JPS6071085A - 過酸化水素の除去方法 - Google Patents
過酸化水素の除去方法Info
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- JPS6071085A JPS6071085A JP17991783A JP17991783A JPS6071085A JP S6071085 A JPS6071085 A JP S6071085A JP 17991783 A JP17991783 A JP 17991783A JP 17991783 A JP17991783 A JP 17991783A JP S6071085 A JPS6071085 A JP S6071085A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は、液中の過酸化水素を迅速かつ確実に除去す
る方法に関する。
る方法に関する。
液中の過酸化水素を除去する方法には、還元剤を添加す
る方法と、活性炭と接触させる方法があった。還元剤と
しては、亜硫酸ナトリウム、亜硫酸水素ナトリウム、チ
オ硫酸ナトリウムなどが用いられ、これらを添加すると
過酸化水素との反応速度がはやく、確実に除去できるけ
れども、還元剤の添加量のコントロールが難しく、過酸
化水素を確実に除去するためには、過剰量を添加する必
要があり、還元剤が液中に残留する欠点があった。また
。
る方法と、活性炭と接触させる方法があった。還元剤と
しては、亜硫酸ナトリウム、亜硫酸水素ナトリウム、チ
オ硫酸ナトリウムなどが用いられ、これらを添加すると
過酸化水素との反応速度がはやく、確実に除去できるけ
れども、還元剤の添加量のコントロールが難しく、過酸
化水素を確実に除去するためには、過剰量を添加する必
要があり、還元剤が液中に残留する欠点があった。また
。
液中のイオン量が増加する欠点があった。
活性炭と接触させる方法は１通常、充填層を形成してこ
れに通液するが、空間速度（ＳＶ）が最大でも２０ （
１／ｈｒ）程度しかとれず、装置が大型化する欠点があ
った。また、長い間使用すると、活性炭が崩壊して処理
液中に流出したり、充填層に細菌などの微生物が繁殖し
、処理液中に流出する欠点があった。
れに通液するが、空間速度（ＳＶ）が最大でも２０ （
１／ｈｒ）程度しかとれず、装置が大型化する欠点があ
った。また、長い間使用すると、活性炭が崩壊して処理
液中に流出したり、充填層に細菌などの微生物が繁殖し
、処理液中に流出する欠点があった。
本発明は、処理液中のイオン量を増加することなく、ま
た微生物を繁殖させることなく、簡単な操作で迅速かつ
確実に過酸化水素を除去する方法を提供することを目的
とする。
た微生物を繁殖させることなく、簡単な操作で迅速かつ
確実に過酸化水素を除去する方法を提供することを目的
とする。
本発明は、過酸化水素を含有する液をパラジウム触媒と
接触させることを特徴とする過酸化水素の除去方法であ
る。
接触させることを特徴とする過酸化水素の除去方法であ
る。
過酸化水素を含有する液としては、用廃水系に過酸化水
素を添加し、酸化、還元、殺菌、洗浄を行った処理液ま
たは排液がある。例えば、過酸化水素の存在下に紫外線
を照射し有機物を酸化分解した処理水、フェントン試薬
を用いて廃水処理を行った処理水、６価クロムを含有す
る廃水を過酸化水素で還元処理した処理水、逆浸透膜、
限外沖過膜、イオン交換膜、透析膜などを過酸化水素で
殺菌または洗浄した廃液などがある。本発明法は、特に
。
素を添加し、酸化、還元、殺菌、洗浄を行った処理液ま
たは排液がある。例えば、過酸化水素の存在下に紫外線
を照射し有機物を酸化分解した処理水、フェントン試薬
を用いて廃水処理を行った処理水、６価クロムを含有す
る廃水を過酸化水素で還元処理した処理水、逆浸透膜、
限外沖過膜、イオン交換膜、透析膜などを過酸化水素で
殺菌または洗浄した廃液などがある。本発明法は、特に
。
液中に無機塩類の存在しない液に好適である。
例えば、半導体製造工程から排出される洗浄廃水を超純
水として回収再利用するため、過酸化水素の存在下に紫
外線を照射し有機物を酸化分解した処理水に好適である
。
水として回収再利用するため、過酸化水素の存在下に紫
外線を照射し有機物を酸化分解した処理水に好適である
。
（３）
パラジウム触媒は５金属パラジウム、酸化パラジウム、
水酸化パラジウムなどのパラジウム化合物のほか、イオ
ン交換樹脂やアルミナ、活性炭、ゼオライトなどの担体
にパラジウムを担持させた触媒も用いることができる。
水酸化パラジウムなどのパラジウム化合物のほか、イオ
ン交換樹脂やアルミナ、活性炭、ゼオライトなどの担体
にパラジウムを担持させた触媒も用いることができる。
担持量は、担体に対し通常０．１〜１０％程度である。
特に、担体としてアニオン交換樹脂を用いると、少ない
パラジウム担持量で優れた効果を発揮するので好ましい
。アニオン交換樹脂は、スチレン−ジビニルベンゼン共
重合体を母体とした強塩基性アニオン交換樹脂が適当で
ある。アニオン交換樹脂にパラジウムを担持させるには
、アニオン交換樹脂をカラムに充填し、次いで塩化パラ
ジウムの酸性溶液を通水すればよい。その際、パラジウ
ム担持量は０２〜１０７−Ｐｄ／８−樹脂が好ましく、
さらに好ましくは０．５〜６デーＰｄ１ｅ−樹脂である
。
パラジウム担持量で優れた効果を発揮するので好ましい
。アニオン交換樹脂は、スチレン−ジビニルベンゼン共
重合体を母体とした強塩基性アニオン交換樹脂が適当で
ある。アニオン交換樹脂にパラジウムを担持させるには
、アニオン交換樹脂をカラムに充填し、次いで塩化パラ
ジウムの酸性溶液を通水すればよい。その際、パラジウ
ム担持量は０２〜１０７−Ｐｄ／８−樹脂が好ましく、
さらに好ましくは０．５〜６デーＰｄ１ｅ−樹脂である
。
アニオン交換樹脂のイオン形は、ＣＩ形でもよいがＯＨ
形の方が処理能力が大きいので好（４） ましい。ＯＨ形とするには、前述のように塩化パラジウ
ムを通液してパラジウム化合物したＣ１形のアニオン交
換樹脂に水酸化す） ＩＪウムなどのアルカリ液を通液
するとよい。
形の方が処理能力が大きいので好（４） ましい。ＯＨ形とするには、前述のように塩化パラジウ
ムを通液してパラジウム化合物したＣ１形のアニオン交
換樹脂に水酸化す） ＩＪウムなどのアルカリ液を通液
するとよい。
オだ、パラジウムを担持したアニオン交換樹脂を、ヒド
ラジン溶液またはヒドラジン水酸化す） ＩＪウムとの
混合溶液と接触させたのち水洗したものを用いることも
できる。ヒドラジン溶液の濃度は０．２〜１０％程度、
混合溶液の水酸化す） ＩＪウム溶液の濃度は０．２〜
５％程度でよい。接触方法は、浸漬法でもカラム充填通
液法のいずれでもよい。
ラジン溶液またはヒドラジン水酸化す） ＩＪウムとの
混合溶液と接触させたのち水洗したものを用いることも
できる。ヒドラジン溶液の濃度は０．２〜１０％程度、
混合溶液の水酸化す） ＩＪウム溶液の濃度は０．２〜
５％程度でよい。接触方法は、浸漬法でもカラム充填通
液法のいずれでもよい。
パラジウム触媒の形状は、粉末状、粒状。
ベレット状などいずれの形状でも使用できる。
粉末状のものを使用するときには反応槽を設けて、この
反応槽に過酸化水素を含有する液を導入し、触媒を適自
負添加する。粒状、ペレット状のものけカラムなどに充
填し、連続的に被処理液を通液するとよい、もちろん。
反応槽に過酸化水素を含有する液を導入し、触媒を適自
負添加する。粒状、ペレット状のものけカラムなどに充
填し、連続的に被処理液を通液するとよい、もちろん。
粉末状のものでもカラムに充填して流動床状態で運転す
ることができる。
ることができる。
過酸化水素を含有する液をパラジウム触媒と接触させる
と、過酸化水素は水と酸素に分解される。接触方法は、
浸漬法でもよいがカラム充填通液法が好ましい。パラジ
ウム触媒をカラムに充填し、被処理液を上向流または下
向流で通液する。通液のＳＶはパラジウム触媒の種類、
担体の種類および形態により異なる。アニオン交換樹脂
を担体とした場合。
と、過酸化水素は水と酸素に分解される。接触方法は、
浸漬法でもよいがカラム充填通液法が好ましい。パラジ
ウム触媒をカラムに充填し、被処理液を上向流または下
向流で通液する。通液のＳＶはパラジウム触媒の種類、
担体の種類および形態により異なる。アニオン交換樹脂
を担体とした場合。
ＣＩ形では５ＶＩＯ〜５０（１／ｈｒ）、ＯＨ形Ｔｉｊ
ＳＶＩ Ｏ〜５００ （１／ｈｒ）とすることができる
。
ＳＶＩ Ｏ〜５００ （１／ｈｒ）とすることができる
。
また、パラジウムを担持したアニオン交換樹脂をヒドラ
ジン溶液またはヒドラジン−水酸化ナトリウム混合溶液
で処理した場合は、５ｖ１０〜５００ （１／ｈｒ ）
とすることができる。
ジン溶液またはヒドラジン−水酸化ナトリウム混合溶液
で処理した場合は、５ｖ１０〜５００ （１／ｈｒ ）
とすることができる。
本発明によれば、処理液中のイオン量を増加することな
く、また、微生物を繁殖させることなく、単に被処理液
をパラジウム触媒と接触させることにより迅速かつ確実
に過酸化水素を除去することができ、カラム充填通液法
の場合、Ｓｖを大きくすることができるので設備が小型
で設置面積が少なくてよいなどの利点がある。また、過
酸化水素を確実に除去できるため、処理液の下流側に悪
影響を与えない。例えは、半導体洗浄廃水から超純水を
回収する場合、通常、廃水を活性炭吸着処理し、さらに
イオン交換樹脂により脱塩したのち、過酸化水素の存在
下に紫外線全照射して有機物を分解し、逆浸透膜処理、
超純水サブシステム（紫外線殺菌装置→混床式イオン交
換装宜→限外濾過装置）を経て超純水を回収している。
く、また、微生物を繁殖させることなく、単に被処理液
をパラジウム触媒と接触させることにより迅速かつ確実
に過酸化水素を除去することができ、カラム充填通液法
の場合、Ｓｖを大きくすることができるので設備が小型
で設置面積が少なくてよいなどの利点がある。また、過
酸化水素を確実に除去できるため、処理液の下流側に悪
影響を与えない。例えは、半導体洗浄廃水から超純水を
回収する場合、通常、廃水を活性炭吸着処理し、さらに
イオン交換樹脂により脱塩したのち、過酸化水素の存在
下に紫外線全照射して有機物を分解し、逆浸透膜処理、
超純水サブシステム（紫外線殺菌装置→混床式イオン交
換装宜→限外濾過装置）を経て超純水を回収している。
その際、紫外線照射処理後に過酸化水素が残留すると、
逆浸透膜を劣化させるため超純水の水質が低下すること
になる。
逆浸透膜を劣化させるため超純水の水質が低下すること
になる。
本発明を適用すれは、この紫外線照射処理後に残留する
過酸化水素をイオン量を増加することなく除去できるの
で、高純度の超純水を得ることができる。
過酸化水素をイオン量を増加することなく除去できるの
で、高純度の超純水を得ることができる。
実施例エ
パラジウムを担持したＣＩ形強塩基性アエ（７）
オン交換樹脂（ｌｅｗａｔｉｔ ＱＣ１０４５：バイエ
ル社商標）、をガラス製カラムに５０ｍ１充填し、純水
に過酸化水素を４．６■／８添加した液を５ｖ４ｏ（ｔ
／ｈｒ）で下向流通水した。結果を第１表に示す。
ル社商標）、をガラス製カラムに５０ｍ１充填し、純水
に過酸化水素を４．６■／８添加した液を５ｖ４ｏ（ｔ
／ｈｒ）で下向流通水した。結果を第１表に示す。
なお、この樹脂のパラジウム担持量は１７ダーＰｄ ／
ｍｌ３−樹脂であった。
ｍｌ３−樹脂であった。
第１表
実施例２
１〕ｗａｔｉｔ ＱＣ１０４５のＣ１形樹脂２０ｍ１を
４％ＮａＯＨ溶液ｘｏｏｍＡ！に１６時間浸漬し、ＯＩ
（形とした。次に、この樹脂を水洗したのち。
４％ＮａＯＨ溶液ｘｏｏｍＡ！に１６時間浸漬し、ＯＩ
（形とした。次に、この樹脂を水洗したのち。
ガラス製カラムに充填し、ＳＶ １ｏ Ｏ（ｉ／ｈｒ）
で原水を下向流通水した。また、ＣＩ形樹脂に（８〕 についても同条件で通水した。原水および処理水の水質
を第２表に示す。
で原水を下向流通水した。また、ＣＩ形樹脂に（８〕 についても同条件で通水した。原水および処理水の水質
を第２表に示す。
第２表
第２表から、パラジウムを担持したアニオン交換樹脂を
ＯＲ形にすると、Ｓｖを大きくしてもＨ２Ｏ２の除去率
は高いことがわかる。
ＯＲ形にすると、Ｓｖを大きくしてもＨ２Ｏ２の除去率
は高いことがわかる。
実施例３
Ｌｅｗａｔｉｔ ＱＣ１０４５のＣＩ形樹脂２０ｒｌｌ
ｆ２％Ｎ２Ｈ４溶液１００ｍ１に１６時間浸漬シタ。
ｆ２％Ｎ２Ｈ４溶液１００ｍ１に１６時間浸漬シタ。
次に、この樹脂を水洗したのち、ガラス製カラムに充填
し、ｓＶ １ ｏ ｏ （ｉ／ｈｒ）で原水を下向流通
水した。また、ヒドラジン処理しないＣ１形樹脂につい
ても同条件で通水した。原水および処理水の水質を第３
表に示す。
し、ｓＶ １ ｏ ｏ （ｉ／ｈｒ）で原水を下向流通
水した。また、ヒドラジン処理しないＣ１形樹脂につい
ても同条件で通水した。原水および処理水の水質を第３
表に示す。
第３表
第３表から、ヒドラジン接触処理した樹脂は、ＳＶを犬
きくしてもＨ２Ｏ２の除去率は高いことがわかる。
きくしてもＨ２Ｏ２の除去率は高いことがわかる。
実施例４
Ｌｅｗａ ｔ ｉ ｔ ＱＣ１０４５のＣＩ形樹脂を０
．５％ＮａＯＨ−２％Ｎ２Ｈ４混合溶液１００ｒｌＬｌ
に１６時間浸漬した。次にこの樹脂を水洗したのち、ガ
ラス製カラムに充填し、５ｖ１００（１／ｈｒ）で原水
を下向流通水した。ｔ−た、ＣＩ形のままの樹脂につい
ても同条件で通水した。原水および処理水の水質を第４
表に示す。
．５％ＮａＯＨ−２％Ｎ２Ｈ４混合溶液１００ｒｌＬｌ
に１６時間浸漬した。次にこの樹脂を水洗したのち、ガ
ラス製カラムに充填し、５ｖ１００（１／ｈｒ）で原水
を下向流通水した。ｔ−た、ＣＩ形のままの樹脂につい
ても同条件で通水した。原水および処理水の水質を第４
表に示す。
第４表
第４表から、Ｎａ１ｌ−Ｎ２Ｈ４混合溶液で処理した樹
脂は、Ｓｖを太きくしてもＨ２Ｏ２の除去率は高いこと
がわかる。
脂は、Ｓｖを太きくしてもＨ２Ｏ２の除去率は高いこと
がわかる。
出願人 栗田工業株式会社
〔１１〕
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）過酸化水素を含有する液をパラジウム触媒と接触さ
せることを特徴とする過酸化水素の除去方法。 ２）パラジウム触媒はアニオン交換樹脂な担体とするも
のである特許請求の範囲第１項記載の過酸化水素の除去
方法。 ３）アニオン交換樹脂はＯＨ形のものである特許請求の
範囲第２項記載の過酸化水素の除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17991783A JPS6071085A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | 過酸化水素の除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17991783A JPS6071085A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | 過酸化水素の除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6071085A true JPS6071085A (ja) | 1985-04-22 |
| JPS6235838B2 JPS6235838B2 (ja) | 1987-08-04 |
Family
ID=16074173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17991783A Granted JPS6071085A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | 過酸化水素の除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6071085A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0816294A3 (de) * | 1996-07-03 | 1998-06-10 | Bayer Ag | Verfahren zur Zerstörung oxidierender Substanzen in wässrigen Flüssigkeiten |
| KR100343972B1 (ko) * | 1999-11-25 | 2002-07-24 | 주식회사 유니테크 | 과산화수소 함유 폐수의 처리 방법 및 그 장치 |
| WO2009082008A1 (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-02 | Organo Corporation | 過酸化水素除去方法およびその装置、オゾン水製造方法およびその装置、並びに洗浄方法およびその装置 |
| JP2010069460A (ja) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Japan Organo Co Ltd | 過酸化水素低減方法、過酸化水素低減装置及び超純水製造装置並びに洗浄方法 |
| JP2011194402A (ja) * | 2004-03-31 | 2011-10-06 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置 |
| JP4860008B1 (ja) * | 2011-06-02 | 2012-01-25 | 株式会社アサカ理研 | 過酸化水素分解装置及び過酸化水素の分解方法 |
| JP2012063302A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Japan Organo Co Ltd | 超純水中の全有機炭素含有量の測定システム及び方法 |
| WO2021261144A1 (ja) * | 2020-06-23 | 2021-12-30 | オルガノ株式会社 | 水処理装置、超純水製造装置及び水処理方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB783590A (en) * | 1954-03-10 | 1957-09-25 | Laporte Chemical | Improvements in or relating to catalysts |
| JPS58139746A (ja) * | 1982-02-15 | 1983-08-19 | Agency Of Ind Science & Technol | イオン交換樹脂に担持した貴金属触媒の製造方法 |
-
1983
- 1983-09-28 JP JP17991783A patent/JPS6071085A/ja active Granted
Patent Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| GB783590A (en) * | 1954-03-10 | 1957-09-25 | Laporte Chemical | Improvements in or relating to catalysts |
| JPS58139746A (ja) * | 1982-02-15 | 1983-08-19 | Agency Of Ind Science & Technol | イオン交換樹脂に担持した貴金属触媒の製造方法 |
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| EP0816294A3 (de) * | 1996-07-03 | 1998-06-10 | Bayer Ag | Verfahren zur Zerstörung oxidierender Substanzen in wässrigen Flüssigkeiten |
| KR100343972B1 (ko) * | 1999-11-25 | 2002-07-24 | 주식회사 유니테크 | 과산화수소 함유 폐수의 처리 방법 및 그 장치 |
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| JP5441714B2 (ja) * | 2007-12-26 | 2014-03-12 | オルガノ株式会社 | 純水の製造方法およびその装置、オゾン水製造方法およびその装置、並びに洗浄方法およびその装置 |
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| WO2021261144A1 (ja) * | 2020-06-23 | 2021-12-30 | オルガノ株式会社 | 水処理装置、超純水製造装置及び水処理方法 |
| JP7012196B1 (ja) * | 2020-06-23 | 2022-01-27 | オルガノ株式会社 | 水処理装置、超純水製造装置、水処理方法及び再生型イオン交換塔 |
| JP2022036290A (ja) * | 2020-06-23 | 2022-03-04 | オルガノ株式会社 | 水処理装置、純水製造装置、超純水製造装置及び水処理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6235838B2 (ja) | 1987-08-04 |
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