JPS6055306A - 空間フィルタ - Google Patents
空間フィルタInfo
- Publication number
- JPS6055306A JPS6055306A JP16479483A JP16479483A JPS6055306A JP S6055306 A JPS6055306 A JP S6055306A JP 16479483 A JP16479483 A JP 16479483A JP 16479483 A JP16479483 A JP 16479483A JP S6055306 A JPS6055306 A JP S6055306A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- optical guide
- end surface
- refractive index
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12007—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29346—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
- G02B6/29361—Interference filters, e.g. multilayer coatings, thin film filters, dichroic splitters or mirrors based on multilayers, WDM filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
- G02B6/305—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device and having an integrated mode-size expanding section, e.g. tapered waveguide
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
この発明は、速度センサなどに用いられる空間フィルタ
に関する。
に関する。
（ロ）従来技術
従来、速度センサに使用される空間フィルタとしては、
ファイバアレイを使用した全光センサを用いていた。こ
の従来のファイバアレイ空間フィルタは、第１図に示す
ように、ファイバアレイハウジング１に複数本の光ファ
イバ２を等しいピッチで配列し、この複数本の光ファイ
バ２をファイバコネクタ３を介して単芯ファイバ４に結
合し、被測定物体の移動によって生じるパルス状の光信
号を光ファイバ２で受光し、単芯ファイバ４に導出する
ようにしていた。
ファイバアレイを使用した全光センサを用いていた。こ
の従来のファイバアレイ空間フィルタは、第１図に示す
ように、ファイバアレイハウジング１に複数本の光ファ
イバ２を等しいピッチで配列し、この複数本の光ファイ
バ２をファイバコネクタ３を介して単芯ファイバ４に結
合し、被測定物体の移動によって生じるパルス状の光信
号を光ファイバ２で受光し、単芯ファイバ４に導出する
ようにしていた。
上記ファイバアレイ空間フィルタは、光ファイバを１本
１本配列し、束ね、接着剤で固めて製作する必要がある
ので、製作が弗素に困難で時間がかかる上、しかも１１
［ＩＪ ｉ １Ｉｆｉ１手づくりであり、ピンチもバラ
ツキが生じ、選択特性にも悪影響を及ぼすという欠点が
あった。
１本配列し、束ね、接着剤で固めて製作する必要がある
ので、製作が弗素に困難で時間がかかる上、しかも１１
［ＩＪ ｉ １Ｉｆｉ１手づくりであり、ピンチもバラ
ツキが生じ、選択特性にも悪影響を及ぼすという欠点が
あった。
（ハ）目的
この発明の目的は、上記した従来の空間フィルタの欠点
を解消し、製作が容易で大量生産に適し、しかも安定し
た一定の特性のものが得られる空間フィルタを提供する
ことである。
を解消し、製作が容易で大量生産に適し、しかも安定し
た一定の特性のものが得られる空間フィルタを提供する
ことである。
く二）構成
上記目的を達成するために、この発明の空間フィルタは
、ファイバを使用する代わりに先導波路を使用するよう
にしている。すなわちこの発明の空間フィルタは、低屈
折率の基板の表面上に、先広がりの略ラッパ状をした高
屈折率の先導波路を形成するとともに、この光導波路の
先端面に所定ピンチのフィルタパターンを形成して構成
されている。
、ファイバを使用する代わりに先導波路を使用するよう
にしている。すなわちこの発明の空間フィルタは、低屈
折率の基板の表面上に、先広がりの略ラッパ状をした高
屈折率の先導波路を形成するとともに、この光導波路の
先端面に所定ピンチのフィルタパターンを形成して構成
されている。
（ホ）実施例
以下、実施例により、この発明をさらに詳細に説明する
。
。
第２図はこの発明の１実施例を示す空間フィルタの斜視
図である。同図に示す空間フィルタ１０において、１１
は低屈折率部の基板であり、この基板１１の一端面１１
ａは面一に形成される一方、基板１１上には高屈折率部
である光導波路１２が形成されている。この光導波路１
２は基板１１の一端面１１ａに近づく程先広がりとなる
略ラッパ状に形成されている。
図である。同図に示す空間フィルタ１０において、１１
は低屈折率部の基板であり、この基板１１の一端面１１
ａは面一に形成される一方、基板１１上には高屈折率部
である光導波路１２が形成されている。この光導波路１
２は基板１１の一端面１１ａに近づく程先広がりとなる
略ラッパ状に形成されている。
また光導波路１２の先端面すなわち基板１１の一端面１
１ａには、透明部１３ａとマスク部１３ｂが一定ピソチ
で交互に配設されるフィルタパターン１３が形成されて
いる。
１ａには、透明部１３ａとマスク部１３ｂが一定ピソチ
で交互に配設されるフィルタパターン１３が形成されて
いる。
上記基板１１としては、例えばガラスが使用され、光導
波路１２は例えばイ・オン交換で形成される。この光導
波路１２の形状、大きさはイオン交。
波路１２は例えばイ・オン交換で形成される。この光導
波路１２の形状、大きさはイオン交。
換時のマスクにより自由に選定することができる。
もちろん先導波路１２は他の方法で作成してもよい。
上記フィルタパターン１３のマスク１３ｂとしては例え
ば、ハードマスクをつけてＡＱあるいはＣｒを蒸着法で
つける。このマスクパターン１３ｂも他の方法、例えば
別体のガラスにマスクパターンを付けたものを貼りつけ
る等の方法で作成してもよい。
ば、ハードマスクをつけてＡＱあるいはＣｒを蒸着法で
つける。このマスクパターン１３ｂも他の方法、例えば
別体のガラスにマスクパターンを付けたものを貼りつけ
る等の方法で作成してもよい。
先導波路１２のラッパ状の根元部１２ａにはファイバコ
ネクタ１４が設けられ、光導波路１２は単芯光ファイバ
１５に接続され、光は空間フィルタｌＯより遠く離れた
ところに伝送可能なようになっている。なおフィルタリ
ングすべき光信号は矢符Ａの方向から入射される。
ネクタ１４が設けられ、光導波路１２は単芯光ファイバ
１５に接続され、光は空間フィルタｌＯより遠く離れた
ところに伝送可能なようになっている。なおフィルタリ
ングすべき光信号は矢符Ａの方向から入射される。
第３図は、この発明の他の実施例を示す空間フィルタの
斜視図であり、第４図は同空間フィルタの正面図である
。
斜視図であり、第４図は同空間フィルタの正面図である
。
ファイバアレイを差動構成することにより、直流成分を
含む偶数特高調波成分を削除でき、基本波成分のみを取
り出すことができるが、第２図に示した空間フィルタで
は、出力を差動的に取り出すことが困難なので、ここに
示す実施例空間フィルタが使用される。
含む偶数特高調波成分を削除でき、基本波成分のみを取
り出すことができるが、第２図に示した空間フィルタで
は、出力を差動的に取り出すことが困難なので、ここに
示す実施例空間フィルタが使用される。
この実施例空間フィルタ２０は２枚の基板２１．２２が
貼り合わされて構成されている。２枚の基板２１．２２
のそれぞれの表面に、上記第２図の空間フィルタと同様
に、先広がりの略ラッパ状の光導波路２３．２４が形成
されている。これら光導波路２３．２４の先広がりの先
端、すなわち基板２１．２２の一端面２１ａ、２２ａに
、等ピンチで交互に設けられる透明部２５ａ、２６ａ及
びマスクｉ２５ ｂ、 ２６ ｂからなるフィルタパタ
ーン２５．２６が形成されている。そして、２枚の基板
２１．２２の貼り合わせは、互いに光導波路２３．２４
を設けた面が対面するように、また側基板のフィルタパ
ターン２５．２６の透明部２５ａ、２６ａが、互いに他
の透明部の間に交互に位置するように、しかも両フィル
タパターン２５．２６を合わせて等ピッチとなるように
側基板２１．２２を位置決めし、接着剤２７で行われる
。この空間フィルタ２０の各光導波路２３．２４は、光
フアイバコネクタ２８．２９を経て、光ファイバ３０．
３１に結合されるようになっており、その光出力を差動
的に信号処理することができる。
貼り合わされて構成されている。２枚の基板２１．２２
のそれぞれの表面に、上記第２図の空間フィルタと同様
に、先広がりの略ラッパ状の光導波路２３．２４が形成
されている。これら光導波路２３．２４の先広がりの先
端、すなわち基板２１．２２の一端面２１ａ、２２ａに
、等ピンチで交互に設けられる透明部２５ａ、２６ａ及
びマスクｉ２５ ｂ、 ２６ ｂからなるフィルタパタ
ーン２５．２６が形成されている。そして、２枚の基板
２１．２２の貼り合わせは、互いに光導波路２３．２４
を設けた面が対面するように、また側基板のフィルタパ
ターン２５．２６の透明部２５ａ、２６ａが、互いに他
の透明部の間に交互に位置するように、しかも両フィル
タパターン２５．２６を合わせて等ピッチとなるように
側基板２１．２２を位置決めし、接着剤２７で行われる
。この空間フィルタ２０の各光導波路２３．２４は、光
フアイバコネクタ２８．２９を経て、光ファイバ３０．
３１に結合されるようになっており、その光出力を差動
的に信号処理することができる。
（へ）効果
この発明の空間フィルタは、低屈折率部である基板の表
面上に、先広がりの略う・ツバ状を高屈折率の先導波路
を形成するとともに、この光導波路の先端面に所定ピン
チのフィルタパターンを形成するものであるから、光導
波路及びフィルタパターンを製作するにはマスクを設定
するだけでよく、任意の大きさ、ピッチ、スリ７１〜幅
のものを容易に具現できる。また歩どまりも向上し、再
現性が良く、等品質の空間フィルタが得られるので大量
生産に好適である。さらに光導波路の形状は略ラッパ状
なのでパターニングが極めて簡単であり、この意味から
も生産効率の良い空間フィルタを得ることができる。
面上に、先広がりの略う・ツバ状を高屈折率の先導波路
を形成するとともに、この光導波路の先端面に所定ピン
チのフィルタパターンを形成するものであるから、光導
波路及びフィルタパターンを製作するにはマスクを設定
するだけでよく、任意の大きさ、ピッチ、スリ７１〜幅
のものを容易に具現できる。また歩どまりも向上し、再
現性が良く、等品質の空間フィルタが得られるので大量
生産に好適である。さらに光導波路の形状は略ラッパ状
なのでパターニングが極めて簡単であり、この意味から
も生産効率の良い空間フィルタを得ることができる。
第１図は従来の光フアイバアレイ空間フィルタの斜視図
、第２図はこの発明の１実施例を示す空間フィルタの斜
視図、第３図はこの発明の他の実施例を示す空間フィル
タの斜視図、第４図は同空間フィルタの正面図である。 １０・２０：空間フィルタ、 １１・２１・２２：基板（低屈折率部）、１２・２３・
２４：光導波路（高屈折率部）、１３・２５・２６：フ
ィルタパターン 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人 弁理士 中 村 茂 信
、第２図はこの発明の１実施例を示す空間フィルタの斜
視図、第３図はこの発明の他の実施例を示す空間フィル
タの斜視図、第４図は同空間フィルタの正面図である。 １０・２０：空間フィルタ、 １１・２１・２２：基板（低屈折率部）、１２・２３・
２４：光導波路（高屈折率部）、１３・２５・２６：フ
ィルタパターン 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人 弁理士 中 村 茂 信
Claims (1)
- （１）低屈折率の基板の表面上に、先広がりの略ラッパ
状をした高屈折率の光導波路を形成するとともに、この
光導波路の先端面に所定ピッチのフィルタパターンを形
成してなることを特徴とする空間フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16479483A JPS6055306A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | 空間フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16479483A JPS6055306A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | 空間フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6055306A true JPS6055306A (ja) | 1985-03-30 |
Family
ID=15800062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16479483A Pending JPS6055306A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | 空間フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6055306A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62183405A (ja) * | 1986-02-08 | 1987-08-11 | Agency Of Ind Science & Technol | テ−パ付光導波回路及びその製造方法 |
| JPS63247032A (ja) * | 1987-04-03 | 1988-10-13 | 日本ペイント株式会社 | 硬質微粒子が表面に突出した塗膜を金属素材上に形成せしめる方法 |
-
1983
- 1983-09-06 JP JP16479483A patent/JPS6055306A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62183405A (ja) * | 1986-02-08 | 1987-08-11 | Agency Of Ind Science & Technol | テ−パ付光導波回路及びその製造方法 |
| JPS63247032A (ja) * | 1987-04-03 | 1988-10-13 | 日本ペイント株式会社 | 硬質微粒子が表面に突出した塗膜を金属素材上に形成せしめる方法 |
| JPH0533905B2 (ja) * | 1987-04-03 | 1993-05-20 | Nippon Paint Co Ltd |
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