JPS606219A - 蒸着用Ｃｏ合金タ−ゲツトの加工法 - Google Patents
蒸着用Ｃｏ合金タ−ゲツトの加工法Info
- Publication number
- JPS606219A JPS606219A JP11288983A JP11288983A JPS606219A JP S606219 A JPS606219 A JP S606219A JP 11288983 A JP11288983 A JP 11288983A JP 11288983 A JP11288983 A JP 11288983A JP S606219 A JPS606219 A JP S606219A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy
- billet
- vapor deposition
- extruded
- rod material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21C—MANUFACTURE OF METAL SHEETS, WIRE, RODS, TUBES OR PROFILES, OTHERWISE THAN BY ROLLING; AUXILIARY OPERATIONS USED IN CONNECTION WITH METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL
- B21C23/00—Extruding metal; Impact extrusion
- B21C23/002—Extruding materials of special alloys so far as the composition of the alloy requires or permits special extruding methods of sequences
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22F—CHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
- C22F1/00—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
- C22F1/10—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of nickel or cobalt or alloys based thereon
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Heat Treatment Of Nonferrous Metals Or Alloys (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Extrusion Of Metal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は蒸着用ら合金ターゲットの加工法に関し、詳し
くはＮしまたはＣｒを含有する６合金のどレットを加熱
した後、所定温度で熱間押出し、その後、矯正機にか（
プることによって表面が美麗で、しかもまきこみの少な
いロッド材を得る蒸着用Ｃ０合金ターゲッｉ〜の加工法
に関り°る。
くはＮしまたはＣｒを含有する６合金のどレットを加熱
した後、所定温度で熱間押出し、その後、矯正機にか（
プることによって表面が美麗で、しかもまきこみの少な
いロッド材を得る蒸着用Ｃ０合金ターゲッｉ〜の加工法
に関り°る。
磁気記憶テープに使用する蒸着用ら合金ターゲラ１へは
、従来、真空溶解炉で溶製後、鍛造加工により所定の寸
法に近づけ、その後旋盤加工により所定の［」ラド材を
（ｑていた。しかしこの方法は長尺化に応えにくく、手
間かかかりコストがかさむという欠点がある。しかも鍛
造時に蒸着材としては最も好ましくない外表面被膜のま
きこみを生じやすいという欠点も有している。
、従来、真空溶解炉で溶製後、鍛造加工により所定の寸
法に近づけ、その後旋盤加工により所定の［」ラド材を
（ｑていた。しかしこの方法は長尺化に応えにくく、手
間かかかりコストがかさむという欠点がある。しかも鍛
造時に蒸着材としては最も好ましくない外表面被膜のま
きこみを生じやすいという欠点も有している。
本発明はこれらの欠点を克服するためになされたもので
あり、加工性に優れ、かつ加工率が高く、しかも得られ
るロッド材の表面が美麗であり、またまきこみが少ない
蒸着用６合金ターグツ１〜の加工法を提供することを目
的とする。
あり、加工性に優れ、かつ加工率が高く、しかも得られ
るロッド材の表面が美麗であり、またまきこみが少ない
蒸着用６合金ターグツ１〜の加工法を提供することを目
的とする。
本発明者らは上記目的に沿って研究の結果、以下に示す
加工法が上記目的を達成することを見出し本発明に至っ
た。
加工法が上記目的を達成することを見出し本発明に至っ
た。
すなわちオ（発明は、１０〜３０重層％Ｎ５、残部らか
らなる０合金または１０・〜３０重母％Ｃｒ 、残部ら
からなるら合金のビレッ１−を加熱した後、熱間押出温
１良９００”−１１５０°Ｃで押出し、次いで矯正機に
か（−Ｊでロッド材を冑ることを特徴どする蒸着用ら合
金ターゲラ１〜の加工法にある。
らなる０合金または１０・〜３０重母％Ｃｒ 、残部ら
からなるら合金のビレッ１−を加熱した後、熱間押出温
１良９００”−１１５０°Ｃで押出し、次いで矯正機に
か（−Ｊでロッド材を冑ることを特徴どする蒸着用ら合
金ターゲラ１〜の加工法にある。
本発明においては、１０〜３０重渚％ＮＬ、残部らから
イする０合金または１０〜３０重量％Ｃｒ 、残部らか
らなる６合金のビレットを用いる。６合金中のＮＬまた
はＣｒの含有量が上記範囲外では、蒸着膜の磁気特性が
好ましくない。なお、本発明の範囲にある６合金とは、
いとＮｊまたはＣｒに加えて微けの他の元素を含んだら
合金も包含するものである。
イする０合金または１０〜３０重量％Ｃｒ 、残部らか
らなる６合金のビレットを用いる。６合金中のＮＬまた
はＣｒの含有量が上記範囲外では、蒸着膜の磁気特性が
好ましくない。なお、本発明の範囲にある６合金とは、
いとＮｊまたはＣｒに加えて微けの他の元素を含んだら
合金も包含するものである。
本発明にあっては、ビレットを熱間押出し前に加熱する
が、加熱炉の雰囲気が、通常の加熱炉の雰囲気である０
２を３容量％玖上含む雰囲気中ではビレツ１−の酸化が
ひどく、押出したロッド材にミク目的な酸化物のまぎこ
力が出てそのままで（、ｉ熱着用には適さない。従って
、加熱炉の雰囲気は非酸化性であることが望ましく、例
えば炉の雰囲気が燃焼ガスである場合に１：Ｊ、、ＣＯ
を１〜５容量％含むことが望ましい。ＣＯの温度が１容
量％未満では酸素の混入がありビレッ１へが酸化し、５
容量％を超えることは熱効率上望ましくない。また雰囲
気は燃焼ガスを用いなくとも、Ｎ２ガス、分解ガス等を
用いて調整してもよい。なお加熱炉がら出したビレット
は当然人気中で酸化するが、押出するまでの時間が２０
秒程度である通常の操作時間の範囲内であれば、この間
の酸化は問題とならない。
が、加熱炉の雰囲気が、通常の加熱炉の雰囲気である０
２を３容量％玖上含む雰囲気中ではビレツ１−の酸化が
ひどく、押出したロッド材にミク目的な酸化物のまぎこ
力が出てそのままで（、ｉ熱着用には適さない。従って
、加熱炉の雰囲気は非酸化性であることが望ましく、例
えば炉の雰囲気が燃焼ガスである場合に１：Ｊ、、ＣＯ
を１〜５容量％含むことが望ましい。ＣＯの温度が１容
量％未満では酸素の混入がありビレッ１へが酸化し、５
容量％を超えることは熱効率上望ましくない。また雰囲
気は燃焼ガスを用いなくとも、Ｎ２ガス、分解ガス等を
用いて調整してもよい。なお加熱炉がら出したビレット
は当然人気中で酸化するが、押出するまでの時間が２０
秒程度である通常の操作時間の範囲内であれば、この間
の酸化は問題とならない。
加熱されたビレッｊ〜は、蟹！ Ｉ７．Ｉ押出しされる
が、熱間押出温度は９００〜１１５０℃、好ましくは９
８０〜１１００℃どして、熱間押出温度が９００℃未満
では変型抵抗が高すぎ、１１５０℃を越えると熱効率が
低下する傾向にあり、°それぞ′れ好ましくない。なお
熱間押出に用いる押出ダイスは通常の工具鋼でもよいが
超硬工具を用いるほうがダイスの破損にょる１−ラブル
を防止でき、加工率あるいは歩留りの面で望ましい。さ
らに、押出法による場合ロツ１への最初の１本の押出し
は工具類が冷えているため、押出しが実質的に困難であ
る場合が多いので、低＠イｆ銅あるいは銅合金を前もっ
て押出しておくとスムースに１木目から押出が可能であ
る。
が、熱間押出温度は９００〜１１５０℃、好ましくは９
８０〜１１００℃どして、熱間押出温度が９００℃未満
では変型抵抗が高すぎ、１１５０℃を越えると熱効率が
低下する傾向にあり、°それぞ′れ好ましくない。なお
熱間押出に用いる押出ダイスは通常の工具鋼でもよいが
超硬工具を用いるほうがダイスの破損にょる１−ラブル
を防止でき、加工率あるいは歩留りの面で望ましい。さ
らに、押出法による場合ロツ１への最初の１本の押出し
は工具類が冷えているため、押出しが実質的に困難であ
る場合が多いので、低＠イｆ銅あるいは銅合金を前もっ
て押出しておくとスムースに１木目から押出が可能であ
る。
押出を終ったら合金には若干の曲りがあるのＣ゛、双ロ
ール方式の矯正機を用い冷間で整直加工を行なうと所望
のＧ合金ロッド（オが得られ、ターゲラＩへとして供ゼ
られる。
ール方式の矯正機を用い冷間で整直加工を行なうと所望
のＧ合金ロッド（オが得られ、ターゲラＩへとして供ゼ
られる。
Ｊス下、本発明を実施例に基づぎ詳細に説明する。
幻Ｉ土
２０重帛％ＮＬ −Ｃｏ合金を真空溶解炉にて溶解鋳造
して １７７ｍｍφ、長さ２４０ｍｍ、重量４８ｋ（ｌ
のビレツｉ〜を得た。このビレットを都市ガスだきの加
熱炉で空燃比を調整してＣＯ２容量％の条件下で加熱し
て、押出温度１０５０℃、血圧４７００ｋｇ／ｃｍの条
件下で３０ｍｍφに押出した。押出したロッド材を１組
の双ロールを持った矯正機にかけ３０ｍＴｌ１φ、長さ
２０００ＩＴＩＴｎのロット材３本を得た。これらのロ
ッド材はいず５− れの表面も美麗であり、まきこみが−切ないので切削加
工なしで蒸着用に使用可能であった。
して １７７ｍｍφ、長さ２４０ｍｍ、重量４８ｋ（ｌ
のビレツｉ〜を得た。このビレットを都市ガスだきの加
熱炉で空燃比を調整してＣＯ２容量％の条件下で加熱し
て、押出温度１０５０℃、血圧４７００ｋｇ／ｃｍの条
件下で３０ｍｍφに押出した。押出したロッド材を１組
の双ロールを持った矯正機にかけ３０ｍＴｌ１φ、長さ
２０００ＩＴＩＴｎのロット材３本を得た。これらのロ
ッド材はいず５− れの表面も美麗であり、まきこみが−切ないので切削加
工なしで蒸着用に使用可能であった。
２５重量％ＮＬ Ｃｏ合金の１５０ｍｍφ、長さ１３０
ｍｍ 。
ｍｍ 。
重量２３に９のビレットを、Ｃｏ ３容量％の雰囲気中
で加熱した後、熱間押出温度１０００℃の条件下で押出
し、実施例１と同様に押出したロッド材を１組の双ロー
ルを持った矯正機にかけ５０１ＴＩＩｌｌφ、長さ５３
５ ｍｍのロッド材を得た。表面は美麗で欠陥はなかっ
た。
で加熱した後、熱間押出温度１０００℃の条件下で押出
し、実施例１と同様に押出したロッド材を１組の双ロー
ルを持った矯正機にかけ５０１ＴＩＩｌｌφ、長さ５３
５ ｍｍのロッド材を得た。表面は美麗で欠陥はなかっ
た。
実施例３
２０重量％ＮＬ −Ｇ Ｏ合金の１８０ｍｍφ、長さ
１３０ ｍｍ、重量２７ｋ（ｌのビレットをＣＯＯ容儀
％、０２３容量％の条件下で加熱して、押出温度１０５
０℃の条件で押出し３０ＩＴｉｗ＋φ、長さ３０００
ｍｍのロッド材を得た。その後、矯正したが表面にわず
かな酸化物のまきこみがあったので、センタレス研磨機
にて０．２順研磨して表面が美麗な製品を得た。
１３０ ｍｍ、重量２７ｋ（ｌのビレットをＣＯＯ容儀
％、０２３容量％の条件下で加熱して、押出温度１０５
０℃の条件で押出し３０ＩＴｉｗ＋φ、長さ３０００
ｍｍのロッド材を得た。その後、矯正したが表面にわず
かな酸化物のまきこみがあったので、センタレス研磨機
にて０．２順研磨して表面が美麗な製品を得た。
以上説明のごとく、ＮＬまたはＣｒを含有する６合金の
ビレットを加熱した後、所定温度で熱間押出６− し、その浚、矯正機にかけロッド（Ａをｊ＋７る本発明
の加工法は、蒸着用０合金ロッド材をｆ！ｌｉｔ Ｉ！
Ｉ！かつ経済的に加４し、しかも１１１られろ０ツト＋
Ａは高品質であり、また表面は美麗である。従って、本
ブト明の加工法（ま、Ｔ渠内に極めて有用な方法である
。
ビレットを加熱した後、所定温度で熱間押出６− し、その浚、矯正機にかけロッド（Ａをｊ＋７る本発明
の加工法は、蒸着用０合金ロッド材をｆ！ｌｉｔ Ｉ！
Ｉ！かつ経済的に加４し、しかも１１１られろ０ツト＋
Ａは高品質であり、また表面は美麗である。従って、本
ブト明の加工法（ま、Ｔ渠内に極めて有用な方法である
。
特許出願人 三月金属鉱業株式会社
代理人 弁理士 伊 東 辰 Ｊｉｆｆ代理人 弁理士
１〕１ 束 哲 也 ＝７− ９７一
１〕１ 束 哲 也 ＝７− ９７一
Claims (1)
- １．１０〜３０重■％ＮＬ、残部らからなる０合金また
は１０〜３０重堵％Ｃｒ 、残部らからなる６合金のビ
レットを加熱した後、熱間押用渇ｉ ９００〜１１５０
℃で押出し、次いで矯正機にかけてロッド材を得ること
を特徴とする蒸着用０合金ターグツ１〜の加工法。 ２、前記熱間押出前の加熱が非酸化性雰囲気中で行われ
る前記特許請求の範囲第１項に記載の蒸着用０合金ター
グツ１〜の加工法。 ３、前記熱間押出前の加熱がＣｏ １〜５容但％を含む
燃焼ガス雰囲気中で行なわれる前記特許請求の範囲第１
項に記載の蒸着用６合金ターグツ１〜の加工法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11288983A JPS606219A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 蒸着用Ｃｏ合金タ−ゲツトの加工法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11288983A JPS606219A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 蒸着用Ｃｏ合金タ−ゲツトの加工法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS606219A true JPS606219A (ja) | 1985-01-12 |
Family
ID=14598049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11288983A Pending JPS606219A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 蒸着用Ｃｏ合金タ−ゲツトの加工法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS606219A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0252478A2 (en) * | 1986-07-08 | 1988-01-13 | Nihon Shinku Gijutsu Kabushiki Kaisha | Co-base alloy sputter target and process of manufacturing thereof |
| JPH0874040A (ja) * | 1994-09-09 | 1996-03-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 蒸着用材料及びその製造方法 |
| US10505530B2 (en) | 2018-03-28 | 2019-12-10 | Psemi Corporation | Positive logic switch with selectable DC blocking circuit |
-
1983
- 1983-06-24 JP JP11288983A patent/JPS606219A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0252478A2 (en) * | 1986-07-08 | 1988-01-13 | Nihon Shinku Gijutsu Kabushiki Kaisha | Co-base alloy sputter target and process of manufacturing thereof |
| JPH0874040A (ja) * | 1994-09-09 | 1996-03-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 蒸着用材料及びその製造方法 |
| US10505530B2 (en) | 2018-03-28 | 2019-12-10 | Psemi Corporation | Positive logic switch with selectable DC blocking circuit |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS606219A (ja) | 蒸着用Ｃｏ合金タ−ゲツトの加工法 | |
| US2693121A (en) | Method of making composite aluminum-lined steel-backed bearing material | |
| JP3343538B2 (ja) | 圧延ロール | |
| JP2778140B2 (ja) | Ｎｉ基合金製熱間工具及びその熱間工具の後処理方法 | |
| JPH0787930B2 (ja) | 継目無鋼管製造用プラグ | |
| JPH0373614B2 (ja) | ||
| JPH0426739A (ja) | 熱間製管工具用鋼及び熱間製管工具 | |
| JPH10137818A (ja) | 継目無鋼管穿孔圧延用プラグ | |
| JPS62182238A (ja) | 連続鋳造鋳型用Ｃｕ合金 | |
| JPS5843464B2 (ja) | 熱間加工性のすぐれた高炭素クロムニッケル鋼 | |
| JP3056703B2 (ja) | 圧延用ロール外層材とそれを用いた圧延用ロール | |
| JP2591554B2 (ja) | 棒鋼圧延用ロール | |
| JPS601387B2 (ja) | 高強度および高耐酸化性を有する炭化タングステン基超硬合金 | |
| JPS6086262A (ja) | 継目無鋼管製管用芯金の寿命延長熱処理方法 | |
| JP3361990B2 (ja) | 圧延ロール用外層材とそれを用いた圧延ロール | |
| US4102709A (en) | Workable nickel alloy and process for making same | |
| JP2672598B2 (ja) | 耐摩耗性および耐肌荒性に優れた黒鉛晶出高クロム鋳鉄ロール材および圧延用複合ロール | |
| JPH01154808A (ja) | 鋼管圧延用工具 | |
| JPH01180711A (ja) | 継目無鋼管製造用プラグ | |
| JPS6369948A (ja) | 継目無鋼管製造用工具材料 | |
| JP2618397B2 (ja) | 熱間加工用工具スケール付着法 | |
| JPS5952643A (ja) | 複合材料 | |
| JP2745647B2 (ja) | 熱間加工性のすぐれた高温耐摩耗性Ｃｏ基合金の製造法 | |
| JPH04346616A (ja) | 高靱性工具鋼の製造方法 | |
| CN114921692A (zh) | 高效阻隔锡渗出的高强耐磨钛铝锡复合材料的生产方法 |