JP6882097B2 - 走査電子顕微鏡の操作パラメータを検証する方法 - Google Patents
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Description
本発明の一態様は、前記パターンにコーナーラウンド処理を施す工程をさらに含むことを特徴とする。
本発明の一態様は、前記操作パラメータは、焦点パラメータ、非点収差補正パラメータ、およびレンズアライメント補正パラメータのいずれか1つであることを特徴とする。
図1は、走査電子顕微鏡を備えた画像生成システムの一実施形態を示す模式図である。図1に示すように、画像生成システムは、走査電子顕微鏡100と、走査電子顕微鏡の動作を制御するコンピュータ150とを備えている。走査電子顕微鏡100は、一次電子(荷電粒子)からなる電子ビームを発する電子銃111と、電子銃111から放出された電子ビームを収束する集束する集束レンズ112、電子ビームをX方向に偏向するX偏向器113、電子ビームをY方向に偏向するY偏向器114、電子ビームを試料であるウェーハ124にフォーカスさせる対物レンズ115を有する。
111 電子銃
112 集束レンズ
113 X偏向器
114 Y偏向器
115 対物レンズ
116 レンズ制御装置
117 偏向制御装置
118 画像取得装置
120 試料チャンバー
121 XYステージ
122 ステージ制御装置
124 ウェーハ
130 二次電子検出器
131 反射電子検出器
140 ウェーハ搬送装置
150 コンピュータ
161 設計データベース
162 記憶装置
163 入力装置
164 表示装置
Claims (3)
- 走査電子顕微鏡の操作パラメータを検証する方法であって、
設計データから選択されたパターンのエッジの第1方向の長さと、該第1の方向と垂直な第2方向の長さとの比を決定し、
走査電子顕微鏡の操作パラメータを変えながら、前記パターンの複数の画像を前記走査電子顕微鏡で生成し、
前記複数の画像のそれぞれの前記第1方向におけるエッジ先鋭度と、前記複数の画像のそれぞれの前記第2方向におけるエッジ先鋭度を算出し、
前記第1方向におけるエッジ先鋭度のピーク値と、前記第2方向におけるエッジ先鋭度のピーク値との比を決定し、
前記ピーク値の比が前記エッジの長さの比と一致しない場合に警報を発することを特徴とする方法。 - 前記パターンにコーナーラウンド処理を施す工程をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記操作パラメータは、焦点パラメータ、非点収差補正パラメータ、およびレンズアライメント補正パラメータのいずれか1つであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
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