JPS607379B2 - ウエハー加熱用治具 - Google Patents
ウエハー加熱用治具Info
- Publication number
- JPS607379B2 JPS607379B2 JP12070677A JP12070677A JPS607379B2 JP S607379 B2 JPS607379 B2 JP S607379B2 JP 12070677 A JP12070677 A JP 12070677A JP 12070677 A JP12070677 A JP 12070677A JP S607379 B2 JPS607379 B2 JP S607379B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon carbide
- wafer heating
- heating jig
- thickness
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Weting (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワェハー加熱用治具の改良に関するものである
。
。
一般に、この種の治具はウェハーの焼成、エッチングに
際して使用されるため、熱的及び化学的に安定な材料か
ら造られることが要求されている。
際して使用されるため、熱的及び化学的に安定な材料か
ら造られることが要求されている。
しかして、従来のゥェハー加熱用治具は炭素基村に熱的
、化学的に安定な炭化珪素被膜を形成したものが用いら
れているが、これを急熱急袷等の過酷な条件で使用する
と、炭化珪素被膜が剥離、クラックを発生して炭素基村
が露出し、基材中の種々の成分が揮散してウェハーに悪
影響を与える問題があった。
、化学的に安定な炭化珪素被膜を形成したものが用いら
れているが、これを急熱急袷等の過酷な条件で使用する
と、炭化珪素被膜が剥離、クラックを発生して炭素基村
が露出し、基材中の種々の成分が揮散してウェハーに悪
影響を与える問題があった。
この対策として気孔率の大きい、つまり繊密性に乏しい
炭化珪素被膜を形成し、急熱急冷によるクラックの発生
を防止することが考えられるが、反面繊密性が乏しいと
、内側の炭素基村中からガスが発生したり、機械的強度
が低下するなどの不都合さが生じ、抜本的な解決手段で
はない。このようなことから、本発明者は上記欠点を解
消するために鋭意研究を重ねた結果、上述した炭化珪素
被膜の剥離、クラックの発生がその厚さに基因すること
を究明し、炭素基材表面に形成する炭化珪素被膜を所定
の厚として、かつ繊密質とすることによって、急熱急冷
等の過酷な条件で使用しても炭化珪素被膜の剥離、クラ
ックの発生を防止できると共に、気密性が良好なゥェハ
−加熱用治臭を見し、出した。
炭化珪素被膜を形成し、急熱急冷によるクラックの発生
を防止することが考えられるが、反面繊密性が乏しいと
、内側の炭素基村中からガスが発生したり、機械的強度
が低下するなどの不都合さが生じ、抜本的な解決手段で
はない。このようなことから、本発明者は上記欠点を解
消するために鋭意研究を重ねた結果、上述した炭化珪素
被膜の剥離、クラックの発生がその厚さに基因すること
を究明し、炭素基材表面に形成する炭化珪素被膜を所定
の厚として、かつ繊密質とすることによって、急熱急冷
等の過酷な条件で使用しても炭化珪素被膜の剥離、クラ
ックの発生を防止できると共に、気密性が良好なゥェハ
−加熱用治臭を見し、出した。
即ち、本発明のウェハー加熱用捨臭は、炭素基材表面に
厚さ３０〜４００仏仇で、膜厚方向に貫通する連続気孔
の存在しない通気度が零の綾密質炭化珪素被膜を形成せ
しめてなるものである。
厚さ３０〜４００仏仇で、膜厚方向に貫通する連続気孔
の存在しない通気度が零の綾密質炭化珪素被膜を形成せ
しめてなるものである。
本発明における繊密質炭化珪素被膜の厚さを上記範囲に
限定した理由は、その厚さを３０一肌未満にすると、炭
素基材全面を通気度が零の炭化珪素被膜で被覆すること
が困難となり、かつ仮に被覆できても腰厚のばらつきに
より極めて薄い部分が生じて使用中の種々の薬品による
エッチングやゥェハーによる摩耗によって該部分が局所
的に除去され、いずれにしても得られた指具が通気性を
生じるようになる。
限定した理由は、その厚さを３０一肌未満にすると、炭
素基材全面を通気度が零の炭化珪素被膜で被覆すること
が困難となり、かつ仮に被覆できても腰厚のばらつきに
より極めて薄い部分が生じて使用中の種々の薬品による
エッチングやゥェハーによる摩耗によって該部分が局所
的に除去され、いずれにしても得られた指具が通気性を
生じるようになる。
一方、前記炭化珪素被膜の厚さが４００山肌を越えると
、急熱急冷等の苛酷な条件で使用した場合、スポールに
より剥離、クラックを生じる。ここで、通気性はコーテ
ィング品を湯で煮沸して、気泡の発生の有無で判断した
。
、急熱急冷等の苛酷な条件で使用した場合、スポールに
より剥離、クラックを生じる。ここで、通気性はコーテ
ィング品を湯で煮沸して、気泡の発生の有無で判断した
。
なお、本発明のウェハー加熱用捨具を製造するためには
、たとえば炭素基材に炭素源とシリコン源を導入し、減
圧下で加熱して炭素とシリコンとを反応させて、該基村
表面に所定厚さの炭化珪素をコーティングすることによ
り得られる。
、たとえば炭素基材に炭素源とシリコン源を導入し、減
圧下で加熱して炭素とシリコンとを反応させて、該基村
表面に所定厚さの炭化珪素をコーティングすることによ
り得られる。
次に、本発明に実施例を説明する。
実施例１〜７及び比較例１〜４
構成粒子が０．０３〜０．１仏の、常温から４００ｏｏ
までの平均熱膨脹係数４．０〜４．２×１０‐６（１／
００）、寸法１００×５５０×１仇舷の炭素基材に、シ
リコン源と炭素源を導入し、減圧下で所望時間加熱せし
めて下記表に示す如き膜厚の異なる繊密質炭化珪素被膜
を有する１１種のウェハー加熱用沿具を得た。
までの平均熱膨脹係数４．０〜４．２×１０‐６（１／
００）、寸法１００×５５０×１仇舷の炭素基材に、シ
リコン源と炭素源を導入し、減圧下で所望時間加熱せし
めて下記表に示す如き膜厚の異なる繊密質炭化珪素被膜
を有する１１種のウェハー加熱用沿具を得た。
しかして、１１種のウェハー加熱用治臭を各々５個づつ
用意し、これらを高周波炉で常温から１４００℃まで５
分間で昇温し、５分間保持後常温下に曝らす急熱急冷試
験を５回繰り返し行ない、各々の拾具の炭化珪素被膜の
状態を調べた。その結果を下記表に併記した。表 本実施例及び比較例においては、構成粒子が「０．０３
〜０．１仏凧、常温から４００００までの平均熱膨脹係
数４．０〜４．２×１０‐６（１／〇○）の炭素基材を
用いたが、炭素基材はこの範囲のものに限らず、例えば
平均粒径５．０〜１０．０仏肌，４００００までの平均
熱膨脹係数４．３〜５．０×１０‐６（１／℃）のもの
を用いても前記表と同等の効果が認められるものである
。
用意し、これらを高周波炉で常温から１４００℃まで５
分間で昇温し、５分間保持後常温下に曝らす急熱急冷試
験を５回繰り返し行ない、各々の拾具の炭化珪素被膜の
状態を調べた。その結果を下記表に併記した。表 本実施例及び比較例においては、構成粒子が「０．０３
〜０．１仏凧、常温から４００００までの平均熱膨脹係
数４．０〜４．２×１０‐６（１／〇○）の炭素基材を
用いたが、炭素基材はこの範囲のものに限らず、例えば
平均粒径５．０〜１０．０仏肌，４００００までの平均
熱膨脹係数４．３〜５．０×１０‐６（１／℃）のもの
を用いても前記表と同等の効果が認められるものである
。
Claims (1)
- １ 炭素基材表面に厚さ３０〜４００μｍで、膜厚方向
に貫通する連続気孔の存在しない通気度が零の緻密質炭
化珪素被膜を形成せしめてなるウエハー加熱用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12070677A JPS607379B2 (ja) | 1977-10-07 | 1977-10-07 | ウエハー加熱用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12070677A JPS607379B2 (ja) | 1977-10-07 | 1977-10-07 | ウエハー加熱用治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5453959A JPS5453959A (en) | 1979-04-27 |
| JPS607379B2 true JPS607379B2 (ja) | 1985-02-23 |
Family
ID=14792965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12070677A Expired JPS607379B2 (ja) | 1977-10-07 | 1977-10-07 | ウエハー加熱用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS607379B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61128474U (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-12 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03217016A (ja) * | 1990-01-23 | 1991-09-24 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体製造装置用部材 |
-
1977
- 1977-10-07 JP JP12070677A patent/JPS607379B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61128474U (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-12 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5453959A (en) | 1979-04-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6169116A (ja) | シリコンウエハ−の連続ｃｖｄコ−テイング用サセプター | |
| US3249462A (en) | Metal diffusion coating utilizing fluidized bed | |
| WO2007111058A1 (ja) | プラズマ処理装置用部材およびその製造方法 | |
| KR940703936A (ko) | 초경질막 피복부재 및 그 제조방법(superhard film-coated member and method of manufacturing the same) | |
| JPS607379B2 (ja) | ウエハー加熱用治具 | |
| JPH0251225A (ja) | 半導体拡散炉用炉芯管 | |
| US4753716A (en) | Selective conversion of polymer coatings to ceramics | |
| JP2821212B2 (ja) | 耐火材料及びその製造方法 | |
| JPH05235149A (ja) | 防着板及び内部治具 | |
| US4196022A (en) | Surface hardening method | |
| EP0464447A1 (en) | A SiC component and a method for making the same | |
| EP4378912A1 (en) | Freestanding ceramic tile manufacture | |
| EP0039774B1 (en) | Refractory structure and process for making it | |
| JPH0693453A (ja) | サセプタ | |
| JPH0665629B2 (ja) | 半導体製造装置用セラミックス材およびその製造方法 | |
| JPH0736391B2 (ja) | 半導体製造装置用ウエハー加熱装置 | |
| WO2022118623A1 (ja) | 露光装置用部材、露光装置用部材の製造方法、及び、複合型露光装置用部材 | |
| JP3257645B2 (ja) | セラミック装置の製造方法 | |
| JPS6251419B2 (ja) | ||
| JPH06122579A (ja) | ガラス状炭素被覆物品の製造法 | |
| JP2007073823A (ja) | セラミックス被覆材およびその製造方法 | |
| JPS62154651A (ja) | 集積回路基板 | |
| JP2002362985A (ja) | セラミックコーティング部材とその製造方法 | |
| JPH09256168A (ja) | グラファイトへのコーティング法 | |
| JPS5916969A (ja) | 窒化硼素被覆部品 |