JPS6080704A

JPS6080704A - 立体物測定機

Info

Publication number: JPS6080704A
Application number: JP18968483A
Authority: JP
Inventors: Hitoshi Masaki; 仁正木
Original assignee: Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1983-10-11
Filing date: 1983-10-11
Publication date: 1985-05-08

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、非接触型の立体物測定機に関する。

一般に、被測定物の寸法や形状を測定するものとして、
タッチ信号プローブを二次元または三次元方向へ移動可
能に構成し、そのプロ−デカ１′４１．定物に当接した
時点のプローブの移動変位量から被測定物の寸法や形状
を測定する、いわゆる立体物測定装置が知られている。

従来、この種の装置では、被測定物にプローブを当接さ
せる形式のため、モの当接力や当接姿勢等によって誤差
が生じ易いばかりか、プローブに原点復帰性，全方向性
、オーバーストローク詐容性等の機能がめられる結果、
高価にならざるを得ない。しかも、被測定物がプラスツ
チク部材等の比較的弾性がある材料の場合には、測定不
可能な場合もある。

ここに、非接触型の測定機が要請される．これ−には、
光学式、電磁式等が考えられるが、今すご実用価値ある
ものの出現を見ない。この理由は、方向性やストローク
に対する特性が不安定であることに起因する結果と思わ
れる。

ここにおいて、本発明の目的は、このような従来の非接
触型測定機の欠点を解消し、高能率で、かつ高精度な測
定が可能な非接触型の立体物測定機を提供することにあ
る。

そのため、本発明では、被測定物を回動させるための回
転テーブルと、この回転テーブルの回動軸線と交差する
方向へ移動自在に設けられ被測定物表面までの距離を非
接触で検知する距離検出器と，この距離検出器からの出
力信号に応じて前記被測定物表面から距離検出器までの
距離が一定となるように距離検出器を移動させる位置決
め装置と、この位置決め装置によって被測定物表面から
の距離が一定となるように移動された距離検出器の移動
方向の位置を検出するための位置検出器と、前記距離検
出器を前記回転テーブルの回動軸線方向へ昇降させる昇
降装置と、この昇降装置によって昇降された距離検出器
の高さ方向の位置を検出するための高さ検出器と，前記
回転テーブル↓　ｈ　纏ｔ　シ　・上　４　れｊ７ｉ＝
　鋺フ　曽ｈ　舅ｋ　郁醪　ｂ　＝　ａｌ　［ｍ　自；
　１！　鴛ｈ　通し　署によって回動された回転テーブ
ルの回動角度を検出するための角度検出器と、前記位置
検出器の出力信号から被測定物表面の前記回動軸線から
の寸法をめるとともに、前記高さ検出器の出力信号から
被測定物表面の高さ方向の寸法をめ、かつ前記角度検出
器の出力信号から被測定物表面の周方向位置をめて被測
定物の測定表面を特定する演算処理装置とを備えた構成
により、上記目的を達成しようとするものである。

そこで、はじめに４本発明の測定原理を説明する。まず
、第１図に示す如く、被測定物Ｗを回転円板Ｅ上におき
、その回転円板Ｅの回動中心０より距離Ａだけ離れた位
ＷＢにレーザビーム投受光器Ｇをおく．ここで、距離Ａ
はレーザビーム投受光器Ｇのレーザビームの焦点距蘭で
ある。

この状態において、レーザビーム投受光器Ｇからレーザ
ビームを被測定物Ｗの測定点ＰＩへ照射する一方、レー
ザビームの焦点が測定点ＰＬに結ばれるようにレーザビ
ーム投受光器Ｇを回動中心０と交差する方向へ移動させ
ると、レーザビーム投受光器Ｇは前記位置Ｂに対して回
動中心０から被測定物Ｗの測定点Ｐ＋までの距離「Ｌだ
け左側にある位ＩＩＣへ移動される。

次に、回転円板Ｅを図中矢示方向へ角度θ１だけ回転さ
せると、測定点Ｐ１の位置に測定点Ｐ２が位置する。こ
こで、レーザビーム投受光器Ｇからのレーザビームの焦
点が測定点Ｐ２に結ばれるようにレーザビーム投受光器
Ｇを移動させると。

レーザビーム投受光器Ｇは前記位置Ｂに対して回動中心
Ｏから測定点Ｐ２までの距離ＯＰ　２だけ移動される。

このようにして、回転円板Ｅを所定角度づつ回転させ、
その各回動停止位置において被測定物Ｗの各測定点Ｐ−
、Ｐ２．Ｐｓ　、Ｐ４にレーザビームの焦点が順に結ば
れるようにレーザビーム投受光ｌｌＧを移動させると、
回動中心０からレーザビーム投受光器Ｇまでの距離は、
（Ａ＋ＯＰ＋　）。

（Ａ＋０Ｐ２）、（Ａ＋が〒ａ）、（Ａ＋か７４）・・
・と変化する。つまり、レーザビーム投受光器Ｇの位置
Ｂからの移動距離は、回動中心Ｏから被測定物Ｗの各測
定点Ｐ＋　、Ｐ２．Ｐ８．Ｐ４・・・ま−ｃ’ノ距離Ｏ
Ｆｒ　、ＯＦ２．ＯＰａ　、ＯＦ２　”’となる。

このことから、回転円板Ｅを所定角度づつ回転させ、被
測定物Ｗの表面上にレーザビームの焦点が順次結ばれる
ようにレーザビーム投受光器Ｇを移動させ、そのときの
回転円板Ｅの角度およびレーザビーム投受光器Ｇの移動
量をめれば、被測定物Ｗの各測定点ＰＩ’、Ｐ２　、Ｐ
ａ　、Ｐ４・・・を回動中心０を原点とする極座標で表
わすことができる。

ここで、各測定点Ｐ　＋　、Ｐ２．Ｐｇ　、Ｐ４−の極
座標は直交座標に変換することができる。例えば、測定
点Ｐ２の直交座標χ２．ｙ２は、ｍ２図に示す如く、Ｏ
Ｐ　２＝　ｒとすると、χ２＝ＯＸ、−ｒｃｏｓ　θｌ
・・・（１）Ｖ　２　”　０７　ｍ　＋　ｒ　８１１１
０＋−（２）となる。このようにして、各測定点Ｐ＋、
Ｐ２゜Ｐｇ、Ｐ＜・・・を直交座標として表わすことも
できる。

従って、第１図の回動中心Ｏを通り紙面に垂直な軸をＺ
軸とし、モのＺ軸方向にレーザビーム投受光器Ｇを一定
量づつ移動させ、モのＺ軸方向の各位置において前述し
た被測定物Ｗの二次元形状を極座標または直交座標とし
てめれば、被測定物Ｗの三次元的形状を簡単にめること
ができる。

次に１本発明の一実施例を第３図から第９図に基づいて
説明する。

第３図は本実施例の立体物測定機の外観を示している。

同図において、基台１１には、その上面−側寄りにポー
ルネジ受け１２を介して垂直なＺ軸１３が上下方向へ昇
降自在に設けられているとともに、上面他側寄りに前記
Ｚ軸１３の中心軸線と平行な回転軸１４の下部が回動自
在に支持されている０回転軸１４の上端には、被測定物
Ｗを載置固定する回転テーブル１６が一体的にかつ水平
に設けられているとともに、その回転テーブル１６の下
方に真円リング１７が装着されている。前記回転テーブ
ル１６の下面側には、その回転テーブル１６の上下方向
の振れを検出する上下振れ検出器１８が対向されている
とともに、前記真円リング１７の外周には、前記回転テ
ーブル１Ｇの芯振れを検出する芯振れ検出器１９が対向
されれている。

前記上下振れ検出器１８は、第４図に示す如く、レーザ
光源２１から出射されたレーザービームがコリメータレ
ンズ２２よりビームスプリフタ２３にて直角に曲げられ
、対物レンズ２４を経て回転テーブル１６の下面に照射
されるようになっている。回転テーブル１６の下面から
の反射光は、前記対物レンズ２４およびビームスプリッ
タ２３を経て集光レンズ２５で集光された後、フォトダ
イオード２６で受光される。ここで、レーザービームの
焦点が回転テーブル１６の下面に一致せず１例えば回転
テーブル１６の下面に対して遠退たり遅過たりすると、
信号処理回路２７からフォーカシング信号Ｆ　ＣＳ　Ｉ
が出力される。このフォーカシング信号Ｆ　ＣＳ　Ｉは
増幅器２８を介して増幅された後、光学系全体を上下方
向へ移動させるサーボ機構２９へ入力される。これによ
り、レーザビームの焦点が回転テーブル１６の下面に正
しく位置するまで光学系全体が上下方向へ移動される。

従って、回転テーブル１６が回転時に上下方向へ振れる
と、その上下方向の振れ量が光学系全体の移動量として
検出される。

また、前記芯振れ検出器１９は、第５図に示す如く、レ
ーザ光源３１から出射されたレーザービームがコリメー
タレンズ３２よりビームスプリッタ３３にて直角に曲げ
られ、対物レンズ３４を経て真円リング１７の外周面に
照射されるようになっている。真円リング１７の外周面
からの反則光は、前記対物レンズ３４およびビームスプ
リッタ３３を経て集光レンズ３５で集光された後、フォ
トダイオード３６で受光される。ここで、レーザービー
ムの焦点が真円リング１７の外周面に一致せず、例えば
真円リング１７の外周面に対して遠退たり遅過たりする
と、信号処理回路３７からフォーカシング信号Ｆ　ＣＳ
　２が出力される。

フォーカシング信号ＦＣ３２は増幅器３８を介して増幅
された後、光学系全体を水平方向へ移動させるサーボ機
構３９表入力される。これにより、レーザビームの焦点
が真円リング１７の外周面に正しく位置するまで光学系
全体が水平方向へ移動される。従って、回転テーブル１
６が回転時に芯振れを起すと、その芯振れ量が光学系全
体の移動量として検出される。

また、前記回転軸１４の下端には、歯車機構４１を介し
て回転軸１４を回転させる回転駆動装置としてのモータ
４２が連結されているとともに、歯車機構４３を介して
回転テーブル１６の回転角位置を検出する角度検出器４
９が連結されている。いま、被測定物Ｗの大きさを回転
テーブル１６の回動軸線Ｏを中心として半径５００ｍｍ
、つまり直径１ｍの被測定物Ｗの外周形状をｌｐＬｍの
精度で測定する場合について考えると、回転テーブル１
６の１回転について、（１ｍＸπ）７１　ｇｍ：　３１
４１Ｅ１００点数を知らなければならない、つまり、０
．０００１１４５°町０．４１２２秒の角度を知る必要
がある。このため、本実施例では、１回転で１００００
パルスを発生するインクリメンタルロータリエンコーダ
４４を用い、それが回転テーブル１６の１回転で４００
回転、つまり４００００００個のパルスが発生するよう
に前記歯車機構４３を構成している。

また、回転テーブル１６の回転方向の原点検出および読
取り誤差を防ぐために、インクリメンタルロータリエン
コーダ４４が１回転つまり１００００　Ａルス発生する
毎に１個のパルスを発生させ、そのパルスが４００個発
生したときに回転テーブル１６が１回転したことを判別
するようにしている。例えば、第６図に示す如く、イン
クリメンタルロータリエンコーダ４４で発生したパルス
を変調器４５へ、インクリメンタルロータリエンコーダ
４４が１回転する毎に１個発生するパルスを変調器４６
へそれぞれ入力させる。変調器４５は周波数Ｆ■をイン
クリメンタルロータリエンコーダ４４で発生するパルス
で変調し、一方変調器４６は周波数Ｆ２をインクリメン
タルロータリエンコーダ４４が１回転する毎に１（ｉ発
生するパルスで変調し、この′Ｄｆｆｌ器４５および変
調器４６の出力をカウンタ４７へ入力し、そのカウンタ
４７のカウント数から回転テーブル１６の回転角位置を
めるようにしている。従って、例えば変調器４５の出力
が誤動作によって８８８９のとき、変調器４６の出力が
あった場合は、誤ったカウントをしているので、回転テ
ーブル１６に回転力を与えるモータ４２を停止させ、測
定を再度行なわせる。なお、ロータリーエンコーダのパ
ルスで周波数Ｆ＋、ｖ２を変調する理由は、外部からの
妨害となるパルスを除き、周波数Ｆｌ、Ｆ２の同調回路
で誤動作を防ぐためである。

一方、前記Ｚ軸１３には、その下端にＺ軸１３を上下方
向（Ｚ軸方向）へ昇降させる貝降装Ｍ５１が設けられて
いるとともに、ＺｉｌＥＩ１１３に沿ってＺ軸１３の上
下方向の位置を検出するリニアエンコーダ等の高さ検出
器５２が設けられている。また、ＺｉＩＩＩ１１３の上
下方向の略中夫には、水平テーブル５３が水平に取付け
られている。水平テーブル５３には、被測定物Ｗ表面に
レーザビームを照射し、その被測定物Ｗ表面からの反射
光を利用して被測定物Ｗまでの距離を非接触で検知する
距離検出器５４、この距離検出器５４からの出力信号に
応じて前記被測定物Ｗ表面までの距離が一定となるよう
に距離検出器５４を回転テーブル１６の回動軸線０に対
して直角に交差する方向（例えばＸ軸方向）へ進退させ
る位置決め装置５６および距離検出器５４の移動位置を
検出するリニアエンコーダ等の位置検出器５５がそれぞ
れ設けられている。

前記距離検出器５４は、第７図に示す如く、レーザ光源
６１からのレーザービームがビームスプリッタ６２を直
進して対物レンズ６３を経て被測定物Ｗに照射されるよ
うになっている。被測定物Ｗからの反射光は対物レンズ
６３を経てビームスプリッタ６２で直角に曲げられ円筒
レンズ６４を経てフォトダイオード受光面６５で受光さ
れる。

いま、対物レンズ６３と被測定物Ｗとの距離力く第１図
の焦点距離Ａに合致した場合は、レーザビームの焦点が
被測定物Ｗ上に位置するので、反射光は第８図（Ａ）の
フォトダイオード受光面６５を構成する受光素子Ａ＋　
、Ａ２　、Ｂ＋　、Ｂ２に円形に表われ、増幅器６７か
らの出力は零となる。もし、対物レンズ６３と被測定物
Ｗとの距離が焦点距離Ａより大きい場合、つまり被測定
物Ｗと対物レンズ６３との距離が遠い場合は、第８図（
Ｂ）に示す如く、受光素子Ｂｌ、Ｂ２のみに像が結ばれ
るので、増幅器６７の出力は−ｖ１となる。この出力−
■−がサーボ機構等により構成された位置決め装置５６
に入力されると、位置決め装置５６により出力−Ｖ＋が
零になるまで距離検出器５４が回転テーブル１６の回動
軸線０に対して直角に交差するＸ軸方向へ移動され、そ
のＸ軸方向の位置が位置検出器５５によって検出される
。

前記位置検出器５５かもの出力は、第９図に示す如く、
演算処理装Ｍ７１の加減算器７２の一力の入力端へ入力
されている。加減算器７２は、前記位置検出器５５から
の出力を前記芯振れ検出器１９かもの出力で補正し、前
記距離検出器５４の位置データ（Ｘ）を算出する。この
位置データ（ｘ）は１合成回路７３に入力され、前記角
度検出器４９で検出された回転テーブル１６の回転角デ
ータ（（１）と合成される。合成回路７３からの合成出
力（Ｘ、θ）は、次の合成回路７４に入力され、加減算
器７５からの出力データと合成される。加減算器７５は
、前記高さ検出器５２からの出力を前記上下振れ検出器
１８からの出力で補正し、前記Ｚ軸１３の高さつまり距
離検出器５４の高さデータ（θ）を算出する。従って、
距離検出器５４の高さデータ（θ）と合成回路７３から
の合成出力（ｘ、θ）つまり距離検出器５４の位置デー
タ（Ｘ）および回転テーブル１６の回転角データ（θ）
とが合成回路７４で合成された後、コンピュータ７５へ
入力される。コンピュータ７５は、制御器７６を介して
操作盤７７から与えられる指令に従って所定の演算を行
ない、その結果をフロッピー７８へ記憶させるとともに
、出力装置７９へ出力する。出力装置７９は、例えばプ
ロッター、レコーダ、ＣＲＴ等で、前記コンピュータ７
４から与えられるデータを２．３次元画像、直交座標、
極座標、等として表示させる。

次に、本実施例の作用を説明する。まず、回転テーブル
１６の上面に被測定物Ｗをセットした後、モータ４２を
駆動させると、回転軸１４を介して回転テーブル１６が
回転される。すると、その回転テーブル１６の回転角デ
ータ（θ）が角度検出器４９で検出された後、演算処理
装置７１へ与えられる。

一方、回転テーブル１６が回転すると、その回転テーブ
ル１６の回動軸線０かも被測定物Ｗの各測定点までの距
離に応じて、距離検出器５４からのレーザビームの焦点
が被測定物Ｗの各測定点」二に位置するように距離検出
器５４がＸ軸方向へ移動され、その各移動量が位置検出
器５５で検出された後、演算処理装置１．７１の加減算
器７２へ入力される。同時に、芯振れ検出器１９で検出
された回転軸１４の芯振れ量が加減算器７２へ入力され
る。これにより、加減算器７２において、前記位置検出
器５５から与えられる位置データ（Ｚ）は、前記芯振れ
検出器１９からのデータによって補正された後、合成回
路７３において、角度検出器４９で検出された回転テー
ブル１６の回転角データ（θ）と合成される。

合成回路７３からの合成出力（Ｘ、θ）は、次の合成回
路７４へ入力され、加減算器７５からの出力と合成され
る。加減算器７５には、高さ検出器５２および上下振れ
検出器１８からのデータがそれぞれ入力されているので
、その加減算器７５からの出力つまりＺ軸方向の高さデ
ータ（Ｚ）と合成（Ｘ、（＋、Ｚ）されコンピュータ７
５へ入力される。これにより、コンピュータ７５は、与
えられる位置データ（ｘ）から被測定物Ｗ表面の前記回
動軸線Ｏからの寸法を、高さデータ（Ｚ）から被測定物
Ｗ表面の回転テーブル１６からの高さを、回転角データ
（θ）から被測定物Ｗ表面の周方向位置をそれぞれめ、
その結果をフロッピー７７へ記憶させる一方、出力装置
７９に表示させる。

このようにして、被測定物Ｗの水平断面形状の測定を、
Ｚ軸方向へ繰返えせば、被測定物Ｗの三次元的形状を測
定することができる。例えば、二次元、三次元形状のほ
か、必要な部分の寸法、平面積、立方体積、中心位置、
或いは被測定物の表面の穴位置、穴の深さ、穴の直径、
突起物の形状、更に表面粗さ等を測定し、それらを測定
値とともに二次元、三次元画像として表示することがで
きる。

従って、本実施例によれば、接触子を使用することなく
、即ち被測定物Ｗに物理的外力をかけることなく測定が
できるので、非常に高速にかつ高精度に測定することが
できる。ちなみに、回転テーブル１６の回転速度を１回
転１５秒とすると、ＸＹ千面を１５秒で測定でき、Ｚ軸
方向にｌｏ。

層の測定を行うと、三次元の全測定が１５００＝２５分
の速度で、かつ測定値を１ｇｍ以下の精度で測定するこ
とができる。

また、距離検出器５４の位置データ（Ｘ）を芯振れ検出
器１９の芯振れ量で補正する一方、距離検出器５４の高
さデータ（Ｚ）を上下振れ検出器１８の上下振れ量によ
って補正するようにしたので、機械加工上或いは組立上
の誤差が測定値に影響を与えることがなく、従って高精
度の測定が期待できる。

また、距離検出器５４の位置データ（Ｘ）、回転テーブ
ル１６の回転角データ（θ）および距離検出器５４の高
さデータ（Ｚ）をコンピータ７５で演算処理するように
したので、そのコンピュータ７５により二次元、三次元
画形状のほか、必要な部分の寸法、平面積、立方体積、
中心位置、或いは被測定物の表面の穴位置、穴の深さ、
穴の直径、突起物の形状、更に表面粗さ等をも簡単に測
定でき、かつそれらの測定結果を二次元画像、三次元画
像として表示させることもできる。

なお、上記実施では、距離検出器５４を、レーザビーム
を被測定物Ｗ表面に照射し、その被測定物Ｗ表面からの
反射光がフォトダイオード受光面６５で結像する形状に
よって被測定物Ｗ表面までの距離を検知する結像式光学
型検出器としたが、距離検出器５４としては、被測定物
Ｗ表面に一定形状のレーザビームを照射し、その被測定
物Ｗ表面からの反射光の反射角度によって被測定物Ｗ表
面までの距離を検知する三角測量式光学型検出器でもよ
い。

また、上記実施例では、初期状態において、距離検出器
５４を回転テーブル１６の回動軸線０から焦点距離Ａだ
け離れた位置に配置し、距離検出器５４からのレーザビ
ームの焦点が回転テーブル１６の回動軸線０に一致する
ように設定したが。

距離検出器５４からのレーザビームの焦点を回転テーブ
ル１６の回動軸線０に必らずしも一致させなくてもよい
。この場合、被測定物Ｗ表面の測定点をめるには、任意
に設定された焦点位置に距離検出器５４の初期位置がら
の移動量を加算すればよい。

また、上記実施例では、回転テーブル１６の回動軸線Ｏ
に対し直角に交差する方向へ進退可能な距離検出器５４
をＺ軸方向へ昇降自在としたが、この距離検出器５４に
加えて前記回動軸線０と平行な方向へ昇降自在な距離検
出器を回動軸線０に対して直角に交差する方向へ移動自
在に設ければ、あらゆる形状の三次元形状を測定するこ
とができるや以上の通り、本発明によれば、接触型の測定機のもつ問
題を解消し、能率的に、かつ高精度な測定が期待できる
立体物測定機を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の測定原理を示す平面図、第２図は極座
標を直交座標に変換するための説明図、第３図は本発明
の一実施例を示す正面図、第４図は上下振れ検出器を示
す説明図、第５図は芯振れ検出器を示す説明図、第６図
は角度検出器を示す説明図、第７図は距離検出器を示す
説明図、第８図（Ａ）（Ｂ）はフォトダイオード受光面
を示す？説明図、第Ｖ４図は演算処理装置を示すブロック図であ
る。Ｗ・・・被測定物、１６・・・回転テーブル、１８・・
・上下振れ検出器、１９・・・芯振れ検出器、４２・・
・回転駆動装置としてのモータ、４９・・・角度検出器
、５１・・・昇降装置、５２・・・高さ検ｔＪｊｍ、５
４・・・距離検出器、５５・・・位置検出器、５６・・
・位置決め装置、７１・・・演算処理装置。代理人　弁理士　木下　実三　（はが１名）第１図第２図第３図第４図第５図ｒシ）２第６図第７図第８図（Ａ）　（Ｂ）第９図１

Claims

【特許請求の範囲】（１）被測定物を回動させるための回転テーブルと、この回転テーブルの回動軸線と交差する方向へ移動自在
に設けられ被測定物表面までの距離を非接触で検知する
距離検出器と、この距離検出器からの出力信号に応じて前記被測定物表
面から距離検出器までの距離が一定となるように距離検
出器を移動させる位置決め装置と、この位置決め装置によって被測定物表面からの距離が一
定となるように移動された距離検出器の移動方向の位置
を検出するための位置検出器と、前記距離検出器を前記回転テーブルの回動軸線方向へ昇
降させる昇降装置と、高さ方向の位置を検出するための高さ検出器と、前記回転テーブルを回動させる回転駆動装置と、この回転駆動装置によって回動された回転テーブルの回
動角度を検出するための角度検出器と、前記位置検出器の出力信号から被測定物表面の前記回動
軸線からの寸法をめるとともに、前記高さ検出器の出力
信号から被測定物表面の高さ方向の寸法をめ、かつ前記
角度検出器の出方信号から被測定物表面の周方向位置を
めて被測定物の測定表面を特定する演算処理装置とを備えたことを特徴とする立体物測定機。（２、特許請求の範囲第１項において、前記距離検出器
を、被測定物表面に一定断面形状の光ビームを照射し、
その光ビームが結像する形状によって被測定物表面まで
の距離を検知する結像式光学型検出器としたことを特徴
とする立体物測定機。（３）特許請求の範囲第１項において、前記距離検出器
を、被測定物表面に一定断面形状の光ビームを照射する
とともに、被測定物表面からの反射光の反射角度によっ
て被測定物表面までの距離を検知する三角測量式光学型
検出器としたことを特徴とする立体物測定ｍ。（４）特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに
おいて、前記演算処理装置は、前記回転テーブルに対向
して設けられその回転テーブルの回動軸線に対する芯振
れ量を検出する芯振れ検出器の出力信号で前記位置検出
器の出力信号を補正する機能を有することを特徴とする
立体物測定機。（５）特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに
おいて、前記演算処理装置は、ｎｔＪ記回転テーブルに
対向して設けられその回転テーブルの上下方向への振れ
量を検出する上下振れ検出器の出力信号で前記高さ検出
器の出力信号を補正する機能を有することを特徴とする
立体物測定機。