JPS6085056U - 立体観察用試料傾斜装置 - Google Patents

立体観察用試料傾斜装置

Info

Publication number
JPS6085056U
JPS6085056U JP17740983U JP17740983U JPS6085056U JP S6085056 U JPS6085056 U JP S6085056U JP 17740983 U JP17740983 U JP 17740983U JP 17740983 U JP17740983 U JP 17740983U JP S6085056 U JPS6085056 U JP S6085056U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
tilt
tilt angle
tilting device
stereoscopic observation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17740983U
Other languages
English (en)
Inventor
米原　勝久
小内　俊男
英子 中澤
Original Assignee
株式会社日立製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP17740983U priority Critical patent/JPS6085056U/ja
Publication of JPS6085056U publication Critical patent/JPS6085056U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本案実施例の動作原理図、第２図は本案実施例
の詳細図、第３図、第４図は傾斜角度設定基準電圧発生
部の説明図である。 １・・・試料、２・・・電子線、３・・・試料傾斜ホー
ルダ、４・・・駆動電動機、５・・・傾斜角度検出部、
６・・・傾斜角度表示部、７・・・差動増巾器、８・・
・傾斜角度設定基準電圧発生部、９・・・傾斜角度切換
スイッチ、１０・・・傾斜角度設定表示部、１１・・・
可変抵抗器、１２・・・角度表示変換器、１３・・・角
度表示器、１４・・・増巾器。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　電子線の試料照射方向に対し試料を傾斜することが
    可能な試料傾斜装置において試料傾斜ホールダと連動し
    た傾斜角度検出機能、傾斜角度設定機能と傾斜方向切換
    機能を備えることにより、あらかじめ設定した傾斜角度
    に対し試料傾斜ホニルダの傾斜角度との差を自動補正す
    ることを特徴とする立体観察用試料傾斜装置。 ２　実用新案登録請求の範囲第１項において、あらかじ
    め設定した傾斜角度に対し、傾斜方向切換機能を作動さ
    せることにより、上記設定した設定傾斜角度の方向のみ
    、傾斜軸に対し異なった傾斜角度に試料を自動的に設定
    できることを特徴とする立体観察用試料傾斜装置。
JP17740983U 1983-11-18 1983-11-18 立体観察用試料傾斜装置 Pending JPS6085056U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17740983U JPS6085056U (ja) 1983-11-18 1983-11-18 立体観察用試料傾斜装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17740983U JPS6085056U (ja) 1983-11-18 1983-11-18 立体観察用試料傾斜装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6085056U true JPS6085056U (ja) 1985-06-12

Family

ID=30385430

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17740983U Pending JPS6085056U (ja) 1983-11-18 1983-11-18 立体観察用試料傾斜装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6085056U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022533716A (ja) * 2019-05-20 2022-07-25 エルディコ サイエンティフィック エージー 荷電粒子結晶学用回折計

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022533716A (ja) * 2019-05-20 2022-07-25 エルディコ サイエンティフィック エージー 荷電粒子結晶学用回折計

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB1519185A (en) Apparatus for positioning a beam-deflecting mirror
JPS6085056U (ja) 立体観察用試料傾斜装置
JPS58193453U (ja) 電子線装置における反射電子検出装置
JPS60131952U (ja) 像表示装置
SE8004424L (sv) Instellbar stodanordning
JPS6015754U (ja) 電子顕微鏡
JPS6059977U (ja) 電子部品試験装置
JPS63123047U (ja)
JPS59123149A (ja) 電子線装置における試料移動装置
JPH0326046U (ja)
JPH026591Y2 (ja)
JPS594408U (ja) 透過電子顕微鏡
JPS5593119A (en) Optical image pointer
JPS5856598U (ja) 電動機制御装置
JPH01124655U (ja)
Morton et al. An ECG Galvanometer used as a shutter
JPS61106205U (ja)
JPS593614U (ja) デジタル式アツプダウンボリユ−ム装置
JPS5941967U (ja) 走査電子顕微鏡等における試料位置表示装置
JPS6073163U (ja) 走査形電子顕微鏡
JPH07239660A (ja) 光点投射器
JPS6151658U (ja)
van der Plas Immunologisches praktikum: by Zwilling, R.(1977) 77 pages, 21 Figs, Gustav Fisher Verlag, Stuttgart
JPS6026680U (ja) ア−ム駆動装置
JPS5910978U (ja) 溶接装置