの程度あるかを測定する基板検査
装置において１位置ずれを測定し、補正するために、基
準映像が記憶されているメモリの読出しアドレスを制御
することにより、基準映像の位置を被測定基板との映像
データの異なる画素数が最少となるように制御し。 そのアドレス制御幅を位置ズレ幅として検出する仁とを
特徴とする基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19422783A JPS6086402A (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | 基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19422783A JPS6086402A (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | 基板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6086402A true JPS6086402A (ja) | 1985-05-16 |
Family
ID=16321069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19422783A Pending JPS6086402A (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | 基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6086402A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04218708A (ja) * | 1990-06-04 | 1992-08-10 | Olympus Optical Co Ltd | 撮像手段を用いた対象物の測定方法 |
-
1983
- 1983-10-19 JP JP19422783A patent/JPS6086402A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04218708A (ja) * | 1990-06-04 | 1992-08-10 | Olympus Optical Co Ltd | 撮像手段を用いた対象物の測定方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS61294342A (ja) | 不整合／歪み補正方式 | |
| JP2985323B2 (ja) | パターン検査方法及びその装置 | |
| JPH0746436A (ja) | フィルムスキャナ | |
| EP0206709A2 (en) | Automatic optical inspection of printed circuit boards | |
| JPH05102698A (ja) | 部品実装方法および部品実装装置 | |
| JP2001124700A (ja) | ラインセンサーカメラを備えた検査機のキャリブレーション方法 | |
| JPS6086402A (ja) | 基板検査装置 | |
| US6512363B1 (en) | Method and apparatus for automatic registration of a board | |
| JP2001004339A (ja) | 画像認識検査システムの照明むら測定方法および画像認識検査方法 | |
| JPS5734402A (en) | Inspecting method for defect in circuit pattern | |
| JP2648476B2 (ja) | 部品の検出装置 | |
| JPH10326997A (ja) | 電子部品実装装置および該電子部品実装装置による位置補正方法 | |
| JP3942728B2 (ja) | 印刷物の欠陥検査方法及び装置 | |
| JP2917117B2 (ja) | プリント基板における作業位置座標算出方法およびその装置 | |
| JPH0611321A (ja) | 半田印刷検査方法 | |
| JP3771329B2 (ja) | 電子部品の取付方向検査方法 | |
| JPH05107038A (ja) | 撮像装置 | |
| KR101981533B1 (ko) | 3차원 형상 측정 시스템의 보정 방법 | |
| JP3860648B2 (ja) | 検査装置 | |
| JPH0325357A (ja) | 画像欠陥検出方法 | |
| JPH0664137A (ja) | クリーム半田の印刷方法 | |
| JPS63312695A (ja) | 電子部品の位置決め制御装置 | |
| JP2006084388A (ja) | 実装基板の検査用データ作成方法及び作成装置、並びに実装基板の検査方法 | |
| JP2871036B2 (ja) | 画像処理装置 | |
| JP2884581B2 (ja) | 実装済プリント基板の検査装置における基準データーの教示方法 |