JPS6054152A - 電子線装置における自動焦点調節法 - Google Patents
電子線装置における自動焦点調節法Info
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- JPS6054152A JPS6054152A JP58160521A JP16052183A JPS6054152A JP S6054152 A JPS6054152 A JP S6054152A JP 58160521 A JP58160521 A JP 58160521A JP 16052183 A JP16052183 A JP 16052183A JP S6054152 A JPS6054152 A JP S6054152A
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- Japan
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- focus
- ios
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/21—Means for adjusting the focus
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、自動焦点調節法に係り、特に電子線装置にお
ける１動焦点調節法に関するものである。
ける１動焦点調節法に関するものである。
焦点検出に必要な波形信号は下記のようにして得られる
。すなわち第１の方法は十字に張られた直径数十μｍの
金属ワイヤ上を電子線でＸ方向、あるいはＹ方向に走査
し、その時得られる透過電子信号をワイヤの上部に設け
たファラデーカップで検出する方法である。第２の方法
はＳｉ上に作られた巾数十μｍ１高さ０．２〜０．３μ
ｍ１長さ数１００μｍの十字金属マーク上を電子線で走
査し、その時得られる反射電子信号を半導体検出器ＳＳ
Ｄで検出する方法である。
。すなわち第１の方法は十字に張られた直径数十μｍの
金属ワイヤ上を電子線でＸ方向、あるいはＹ方向に走査
し、その時得られる透過電子信号をワイヤの上部に設け
たファラデーカップで検出する方法である。第２の方法
はＳｉ上に作られた巾数十μｍ１高さ０．２〜０．３μ
ｍ１長さ数１００μｍの十字金属マーク上を電子線で走
査し、その時得られる反射電子信号を半導体検出器ＳＳ
Ｄで検出する方法である。
次に上記の２信号のうちどちらか１つの信号を使って下
記のようにして焦点検出を行なう。
記のようにして焦点検出を行なう。
焦点検出の第１の方法は、上記の波形信号の巾が最小に
なるように焦点調整を行なう。第２の方法は、上記の波
形信号から１回微分信号を得て、その微分信号の巾が最
小になるように焦点調整を行なう。第３の方法は、上記
の波形信号から２回微分信号を得て、その微分信号のピ
ーク値が最大になるように焦点調整を行なう。第４の方
法は、波形信号を得る時のターゲットとして使用する電
子線の寸法より十分小さな寸法を有するマークを使用し
、その時得られる波形信号が既に第１の方法で述べた微
分信号と同等の性質を有する信号となるため、その信号
の巾が最小になるように焦点調整を行なう。第５の方法
は、第３の方法を行う際に得られる信号を１回微分し、
その微分信号のピーク値が最大になるように焦点調整を
行なう。
なるように焦点調整を行なう。第２の方法は、上記の波
形信号から１回微分信号を得て、その微分信号の巾が最
小になるように焦点調整を行なう。第３の方法は、上記
の波形信号から２回微分信号を得て、その微分信号のピ
ーク値が最大になるように焦点調整を行なう。第４の方
法は、波形信号を得る時のターゲットとして使用する電
子線の寸法より十分小さな寸法を有するマークを使用し
、その時得られる波形信号が既に第１の方法で述べた微
分信号と同等の性質を有する信号となるため、その信号
の巾が最小になるように焦点調整を行なう。第５の方法
は、第３の方法を行う際に得られる信号を１回微分し、
その微分信号のピーク値が最大になるように焦点調整を
行なう。
従来性なわれてきた方法は、第１〜第３の方法が多い。
例えば特開昭５１−２３０６５号に記載された方法は、
第１の方法であるが、■焦点がずれた状態で波形信号の
巾を抽出するのが困難かつ不安定であること、■焦点検
出能が微分法に比較して劣ること、などの欠点がある。
第１の方法であるが、■焦点がずれた状態で波形信号の
巾を抽出するのが困難かつ不安定であること、■焦点検
出能が微分法に比較して劣ること、などの欠点がある。
第２〜第５の方法は、微分信号を利用するため焦点検出
能は優れているが、微分信号をそのまま利用するため焦
点検出が不安定になりやすい欠点がある。
能は優れているが、微分信号をそのまま利用するため焦
点検出が不安定になりやすい欠点がある。
本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、電
子線装置において高い検出能を保持しながら安定かつ高
速性の優れた自動焦点調節法を提供することを目的とす
る。
子線装置において高い検出能を保持しながら安定かつ高
速性の優れた自動焦点調節法を提供することを目的とす
る。
本発明は、焦点の状態を検出するのに焦点検出能の優れ
た微分法を利用し、微分法の採用にともなって生ずる焦
点検出の不安定さに対しては多数の焦点検出信号に対し
て曲線近似を行ない、その近似曲線を利用して最終的な
焦点検出を行なう方法を採用することによって解決した
ものである。
た微分法を利用し、微分法の採用にともなって生ずる焦
点検出の不安定さに対しては多数の焦点検出信号に対し
て曲線近似を行ない、その近似曲線を利用して最終的な
焦点検出を行なう方法を採用することによって解決した
ものである。
更に１回の曲線近似で合焦点が検出できなかった場合は
、その曲線から得られる結果を利用して再度焦点検出信
号の抽出、曲線近イ讐点検出の一連の動作をくり返し最
終的に合焦点検出を行なう方法も併用するものである。
、その曲線から得られる結果を利用して再度焦点検出信
号の抽出、曲線近イ讐点検出の一連の動作をくり返し最
終的に合焦点検出を行なう方法も併用するものである。
最初に本発明の原理について説明する。
第１図（ａ）に示すように、例えばＡｕで作られたター
ゲット又はマーク２を電子ビーム１で矢印の方向に走査
し、その時の反射電子（あるいは２次電子、透過電子）
を半導体検出器ＳＳＤで検出し電気信号に変換すると、
同図（ｂ）に示すようなマーク波形信号が得られる。こ
の波形信号を１回微分すると同図（Ｃ）のような電子ビ
ームの寸法に対応する１回微分信号（１次微分信号）が
得られ、その信号を更に微分、すなわち２回微分すると
、同図（ｄ）のような電子ビームの分布の鋭さを示す２
回微分信号（２次微分信号）が得られる。つまり２回微
分信号の最大値を尖鋭度とすると、この尖鋭度の値はビ
ームのボケに逆比例する。即ち、焦点が合っている場合
はこの尖鋭度の値は大きく、逆に焦点が合っていない場
合は上記の値が小さくなる。
ゲット又はマーク２を電子ビーム１で矢印の方向に走査
し、その時の反射電子（あるいは２次電子、透過電子）
を半導体検出器ＳＳＤで検出し電気信号に変換すると、
同図（ｂ）に示すようなマーク波形信号が得られる。こ
の波形信号を１回微分すると同図（Ｃ）のような電子ビ
ームの寸法に対応する１回微分信号（１次微分信号）が
得られ、その信号を更に微分、すなわち２回微分すると
、同図（ｄ）のような電子ビームの分布の鋭さを示す２
回微分信号（２次微分信号）が得られる。つまり２回微
分信号の最大値を尖鋭度とすると、この尖鋭度の値はビ
ームのボケに逆比例する。即ち、焦点が合っている場合
はこの尖鋭度の値は大きく、逆に焦点が合っていない場
合は上記の値が小さくなる。
第２図に電子光学系の焦点調整と２回微分信号例を示す
。同図（ａ）は１回微分波形、（ｂ）は２回微分波形で
ある。この図において、真中の波形が合焦点時の２回微
分信号である。その左右の波形は、それぞれ下方、上方
に（この例では）１００μｍの焦点ずれを生起した場合
を示す。
。同図（ａ）は１回微分波形、（ｂ）は２回微分波形で
ある。この図において、真中の波形が合焦点時の２回微
分信号である。その左右の波形は、それぞれ下方、上方
に（この例では）１００μｍの焦点ずれを生起した場合
を示す。
第３図に電子光学系の焦点面を物面の上下１２０μｍの
範囲に６０μｍステップで５段階変化（同図（Ｃ）は２
次微分波形図で、各波形の１サイクルが１段階分に相当
）させ、その各ステップ毎に得られる２回微分信号の最
大値即ち尖鋭度を抽出し、それらの尖鋭度に対して２次
曲線近似を施した結果の一例を示す。この図より近似曲
線（ａ）の最大値（ｂ）が合焦点（焦点誤差Ｏの時）と
一致していることが分る。
範囲に６０μｍステップで５段階変化（同図（Ｃ）は２
次微分波形図で、各波形の１サイクルが１段階分に相当
）させ、その各ステップ毎に得られる２回微分信号の最
大値即ち尖鋭度を抽出し、それらの尖鋭度に対して２次
曲線近似を施した結果の一例を示す。この図より近似曲
線（ａ）の最大値（ｂ）が合焦点（焦点誤差Ｏの時）と
一致していることが分る。
次に本発明を電子線描画装置で採用した場合における具
体例について説明する。上記の装置では通常焦点調整用
レンズとしてＯ，ＯＳの２つがある。まず最初、Ｏレン
ズの電流値工０をあらかじめ決められている値に設定す
る。その状態でＯＳレンズの電流値ＩＯ＋１を９段階に
変化させ、各１段階た尖鋭度に対して２次、ないし３次
曲線のあてほめを行ない、この近似曲線の最大値が９点
のＩｏｓ変化幅の真中付近で発生しているかどうかを訓
ぺる。真中付近に発生していれば合焦点を検出したこと
になるのでその時のＩｏｓを抽出し、ＯＳレンズをあら
かじめ決められた一定値Ｉｏｓｚ（例えば零）にすると
同時に、抽出された電流値Ｉ ｏ ｓ ’ｅ Ｏレンズ
の電流値に換算しくＩＯ［ＩとＩｏの換算式はあらかじ
め決められている。）、その電流値Ｉｏｊを０レンズに
流すことにより同じ位置に焦点が合うようにする。
体例について説明する。上記の装置では通常焦点調整用
レンズとしてＯ，ＯＳの２つがある。まず最初、Ｏレン
ズの電流値工０をあらかじめ決められている値に設定す
る。その状態でＯＳレンズの電流値ＩＯ＋１を９段階に
変化させ、各１段階た尖鋭度に対して２次、ないし３次
曲線のあてほめを行ない、この近似曲線の最大値が９点
のＩｏｓ変化幅の真中付近で発生しているかどうかを訓
ぺる。真中付近に発生していれば合焦点を検出したこと
になるのでその時のＩｏｓを抽出し、ＯＳレンズをあら
かじめ決められた一定値Ｉｏｓｚ（例えば零）にすると
同時に、抽出された電流値Ｉ ｏ ｓ ’ｅ Ｏレンズ
の電流値に換算しくＩＯ［ＩとＩｏの換算式はあらかじ
め決められている。）、その電流値Ｉｏｊを０レンズに
流すことにより同じ位置に焦点が合うようにする。
一方、近似曲線の最大値が真中付近になければ、その時
求まった最大値に対応するＯＳレンズの電流値全参考に
し、０レンズの電流値工０を少し変化させ同様の方法で
焦点検出する。この合焦点を検出する回数はあらかじめ
決められているので、その回数内で合焦点検出が出来な
い場合は検出不能としてオペレータに知らせる。
求まった最大値に対応するＯＳレンズの電流値全参考に
し、０レンズの電流値工０を少し変化させ同様の方法で
焦点検出する。この合焦点を検出する回数はあらかじめ
決められているので、その回数内で合焦点検出が出来な
い場合は検出不能としてオペレータに知らせる。
第４図にかかる焦点検出および調整の様子の一例を示す
。図の例ではＸ方向の合焦点検出に４回かかつており、
同図（ａ）に示すように第１回目のＯレンズの電流値Ｉ
ｏが１６４．３ｍＡであったものが、合焦点時には（ｄ
）に示すように１６２．９ｍＡ、ＯＳレンズの電流値の
変化範囲は４回とも同じ一１００ｍＡ〜１００ｍＡどな
っている。なお同図（ｂ）、 （ｃ）は、隆。
。図の例ではＸ方向の合焦点検出に４回かかつており、
同図（ａ）に示すように第１回目のＯレンズの電流値Ｉ
ｏが１６４．３ｍＡであったものが、合焦点時には（ｄ
）に示すように１６２．９ｍＡ、ＯＳレンズの電流値の
変化範囲は４回とも同じ一１００ｍＡ〜１００ｍＡどな
っている。なお同図（ｂ）、 （ｃ）は、隆。
鷺れだれＸ方向の第２回目、第３回目のＩｏの変化を示
す。かくして、Ｘ方向の合焦点がまると、その時のＩｏ
でＹ方向の焦点も合っているかどうか調らべる。これは
非点の状態をチェックするためでＳリ−両者の電流差が
許容値内ならば両者の平均値でもって合焦点電流値とし
、許容値を越えた時は非点大としてオペレータに知らせ
る。第４図の例ではＸ方向の焦点調整後、同図（ｅ）に
示すように１回でＹ方向の合焦点検出が終了しており、
非点が許容値内に入っていることが分る。
す。かくして、Ｘ方向の合焦点がまると、その時のＩｏ
でＹ方向の焦点も合っているかどうか調らべる。これは
非点の状態をチェックするためでＳリ−両者の電流差が
許容値内ならば両者の平均値でもって合焦点電流値とし
、許容値を越えた時は非点大としてオペレータに知らせ
る。第４図の例ではＸ方向の焦点調整後、同図（ｅ）に
示すように１回でＹ方向の合焦点検出が終了しており、
非点が許容値内に入っていることが分る。
第５図は本発明の一実施例である。図において、１は電
子ビーム、２は試料台に設けられた金（Ａｕ）等のマー
ク、３’ 、３“は反射電子（あるいは２次電子）の検
出器、４，５はビームを走査するためのＸ、Ｙ偏向器、
６’ 、６“は電流−電圧変換器、７は加算器、８はア
ナログ−ディジタル変換器（Ａ／Ｄ変換器）、９．１０
，１６．１７吋ディジタル−アナログ変換器（Ｄ／Ａ変
換器）、１１．１２は偏向データを与えるカウンタ、１
３は入力信号のデータ確立のだめのラッチメモリ、１４
は焦点レンズ０１１５は他の焦点レンズ０８１１．８．
１９はＯレンズ、およびＯＳレンズの電流値Ｉｏ 、
Ｉｏｓｉ与えるデータを一時記憶するラッチメモリ、２
０はＺｏｓを例えば９段階変化させた時に得られるマー
ク波形信号を記憶するメモリ、２１は波形信号に対して
２次微分処理を行なうだめの積和演算を行なう微分回路
、２２は各２次微分信号Ｑの最大値即ち尖鋭度Ｑ＋（ｉ
＝１〜ｍ１この例ではｍ＝９）を抽出するため最大値検
出回路、２３はＱ１〜ＱＩＴｌ′ｆニ一時記憶するメモ
リ、２４はマイクロコンピュータ等で構成される制御回
路であり、近似曲線 （この例では、ｎ＝３） 全決定し、かつＱｍ、、にめ、更にＱ■ｘの時のＯＳＳ
コイルミＩ Ｏｌｌ ｍａｘ をめる。
子ビーム、２は試料台に設けられた金（Ａｕ）等のマー
ク、３’ 、３“は反射電子（あるいは２次電子）の検
出器、４，５はビームを走査するためのＸ、Ｙ偏向器、
６’ 、６“は電流−電圧変換器、７は加算器、８はア
ナログ−ディジタル変換器（Ａ／Ｄ変換器）、９．１０
，１６．１７吋ディジタル−アナログ変換器（Ｄ／Ａ変
換器）、１１．１２は偏向データを与えるカウンタ、１
３は入力信号のデータ確立のだめのラッチメモリ、１４
は焦点レンズ０１１５は他の焦点レンズ０８１１．８．
１９はＯレンズ、およびＯＳレンズの電流値Ｉｏ 、
Ｉｏｓｉ与えるデータを一時記憶するラッチメモリ、２
０はＺｏｓを例えば９段階変化させた時に得られるマー
ク波形信号を記憶するメモリ、２１は波形信号に対して
２次微分処理を行なうだめの積和演算を行なう微分回路
、２２は各２次微分信号Ｑの最大値即ち尖鋭度Ｑ＋（ｉ
＝１〜ｍ１この例ではｍ＝９）を抽出するため最大値検
出回路、２３はＱ１〜ＱＩＴｌ′ｆニ一時記憶するメモ
リ、２４はマイクロコンピュータ等で構成される制御回
路であり、近似曲線 （この例では、ｎ＝３） 全決定し、かつＱｍ、、にめ、更にＱ■ｘの時のＯＳＳ
コイルミＩ Ｏｌｌ ｍａｘ をめる。
（１）式における１）ｎｋは、最小自乗法を用いて（こ
こでｒ ＝ Ｑｍｎ） よりめられる。ここでｒ ＝ Ｑｍｎ まず最初に、制御回路２４よりラッチメモリ１８．１９
にデータを与えＯおよび第１回目のＯＳレンズの電流値
を設定する。続いて１１゜１２に偏向データを与え電子
ビームｌで３のマークを走査し波形信号を得る。続いて
第２回目のＯＳレンズの電流値を設定し、同様の方法で
波形める。以上のようにして波形信号の取込みと尖鋭度
の抽出を同時に行なう。
こでｒ ＝ Ｑｍｎ） よりめられる。ここでｒ ＝ Ｑｍｎ まず最初に、制御回路２４よりラッチメモリ１８．１９
にデータを与えＯおよび第１回目のＯＳレンズの電流値
を設定する。続いて１１゜１２に偏向データを与え電子
ビームｌで３のマークを走査し波形信号を得る。続いて
第２回目のＯＳレンズの電流値を設定し、同様の方法で
波形める。以上のようにして波形信号の取込みと尖鋭度
の抽出を同時に行なう。
ＩｏｓＯ値を９段階に変化させたのち（２）式を使って
ｂ ３０ ”” ｂ ３３の係数をめ、（１）式を完成
させる。
ｂ ３０ ”” ｂ ３３の係数をめ、（１）式を完成
させる。
次に（１）式を使って尖鋭度の最大値Ｑ□ｘ１およびＩ
Ｏ［１ｍａｘをめる。このＩ ０８ｍａｙに対応する
Ｏレンズの電流値Ｉｏｊ をめ、そのデータを１８のラ
ッチメモリに転送する。この時Ｉ ０８ｍ瓢ｘが９段階
に変化させたＩｏｇ値ｌ０８１〜工０８９の中間値Ｉ
ｏｓ５付近ならば合焦点検出が終了したとじてＯＳレン
ズの電流値をあらかじめ定められた一定値■ｏａｔに設
定する。一方、ＩＯｌｌｍａＸがＩｏｓｓ付近にない場
合は合焦点が未検出として、０レンズの電流値に■ｏｊ
にして再度、Ｉｏｓ′ｆ：９段階に変化させ、各段階で
のマーク波形信号の取込みからＱ ＋ｎａｘ 、 Ｉｏ
ｓｍａｘの抽出までの一連の動作をくり返す。また、Ｘ
方向の焦点検出および焦点調整が終了するとＹ方向の焦
点検出、調整を行なう。
Ｏ［１ｍａｘをめる。このＩ ０８ｍａｙに対応する
Ｏレンズの電流値Ｉｏｊ をめ、そのデータを１８のラ
ッチメモリに転送する。この時Ｉ ０８ｍ瓢ｘが９段階
に変化させたＩｏｇ値ｌ０８１〜工０８９の中間値Ｉ
ｏｓ５付近ならば合焦点検出が終了したとじてＯＳレン
ズの電流値をあらかじめ定められた一定値■ｏａｔに設
定する。一方、ＩＯｌｌｍａＸがＩｏｓｓ付近にない場
合は合焦点が未検出として、０レンズの電流値に■ｏｊ
にして再度、Ｉｏｓ′ｆ：９段階に変化させ、各段階で
のマーク波形信号の取込みからＱ ＋ｎａｘ 、 Ｉｏ
ｓｍａｘの抽出までの一連の動作をくり返す。また、Ｘ
方向の焦点検出および焦点調整が終了するとＹ方向の焦
点検出、調整を行なう。
上述から分るように合焦点検出の判定は、ｌ Ｉｏａｍ
−ｘ Ｉ。８５１≦α で行なわれ、この判定パラメータはあらかじめ与えられ
、本実施例ではα＝ ５ Ｉｎ Ａを使用した。
−ｘ Ｉ。８５１≦α で行なわれ、この判定パラメータはあらかじめ与えられ
、本実施例ではα＝ ５ Ｉｎ Ａを使用した。
以上詳述したように、本発明によれば、電子レンズの焦
点距離をｍ点ステップ状に変化させ、各ステップにおけ
る検出信号波形から抽出された焦点情報により焦点外れ
の状態をめ、かつこれらの量を最小自乗法を用いてｎ次
の多項式に近似し、この近似式から最適の位置をめ、そ
の結果を電子レンズに帰還せしめて電子レンズを調節す
るように構成するこ、とにより、焦点検出と焦点調整が
安定に、かつ高分解能で実施することが出来る。
点距離をｍ点ステップ状に変化させ、各ステップにおけ
る検出信号波形から抽出された焦点情報により焦点外れ
の状態をめ、かつこれらの量を最小自乗法を用いてｎ次
の多項式に近似し、この近似式から最適の位置をめ、そ
の結果を電子レンズに帰還せしめて電子レンズを調節す
るように構成するこ、とにより、焦点検出と焦点調整が
安定に、かつ高分解能で実施することが出来る。
そして、特に、上記の場合、ｍ≧５．ｎ≦３の時に、安
定かつ高速に焦点調節が可能となる。
定かつ高速に焦点調節が可能となる。
また、焦点検出時にＯ８電流のサンプル点を多数採用す
る必要がなく、近似の多項式を決定するに必要なサンプ
ル点で十分であり、多数点をサンプルしなくても近似曲
線で最適値が得られるため処理時間が大巾に短縮される
。すなわち、本発明によれば焦点検出と焦点調整が短時
間で実施することが出来る。
る必要がなく、近似の多項式を決定するに必要なサンプ
ル点で十分であり、多数点をサンプルしなくても近似曲
線で最適値が得られるため処理時間が大巾に短縮される
。すなわち、本発明によれば焦点検出と焦点調整が短時
間で実施することが出来る。
このように、本発明は、電子線等を電子レンズを介して
ターゲット上で偏向走査し、反射電子、２次電子あるい
は透過電子全検出し、その検出信号から電子線の焦点状
態を認識するように構成された電子線装置、例えば電子
線露光装置や走査型電子顕微鏡などに適用して極めて有
効なものであるが、その基本的考え方は、これらの電子
線装置に限らず例えばレーザ光等の焦点検出やイオン線
等を用いた荷電粒子線装置において適用しても有効であ
る。
ターゲット上で偏向走査し、反射電子、２次電子あるい
は透過電子全検出し、その検出信号から電子線の焦点状
態を認識するように構成された電子線装置、例えば電子
線露光装置や走査型電子顕微鏡などに適用して極めて有
効なものであるが、その基本的考え方は、これらの電子
線装置に限らず例えばレーザ光等の焦点検出やイオン線
等を用いた荷電粒子線装置において適用しても有効であ
る。
第１図、第２図、第３図１．第４図は、本発明の詳細な
説明する図、第５図は本発明の一実施例を示すブロック
図である。 １・・・電子ビーム、２・・・々−り ３ ／ 、３／
／・・・検出器、４，５・・・Ｘ、Ｙ偏向器、６′、６
“・・・電流−電圧変換器、７・・・加算器、８・・・
Ａ／Ｄ変換器、９゜１０・・・Ｄ／Ａ変換器、１１．１
２・・・カウンタ、１３・・・ラッチメモリ、１４・・
・焦点レンズ０１１５・・・他の焦点レンズＯ８，１６
，１７・・・Ｄ／Ａ変換器、１８．１９・・・ラッチメ
モリ、２０・・・メモリ、２１・・・微分回路、２２・
・・最大値検出回路、２３・・・メモリ、２４・・・制
御回路。 第 １ 口 （ＩＬ） 遁 ２ 図 （ＩＬ２ 下ｉ１”、ｎ 会焦、恢 工刀ずれ 第 ３１２］ 、気２気本呉差情−） 第 ４− 口 （幻 Ｊ、β Ｉ。 （す Ｉｅ、＝ １゜ 第 ５ 口 第１頁の続き ０発 明 者 小 笹 進 ［ ＠発明者 高木 喜− ［相］発明者 大久保 恒夫 １ 凹分寺市東恋ケ窪１丁目２８幡地 株式会社日立製作所
中訴内 ダ木市小野１８３１番地 日本電信電話公社厚木電気通
信研究折内
説明する図、第５図は本発明の一実施例を示すブロック
図である。 １・・・電子ビーム、２・・・々−り ３ ／ 、３／
／・・・検出器、４，５・・・Ｘ、Ｙ偏向器、６′、６
“・・・電流−電圧変換器、７・・・加算器、８・・・
Ａ／Ｄ変換器、９゜１０・・・Ｄ／Ａ変換器、１１．１
２・・・カウンタ、１３・・・ラッチメモリ、１４・・
・焦点レンズ０１１５・・・他の焦点レンズＯ８，１６
，１７・・・Ｄ／Ａ変換器、１８．１９・・・ラッチメ
モリ、２０・・・メモリ、２１・・・微分回路、２２・
・・最大値検出回路、２３・・・メモリ、２４・・・制
御回路。 第 １ 口 （ＩＬ） 遁 ２ 図 （ＩＬ２ 下ｉ１”、ｎ 会焦、恢 工刀ずれ 第 ３１２］ 、気２気本呉差情−） 第 ４− 口 （幻 Ｊ、β Ｉ。 （す Ｉｅ、＝ １゜ 第 ５ 口 第１頁の続き ０発 明 者 小 笹 進 ［ ＠発明者 高木 喜− ［相］発明者 大久保 恒夫 １ 凹分寺市東恋ケ窪１丁目２８幡地 株式会社日立製作所
中訴内 ダ木市小野１８３１番地 日本電信電話公社厚木電気通
信研究折内
Claims (1)
- １、電子線を電子レンズを介してターゲット上で偏向走
査し反射電子、２次電子あるいは透過電子を検出し、そ
の検出信号から電子線の焦点状態を認識するように構成
された電子線装置において、前記電子レンズの焦点距離
をｍ点ステップ状に変化させ、各ステップにおける前記
検出信号から抽出された焦点情報により焦点外れの状態
をめ、かつこれらの量を最小自乗法を用いてｎ次の多項
式に近似し、該近似式から最適の位置をめその結果を前
記電子レンズに帰還せしめて、前記電子レンズを調節す
る如く構成したことを特徴とする電子線装置における自
動焦点調節法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58160521A JPH0646554B2 (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 電子線装置における自動焦点調節法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58160521A JPH0646554B2 (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 電子線装置における自動焦点調節法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6054152A true JPS6054152A (ja) | 1985-03-28 |
| JPH0646554B2 JPH0646554B2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=15716751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58160521A Expired - Lifetime JPH0646554B2 (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 電子線装置における自動焦点調節法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0646554B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62203485A (ja) * | 1986-03-04 | 1987-09-08 | Canon Inc | 焦点検出装置 |
| JPS6385615A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-16 | Canon Inc | 自動焦点調節方法 |
| JPH01283757A (ja) * | 1988-05-11 | 1989-11-15 | Jeol Ltd | 自動焦点合わせ方式 |
| US5130540A (en) * | 1990-07-17 | 1992-07-14 | Jeol Ltd. | Method and apparatus for automatic focusing of scanning electron microscope |
| US5446494A (en) * | 1986-03-04 | 1995-08-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Focus detecting system |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53128975A (en) * | 1977-04-15 | 1978-11-10 | Shimadzu Corp | Automatic focus control device for scanning type electron beam device and others |
| JPS567341A (en) * | 1979-06-29 | 1981-01-26 | Jeol Ltd | Automatic astigmatism compensation and focussing in scanning electron microscope |
| JPS5641663A (en) * | 1979-09-12 | 1981-04-18 | Akashi Seisakusho Co Ltd | Focusing method and its device for scanning electron microscope and the like |
-
1983
- 1983-09-02 JP JP58160521A patent/JPH0646554B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS53128975A (en) * | 1977-04-15 | 1978-11-10 | Shimadzu Corp | Automatic focus control device for scanning type electron beam device and others |
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| JPS5641663A (en) * | 1979-09-12 | 1981-04-18 | Akashi Seisakusho Co Ltd | Focusing method and its device for scanning electron microscope and the like |
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| US5446494A (en) * | 1986-03-04 | 1995-08-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Focus detecting system |
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| JPH01283757A (ja) * | 1988-05-11 | 1989-11-15 | Jeol Ltd | 自動焦点合わせ方式 |
| US5130540A (en) * | 1990-07-17 | 1992-07-14 | Jeol Ltd. | Method and apparatus for automatic focusing of scanning electron microscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0646554B2 (ja) | 1994-06-15 |
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