JPS6060790A - 磁気抵抗素子 - Google Patents
磁気抵抗素子Info
- Publication number
- JPS6060790A JPS6060790A JP58168107A JP16810783A JPS6060790A JP S6060790 A JPS6060790 A JP S6060790A JP 58168107 A JP58168107 A JP 58168107A JP 16810783 A JP16810783 A JP 16810783A JP S6060790 A JPS6060790 A JP S6060790A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- parts
- magnetism
- magnetic
- sensing parts
- magnetism sensing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 abstract description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 2
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
Landscapes
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は回転体の回転角度１回転数等を計測する磁気抵
抗素子に係わり、特に出力信号の温度特性の改良に関す
るものである。
抗素子に係わり、特に出力信号の温度特性の改良に関す
るものである。
一般に磁気抵抗素子を応用した装置としては例えば磁気
式ロータリエンコーダが知られている。
式ロータリエンコーダが知られている。
この磁気式ロータリエンコーダは、回転体の全周に配設
された磁気記録媒体に所要の間隔で着磁した磁気パター
ンから得られる磁気信号を、これと対向して近接配置さ
れた磁気抵抗素子により磁電変換し電気信号として読み
取ることによって回転体の回転角度２回転数等を検出計
測するものである。
された磁気記録媒体に所要の間隔で着磁した磁気パター
ンから得られる磁気信号を、これと対向して近接配置さ
れた磁気抵抗素子により磁電変換し電気信号として読み
取ることによって回転体の回転角度２回転数等を検出計
測するものである。
第１図は前述した磁気式ロータリエンコーダの一例を示
す要部断面構成図である。同図において、モータ１によ
って駆動されるシャフト２には、周面全周に亘って一定
のピッチで着磁された磁気パターンを有する磁気記録媒
体３を備えた磁気ドラム４が結合固定され、また、回転
体のハウジングに固定された支持体５の上面には基板６
が固定配置され、この基板６０表面には薄膜状の磁気抵
抗素子γが被着形成され、前記磁気ドラム４の周面上の
磁気記録媒体３と一定の間隔８を隔てて対向している。
す要部断面構成図である。同図において、モータ１によ
って駆動されるシャフト２には、周面全周に亘って一定
のピッチで着磁された磁気パターンを有する磁気記録媒
体３を備えた磁気ドラム４が結合固定され、また、回転
体のハウジングに固定された支持体５の上面には基板６
が固定配置され、この基板６０表面には薄膜状の磁気抵
抗素子γが被着形成され、前記磁気ドラム４の周面上の
磁気記録媒体３と一定の間隔８を隔てて対向している。
第２図は第１図に示す基板６上に形成された磁気抵抗素
子７の一例を示す要部平面構成図である。
子７の一例を示す要部平面構成図である。
同図において、非磁性材でかつ電気的絶縁性を有する例
えばガラス板などからなる基板６の所定位置には磁気抵
抗効果を有する感磁部ｇａ、９ｂ、’９ｃ、９ｄがそれ
ぞれ計測する磁気記録媒体３（第１図参照）の磁極幅と
同一ピッチで形成され、またこれらの各感磁部９ｍ、９
ｂ、９ｃ、９ｄの両端部には感磁信号、電源電流を授受
するリード部１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄが形成さ
れ、さらにこれらのリード部１０ａ、１０ｂ、１０ｃ。
えばガラス板などからなる基板６の所定位置には磁気抵
抗効果を有する感磁部ｇａ、９ｂ、’９ｃ、９ｄがそれ
ぞれ計測する磁気記録媒体３（第１図参照）の磁極幅と
同一ピッチで形成され、またこれらの各感磁部９ｍ、９
ｂ、９ｃ、９ｄの両端部には感磁信号、電源電流を授受
するリード部１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄが形成さ
れ、さらにこれらのリード部１０ａ、１０ｂ、１０ｃ。
１０ｄの他端側には外部回路と電気的に接続するポンデ
ィングパッド部１１ａ、１１ｂ、１１Ｃ１１１ｄ、１１
Ｃが形成されている。そして、これらの感磁部９ａ〜９
ｄ 。
ィングパッド部１１ａ、１１ｂ、１１Ｃ１１１ｄ、１１
Ｃが形成されている。そして、これらの感磁部９ａ〜９
ｄ 。
リード部１Ｏａ〜１０ｄおよびポンディングパッド部１
１ａ〜１１ｅは基板６上にパーマロイを蒸着して形成さ
れたパーマロイパターンで構成されている。
１ａ〜１１ｅは基板６上にパーマロイを蒸着して形成さ
れたパーマロイパターンで構成されている。
このように構成された磁気抵抗素子は、被検出体の磁極
から磁気信号を大きくとるために一般的には第３図で示
すように差動方式、つまりブリッジ回路を構成するよう
に接続して用いられる。すなわち、同図において、Ｒａ
は感磁部９ａの電気抵抗、Ｒｂは感磁部９ｂ 、 Ｒｃ
は感磁部９ｃ 、 Ｒ（１は感磁部９ｄのそれぞれの電
気抵抗を示し、電源電圧Ｖはポンディングパッド部１１
ｃ ト１１ａ 、 １１ｅ 間に接続されて上記感磁部
９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄに磁場を感知すると、感磁部９
ａ〜９ｄの抵抗変化に対応してポンディングパッド部１
１ｂと１１ｄとから第４図に示すように正弦波の信号電
圧■ｌと■２とがそれぞれ得られる。
から磁気信号を大きくとるために一般的には第３図で示
すように差動方式、つまりブリッジ回路を構成するよう
に接続して用いられる。すなわち、同図において、Ｒａ
は感磁部９ａの電気抵抗、Ｒｂは感磁部９ｂ 、 Ｒｃ
は感磁部９ｃ 、 Ｒ（１は感磁部９ｄのそれぞれの電
気抵抗を示し、電源電圧Ｖはポンディングパッド部１１
ｃ ト１１ａ 、 １１ｅ 間に接続されて上記感磁部
９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄに磁場を感知すると、感磁部９
ａ〜９ｄの抵抗変化に対応してポンディングパッド部１
１ｂと１１ｄとから第４図に示すように正弦波の信号電
圧■ｌと■２とがそれぞれ得られる。
しかしながら上記構成による磁気抵抗素子において、各
感磁部９ａ〜９ｄとこれに対応するポンディングパッド
部１１１〜１１ｅとの間に形成された各リード部１０ａ
、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅは、各ポンディング
パッド部１１ａ〜１１ｅのパターン表面積が太きいため
、それぞれ複雑な形状を有するパターン形状となること
から、動作中の周囲温度の変化および内部からの発熱量
に対して抵抗値が個々に変動し、ポンディングパッド部
１１ｂ、１１ｄから出力される正弦波の信号電圧”］、
＋”２のオフセット電圧Ｖ（１％つまり信号電圧ｖ１と
ｖ２との電位差あるいは信号電圧ｖ１．■２の約１０係
以下の電圧が第５図に示すように大幅に偏差して高精度
の出力信号が得られないという欠点があった。
感磁部９ａ〜９ｄとこれに対応するポンディングパッド
部１１１〜１１ｅとの間に形成された各リード部１０ａ
、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅは、各ポンディング
パッド部１１ａ〜１１ｅのパターン表面積が太きいため
、それぞれ複雑な形状を有するパターン形状となること
から、動作中の周囲温度の変化および内部からの発熱量
に対して抵抗値が個々に変動し、ポンディングパッド部
１１ｂ、１１ｄから出力される正弦波の信号電圧”］、
＋”２のオフセット電圧Ｖ（１％つまり信号電圧ｖ１と
ｖ２との電位差あるいは信号電圧ｖ１．■２の約１０係
以下の電圧が第５図に示すように大幅に偏差して高精度
の出力信号が得られないという欠点があった。
したがって本発明は前述した従来の欠点を改善するため
になされたものであり、その目的とするところは、オフ
セラ）！圧の温度ドリフトを防止して高精度の出力信号
が得られる磁気抵抗素子を提供することにある。
になされたものであり、その目的とするところは、オフ
セラ）！圧の温度ドリフトを防止して高精度の出力信号
が得られる磁気抵抗素子を提供することにある。
このような目的を達成するために本発明は、オフセット
電圧の温度変化は磁気抵抗素子の１チツプ内の温度分布
が周囲の温度によって変化することに起因していること
に着目して感磁部の周辺部に磁気を検知しない発熱性の
ダミー抵抗体を配設し、磁気検出用抵抗体の温度分布を
均一にしたものである。
電圧の温度変化は磁気抵抗素子の１チツプ内の温度分布
が周囲の温度によって変化することに起因していること
に着目して感磁部の周辺部に磁気を検知しない発熱性の
ダミー抵抗体を配設し、磁気検出用抵抗体の温度分布を
均一にしたものである。
次に図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する０
第６図は本発明による磁気抵抗素子の一例を示す要部平
面構成図であり、第２図と同一部分は同一符号を付しそ
の説明は省略する。同図において、第２図と異なる点け
、感磁部９ａ〜９ｄの周辺部には磁気を全く検知しない
ダミーの抵抗体１２が配置され、さらにこの抵抗体１２
の両端部にはリード部１３ａ 、 １３ｂおよびそのポ
ンディングパッド部１４ａ 、 １４ｂがそれぞれ電気
的に接続されて形成配置されている。そして、これらの
ダミー抵抗体１２およびリード部１３ａ ＋ １３ｂな
らびにポンディングパッド部１４ａ、１４ｂは前述した
感磁部９ａ〜９ｄ 、リード部１０ａ〜１０ｅおよびポ
ンディングパッド部１１ａ〜１１ｅの形成と同一工程で
パーマロイの蒸着によるパーマロイパターンによりほぼ
同等の寸法形状を有して構成されている。さらにダミー
抵抗体１２の感磁部９ａ〜９ｄ側は低抵抗の導電体１５
で短絡する。
面構成図であり、第２図と同一部分は同一符号を付しそ
の説明は省略する。同図において、第２図と異なる点け
、感磁部９ａ〜９ｄの周辺部には磁気を全く検知しない
ダミーの抵抗体１２が配置され、さらにこの抵抗体１２
の両端部にはリード部１３ａ 、 １３ｂおよびそのポ
ンディングパッド部１４ａ 、 １４ｂがそれぞれ電気
的に接続されて形成配置されている。そして、これらの
ダミー抵抗体１２およびリード部１３ａ ＋ １３ｂな
らびにポンディングパッド部１４ａ、１４ｂは前述した
感磁部９ａ〜９ｄ 、リード部１０ａ〜１０ｅおよびポ
ンディングパッド部１１ａ〜１１ｅの形成と同一工程で
パーマロイの蒸着によるパーマロイパターンによりほぼ
同等の寸法形状を有して構成されている。さらにダミー
抵抗体１２の感磁部９ａ〜９ｄ側は低抵抗の導電体１５
で短絡する。
このように構成された磁気抵抗素子は、ポンディングパ
ッド１４ａと１４ｂとの間に電源を接続しておくことに
より、ダミー抵抗体１２が常時加熱された状態となるの
で、感磁部９ａ〜９ｄ 、 リード部１０ａ〜１０ａお
よびポンディングパッド部１１１〜１１ｅけ常時はぼ一
定の温度分布に保持されることにカリ、したがって、周
辺部の温度変化に対して感磁部９ａ〜９ｄの温度変化が
極めて少なくなる。したがってオフセット電圧Ｖｏの温
度ドリフトが小さくなり、精度の高い出力信号が得られ
る。
ッド１４ａと１４ｂとの間に電源を接続しておくことに
より、ダミー抵抗体１２が常時加熱された状態となるの
で、感磁部９ａ〜９ｄ 、 リード部１０ａ〜１０ａお
よびポンディングパッド部１１１〜１１ｅけ常時はぼ一
定の温度分布に保持されることにカリ、したがって、周
辺部の温度変化に対して感磁部９ａ〜９ｄの温度変化が
極めて少なくなる。したがってオフセット電圧Ｖｏの温
度ドリフトが小さくなり、精度の高い出力信号が得られ
る。
以上説明したように本発明によれば、オフセット電圧の
温度ドリフトが小さくなり、精度の高い出力信号が得ら
れるので、広い温度範囲の領域で動作が可能となるなど
の極めて優れた効果が得られる。
温度ドリフトが小さくなり、精度の高い出力信号が得ら
れるので、広い温度範囲の領域で動作が可能となるなど
の極めて優れた効果が得られる。
第１図ないし第５図は従来の磁気抵抗素子およびこの磁
気抵抗素子を用いた磁気式ロータリエンコーダを説明す
る図、第６図は本発明による磁気抵抗素子の一例を示す
要部平面構成図である。 ６・・・・基板、１・・・・磁気抵抗素子、９ａ〜９ｄ
・・・・感磁部、１０ａ〜１０ｅ・・・・リード部、１
１ａ〜１１ｅ・・・・ポンディングパッド部、１２・・
・・ダミー抵抗体、１３ａ、１３ｂ・・・ド部、１５・
・・・低抵抗導電体。 第１図 第２図 第３図
気抵抗素子を用いた磁気式ロータリエンコーダを説明す
る図、第６図は本発明による磁気抵抗素子の一例を示す
要部平面構成図である。 ６・・・・基板、１・・・・磁気抵抗素子、９ａ〜９ｄ
・・・・感磁部、１０ａ〜１０ｅ・・・・リード部、１
１ａ〜１１ｅ・・・・ポンディングパッド部、１２・・
・・ダミー抵抗体、１３ａ、１３ｂ・・・ド部、１５・
・・・低抵抗導電体。 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 磁場を感知する複数の感磁部と、前記各感磁部の出力を
外部回路へ接続するポンディングパッド部、前記各感磁
部と前記各ポンディングパッド部間を接続するリード部
とを基板上に一体形成し、外部からの磁場信号もしくは
磁性体の変位を電気信号に変換する磁気抵抗素子におい
て、少なくとも前記感磁部局辺部に磁場を感知しない発
熱性のダミー抵抗体を設けたことを特徴とする磁気抵抗
素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58168107A JPS6060790A (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 磁気抵抗素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58168107A JPS6060790A (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 磁気抵抗素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6060790A true JPS6060790A (ja) | 1985-04-08 |
Family
ID=15861973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58168107A Pending JPS6060790A (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 磁気抵抗素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6060790A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9234738B2 (en) | 2010-11-18 | 2016-01-12 | Mitsubishi Electric Corporation | Rotation-angle detection device |
-
1983
- 1983-09-14 JP JP58168107A patent/JPS6060790A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9234738B2 (en) | 2010-11-18 | 2016-01-12 | Mitsubishi Electric Corporation | Rotation-angle detection device |
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