JP2007157719A - 粒子光学レンズの収差関数における収差係数の決定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、一組のロンキーテストを用いることによって、レンズ収差係数を定量化する方法を改善する一組のアルゴリズムについて説明する。
【選択図】 図2
Description
・アモルファス試料に試料微細部分を供する手順、
・粒子ビームを供する手順、
・当該ビームを試料近傍に集光するレンズを供する手順、
・複数の試料微細部分の像を示す1次透過ロンキーテストを検出する手順、
・既知の量だけビームパラメータを変化させる手順、
・ほぼ同一の試料微細部分の像を示す2次透過ロンキーテストを検出する手順、
を有する。
・レンズの像平面内における位置の関数である収差関数の1次導関数は、その係数が決定されている多項関数として定義される。
・複数の試料微細部分では、試料微細部分像の位置が各ロンキーテストについて決定され、複数の位置の対を与える。
・これらの位置及び、変化するビームパラメータの型に依存したアルゴリズムを利用して一組の方程式を解くことによって、多項関数の係数が決定される。
焦点ずれΔC1の場合、
102 光軸
103 粒子線
104 ガウス型焦点
105 投影スクリーン
106 距離
110 第1試料面
111 第1部位
112 第1部位のスクリーン上の位置
113 第2部位
114 第2部位のスクリーン上の位置
115 交差粒子線
120 別な試料面
121 移動した第1部位の位置
122 移動した第1部位のスクリーン上の位置
123 移動した第2部位の位置
124 移動した第2部位のスクリーン上の位置
125 粒子線
200 STEM
202 光軸
204 電子源
206 集束光学系
208 補正器
210 偏向ユニット
212 対物レンズ
214 試料位置
216 投影光学系
218 蛍光層
220 カメラ
222 ファイバ光学系
224 コレクタ、コントローラ
Claims (10)
- 粒子光学レンズの収差関数の収差係数を決定する方法であって:
試料微細部分を有するアモルファス試料を供する手順;
粒子ビームを供する手順;
前記試料近傍で前記ビームを集束させるレンズを供する手順;
複数の試料微細部分の像を示す第1透過ロンキーテストを記録する手順;
既知の量だけビームパラメータを変更する手順;
ほぼ同一の前記試料微細部分の像を示す第2透過ロンキーテストを記録する手順;
を有し、
前記レンズの像平面での位置の関数である前記収差関数の1次導関数が、係数の決定された多項関数で定義される;
複数の試料微細部分について、前記試料微細部分の像の位置が各ロンキーテストで決定されることで複数の位置の対を与える;
前記の位置の対及び、変更されるビームパラメータの種類に依存するアルゴリズムを利用して、前記多項関数の係数が一組の方程式を解くことによって決定される;
ことを特徴とする方法。 - 前記のビームパラメータ変化が、前記試料に対するビームの角度変化を含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記のビームパラメータ変化が、レンズの焦点距離の変化を含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記のビームパラメータ変化が、前記試料に対する前記ビームの移動を含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記変化が、静電場又は磁場の変化によって引き起こされることを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1つに記載の方法。
- 前記のビームパラメータ変化が、前記ビームのエネルギー変化を含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記試料微細部分の相対変位が決定される前に、第2ロンキーテストで記録されるすべての部位の位置が、予想された移動量で空間的に事前調節されることを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1つに記載の方法。
- 補正器が、前記の決定された収差係数に基づいて調節されることを特徴とする、上記請求項のうちのいずれか1つに記載の方法。
- 上記請求項のうちのいずれか1つに記載の方法を実行するために備えられている粒子光学装置。
- 請求項9に記載の装置で、請求項1から8までのうちのいずれか1つに記載の方法を自動的に実行するためのソフトウエア。
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