JPS5819504A - 形状測定装置 - Google Patents
形状測定装置Info
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- JPS5819504A JPS5819504A JP11822481A JP11822481A JPS5819504A JP S5819504 A JPS5819504 A JP S5819504A JP 11822481 A JP11822481 A JP 11822481A JP 11822481 A JP11822481 A JP 11822481A JP S5819504 A JPS5819504 A JP S5819504A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/20—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring contours or curvatures, e.g. determining profile
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/30—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
事ＭＷＮは、形状ｉｇｔ＊装置に係勤、待に、真円度濶
電機或−は真璽度置電機等Ｏ湊状誤羞測定装置ＫＪＩＩ
％Ａ為に好適な、被測定物に対して相対移動可能壜検尚
響を備え、被測定物と検出ａｔ相対移動畜せ九時の検出
−の出力から被測定物Ｏ廖状會知為ようｋし九廖状測定
装置の改良に関する。
電機或−は真璽度置電機等Ｏ湊状誤羞測定装置ＫＪＩＩ
％Ａ為に好適な、被測定物に対して相対移動可能壜検尚
響を備え、被測定物と検出ａｔ相対移動畜せ九時の検出
−の出力から被測定物Ｏ廖状會知為ようｋし九廖状測定
装置の改良に関する。
１１９体褒状の被測定物を回転移動すゐ九めの、被測定
物が職置畜れる回転テーブル等Ｏ園転移動ｌｌ１ｌＩと
、被測定物に先端が接触畜れる接触子を有す為、１１１
１配置された検出器とを備え、被ｍ置物ｔ１１転移動さ
せ九時Ｏ検出−の出力から被測定物Ｏ真円からＯずれを
知ゐようにした真円度ｉｉｍ機ｉｊｘｇＲもれて−る・
このような真円度測庫機に用−られて−暴ａ転移動機構
、例えば、被測定物が職置されゐ回転テーブルには、少
なくとも該回転テーブルを回転可能とするための遊隙に
起因する、回転テーブルの軸振れ、偏心等が存在してお
り、従って、前記検出器の出力は、被測定物の形状に対
応すゐ信号に、回転移動機構の遊隙に起因する信号が重
畳されたものとなっている。従って、従来の真円度測定
機Ｋかいては、回転移動機構の遊隙による測定誤着を防
止すゐべく、回転テーブルの軸振れ、偏心等管可能な限
砂小畜（するようにしているが、そ０ためには、回転テ
ーブルの軸受部分を非常に精密に仕上げ為必要があり、
製造ブストが高くなってし壇う・しかも、回転テーブル
を回転可能な状態とするためには、最小限の遊瞭の存在
が必要であシ、このような遊隙ｔ−排除してしまうとと
嬬不可能である・特に、測定精度として数μｍオーダを
要求される場合には、回転テーブルの遊隙に起因する誤
差管解消することは不可能である・ 一方、回転移動機構０１１１１１Ｊ：生ずる偏心等によ
る誤差を、測定機補正するｔのとして、特公昭４２−！
＠８７４量で示される如く、１１ｍ＠Ｏｍ電で得大測定
値Ｏ最小値に積分値（平場値）を加えることによって仮
想円を作成し、２回１ＩＯＩＩｌｊｉ［で該仮想円とＩ
Ｉｌ窺値を比較するととＫよって、回転移動機構の誤差
ｔ−櫂正するようにした形状誤差検出装置％ｍａｔ畜れ
ているが、装置が非常に複雑となるだけでなく、絶対値
を知ゐことができず、真円に対す１誤Ｉ１１がｉｗ＊で
暑ないという聞題点を有し九〇 本発明は１前記従来の欠点を解消するぺ（な畜れ九もＯ
で、簡単な構成によシ、ＩＩ９＃移動機構の彰響會受け
１に％Ａ被濶定置物１４０廖状を容易に得ることがで暑
る形状測定装置を提供するζ之Ｖ？目的とする・ 本発明は、被測定物に対して相対移動可能な検８５Ｗを
備え、被測定物と検出ａｔ相対移動させた時の検出−の
出力から被測定物の形状を知るようにした形状測定装置
において、前記被測定物に一体的に固定器れる、被測定
物に対応ずゐ形状の基準体と、前記検ＩＭＩＩｌに一体
的Ｋｉｌ定され、前記基準体に対して、被測定物に対す
為前記検出器の相対移動と同様の相対移動を行なう基準
体積Ｉｊ！ＩＩＩＩとを設け、前記検出器の出力を前記
基準体検出ＩＩＯ出力で補正するようにして１、前記［
９’を達成し九もので魯る・ 又、前記被測定物及び基準体を、相対移動機構によ〕移
動すみよ５にし、前記検ｔＢｌｌ及び基準体検出響會、
調定配置するようにしたもＯである０形 更に、前記被測定物Ｏ形状が回転体ｌ状である場合に、
前記基準体Ｏ形状ｔ−Ｐｉ形とし、前記被測定物及び基
準体を１回転移動機構によｅ１ｍ＆移動するようにし大
ものである０ 以下図面を参照して、本発＠０実施例ｔｌｌｐｇに説明
すゐ・ 享発＠Ｏ第１実施例は、第１図及び第２図に示す如く、
、ｇｌ＠ｌ状体状えば、円筒状の被測定物１Ｇが噴量さ
れる、軸受１ｇＫよりてベース１４Ｋ１１転自＃！に支
持畜れた回転テーブル１６と、ｌＩ［ｇｌ＠テーブル！
・上Ｅ１ｍ置された被測定物１００内屑１１に所定圧で
肖接す為方向に付勢てれ圧接触子１＄ａが、アーム１ｓ
ｂｏ先端に支持畜れて−る検出１１１１８とを備え、被
測定物１０ｔ−回転テーブル１６によ）８ｍ＠移動させ
良陣の検出器１８０出力から被測定物１００形状Ｏ真円
からのずれを知るようにした真円度測定機にシいて、前
記回転テーブル１ ｍｔ）Ｈ＠軸Ｘ７０下端にねじ２０
によｊｌ［定器れた、被測定物１０と共に回転移動畜れ
ゐ球状の基準体１１１雪と、前記検出器１８と一体的Ｋ
ｌｌ定され良、接触子１！４１がアーム２４ｂの先端に
支持畜れて％／％る基準体検出−２４と、前記検出１１
１８０出力と前記基準体検出＠２４の出力管加算し、更
に、基準体言２０形状に対応する信号ｔＪ算す為演算装
置８６と、験演算装置２６Ｏ出力管記録す為、−転チヤ
ード２８畠を有する記―装置２８と１−設け、前記検出
器１８の出力を前記基準体検出−３４０聞力で補正する
ことによって、回転テーブルＯ道瞭等Ｏ影響管受けない
被測定物１０の真Ｏ廖状が記Ｓａｔ雪８０ａ＆チャート
２８１上に記＃Ｉ″ｆｉれ纂ようにし九４０でめる〇前
記検出１１！１８及び基準体検出量２４は、いずれモ、
接触子１８ａｓ２４１０位置、即ち、アーム１ｌｌｂ、
！４ｂＯ送や出し量から、被測定物１０の内面溶状、或
いは、基準体２２の外園形状！−出力する１５に畜れて
いる。従りて、検出ｔｓｘｓ。
物が職置畜れる回転テーブル等Ｏ園転移動ｌｌ１ｌＩと
、被測定物に先端が接触畜れる接触子を有す為、１１１
１配置された検出器とを備え、被ｍ置物ｔ１１転移動さ
せ九時Ｏ検出−の出力から被測定物Ｏ真円からＯずれを
知ゐようにした真円度ｉｉｍ機ｉｊｘｇＲもれて−る・
このような真円度測庫機に用−られて−暴ａ転移動機構
、例えば、被測定物が職置されゐ回転テーブルには、少
なくとも該回転テーブルを回転可能とするための遊隙に
起因する、回転テーブルの軸振れ、偏心等が存在してお
り、従って、前記検出器の出力は、被測定物の形状に対
応すゐ信号に、回転移動機構の遊隙に起因する信号が重
畳されたものとなっている。従って、従来の真円度測定
機Ｋかいては、回転移動機構の遊隙による測定誤着を防
止すゐべく、回転テーブルの軸振れ、偏心等管可能な限
砂小畜（するようにしているが、そ０ためには、回転テ
ーブルの軸受部分を非常に精密に仕上げ為必要があり、
製造ブストが高くなってし壇う・しかも、回転テーブル
を回転可能な状態とするためには、最小限の遊瞭の存在
が必要であシ、このような遊隙ｔ−排除してしまうとと
嬬不可能である・特に、測定精度として数μｍオーダを
要求される場合には、回転テーブルの遊隙に起因する誤
差管解消することは不可能である・ 一方、回転移動機構０１１１１１Ｊ：生ずる偏心等によ
る誤差を、測定機補正するｔのとして、特公昭４２−！
＠８７４量で示される如く、１１ｍ＠Ｏｍ電で得大測定
値Ｏ最小値に積分値（平場値）を加えることによって仮
想円を作成し、２回１ＩＯＩＩｌｊｉ［で該仮想円とＩ
Ｉｌ窺値を比較するととＫよって、回転移動機構の誤差
ｔ−櫂正するようにした形状誤差検出装置％ｍａｔ畜れ
ているが、装置が非常に複雑となるだけでなく、絶対値
を知ゐことができず、真円に対す１誤Ｉ１１がｉｗ＊で
暑ないという聞題点を有し九〇 本発明は１前記従来の欠点を解消するぺ（な畜れ九もＯ
で、簡単な構成によシ、ＩＩ９＃移動機構の彰響會受け
１に％Ａ被濶定置物１４０廖状を容易に得ることがで暑
る形状測定装置を提供するζ之Ｖ？目的とする・ 本発明は、被測定物に対して相対移動可能な検８５Ｗを
備え、被測定物と検出ａｔ相対移動させた時の検出−の
出力から被測定物の形状を知るようにした形状測定装置
において、前記被測定物に一体的に固定器れる、被測定
物に対応ずゐ形状の基準体と、前記検ＩＭＩＩｌに一体
的Ｋｉｌ定され、前記基準体に対して、被測定物に対す
為前記検出器の相対移動と同様の相対移動を行なう基準
体積Ｉｊ！ＩＩＩＩとを設け、前記検出器の出力を前記
基準体検出ＩＩＯ出力で補正するようにして１、前記［
９’を達成し九もので魯る・ 又、前記被測定物及び基準体を、相対移動機構によ〕移
動すみよ５にし、前記検ｔＢｌｌ及び基準体検出響會、
調定配置するようにしたもＯである０形 更に、前記被測定物Ｏ形状が回転体ｌ状である場合に、
前記基準体Ｏ形状ｔ−Ｐｉ形とし、前記被測定物及び基
準体を１回転移動機構によｅ１ｍ＆移動するようにし大
ものである０ 以下図面を参照して、本発＠０実施例ｔｌｌｐｇに説明
すゐ・ 享発＠Ｏ第１実施例は、第１図及び第２図に示す如く、
、ｇｌ＠ｌ状体状えば、円筒状の被測定物１Ｇが噴量さ
れる、軸受１ｇＫよりてベース１４Ｋ１１転自＃！に支
持畜れた回転テーブル１６と、ｌＩ［ｇｌ＠テーブル！
・上Ｅ１ｍ置された被測定物１００内屑１１に所定圧で
肖接す為方向に付勢てれ圧接触子１＄ａが、アーム１ｓ
ｂｏ先端に支持畜れて−る検出１１１１８とを備え、被
測定物１０ｔ−回転テーブル１６によ）８ｍ＠移動させ
良陣の検出器１８０出力から被測定物１００形状Ｏ真円
からのずれを知るようにした真円度測定機にシいて、前
記回転テーブル１ ｍｔ）Ｈ＠軸Ｘ７０下端にねじ２０
によｊｌ［定器れた、被測定物１０と共に回転移動畜れ
ゐ球状の基準体１１１雪と、前記検出器１８と一体的Ｋ
ｌｌ定され良、接触子１！４１がアーム２４ｂの先端に
支持畜れて％／％る基準体検出−２４と、前記検出１１
１８０出力と前記基準体検出＠２４の出力管加算し、更
に、基準体言２０形状に対応する信号ｔＪ算す為演算装
置８６と、験演算装置２６Ｏ出力管記録す為、−転チヤ
ード２８畠を有する記―装置２８と１−設け、前記検出
器１８の出力を前記基準体検出−３４０聞力で補正する
ことによって、回転テーブルＯ道瞭等Ｏ影響管受けない
被測定物１０の真Ｏ廖状が記Ｓａｔ雪８０ａ＆チャート
２８１上に記＃Ｉ″ｆｉれ纂ようにし九４０でめる〇前
記検出１１！１８及び基準体検出量２４は、いずれモ、
接触子１８ａｓ２４１０位置、即ち、アーム１ｌｌｂ、
！４ｂＯ送や出し量から、被測定物１０の内面溶状、或
いは、基準体２２の外園形状！−出力する１５に畜れて
いる。従りて、検出ｔｓｘｓ。
出力は、被測定物１０の真Ｏ内面形状に対応する形状信
号Ｄ１に、回転テーブル１＠ｅｉ！ＩＩＩＫよる誤差Δ
８１が加わったものとなゐｅ又、基準体検出器３４０Ｉ
Ｉ力は、基準体２Ｍｔ）外面形状に対応する形状信号り
、に、同じく回転テーブル１６０遊瞭によ為誤差−Δ８
婁が加わつ九もＯとなって−る・ここで、基準体積ｍ＠
２４０誤差にマイナスＷ号を付けたものは、被測定物１
０と基準体２２が、軸受１３ｔ−介してそ０両側に配設
畜れておシ、検ａｌｌｌｌｌｌと基準体検出器２４とで
社、誤差の方向が逆Ｋｅ＆と考えられるからで６石０前
記基準体！！２の形状は、摩状としておくと、ねじ２０
によ）基準体ｚｓｔａ転テーブルＯＩｉ１＠軸１１にｌ
ｌ電するｌ［Ｋ若千傾いても、基準寸法としての直径が
炭わもない九め、補正計算が容易であゐ・又、高精度Ｏ
基準体！入乎することも容易以下作層會１１＠する・測
定Ｋｌｌては、まず、ｌＩ＠テーブル１６上に被測定物
１０を固定し、検ｉｕｇｔｘｓｏ＠触子１１１ｍが被測
定物１００内馬面に廁接するように設定すると共に、Ｂ
Ｉ＠テーブル１＠ｔ）ＷＥ＠軸１１の下端に、ねじ２０
によ砂基単体！！ｔ−１１定すｈ ｏ Ｃ０１１１１ｓ
基準体２３に長穴２２１が廖、成されていゐＯで、被測
定物１０が回転テーブル１６に対して若干ずれて同定さ
れて％／％九場会Ｋか％／％”Ｃ％、これに対応して基
準体重３の位置をずらすむとによって、容易に対応でＩ
Ｉｈ・基準体ｓｓｏｗｗｔが終了した後、回転テーブル
１６をｌＩ＠畜せて測定を行なう・この際に検出１１１
１１から得られる信号は、被測定１物１０の、内！Ｉ形
状に対応する償−ｔＤｍに、回転テーブルｌｌｌＩＤ遊
隙に対応すみ娯羞Δ１１ｍ＃加えられ良も−Ｏと１って
いるロ一方１！！単体検出−１４０出力信号は、基準、
体２２０外ｗｗｉ状に対応す為信号Ｄ 、 Ｋ、同じ＜
ＷＡ転テーブル１６０遊蒙に対応する誤差−八８１が加
えられ九％のと′＆うて％ＡるＯ従って、演算装置２６
においては、次式に示す如く、前記検出−１８の出力信
号（Ｄ １＋Δ８１ ） Ｋｓ前記基準体検出器２４の
出力信号（Ｄｓ−Δ８雪）を加え、更に、予め正確に求
められてい為、基準体２ｆｌＯ外Ｉｆ形状に対応する信
号Ｄｓｌ引くことによって、被測定物１００真の内面溶
状Ｋ１１応する信号ＤＩを得る・ ＤＩ−（（ＤＩ＋Δ８ｔ）＋ｋ（Ｄａ−Δ８ ｍ ）
） −・１（１３シ・・・−ｐＤｚ−・−（１）こζで
係数には、被測定物１００内径と基準体２２の外ｌｌ０
ＩＩ異を傭圧する丸めの係数で６秒、両者が一致す為場
合には、ｌと畜れるＯこＯ演算装置鵞６０出力管記係装
置２８０回転チャート２８ｍ上置記−す為ことによって
、回１テーブルｏｐｓ差の影響を受けない被測定物の真
の内面形状を得ることがで暑るＯなお、第２図に破線人
で示す如く、基準体形状も重畳表示することによって、
被測定物の形状（実１１１Ｂ）との比較を容易とするこ
とも可能であるＯ 尚、前記実施４１１１においては、基準体！！２が球状
と畜れ、回転テーブル１６０回転軸１γＯ下端に１１１
１１１１れて％１％九が、基準体の形状、配設位置はこ
れＫ１ｍ１＊畜れず、例えば基準体を回転テーブル１６
と軸受１！０５ＩＫｌｉ定す為ことも可能であるＯこの
場合には、検ｔＭＩｌｌ１８出力におけｈ回転テーブル
ｌ１ｌＯ誤羞Δ８１０方向と、基準体検出Ｗ２４出力に
シける回転テーブル１６の誤差Δ８ｓＯ方肉が一致す↓
Ｏで、演算装置２６におけゐ演算は、次式の如くと１に
為０ １）１ ｓｗ （（Ｄ Ｉ＋Δ８ｕ）−ｋ（Ｄｓ＋Δ８
ｇ））ニー％、Ｄ ｔ・、・・十に島−一（２） 叉、基準体を電路し、ＩＩ＠テーブル１６の外周ｗ或い
はＩＩ＠軸１フＯ外周面自体を基準体として利用すみこ
とも可能であ石拳 亭発［０第２実施例を第８図及び第４図に示すＯ本実施
例は、被測定物３０が配設されるｉｉｉ＊テーブル３ｓ
と、被測定物３０に対して直轄移動可能な、接腋子＄４
＃を有すゐ検出ｌｌ３４と、該検出器８４！１１１８１
１定テープｖｓｘに対して直線的に相対移動す為ためＯ
ｔＳ送９装置ｓ６と！雪見翫検出１１８４を直轄送〉装
置３・によ）直線的に移動させた時Ｏ検出［Ｉ＄４０ａ
４力から被測定ｉ３０の真直線からのずれ、即ち真直度
１＊るようにした真直度測定１１において、前記固定テ
ーブル３！Ｏ表面を基準１１８２ｍとす為と共に、前記
検出器３４内に、前記基準ＷｉＢ２ａＫ当接する接触子
３４ｂｔ−設け、前記接触子ｓａｇｏ出力を前記接触子
３４ｂＯ出力で被圧することによって、直轄送り装置ｓ
６の廖響を受けない被測定物ｓＯの真Ｏ廖状が得られる
ようＫしたもＯである。
号Ｄ１に、回転テーブル１＠ｅｉ！ＩＩＩＫよる誤差Δ
８１が加わったものとなゐｅ又、基準体検出器３４０Ｉ
Ｉ力は、基準体２Ｍｔ）外面形状に対応する形状信号り
、に、同じく回転テーブル１６０遊瞭によ為誤差−Δ８
婁が加わつ九もＯとなって−る・ここで、基準体積ｍ＠
２４０誤差にマイナスＷ号を付けたものは、被測定物１
０と基準体２２が、軸受１３ｔ−介してそ０両側に配設
畜れておシ、検ａｌｌｌｌｌｌと基準体検出器２４とで
社、誤差の方向が逆Ｋｅ＆と考えられるからで６石０前
記基準体！！２の形状は、摩状としておくと、ねじ２０
によ）基準体ｚｓｔａ転テーブルＯＩｉ１＠軸１１にｌ
ｌ電するｌ［Ｋ若千傾いても、基準寸法としての直径が
炭わもない九め、補正計算が容易であゐ・又、高精度Ｏ
基準体！入乎することも容易以下作層會１１＠する・測
定Ｋｌｌては、まず、ｌＩ＠テーブル１６上に被測定物
１０を固定し、検ｉｕｇｔｘｓｏ＠触子１１１ｍが被測
定物１００内馬面に廁接するように設定すると共に、Ｂ
Ｉ＠テーブル１＠ｔ）ＷＥ＠軸１１の下端に、ねじ２０
によ砂基単体！！ｔ−１１定すｈ ｏ Ｃ０１１１１ｓ
基準体２３に長穴２２１が廖、成されていゐＯで、被測
定物１０が回転テーブル１６に対して若干ずれて同定さ
れて％／％九場会Ｋか％／％”Ｃ％、これに対応して基
準体重３の位置をずらすむとによって、容易に対応でＩ
Ｉｈ・基準体ｓｓｏｗｗｔが終了した後、回転テーブル
１６をｌＩ＠畜せて測定を行なう・この際に検出１１１
１１から得られる信号は、被測定１物１０の、内！Ｉ形
状に対応する償−ｔＤｍに、回転テーブルｌｌｌＩＤ遊
隙に対応すみ娯羞Δ１１ｍ＃加えられ良も−Ｏと１って
いるロ一方１！！単体検出−１４０出力信号は、基準、
体２２０外ｗｗｉ状に対応す為信号Ｄ 、 Ｋ、同じ＜
ＷＡ転テーブル１６０遊蒙に対応する誤差−八８１が加
えられ九％のと′＆うて％ＡるＯ従って、演算装置２６
においては、次式に示す如く、前記検出−１８の出力信
号（Ｄ １＋Δ８１ ） Ｋｓ前記基準体検出器２４の
出力信号（Ｄｓ−Δ８雪）を加え、更に、予め正確に求
められてい為、基準体２ｆｌＯ外Ｉｆ形状に対応する信
号Ｄｓｌ引くことによって、被測定物１００真の内面溶
状Ｋ１１応する信号ＤＩを得る・ ＤＩ−（（ＤＩ＋Δ８ｔ）＋ｋ（Ｄａ−Δ８ ｍ ）
） −・１（１３シ・・・−ｐＤｚ−・−（１）こζで
係数には、被測定物１００内径と基準体２２の外ｌｌ０
ＩＩ異を傭圧する丸めの係数で６秒、両者が一致す為場
合には、ｌと畜れるＯこＯ演算装置鵞６０出力管記係装
置２８０回転チャート２８ｍ上置記−す為ことによって
、回１テーブルｏｐｓ差の影響を受けない被測定物の真
の内面形状を得ることがで暑るＯなお、第２図に破線人
で示す如く、基準体形状も重畳表示することによって、
被測定物の形状（実１１１Ｂ）との比較を容易とするこ
とも可能であるＯ 尚、前記実施４１１１においては、基準体！！２が球状
と畜れ、回転テーブル１６０回転軸１γＯ下端に１１１
１１１１れて％１％九が、基準体の形状、配設位置はこ
れＫ１ｍ１＊畜れず、例えば基準体を回転テーブル１６
と軸受１！０５ＩＫｌｉ定す為ことも可能であるＯこの
場合には、検ｔＭＩｌｌ１８出力におけｈ回転テーブル
ｌ１ｌＯ誤羞Δ８１０方向と、基準体検出Ｗ２４出力に
シける回転テーブル１６の誤差Δ８ｓＯ方肉が一致す↓
Ｏで、演算装置２６におけゐ演算は、次式の如くと１に
為０ １）１ ｓｗ （（Ｄ Ｉ＋Δ８ｕ）−ｋ（Ｄｓ＋Δ８
ｇ））ニー％、Ｄ ｔ・、・・十に島−一（２） 叉、基準体を電路し、ＩＩ＠テーブル１６の外周ｗ或い
はＩＩ＠軸１フＯ外周面自体を基準体として利用すみこ
とも可能であ石拳 亭発［０第２実施例を第８図及び第４図に示すＯ本実施
例は、被測定物３０が配設されるｉｉｉ＊テーブル３ｓ
と、被測定物３０に対して直轄移動可能な、接腋子＄４
＃を有すゐ検出ｌｌ３４と、該検出器８４！１１１８１
１定テープｖｓｘに対して直線的に相対移動す為ためＯ
ｔＳ送９装置ｓ６と！雪見翫検出１１８４を直轄送〉装
置３・によ）直線的に移動させた時Ｏ検出［Ｉ＄４０ａ
４力から被測定ｉ３０の真直線からのずれ、即ち真直度
１＊るようにした真直度測定１１において、前記固定テ
ーブル３！Ｏ表面を基準１１８２ｍとす為と共に、前記
検出器３４内に、前記基準ＷｉＢ２ａＫ当接する接触子
３４ｂｔ−設け、前記接触子ｓａｇｏ出力を前記接触子
３４ｂＯ出力で被圧することによって、直轄送り装置ｓ
６の廖響を受けない被測定物ｓＯの真Ｏ廖状が得られる
ようＫしたもＯである。
本実施例の作ＮＫついては前記第１実施例と基本的に同
一で番るめで説明は看略す為・以上説明し九遺勤、本発
明によれば、簡単な機構を用いて、相対移動機構の影響
を受けない被測定物ＯｘＯ形状を容易に得ゐことかで１
ｉゐという優れた効果を有する０
一で番るめで説明は看略す為・以上説明し九遺勤、本発
明によれば、簡単な機構を用いて、相対移動機構の影響
を受けない被測定物ＯｘＯ形状を容易に得ゐことかで１
ｉゐという優れた効果を有する０
第１ＩＩは、本発明に係ゐ形状測定装置Ｏｊ［１実施例
を示す平面図、第３図は、同じく一部ブロック線図會含
む断面図、第３図は、本発明に係る形状測定装置の第２
実施例管系す正面図、第４図は、第３ｍ！１のｆｆ−ｆ
ｆ纏に沿う断面図である。 １０％８０−一被測定物、１６−回転テーブル、１８．
３４・軸検聞響、 １ｍｍ５２４ａｔ、３４ｍ、８ａｂ−接触子、２２・−
基準体、２４・・・基準体検出器、２６二演算装置、！
８−・・記−装置、８２−一同定テーブル、３２ ｍ
−・・基準面、３６−・璽１１１１Ｄ装置・ 代理人 高 失 論 （？１か１名）′
を示す平面図、第３図は、同じく一部ブロック線図會含
む断面図、第３図は、本発明に係る形状測定装置の第２
実施例管系す正面図、第４図は、第３ｍ！１のｆｆ−ｆ
ｆ纏に沿う断面図である。 １０％８０−一被測定物、１６−回転テーブル、１８．
３４・軸検聞響、 １ｍｍ５２４ａｔ、３４ｍ、８ａｂ−接触子、２２・−
基準体、２４・・・基準体検出器、２６二演算装置、！
８−・・記−装置、８２−一同定テーブル、３２ ｍ
−・・基準面、３６−・璽１１１１Ｄ装置・ 代理人 高 失 論 （？１か１名）′
Claims (2)
- （１） 被測定物一対して相対移動可能表検出器を備
え、被測定物と検出器を相対移動させた時の検出器の出
力から被測定物の形状を知るようにし丸形状測定装置に
おいて、前記被測定物に一体的に固定される、被測定物
に対応する形状の基準体と、前記検出１１に一体的Ｋｆ
ｌ定され、前記基準体に対して、被測定物に対する前記
検出器の相対移動と同様の相対移動を行なう基準体検出
器とを設け、前記検出器の出力管前記基準体検出器の出
力で補正することによって、相対移動機構の影響を受け
ない被測定物の真の形状を得るようにしたことを特徴と
する形状測定装置０ - （２）前記被測定物及び基準体が、相対移動機構によ）
移動するようにされ、前艷検出器及び基準体検出器が、
固定配置されている特許請求の範囲第１項に記載の形状
測定装置０ （２）前記被濶電物Ｏ廖状が回転体形状であり、前記基
準□体Ｏ浄状−円形と畜れ、前記被測定物及び基準体が
、ｌｌＩ＠移動機構によ）同転移動するように−１１れ
てい為特許請求Ｏ範■第２頂に記載の形状側ｊ１１ｍｌ
ｌｌｅ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11822481A JPS5819504A (ja) | 1981-07-28 | 1981-07-28 | 形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11822481A JPS5819504A (ja) | 1981-07-28 | 1981-07-28 | 形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5819504A true JPS5819504A (ja) | 1983-02-04 |
Family
ID=14731288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11822481A Pending JPS5819504A (ja) | 1981-07-28 | 1981-07-28 | 形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5819504A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6080704A (ja) * | 1983-10-11 | 1985-05-08 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 立体物測定機 |
| JPS63182510A (ja) * | 1987-01-26 | 1988-07-27 | Toyota Motor Corp | 軸物センター穴の真円度簡易測定装置 |
-
1981
- 1981-07-28 JP JP11822481A patent/JPS5819504A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6080704A (ja) * | 1983-10-11 | 1985-05-08 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 立体物測定機 |
| JPS63182510A (ja) * | 1987-01-26 | 1988-07-27 | Toyota Motor Corp | 軸物センター穴の真円度簡易測定装置 |
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