JPS6052081A - 炭酸ガスレ−ザ発振器のガス交換装置 - Google Patents
炭酸ガスレ−ザ発振器のガス交換装置Info
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- JPS6052081A JPS6052081A JP16066083A JP16066083A JPS6052081A JP S6052081 A JPS6052081 A JP S6052081A JP 16066083 A JP16066083 A JP 16066083A JP 16066083 A JP16066083 A JP 16066083A JP S6052081 A JPS6052081 A JP S6052081A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、炭酸ガスレーザ発振器における混合ガスを
交換する装置の改良に関するものである。
交換する装置の改良に関するものである。
従来の炭酸ガスレーザ発振器として、ＣＯ２，Ｎ２゜Ｈ
ｅの３種の混合ガスでレーザ発振動作をさせるものが知
られておシ、このものは、レーザ発振器内へそれぞれの
ガスボンベよシ一定の混合割合及び一定の圧力にて各ガ
スを供給し、レーザ発振の励起動作後はすべてのガス全
便い捨てていた。炭酸ガスレーザ発振の場合、レーザ発
振の励起法は放電によシ行われるが、周知の様に、レー
ザ発振の励起を行う００２分子は放電により次の様に解
離する。
ｅの３種の混合ガスでレーザ発振動作をさせるものが知
られておシ、このものは、レーザ発振器内へそれぞれの
ガスボンベよシ一定の混合割合及び一定の圧力にて各ガ
スを供給し、レーザ発振の励起動作後はすべてのガス全
便い捨てていた。炭酸ガスレーザ発振の場合、レーザ発
振の励起法は放電によシ行われるが、周知の様に、レー
ザ発振の励起を行う００２分子は放電により次の様に解
離する。
ＣＯ□＝二〇〇＋０
そこで、従来むだに捨てられていた解離した混合ガスを
、触媒等を用いてＣ０２へ部分的に再生し、放電励起部
分へ再循環させて不足分を補充する方法が知られている
。また、ＣＯ７よシＣＯへの解離が予定され、解離平衡
が成立するＣＯ□に対する約半量モル比ＯＣＯヲあらか
じめ混合ガス中に混入サセ、ＣＯ，、ＣＯ、Ｎ２． Ｈ
ｅの４種の混合ガスを約５０〜１５０Ｔｏｒｒの圧力下
に真空容器中に封じ込め、放電励起部分へ循環流させて
レーザ発振動作をさせる方法も提案されている。
、触媒等を用いてＣ０２へ部分的に再生し、放電励起部
分へ再循環させて不足分を補充する方法が知られている
。また、ＣＯ７よシＣＯへの解離が予定され、解離平衡
が成立するＣＯ□に対する約半量モル比ＯＣＯヲあらか
じめ混合ガス中に混入サセ、ＣＯ，、ＣＯ、Ｎ２． Ｈ
ｅの４種の混合ガスを約５０〜１５０Ｔｏｒｒの圧力下
に真空容器中に封じ込め、放電励起部分へ循環流させて
レーザ発振動作をさせる方法も提案されている。
しかるに、上述の様な各方法には、下記に述べる様な欠
点があった。まず、触媒を用いる方法では、ヒータ等の
加熱装置を使用するため、運転開始よル混合ガスが安定
するまでに約３０分根度のウオーミングアツプ時間が入
用となシ、触媒の劣化、変換等の監視作業を行わなけれ
ばならない土に、再生能力が低いため高価なガスを多量
に補充する必要があった。現在、この方法によるレーザ
出力５００ Ｗレベルのレーザ発振器では、混合ガスの
消費量は約３０〜５０１．／Ｈｒである。次に、４種の
混合ガスを真空容器内に封じ込めてレーザ発振動作をさ
せる方法では、真空容器の漏れや、真空容器中の使用材
料からの放出ガスの影響、あるいは放電解離する遊離酸
素と真空容器中の使用材料との結合によシ、ＣＯ２の減
少等の作用によって徐々に混合ガスが劣化し、レーザ出
力が減少するため、約１００時間ごとに新しいガスと交
換をする必要があった。現在、この方法によるレーザ出
力５００Ｗレベルのレーザ発振器では、混合ガスの消費
量は約０．５〜１ ｔ／１−１ｒである。
点があった。まず、触媒を用いる方法では、ヒータ等の
加熱装置を使用するため、運転開始よル混合ガスが安定
するまでに約３０分根度のウオーミングアツプ時間が入
用となシ、触媒の劣化、変換等の監視作業を行わなけれ
ばならない土に、再生能力が低いため高価なガスを多量
に補充する必要があった。現在、この方法によるレーザ
出力５００ Ｗレベルのレーザ発振器では、混合ガスの
消費量は約３０〜５０１．／Ｈｒである。次に、４種の
混合ガスを真空容器内に封じ込めてレーザ発振動作をさ
せる方法では、真空容器の漏れや、真空容器中の使用材
料からの放出ガスの影響、あるいは放電解離する遊離酸
素と真空容器中の使用材料との結合によシ、ＣＯ２の減
少等の作用によって徐々に混合ガスが劣化し、レーザ出
力が減少するため、約１００時間ごとに新しいガスと交
換をする必要があった。現在、この方法によるレーザ出
力５００Ｗレベルのレーザ発振器では、混合ガスの消費
量は約０．５〜１ ｔ／１−１ｒである。
この発明は、上記の様な従来のものの欠点を改 ３−
善する目的テナされたもノテ、ＣＯ，、Ｃｏ 、 Ｎ２
． ｆ（ｅの４種の混合ガスを真空容器中に、−足圧力
ニに封じ込めてレーザ発振動作を行わせる炭酸ガスレー
ザ発振器において、前記真空容器よ）前記混合ガスを連
続的に吸引する真空ポンプと、前記真空容器の内圧力を
検出する圧力検出器と、混合ガスボンベよシ前記真空容
器に至る混合ガス導入径路中に制御弁をそれぞれ設け、
前記圧力検出器の信号によル前記制御弁を駆動し、前記
真空容器中の混合ガス圧力を一定にする様に動作させる
構成を有し、混合ガスの消費量が少なく、しかもレーザ
発振出力が安定した炭酸ガスレーザ発振器のガス変換装
置を提供するものである。
． ｆ（ｅの４種の混合ガスを真空容器中に、−足圧力
ニに封じ込めてレーザ発振動作を行わせる炭酸ガスレー
ザ発振器において、前記真空容器よ）前記混合ガスを連
続的に吸引する真空ポンプと、前記真空容器の内圧力を
検出する圧力検出器と、混合ガスボンベよシ前記真空容
器に至る混合ガス導入径路中に制御弁をそれぞれ設け、
前記圧力検出器の信号によル前記制御弁を駆動し、前記
真空容器中の混合ガス圧力を一定にする様に動作させる
構成を有し、混合ガスの消費量が少なく、しかもレーザ
発振出力が安定した炭酸ガスレーザ発振器のガス変換装
置を提供するものである。
以下、この発明の実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の一実施例である炭酸ガスレーザ発振
器のガス変換装置を示す概略構成図である。
器のガス変換装置を示す概略構成図である。
図において、１は真空容器、２ａ ＋ ２ｂは真空容器
１内に設けられた１対の電極、３は送風機、４は全反射
鏡、５は゛部分反射鏡である。６ａは真空 ４− 容器１よシ内部ガスを適時に吸引、排気する大型の真空
ポンプ（Ｐｌ）、６ｂは真空容器１よシ内部ガスをレー
ザ発振動作時に連続的に吸引、排気する小製の真空ポン
プ（Ｐ、）、７は真空容器１へ供給されるレーザ媒質ガ
スであるＣＯ，、ＣＯ、Ｎ、 、 Ｈｅの４種の混合ガ
スが充てんされた混合ガスボンベ、８は圧力調整器であ
る。９は大型の真空ポンプ（ｐ、）６ａの吸い込み口設
けた元弁、１ｏａ １１０ｂ １１０Ｃｉ１１．小型の
真空ポンプ（Ｐ、 ） ６ ｂの吸い込み導管、混合ガ
スボンベ７よシ真空容器１への混合ガス供給導管、及び
バイパス管にそれぞれ設けられり各電磁弁（８１） 、
（Ｓｔ） 、 （Ｓｓ）、ｌｌａ 、 ｌｌｂは絞シ
弁、１２は真空容器１内の圧力を検出する圧力検出器、
１３は制御装置である。
１内に設けられた１対の電極、３は送風機、４は全反射
鏡、５は゛部分反射鏡である。６ａは真空 ４− 容器１よシ内部ガスを適時に吸引、排気する大型の真空
ポンプ（Ｐｌ）、６ｂは真空容器１よシ内部ガスをレー
ザ発振動作時に連続的に吸引、排気する小製の真空ポン
プ（Ｐ、）、７は真空容器１へ供給されるレーザ媒質ガ
スであるＣＯ，、ＣＯ、Ｎ、 、 Ｈｅの４種の混合ガ
スが充てんされた混合ガスボンベ、８は圧力調整器であ
る。９は大型の真空ポンプ（ｐ、）６ａの吸い込み口設
けた元弁、１ｏａ １１０ｂ １１０Ｃｉ１１．小型の
真空ポンプ（Ｐ、 ） ６ ｂの吸い込み導管、混合ガ
スボンベ７よシ真空容器１への混合ガス供給導管、及び
バイパス管にそれぞれ設けられり各電磁弁（８１） 、
（Ｓｔ） 、 （Ｓｓ）、ｌｌａ 、 ｌｌｂは絞シ
弁、１２は真空容器１内の圧力を検出する圧力検出器、
１３は制御装置である。
第２図は、第１図の炭酸ガスレーザ発振器のガス交換装
置の動作を説明するための各部の特性図、第３図は、第
１図の炭酸ガスレーザ発振器のガス交換装置における放
電入力とレーザ出力との関係図である。
置の動作を説明するための各部の特性図、第３図は、第
１図の炭酸ガスレーザ発振器のガス交換装置における放
電入力とレーザ出力との関係図である。
次に、上記第１図に示す炭酸ガスレーザ発振器のガス交
換装置の動作を、第２図及び第３図を参照して説明する
。真空容器１内では、ｃｏ、 、 ｃｏ。
換装置の動作を、第２図及び第３図を参照して説明する
。真空容器１内では、ｃｏ、 、 ｃｏ。
Ｎ２． ｆ（ｅ （１） ４種の混合ガスが約１００
’Ｉ’ｏｒｒのレーザ発振動作圧力、すなわち目標制御
圧力Ｐ。下に封じ込められている。対向する１対の電極
２ａ、２ｂ間に放電を形成せしめて混合ガスを励起する
。励起用の混合ガスは真空容器１内で送風機３によシ放
電部分へ循環流させ、励起レーザ発振の放射光軸上に全
反射鏡４と部分反射鏡５を配設することによシ、共振増
幅してレーザ光Ｌｆ：外部に取シ出す様に動作させる。
’Ｉ’ｏｒｒのレーザ発振動作圧力、すなわち目標制御
圧力Ｐ。下に封じ込められている。対向する１対の電極
２ａ、２ｂ間に放電を形成せしめて混合ガスを励起する
。励起用の混合ガスは真空容器１内で送風機３によシ放
電部分へ循環流させ、励起レーザ発振の放射光軸上に全
反射鏡４と部分反射鏡５を配設することによシ、共振増
幅してレーザ光Ｌｆ：外部に取シ出す様に動作させる。
この様な動作は、いわゆる直交型炭酸ガスレーザ発振器
として良く知られた動作であろう。
として良く知られた動作であろう。
さて、第１図に示す炭酸ガスレーザ発振器のガス交換装
置がガス交換動作を行う場合について述べる。真空容器
１内のガスが大気であシ、圧力も大気圧の状態である様
な製品試運転初期、あるいはメンテナンス後に再運転す
る時等には、まず、大型の真空ポンプ（Ｐ＋ｌａｖ動作
させ、元弁９は開放としてその他の６弁は閉成し、真空
容器１７− 内のガスを吸引、排気する。この時、到達真空度が約０
．０５〜０．１Ｔｏｒｒ程度になれば、元弁９を閉成し
て大型の真空ポンプ（馬）６ａを停止した後、電磁弁（
Ｓ３）１０ｃを開放し、混合ガスボンベ７より圧力調整
器８及びバイパス管を経由して真空容器１へ新しい混合
ガスを導入する。この混合ガスの真空容器１への充てん
圧力は圧力検出器１２によシ監視され、目標制御圧力Ｐ
。にて電磁弁（Ｓ３）１０ｃは閉成し、これによシ、レ
ーザ発振動作の準備が完了する。
置がガス交換動作を行う場合について述べる。真空容器
１内のガスが大気であシ、圧力も大気圧の状態である様
な製品試運転初期、あるいはメンテナンス後に再運転す
る時等には、まず、大型の真空ポンプ（Ｐ＋ｌａｖ動作
させ、元弁９は開放としてその他の６弁は閉成し、真空
容器１７− 内のガスを吸引、排気する。この時、到達真空度が約０
．０５〜０．１Ｔｏｒｒ程度になれば、元弁９を閉成し
て大型の真空ポンプ（馬）６ａを停止した後、電磁弁（
Ｓ３）１０ｃを開放し、混合ガスボンベ７より圧力調整
器８及びバイパス管を経由して真空容器１へ新しい混合
ガスを導入する。この混合ガスの真空容器１への充てん
圧力は圧力検出器１２によシ監視され、目標制御圧力Ｐ
。にて電磁弁（Ｓ３）１０ｃは閉成し、これによシ、レ
ーザ発振動作の準備が完了する。
今、送風機３が動作し、放電励起によシレーザ発振動作
が始まると、直ちに小型の真空ポンプ（Ｐ、）６ｂが起
ｍし、谷電磁弁（Ｓ、 ） １０ａ ｌ （ｓｔ ）１
０ｂが開放して真空容器１内の混合ガスを連続的に小量
ずつ排気すると共に、混合ガスボンベ７よシ新しい混合
ガスを小量ずつ補充する。この様な排気と補充とのバラ
ンスは、各絞シ弁１１ａ 、 ｌｌｂの弁開度全調節し
、排気量よシ補光量がわずかに大きくなる様に設定され
ている。したがって、レーザ発振動作の開始時刻ｔｏ！
り真空容器１内の圧 ８− 力ＰＨ１経過時間ｔに対して少しずつ上昇する。
が始まると、直ちに小型の真空ポンプ（Ｐ、）６ｂが起
ｍし、谷電磁弁（Ｓ、 ） １０ａ ｌ （ｓｔ ）１
０ｂが開放して真空容器１内の混合ガスを連続的に小量
ずつ排気すると共に、混合ガスボンベ７よシ新しい混合
ガスを小量ずつ補充する。この様な排気と補充とのバラ
ンスは、各絞シ弁１１ａ 、 ｌｌｂの弁開度全調節し
、排気量よシ補光量がわずかに大きくなる様に設定され
ている。したがって、レーザ発振動作の開始時刻ｔｏ！
り真空容器１内の圧 ８− 力ＰＨ１経過時間ｔに対して少しずつ上昇する。
圧力検出器１２によ力検出された真空容器１内の圧力信
号は制御装Ｒ１３によって処理され、レーザ発振動作の
上限圧力１）Ｈにて電磁弁（Ｓ、） １０ｂが閉成する
様に動作する。時刻ｔ１にて新しい混合ガスの供給が停
止すると、真空容器１内の圧力は小型の真空ポンプ（Ｐ
ｔ）６ｂの排気速度に応じて徐々に減少し、レーザ発振
動作の下限圧力ＰＬに達すると、時刻ｔ２にて圧力検出
器１２の信号によシミ磁弁（Ｓ、）］Ｏｂが再び開放し
、前述したと同様の動作が周期（１，−１゜）にて繰シ
返えされる。レーザ発振動作が終了する時刻ｔ、には小
型の真空ポンプ（Ｐｚ）６ｂの運転は停止し、各電磁弁
（Ｓｌ）］Ｏａ 、 （Ｓ、 ） １０ｂ Ｂ閉成し、
真空容器１内の圧力は下限圧力ＰＬと上限圧力ＰＨとの
間に保持される。
号は制御装Ｒ１３によって処理され、レーザ発振動作の
上限圧力１）Ｈにて電磁弁（Ｓ、） １０ｂが閉成する
様に動作する。時刻ｔ１にて新しい混合ガスの供給が停
止すると、真空容器１内の圧力は小型の真空ポンプ（Ｐ
ｔ）６ｂの排気速度に応じて徐々に減少し、レーザ発振
動作の下限圧力ＰＬに達すると、時刻ｔ２にて圧力検出
器１２の信号によシミ磁弁（Ｓ、）］Ｏｂが再び開放し
、前述したと同様の動作が周期（１，−１゜）にて繰シ
返えされる。レーザ発振動作が終了する時刻ｔ、には小
型の真空ポンプ（Ｐｚ）６ｂの運転は停止し、各電磁弁
（Ｓｌ）］Ｏａ 、 （Ｓ、 ） １０ｂ Ｂ閉成し、
真空容器１内の圧力は下限圧力ＰＬと上限圧力ＰＨとの
間に保持される。
また、再ひレーザ発振動作の起動時には、前述した時刻
ｔｏよシ同、様な動作が繰シ返えされる。
ｔｏよシ同、様な動作が繰シ返えされる。
ここで、真空容器１内の混合ガス圧力の変化がｉ／−ザ
出力の変化に影響する割合を考えると、次の様１／こな
る。第３図に示す放電入力Ｗ（Ｉに対するし一ザ出力Ｗ
ｒの関係図よシ明らかな様に、ＷｄとＷｒとの間には下
記の様な関係がある。
出力の変化に影響する割合を考えると、次の様１／こな
る。第３図に示す放電入力Ｗ（Ｉに対するし一ザ出力Ｗ
ｒの関係図よシ明らかな様に、ＷｄとＷｒとの間には下
記の様な関係がある。
Ｗ１〜＝η（Ｗｄ −Ｗ（＋ ） ・−・・・・・・・
・・・・ （１）ただし、η：レーザ発振効率、Ｗｏ
： Ｌきい値放電入力である。
・・・・ （１）ただし、η：レーザ発振効率、Ｗｏ
： Ｌきい値放電入力である。
また、混合ガス圧力Ｐとしきい値放電入力ＷＵとの間に
は下記の様な関係がある。
は下記の様な関係がある。
ＷｏωＰ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・ （２）上記（１） 、 （２）式
よシ下記の様な関係が導かれる。
・・・・・・・・・ （２）上記（１） 、 （２）式
よシ下記の様な関係が導かれる。
上記（３）式において、Ｗｄ／Ｗｏは、一般に炭酸ガス
レーザ発振の場合、定格出力付近で動作させる時、Ｗｄ
／Ｗｏ ＝ ２．５〜３．５程度の値となるので、Ｗｄ
／Ｗｏ ＃ ３として、 となシ、例えばレーザ発振動作時、混合ガス圧力Ｐの目
標制御圧力Ｐｏが約１００ ’Ｉ”ｏｒｒとすれば、Ｐ
Ｈ＝ １０１ ’ｌ”ｏｒｒ、 ＰＬ＝ ９９ Ｔｏｒ
ｒにおいて、混合ガスの劣化が無視し得る短時間の周期
でガス交換の操作をすれば、レーザ出力の安定度は約±
０，５チ以内に制御できる。特に、有利なことは、圧力
検出器１２として給体圧力検出器となし、高真空室と測
定圧力室の隔壁の歪を電気的に検出すること、例えば市
販されている安価な半導体式圧力センサ等を用いれば、
分解能を約ＩＴｏｒｒ以下にすることが容易である。ま
た、Ｗｄ／Ｗｏの小さい範囲、すなわち低いレーザ出力
でレーザ発振動作させる時は、放電入力が小さいためガ
スの劣化もほとんど無いので、Ｐｏを一定にした動作で
も長時間にわたシ安定なレーザ出力を発振させることが
できる。
レーザ発振の場合、定格出力付近で動作させる時、Ｗｄ
／Ｗｏ ＝ ２．５〜３．５程度の値となるので、Ｗｄ
／Ｗｏ ＃ ３として、 となシ、例えばレーザ発振動作時、混合ガス圧力Ｐの目
標制御圧力Ｐｏが約１００ ’Ｉ”ｏｒｒとすれば、Ｐ
Ｈ＝ １０１ ’ｌ”ｏｒｒ、 ＰＬ＝ ９９ Ｔｏｒ
ｒにおいて、混合ガスの劣化が無視し得る短時間の周期
でガス交換の操作をすれば、レーザ出力の安定度は約±
０，５チ以内に制御できる。特に、有利なことは、圧力
検出器１２として給体圧力検出器となし、高真空室と測
定圧力室の隔壁の歪を電気的に検出すること、例えば市
販されている安価な半導体式圧力センサ等を用いれば、
分解能を約ＩＴｏｒｒ以下にすることが容易である。ま
た、Ｗｄ／Ｗｏの小さい範囲、すなわち低いレーザ出力
でレーザ発振動作させる時は、放電入力が小さいためガ
スの劣化もほとんど無いので、Ｐｏを一定にした動作で
も長時間にわたシ安定なレーザ出力を発振させることが
できる。
なお、上記実施例で説明したもの以外に、第４図に示す
様に、上記第１図の炭酸ガスレーザ発振器のガス交換装
置において、制御弁である電磁弁（”ｚ）１０ｂとして
、電々ポジショナ付きの電動式の調節弁１４を用い、制
御装置１３として、圧力検出器１２の信号と目標制御圧
力Ｐ。の目標値とを比較し、電動式の調節弁１４の弁開
度を制御し、真空容器１内の圧力を、常に一定に制御で
きる演算フィードバック機能を持った調節計１５を用い
て成る構成としても良（、上記実施例と同様の効果を奏
する。
様に、上記第１図の炭酸ガスレーザ発振器のガス交換装
置において、制御弁である電磁弁（”ｚ）１０ｂとして
、電々ポジショナ付きの電動式の調節弁１４を用い、制
御装置１３として、圧力検出器１２の信号と目標制御圧
力Ｐ。の目標値とを比較し、電動式の調節弁１４の弁開
度を制御し、真空容器１内の圧力を、常に一定に制御で
きる演算フィードバック機能を持った調節計１５を用い
て成る構成としても良（、上記実施例と同様の効果を奏
する。
ちなみに、本出願人の試験結果によれば、この発明によ
る上記した様な各電磁弁（Ｓ、 ） １０ａ〜（８，）
１０ｃ ′ｆｔ：ＯＮ 、 ＯＦＦ制御して行うガス交
換装置を、例えばレーザ定格出力５００Ｗの三軸直交型
炭酸ガスレーザ発振器に適用することによシ、レーザ出
力の安定度が約±１％にて、混合ガスの消費量が約２Ｌ
／ Ｈｒ以下の非常に良好な結果を得ていることが実
証されている。
る上記した様な各電磁弁（Ｓ、 ） １０ａ〜（８，）
１０ｃ ′ｆｔ：ＯＮ 、 ＯＦＦ制御して行うガス交
換装置を、例えばレーザ定格出力５００Ｗの三軸直交型
炭酸ガスレーザ発振器に適用することによシ、レーザ出
力の安定度が約±１％にて、混合ガスの消費量が約２Ｌ
／ Ｈｒ以下の非常に良好な結果を得ていることが実
証されている。
この発明は以上説明した様に、炭酸ガスレーザ発振器に
おいて、真空容器中の混合ガス圧力を連続的に一定に保
持しながら微量ずつガス交換を行う様に構成したので、
安価で、かつ簡単な構成によシ混合ガスの消費量が少な
く、このためランニ１１− ングコストが安く、しかも混合ガスの劣化を防止し、レ
ーザ出力が安定した極めて性能の良い炭酸ガスレーザ発
振器のガス交換装置が得られるという優れた効果を奏す
るものである。
おいて、真空容器中の混合ガス圧力を連続的に一定に保
持しながら微量ずつガス交換を行う様に構成したので、
安価で、かつ簡単な構成によシ混合ガスの消費量が少な
く、このためランニ１１− ングコストが安く、しかも混合ガスの劣化を防止し、レ
ーザ出力が安定した極めて性能の良い炭酸ガスレーザ発
振器のガス交換装置が得られるという優れた効果を奏す
るものである。
第１図にこの発明の一実施例である炭酸ガスレーザ発振
器のガス交換装置を示す概略構成図、第２図は、第１図
の炭酸ガスレーザ発振器のガス交換装置の動作を説明す
るための各部の特性図、第３図は、第１図の炭酸ガスレ
ーザ発振器のガス交換装置における放電入力とレーザ出
力との関係図、第４図はこの発明の他の実施例である炭
酸ガスレーザ発振器のガス交換装Ｒｆ：示す概略構成図
である。 図において、１・・・真空容器、２ａ、２ｂ・・・電極
、３・・・送風機、４・・・全反射鏡、５・・・部分反
射鏡、６ａ・・・大型の真空ポンプ（ＰＩ）、６ｂ・・
・小型の真空ポンプ（Ｐ、）、７・・・混合ガスボンベ
、８・・・圧力調整器、９・・・元弁、１０ａ 、 １
０ｂ 、 １０ｃｍ・・電磁弁ＣＳ＋）。 （Ｓｚ） 、（Ｓｇ）、ｌｌａ 、 Ｉｌｂ ・−絞シ
弁、１２ ・・・圧１２− 力検出器、１３・・・制御装置、１４・・・電動式の調
節弁、１５・・・調節計、Ｌ・・・レーザ光である。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す、 代理人 大岩増雄 第１図 第２図 第３図 ＷＯＷｄ 第４図 目。 Ｐ（
器のガス交換装置を示す概略構成図、第２図は、第１図
の炭酸ガスレーザ発振器のガス交換装置の動作を説明す
るための各部の特性図、第３図は、第１図の炭酸ガスレ
ーザ発振器のガス交換装置における放電入力とレーザ出
力との関係図、第４図はこの発明の他の実施例である炭
酸ガスレーザ発振器のガス交換装Ｒｆ：示す概略構成図
である。 図において、１・・・真空容器、２ａ、２ｂ・・・電極
、３・・・送風機、４・・・全反射鏡、５・・・部分反
射鏡、６ａ・・・大型の真空ポンプ（ＰＩ）、６ｂ・・
・小型の真空ポンプ（Ｐ、）、７・・・混合ガスボンベ
、８・・・圧力調整器、９・・・元弁、１０ａ 、 １
０ｂ 、 １０ｃｍ・・電磁弁ＣＳ＋）。 （Ｓｚ） 、（Ｓｇ）、ｌｌａ 、 Ｉｌｂ ・−絞シ
弁、１２ ・・・圧１２− 力検出器、１３・・・制御装置、１４・・・電動式の調
節弁、１５・・・調節計、Ｌ・・・レーザ光である。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す、 代理人 大岩増雄 第１図 第２図 第３図 ＷＯＷｄ 第４図 目。 Ｐ（
Claims (4)
- （１） Ｃｏ、 、 ＣＯ、Ｎ、 、Ｈｅ （０４種の
混合ガスを真空容器中に、一定圧力下に封じ込めてレー
ザ発振動作を行わせる炭酸ガスレーザ発振器において、
前記真空容器より前記混合ガスを連続的に吸引する真空
ポンプと、前記真空容器の内圧力を検出する圧力検出器
と、混合ガスボンベよシ前記真空容器に至る混合ガス導
入径路中に制御弁全それぞれ設け、前記圧力検出器の信
号によシ前記制御弁を駆動し、前記真空容器中の混合ガ
ス圧力を一定にする様に動作させることを特徴とする炭
酸ガスレーザ発振器のガス交換装置。 - （２）前記制御弁は、電磁弁でめシ、目標制御圧力の上
限値及び下限値の各信号に対応して前記４ｆｋＬ磁弁を
閉成及び開放動作をさせることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の炭酸ガスレーザ発振器のガス交換装置
。 - （３） 前記制御弁は、調節弁であシ、この調節弁は弁
開度を調節する手段を有し、かつ前記圧力検出器の信号
と目標制御圧力を比較し、前記調節弁の弁開度を制御す
る調節計を具備することを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の炭酸ガスレーザ発振器のガス交換装置。 - （４） 前記圧力検出器は、給体圧力検出器であシ、高
真空室と測定圧力室の隔壁の歪を電気的に検出する様に
したことを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第３
項記載の炭酸ガスレーザ発振器のガス交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16066083A JPS6052081A (ja) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | 炭酸ガスレ−ザ発振器のガス交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16066083A JPS6052081A (ja) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | 炭酸ガスレ−ザ発振器のガス交換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6052081A true JPS6052081A (ja) | 1985-03-23 |
Family
ID=15719733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16066083A Pending JPS6052081A (ja) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | 炭酸ガスレ−ザ発振器のガス交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6052081A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62186579A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Amada Co Ltd | レ−ザ発振器のガス制御方法 |
| JPS63288081A (ja) * | 1987-05-20 | 1988-11-25 | Fanuc Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPS6442190A (en) * | 1987-08-10 | 1989-02-14 | Komatsu Mfg Co Ltd | Gas laser apparatus |
| JPH01321672A (ja) * | 1988-06-22 | 1989-12-27 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
| JPH02100384A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-04-12 | Fanuc Ltd | レーザガス置換量制御方法 |
| JPH02144979A (ja) * | 1988-11-26 | 1990-06-04 | Fanuc Ltd | ガスレーザ装置 |
| US4935937A (en) * | 1987-03-19 | 1990-06-19 | Fanuc Ltd. | Abnormality detection device for laser oscillator piping system |
| JPH05190935A (ja) * | 1992-01-10 | 1993-07-30 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器連続ガス交換装置 |
| WO2020031770A1 (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-13 | 株式会社堀場製作所 | グロー放電発光分析方法及びグロー放電発光分析装置 |
-
1983
- 1983-09-01 JP JP16066083A patent/JPS6052081A/ja active Pending
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| WO2020031770A1 (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-13 | 株式会社堀場製作所 | グロー放電発光分析方法及びグロー放電発光分析装置 |
| JPWO2020031770A1 (ja) * | 2018-08-10 | 2021-09-02 | 株式会社堀場製作所 | グロー放電発光分析方法及びグロー放電発光分析装置 |
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