JPS60688B2 - 遠隔操作圧力調整器 - Google Patents

遠隔操作圧力調整器

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JPS60688B2
JPS60688B2 JP54026939A JP2693979A JPS60688B2 JP S60688 B2 JPS60688 B2 JP S60688B2 JP 54026939 A JP54026939 A JP 54026939A JP 2693979 A JP2693979 A JP 2693979A JP S60688 B2 JPS60688 B2 JP S60688B2
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pressure regulator
nut
arm
pressure
remote
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TERU SAAMUKO KK
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TERU SAAMUKO KK
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    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
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    • G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
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    • G05D16/0644—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane the membrane acting directly on the obturator
    • G05D16/0655—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane the membrane acting directly on the obturator using one spring-loaded membrane
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Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、半導体などの製造に使用する処理用ガスな
どの圧力の自動制御に用いる遠隔操作圧力調整器の改良
に関するのである。
従来、有毒ガス、爆発性ガスなどの圧力調整をするため
の圧力調整器が、圧力の自動制御をする場合にも、通常
のつまみのついた手動調整式のものが使われる。
これらはその安全性の点で不充分であり、手動でなくモ
ータなどで駆動できる遠隔操作式のものが必要とされ用
いられるようになった。しかしこの種のものでも、圧力
調整器の制御シャフトと駆動モータの出力シャフトをス
プラィン結合しているので、バックラッシュがあり、圧
力の制御精度が悪く、直流モータ駆動のために起勤停止
精度が悪い上に電気的スパークの発生を免れず、爆発性
ガス等による障害発生のおそれがあり、半導体製造など
の安全性に問題があった。この発明の目的は、上記の点
を解決するものであって、圧力の制御精度を一桁あげ、
精密な遠隔操作圧力調整器を提供するとである。他の目
的は、モーターによって駆動する遠隔操作圧力調整器を
、電気的スパークを発生しないモーター駆動にかえて安
全性を確保することである。
本発明を添付図面の実施例について述べると、その構成
は、圧力調整器本体１のロードスプリング４の上方に、
連接シャフト５の一端を擢動自在に設け、該連接シャフ
ト５の端を、頃動アーム６の中程に常時圧着し、該倭勤
アーム６の他橋をヒンジピン７で軸着し、他端に球面状
の凹部を形成し、該凹部にナットを鉄合し、該ナット８
を、駆動用ボルト９を介して、ステッピングモータ１３
の出力シャフト１０に結合すると共に、該懐勤アーム６
の煩勤範囲内に上部および下部リミットスイッチ１２，
１１を設けた遠隔操作圧力調整器である。
又出力シャフト１０を駆動用ボルト９を介して結合する
。８は、煩動アーム６の他端の凹部に鉄合し該アーム６
を回動させる駆動用ナットで、その側面は、前記凹部の
球面と対応した球面であり、２は主バルブ、３はダイヤ
フラムアセンブリ−である。
本発明は上述のようであり、ステッピングモータ１３の
出力シャフト１川こ固着している駆動用ボルト９が回動
すると、それに螺合している駆動用ナット８が上下に移
動して煩動アーム６を回動させ連接シャフト５をを介し
てロードスプリング４を伸縮させ、前記主バルブ２を開
閉し、ガス入力側、出力側の圧力とダイヤフラムアセン
プリー３、ロードスプリング４が常に連続的にバランス
を保ち乍ら「ガス圧力を自動的に調整する。
上部および下部リミットスイッチ１２および１１は、額
動アーム６の額動範囲を規定し或は指定圧力に設定する
。更にステッピングモータ１３の出力電圧の小さい所で
モータの始動、停止を行なう。この発明は、ロードスプ
リング４の上方において、連接シャフト５を煩動アーム
６の中程に常時圧着したので、この部分にスプラィン結
合の如き、バックラッシュのある部分をなくすると共に
、駆動用ボルト９においては、上記の圧着によってバッ
クラッシュは軽減されるだけでなく、残留しても上述の
ように煩動アーム６の中程に圧着しているため、てこの
原理により連接シャフト５への影響が減少して極めて軽
微となる。又、懐勤アームの他端に球面状の凹部を形成
し、該凹部にナットを舷合したので、駆動ボルトの回転
によりナットが上下動すると、凹部にスムーズに力が加
わり、鏡動アームをスムーズに回動させることができる
。以上によって、本願の圧力調整器のガス圧力の調整精
度をあげることができ、従来のものが０．１気圧程の精
度であるのに比べ、本願のものは０．０２気圧程度まで
精度を改善できる実例がある。又、ステッピングモータ
のステップを電圧の小さい所で切りかえるようにしてモ
ータ起動、停止時の電気的スパークを防ぐことができ〜
それに起因する障害をなくすることができて、有害ガス
「液体又は爆発性のものに対しても「安全な遠隔操作圧
力調整器を提供できる。
尚モータを密散しなくて開放で用いることが可能である
効果もあることは勿論である。又上部リミットスイッチ
１２、下部リミットスイッチ１１を設けたので、圧力調
整器の破損を防止でき、指定圧力に設定する際にその倍
率を拡大し得る。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の実施例の断面図である。 １・・・・・・圧力調整器本体、２・・・・・・主バル
ブ、３……ダイヤフラムアセンブリー、４……ロードス
プリング、７・・…・ヒンジピン、８…・・・駆動用ナ
ット、９・・・・・・駆動用ボルト、１０…・・・出力
シャフト、１３……ステツピングモータ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 圧力調整器本体１のロードスプリング４の上方に連
    接シヤフト５を擢動自在に設け、該連接シヤフト５にス
    テツピングモータ１３の出力シヤフト１０を結合した遠
    隔操作圧力調整器において前記連接シヤフト５を傾動ア
    ーム６の中程に常時圧着し、該アーム６の一端をヒンジ
    ピン７で軸着し、他端に球面状の凹部を形成し、該凹部
    に、ナツト８を嵌合し、該ナツト８を駆動用ボルト９を
    介して前記出力シヤフト１０に結合すると共に、該傾動
    アーム６の傾動範囲内に上部および下部リミツトスイツ
    チ１２，１１を設けたことを特徴とする遠隔操作圧力調
    整器。
JP54026939A 1979-03-08 1979-03-08 遠隔操作圧力調整器 Expired JPS60688B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP54026939A JPS60688B2 (ja) 1979-03-08 1979-03-08 遠隔操作圧力調整器
US06/127,005 US4265270A (en) 1979-03-08 1980-03-04 Remote-controlled pressure regulator

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JP54026939A JPS60688B2 (ja) 1979-03-08 1979-03-08 遠隔操作圧力調整器

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JPS55119714A JPS55119714A (en) 1980-09-13
JPS60688B2 true JPS60688B2 (ja) 1985-01-09

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