JPH01321672A - Ｎｃレーザ装置 - Google Patents
Ｎｃレーザ装置Info
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- JPH01321672A JPH01321672A JP63154316A JP15431688A JPH01321672A JP H01321672 A JPH01321672 A JP H01321672A JP 63154316 A JP63154316 A JP 63154316A JP 15431688 A JP15431688 A JP 15431688A JP H01321672 A JPH01321672 A JP H01321672A
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- gas
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 32
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は放電励起型ガスレーザ発振器と数値制御装置が
結合したＮＣレーザ装置に関し、特に放電管内部のガス
圧力制御方式に関する。
結合したＮＣレーザ装置に関し、特に放電管内部のガス
圧力制御方式に関する。
ＣＯ□ガスレーザ等のガスレーザ発振器は高効率で高出
力が得られ、ビーム特性も良いので、数値制御装置と結
合されたＮＣレーザ装置として金属加工等に広く使用さ
れるようになった。このようなガスレーザ発振器のレー
ザ出力は、放電部のガス圧力に対して非常に依存性が高
く、ガス圧力の増減によりレーザ出力も増減する傾向を
有している。このため、ガス圧力の制御精度は十分に高
いことが望まれる。
力が得られ、ビーム特性も良いので、数値制御装置と結
合されたＮＣレーザ装置として金属加工等に広く使用さ
れるようになった。このようなガスレーザ発振器のレー
ザ出力は、放電部のガス圧力に対して非常に依存性が高
く、ガス圧力の増減によりレーザ出力も増減する傾向を
有している。このため、ガス圧力の制御精度は十分に高
いことが望まれる。
ところで、レーザの発振効率はある特定のガス圧力で最
大値を示すので、１ノ−ザ発振を行って加工を行う過程
においてはこの最適ガス圧力を保つ必要がある。しかし
、レーザ放電管の放電開始時においては、このガス圧力
よりも低くした方が放電を開始し易い為、レーザ発振時
よりも低いガス圧力にした方が合理的である。従って、
ガス圧力はＮＣレーザ装置の運転過程に応じて異なる値
に設定されて、且つ定常時においては精度良く制御され
なければならない。
大値を示すので、１ノ−ザ発振を行って加工を行う過程
においてはこの最適ガス圧力を保つ必要がある。しかし
、レーザ放電管の放電開始時においては、このガス圧力
よりも低くした方が放電を開始し易い為、レーザ発振時
よりも低いガス圧力にした方が合理的である。従って、
ガス圧力はＮＣレーザ装置の運転過程に応じて異なる値
に設定されて、且つ定常時においては精度良く制御され
なければならない。
第４図は従来のガス圧力制御系のブロック図である。図
に於いて、Ｒは圧力指令値である。Ｙは制御出力であり
、この出力でガスの流量制御弁を開閉する。Ｃは放電管
内部の圧力を検出する圧力センサの出力信号であり、こ
の制御系のフィードバック信号となる。２３及び２４は
演算器である。
に於いて、Ｒは圧力指令値である。Ｙは制御出力であり
、この出力でガスの流量制御弁を開閉する。Ｃは放電管
内部の圧力を検出する圧力センサの出力信号であり、こ
の制御系のフィードバック信号となる。２３及び２４は
演算器である。
２５はディジタル信号をアナログ信号へ変換する変換器
、２６はディジタル信号をアナログ信号へ変換する変換
器である。２７はＧをパラメータとする比例演算器、２
日はｇをパラメータとする積分演算器である。以上の各
要素によって、所謂ＰＩ制御を行っている。
、２６はディジタル信号をアナログ信号へ変換する変換
器である。２７はＧをパラメータとする比例演算器、２
日はｇをパラメータとする積分演算器である。以上の各
要素によって、所謂ＰＩ制御を行っている。
第５図はこの制御系によるガス圧力の制御例であり、Ｎ
Ｃレーザ装置の運転過程に応じた放電管内部のガス圧力
の経時的変化を示したグラフである。図において、横軸
は時間、縮軸は放電管内のガス圧力を示す。ＴＯはＮＣ
レーザ装置の起動時の時刻であり、この時刻より放電管
内部のガスを真空排気する。、Ｔ１は真空排気完了時点
の時刻であり、この時のガス圧力ＰＬは約１０Ｔｏ ｒ
ｒである。この時点でガス圧力をＰ２ （３０Ｔｏｒ
ｒ）に上昇させ、時刻Ｔ２で放電を開始する。そして、
時刻Ｔ３より時刻Ｔ４にかけてガス圧力をＰ３ （４５
Ｔｏｒｒ）に上昇させる。この間の時間は約１０秒であ
り、圧力指令値としてはランプ関数で与えている。時刻
Ｔ４以降でレーザを発振して加工を行い、加工が終了し
たら時刻Ｔ５で放電を停止して、次の放電開始のために
ガス圧力をＰ２に低下させる。
Ｃレーザ装置の運転過程に応じた放電管内部のガス圧力
の経時的変化を示したグラフである。図において、横軸
は時間、縮軸は放電管内のガス圧力を示す。ＴＯはＮＣ
レーザ装置の起動時の時刻であり、この時刻より放電管
内部のガスを真空排気する。、Ｔ１は真空排気完了時点
の時刻であり、この時のガス圧力ＰＬは約１０Ｔｏ ｒ
ｒである。この時点でガス圧力をＰ２ （３０Ｔｏｒ
ｒ）に上昇させ、時刻Ｔ２で放電を開始する。そして、
時刻Ｔ３より時刻Ｔ４にかけてガス圧力をＰ３ （４５
Ｔｏｒｒ）に上昇させる。この間の時間は約１０秒であ
り、圧力指令値としてはランプ関数で与えている。時刻
Ｔ４以降でレーザを発振して加工を行い、加工が終了し
たら時刻Ｔ５で放電を停止して、次の放電開始のために
ガス圧力をＰ２に低下させる。
しかし、この制御系では圧力をＰｌからＰ２へ上昇する
場合、Ｐ２からＰ３へ上昇する場合、及びＰ３からＰ２
へ低下する場合の過渡時において大きなオーバーシュー
トを生じている。これは、パラメータの値が固定されて
いることと、時刻Ｔ３から時刻Ｔ４にかけてのランプ指
令の過程においても定常時と同じ制御パラメータを用い
ていることに起因する。このため、図では示されていな
いが、定常時の安定精度も不十分である。
場合、Ｐ２からＰ３へ上昇する場合、及びＰ３からＰ２
へ低下する場合の過渡時において大きなオーバーシュー
トを生じている。これは、パラメータの値が固定されて
いることと、時刻Ｔ３から時刻Ｔ４にかけてのランプ指
令の過程においても定常時と同じ制御パラメータを用い
ていることに起因する。このため、図では示されていな
いが、定常時の安定精度も不十分である。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、ガ
ス圧力の制御系の制御パラメータの値をＮＣレーザ装置
の運転過程に応じて変更し、それぞれの過程ごとに最適
なパラメータ値を与えることによって、ガス圧力の切り
換え時の応答性及び定常時の安定精度を同時に満たすＮ
Ｃレーザ装置を提供することを目的とする。
ス圧力の制御系の制御パラメータの値をＮＣレーザ装置
の運転過程に応じて変更し、それぞれの過程ごとに最適
なパラメータ値を与えることによって、ガス圧力の切り
換え時の応答性及び定常時の安定精度を同時に満たすＮ
Ｃレーザ装置を提供することを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、放電管内部のガ
ス圧力が放電開始時とレーザ発振時とで異なるように構
成された放電励起型ガスレーザ発振器と、数値制御装置
（ＣＮＣ）が結合したＮＣレーザ装置に於いて、 該ＮＣレーザ装置の運転過程に応じて、前記ガス圧力の
制御系の比例ゲイン及び積分ゲインの値を変化させるよ
うに構成したことを特徴とするＮＣレーザ装置が、 提供される。
ス圧力が放電開始時とレーザ発振時とで異なるように構
成された放電励起型ガスレーザ発振器と、数値制御装置
（ＣＮＣ）が結合したＮＣレーザ装置に於いて、 該ＮＣレーザ装置の運転過程に応じて、前記ガス圧力の
制御系の比例ゲイン及び積分ゲインの値を変化させるよ
うに構成したことを特徴とするＮＣレーザ装置が、 提供される。
ガス圧力制御系の比例ゲイン及び積分ゲインの値を、ガ
ス圧力の異なる運転過程に応じて変化する。従って、そ
れぞれの過程ごとに最適な制御パラメータでガス圧力を
制御することができる。
ス圧力の異なる運転過程に応じて変化する。従って、そ
れぞれの過程ごとに最適な制御パラメータでガス圧力を
制御することができる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明を実施するためのＮＣレーザ装置のガス
圧力制御系の構成図である。図に於いて、１はガス供給
装置であり、１〜２ｋｇｆ／ｃ＋ｆｌの圧力のガスボン
ベ等が使用される。２はガスクリーニング用の２μｍの
１次フィルタである。３はガス流量制御弁であり、この
弁の開閉によってガス圧力が変化する。４はガスクリー
ニング用の０゜５μｍの２次フィルタであり、ガス配管
及びガス流量制御弁３を通過したときに流入したゴミ等
を除去するためのものである。５は放電管である。
圧力制御系の構成図である。図に於いて、１はガス供給
装置であり、１〜２ｋｇｆ／ｃ＋ｆｌの圧力のガスボン
ベ等が使用される。２はガスクリーニング用の２μｍの
１次フィルタである。３はガス流量制御弁であり、この
弁の開閉によってガス圧力が変化する。４はガスクリー
ニング用の０゜５μｍの２次フィルタであり、ガス配管
及びガス流量制御弁３を通過したときに流入したゴミ等
を除去するためのものである。５は放電管である。
６はルーツブロワ等の送風機である。７ａは放電管５で
レーザ発振を行って高温となったガスを冷却するための
冷却器であり、７ｂは送風器６を通過して発生した圧縮
熱を除去するための冷却器である。送風機６は放電管５
内のガスを冷却器７ａ及び７ｂを通して循環させる。
レーザ発振を行って高温となったガスを冷却するための
冷却器であり、７ｂは送風器６を通過して発生した圧縮
熱を除去するための冷却器である。送風機６は放電管５
内のガスを冷却器７ａ及び７ｂを通して循環させる。
８は流量調整バルブであり、ガスの絶対流量を１±０．
２１ ／ｍｉｎに設定する。このパルプは手動で操作す
る。９はガスを排気するためのベーンポンプである。１
０は放電管内のガス圧力を検出する圧力センサである。
２１ ／ｍｉｎに設定する。このパルプは手動で操作す
る。９はガスを排気するためのベーンポンプである。１
０は放電管内のガス圧力を検出する圧力センサである。
１１は数値制御装置（ＣＮＣ）であり、圧力センサ１０
からのフィードバック信号を受けて、ガス流量制御弁３
を制御して放電管内のガス圧力を指令圧力に制御する。
からのフィードバック信号を受けて、ガス流量制御弁３
を制御して放電管内のガス圧力を指令圧力に制御する。
第２図は数値制御装置（ＣＮＣ）内のガス圧力制御部の
ブロック図である。本図は、基本的な構成は第４図と同
じＰＩ制御系であるが、比例演算器及び積分演算器の構
成が異なる。すなわち、２１はＮＣレーザ装置の運転過
程に応じてパラメータが変化する比例演算器であり、２
２は同様にＮＣレーザ装置の運転過程に応じてパラメー
タが変化する積分演算器である。その他、第４図と同じ
番号を付したものについては先に説明した通りであるの
で、ここでは説明を省略する。
ブロック図である。本図は、基本的な構成は第４図と同
じＰＩ制御系であるが、比例演算器及び積分演算器の構
成が異なる。すなわち、２１はＮＣレーザ装置の運転過
程に応じてパラメータが変化する比例演算器であり、２
２は同様にＮＣレーザ装置の運転過程に応じてパラメー
タが変化する積分演算器である。その他、第４図と同じ
番号を付したものについては先に説明した通りであるの
で、ここでは説明を省略する。
第３図（ａ）及び（ｂ）に、この制御系を用いて第５図
と同様の過程のガス圧力制御を行う場合の、各パラメー
タの経時的変化の具体例を示す。
と同様の過程のガス圧力制御を行う場合の、各パラメー
タの経時的変化の具体例を示す。
第３図（ａ）は比例演算器２１のパラメータ、すなわち
比例ゲインの経時的変化である。図において、横軸は時
間、縦軸は比例ゲインのレベルを示す。Ｔｏ〜Ｔ５は第
５図の時刻Ｔｏ〜時刻Ｔ５に対応し、同じ符号は同じガ
ス圧力制御過程の時刻を示す。時刻Ｔｏから時刻Ｔ１の
間は、流量制御弁３を閉じてベーンポンプ９により真空
排気を行っていて、ガス圧力制御系は動作しないので、
比例ゲインは０で良い。時刻Ｔ１から時刻Ｔ３にかけて
は、ガス圧力をＰ２に精度良く保つために、比例ゲイン
をＧ２にする。時刻Ｔ３と時刻Ｔ４の間は、ガス圧力を
Ｐ２からＰ３へ上昇させる期間であり、そのランプ措令
に良く追従するように比例ゲインをＧ３に増大する。圧
力がＰ３に達したら、その後はガス圧力Ｐ３の値を精度
よく一定に保つように比例ゲインの値を６１に減少する
。時刻Ｔ５で放電を停止したら、次の放電開始の準備段
階としてガス圧力をＰ２に下げるので、比例ゲインもガ
ス圧力Ｐ２を一定に保つに最適な値Ｇ２にする。
比例ゲインの経時的変化である。図において、横軸は時
間、縦軸は比例ゲインのレベルを示す。Ｔｏ〜Ｔ５は第
５図の時刻Ｔｏ〜時刻Ｔ５に対応し、同じ符号は同じガ
ス圧力制御過程の時刻を示す。時刻Ｔｏから時刻Ｔ１の
間は、流量制御弁３を閉じてベーンポンプ９により真空
排気を行っていて、ガス圧力制御系は動作しないので、
比例ゲインは０で良い。時刻Ｔ１から時刻Ｔ３にかけて
は、ガス圧力をＰ２に精度良く保つために、比例ゲイン
をＧ２にする。時刻Ｔ３と時刻Ｔ４の間は、ガス圧力を
Ｐ２からＰ３へ上昇させる期間であり、そのランプ措令
に良く追従するように比例ゲインをＧ３に増大する。圧
力がＰ３に達したら、その後はガス圧力Ｐ３の値を精度
よく一定に保つように比例ゲインの値を６１に減少する
。時刻Ｔ５で放電を停止したら、次の放電開始の準備段
階としてガス圧力をＰ２に下げるので、比例ゲインもガ
ス圧力Ｐ２を一定に保つに最適な値Ｇ２にする。
第３図（ｂ）は積分演算器２２のパラメータ、すなわち
、積分ゲインの経時的変化を示している。
、積分ゲインの経時的変化を示している。
積分ゲインも比例ゲインと同様に、ＮＣレーザ装置の真
空排気過程、放電準備過程、放電開始後のレーザ発振過
程への移行過程、及びレーザ発振過程に於いて、比例ゲ
インの変化とは独立に、その値を０、ｇ２、ｇ３、ｇｌ
と変化させている。
空排気過程、放電準備過程、放電開始後のレーザ発振過
程への移行過程、及びレーザ発振過程に於いて、比例ゲ
インの変化とは独立に、その値を０、ｇ２、ｇ３、ｇｌ
と変化させている。
なお、本実施例においては、放電開始時のガス圧力を３
０Ｔｏｒｒ、レーザ発振時のガス圧力を４５Ｔｏ ｒ
ｒとしたときの各パラメータの与え方を示したが、もち
ろんガス圧力値及び各パラメータの値はこれに限定する
ものではなく、他の値に変更して適用することができる
。
０Ｔｏｒｒ、レーザ発振時のガス圧力を４５Ｔｏ ｒ
ｒとしたときの各パラメータの与え方を示したが、もち
ろんガス圧力値及び各パラメータの値はこれに限定する
ものではなく、他の値に変更して適用することができる
。
以上説明したように本発明では、ガス圧力制御系の制御
パラメータの値をＮＣレーザ装置の運転過程に応じて変
更するので、全ての過程でガス圧力の制御性能を従来よ
りも向上することができる。
パラメータの値をＮＣレーザ装置の運転過程に応じて変
更するので、全ての過程でガス圧力の制御性能を従来よ
りも向上することができる。
従って、レーザ出力が安定するので、このレーザによっ
て加工される加工部品の精度が向上する。
て加工される加工部品の精度が向上する。
また、圧力の切り換え時における応答時間も改善される
ので、レーザ発振器の起動準備に要する時間が短縮され
る。
ので、レーザ発振器の起動準備に要する時間が短縮され
る。
第１図は本発明を実施するためのＮＣレーザ装置のガス
圧力制御系の構成図、 第２図は本発明の一実施例のＮＣレーザ装置のガス圧力
制御系のブロック図、 第３図（ａ）は本発明の一実施例の比例ゲインの経時的
変化を示した図、 第３図（ｂ）は本発明の一実施例の積分ゲインの経時的
変化を示した図、 第４図は従来のガス圧力制御系のブロック図、第５図は
従来技術による、放電管内部のガス圧力の経時的変化を
示した図である。 １−−−−−−−−−・−・・−ガス供給装置３・−−
−−−−−−−・−ガス流量制御弁５−・−・・−一−
−−−−−−放電管８−−−−−−−−−−−−−−−
ガス流量調整バルブ１０−・−−−−−−・・−一−−
−圧カセンサ１１−−−−−−・−−−−−−一数値制
御装置（ＣＮＣ）２１−−−−−−−−・−・−パラメ
ータ変更可能な比例演算２２−−ｍ−−・−・−・−パ
ラメータ変更可能な積分演算器 Ｒ−・・−一−−−−−−−圧力指令値Ｙ・−−−−一
−−−−−・−制御出力ｃ−−−−−−−−−−・・・
−圧力検出信号２７・−・−・−・−従来の比例演算器
２Ｂ−・−−−−−−−−−−−・従来の積分演算器特
許出願人 ファナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 第２ 図 第３図（ａ） 第３図（ｂ） 第４図
圧力制御系の構成図、 第２図は本発明の一実施例のＮＣレーザ装置のガス圧力
制御系のブロック図、 第３図（ａ）は本発明の一実施例の比例ゲインの経時的
変化を示した図、 第３図（ｂ）は本発明の一実施例の積分ゲインの経時的
変化を示した図、 第４図は従来のガス圧力制御系のブロック図、第５図は
従来技術による、放電管内部のガス圧力の経時的変化を
示した図である。 １−−−−−−−−−・−・・−ガス供給装置３・−−
−−−−−−−・−ガス流量制御弁５−・−・・−一−
−−−−−−放電管８−−−−−−−−−−−−−−−
ガス流量調整バルブ１０−・−−−−−−・・−一−−
−圧カセンサ１１−−−−−−・−−−−−−一数値制
御装置（ＣＮＣ）２１−−−−−−−−・−・−パラメ
ータ変更可能な比例演算２２−−ｍ−−・−・−・−パ
ラメータ変更可能な積分演算器 Ｒ−・・−一−−−−−−−圧力指令値Ｙ・−−−−一
−−−−−・−制御出力ｃ−−−−−−−−−−・・・
−圧力検出信号２７・−・−・−・−従来の比例演算器
２Ｂ−・−−−−−−−−−−−・従来の積分演算器特
許出願人 ファナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 第２ 図 第３図（ａ） 第３図（ｂ） 第４図
Claims (3)
- （１）放電管内部のガス圧力が放電開始時とレーザ発振
時とで異なるように構成された放電励起型ガスレーザ発
振器と、数値制御装置（ＣＮＣ）が結合したＮＣレーザ
装置において、 該ＮＣレーザ装置の運転過程に応じて、前記ガス圧力の
制御系の比例ゲイン及び積分ゲインの値を変化させるよ
うに構成したことを特徴とするＮＣレーザ装置。 - （２）前記運転過程は、真空排気過程、放電準備過程、
放電開始後のレーザ発振過程への移行過程、及びレーザ
発振過程であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のＮＣレーザ装置。 - （３）前記ガス圧力の制御は、数値制御装置（ＣＮＣ）
で行うことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のＮ
Ｃレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63154316A JP2680837B2 (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | Ｎｃレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63154316A JP2680837B2 (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | Ｎｃレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01321672A true JPH01321672A (ja) | 1989-12-27 |
| JP2680837B2 JP2680837B2 (ja) | 1997-11-19 |
Family
ID=15581458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63154316A Expired - Fee Related JP2680837B2 (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | Ｎｃレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2680837B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6052081A (ja) * | 1983-09-01 | 1985-03-23 | Mitsubishi Electric Corp | 炭酸ガスレ−ザ発振器のガス交換装置 |
| JPS60144804A (ja) * | 1984-01-06 | 1985-07-31 | Toshiba Corp | 流量制御装置 |
| JPS62113205A (ja) * | 1985-11-12 | 1987-05-25 | Toshiba Corp | 適応制御装置 |
| JPS6376388A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-06 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ発振器の起動方法 |
-
1988
- 1988-06-22 JP JP63154316A patent/JP2680837B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6052081A (ja) * | 1983-09-01 | 1985-03-23 | Mitsubishi Electric Corp | 炭酸ガスレ−ザ発振器のガス交換装置 |
| JPS60144804A (ja) * | 1984-01-06 | 1985-07-31 | Toshiba Corp | 流量制御装置 |
| JPS62113205A (ja) * | 1985-11-12 | 1987-05-25 | Toshiba Corp | 適応制御装置 |
| JPS6376388A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-06 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ発振器の起動方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2680837B2 (ja) | 1997-11-19 |
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