JPS6051935B2 - 移動する冷却体基板の冷却方法及び装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は連続鋳造プロセスで使用される移動冷却体表面
の冷却に関する。

特に、本発明は、基板の第一の面が急冷させて固化させ
るべき溶融した！材料を受け、冷却剤は基板の第二の面
に吹きつけられ、冷却剤と第一の面との接触は防止され
ているような冷却方法および装置に関する。金属鋳造の
分野においては、ナラシムハンの米国特許第４１４２５
７１号で示されるような、溶融金属３が、炉からノズル
を通して移動する冷却体表面上に噴出される連属金属鋳
造法が知られている。

アモルファス合金のストリップ、シート、帯板、或いは
断面円形または方形の金属フィラメントを鋳造製造する
のに使用される鋳造装置は、移４動する冷却体或いは基
板として、移動冷却ベルトか環状冷却ロールを備えてい
る。移動冷却基板が、溶融材料を受ける面と反対側の面
で冷却されるものでは従来から知られている。

例えば、ハズレツトの米国特許第２３８３３１０号では
、溶解した金属が、主冷却リング５の外面上に排出され
、このリングを冷却するため、リングの内面に多数のノ
ズル３８−１を通して加圧水が一吹きかけられる。ハズ
レツトの米国特許では、金属と冷却水との接触を避ける
必要性が認識されているが、講じられた唯一の方策は、
ロールよりも幅広の平らなリングを設けることの他に、
冷却リングが移動するつロールに面取り部を設け、それ
によつて溶融金属と接触せずに水を流し去らしてしまう
ことであつた。

しかしながらこのような方策は、冷却水がリングの外面
に達するのを積極的に防止する有効な手段を与えるもの
ではない。従つて、ハズレツト７の米国特許では、リン
グ外面の方へ冷却水がにじみ出ることに起因する冷却水
と金属間の接触の有害な影響を経験した。オルソンの米
国特許第３９７６１１７号は、その第１４図において、
鋳造装置で使用される移動ベルトの下面に向けられた冷
却剤のスプレィを示している。

ベルトの上面は、溶融金属を固化させるための冷却面と
なつている。しかしながら、鋳造されるべき金属の素質
に悪影響を及ぼさないように、冷却水が上面に全く浸出
しないようにする手段は何も施されていない。ベルトか
ら液体を除去することについての唯一の開示は、洗浄液
の除去に関してであり、そこでは、固化すべき金属を受
けるベルトの同じ表面から洗浄液を除去するため、ゴム
製のそうじ器が使用されている。従つて、従来のもので
は、冷却剤の中に見出される水分或いは他の汚染物が、
移動基板の冷却面の方へ移行して、接触しないようにす
る適当な方策を提供することはできない。

このような欠陥は、汚染された、低品質の鋳造フィラメ
ント（本明細書においては、この語によつてストリップ
、シート、帯板、断面円形または方形の線条などを代表
させる）を造ることとなる。従つて、本発明の目的は、
上述した従来の欠点を解消し、連続鋳造において、移動
冷却面を冷却するのに使用される冷却剤によるフィラメ
ントの汚染をなくすことにより、品質の良いフィラメン
トを製造する方法及び装置を提供することである。

更に本発明の目的は、移動基板の一方の面に対して吹き
付けられた冷却剤が、その面から反対側の面へ移動し、
固化される材料と接触してこれに悪影響を与える可能性
を減らすことである。

更に本発明の他の目的は、移動冷却基板の両面間に圧力
差を生じさせ、それによつて、面の一方！に対して吹き
つけられた冷却液体が、その面から他方の面へ移行する
のを防ぐことである。更に本発明の他の目的は、冷却基
板の冷却剤が吹きつけられる下面と接触し、そこから残
留冷却を除去するためのかき落し刃を設け、それと共，
に、基板の流面間の圧力差の使用によつて、基板の他方
の面に除去された液体が行くのを防止することである。

本発明の他の目的は、基板を冷却する装置内の下面に吹
き付けられた冷却剤を保持するために連続鋳造プロセス
において、移動冷却基板の下面に加えられる真空を使用
することである。

吹きつけノズルの近傍の真空と、冷却剤かき落し刃の使
用により、吹きつけられた冷却剤またはかき落し刃によ
り除去された冷却剤が基板の他方の面へ行く５のを防ぐ
ことができる。これら、及び他の目的によれば、本発明
は固化させるべき溶融した材料の連続鋳造装置の移動冷
却体のための冷却手段を提供する。

この冷却体は、例えば、移動ベルトのような一対の対向
した面を有する基板てある。この冷却手段は、冷却体を
形成する基板の両面間に圧力差を生じさせる加圧手段を
備えている。吹きつけ手段は、低圧に露出された基板の
一方の面に冷却剤を吹きつけるように設けられ、それに
よつて、その面から他方の面へ冷却剤か流れるのを防止
する。更に本発明は、基板の一方の面に対して冷却剤を
吹きつける複数のノズルを備えた、連続鋳造装置の移動
冷却体の冷却手段を提供する。

吹きつけられた面から残留冷却剤を除去するために、か
き落し手段が設けられ、更に、ノズル、かき落し手段用
に密閉された囲いが設けられる。この囲いの排気をする
ために、排気手段が設けられ、それによつて、基板の吹
きつけられた面から他方の面へ冷却剤が流れるのを防止
するために、冷却剤に作用する圧力差を生じさせる。こ
の囲いは、ポリテトラフルオロエチレンで形成した細長
いシールによつて、基板の吹きつけられた面に対して密
閉され、かき落し手段は、基板の吹きつけ面と接触し、
その移動方向と反対向きのステンレススチール製の複数
のシートで構成するのが望ましい。

使用される冷却剤は、大気圧に対する露点より高い温度
の水が望ましく、基板の両面間の圧力差は約１．５〜４
ｃｒｒ１Ｈｇである。本発明の前述した目的及び他の目
的、特徴、利点は、添付図面と共に、本発明を実施する
ための最良の実施態様についての以下の説明を参照する
ことにより、より明らかになるであろう。本発明は、固
化すべき溶融し攪練された素材（以下、バンドルという
）を、容器のノズルから動く冷却体上に排出する方法に
よるどのようなフィラメント鋳造にも利用できる。

本発明は、特に、アモルファス金属合金の鋳造装置に適
しているが、バンドルは、高速で動く担体上で急冷され
る必要がある。例えば、アモルファス金属の合金の鋳造
には、約１Ｃｆ′〜１σ℃１ｓｅｃの冷却速度が必要で
あることが知られている。

従つて、短時間におけるバンドルの固化が確保され、一
度移動速度が知られると簡単に計算できる移動冷却体を
移動間隔で得られる。第１図を参照すると、こうしてア
モルファス合金の連続鋳造装置が、溶融合金の炉１０を
有するものとして示されている。

ノズル１２は、固化のため、前述の合金バンドルを移動
冷却基体又は部材上に排出する。第１図の装置では、移
動ベルト１４が基体であり、ノズル１２によつて炉１０
から排出される溶融合金１６を受け取る。ノ 例えば、
約１３００℃の初期温度から溶融合金を急冷するために
、冷却装置１８が、ベルト１４と接触して示されている
。

図示したベルト１４の代りに、急速回転する冷却ホィー
ルを設けても良く、それに対して本発明の原理を容易に
適用できるこ７とが理解されるべきである。冷却装置１
８は、ベルト１４の下側を冷却し、順次、ベルトの上面
に担持された溶融合金１６を冷却し、固化する。

この構成は、なかでも、鋳造によつて得られるフィラメ
ントの品質の重要度をフ考慮して決められたのである。
鋳造面と呼ぶベルトの上面に汚れがあると、それがどの
ような汚れであつても、特に、フィルムフィラメントを
生産する場合、フィラメントの品質は極めて低下する。
前述したように、反対面と呼ぶ冷却体の鋳造面とは反対
側の表面に、例えば、水のような冷却剤を吹きつけるこ
とによつて、従来はベルトを冷却していた。本発明は、
冷却体の鋳造面と反対側の面からのあらゆる汚れものの
混入を、特に冷却剤の混入を除去する積極的な手段を提
供し、それによつて、生産されるフィラメントの品質を
改善する。第１図において、ベルト１４は、一対のロー
ル２０，２２を回る無端ループを形成している。

ロールの一方は、電動機（図示せず）のような駆動手段
によつて駆動される。冷却装置１８は、一対のスタンド
２４，２６に支持されている。前述したように、この装
置は、溶融アモルファス合金を急冷する冷却体として作
用するベルトを冷却するために使用する。

ベルトが矢印２８の方向に移動する時、合金は、冷却効
果に応じて固化し、ガラス状の金属フィラメント３０（
第１図、第２図）を形成する。このフィラメントは、ベ
ルト１４の速度によつて決まる適当な高速でフィラメン
トを受け取つて巻くように駆動される巻取リール３２に
巻回される。

本発明ては、ベルト１４を冷却するために使用される冷
却剤は水であるが、他の流体も使用できる。

この水は、管３４と継手３６（第１図参照）−によつて
冷却装置１８に供給される。ベルトによつて加熱された
使用済み冷却剤は、処分のため水だめ３８に集められる
。第３Ａ図、第３Ｂ図を参照すると、本発明の冷却装置
がより詳細に示されており、ベルト１４の！反対面に冷
却剤を吹きつける複数のノズル４２を備えた冷却室を形
成する箱状囲い４０を備えている。

第３Ａ−３Ｂ図、第４Ａ−４Ｂ図及び第５図に示された
マニホールド６６が継手３６に接続され、加圧冷却剤を
、ノズル４２へ供給している。３本発明の実施例の構造
の利点は、アモルファス磁気金属融成物の急冷に必要で
あるような、そして冷却剤の核のある沸騰によつてのみ
利用可能な速い熱伝達速度の達成である。

冷却室における核のある沸騰を達成するため４に、ベル
トは、冷却剤の沸点より高い温度でなければならない。

表面に対して直接吹きつけられた冷却剤は、それが衝突
した表面から自由に落下できることが望ましい。冷却水
の沸点より高い冷却状態では、ベルトの温度は１００℃
を越え、第３Ａ−３Ｂ図の構造によつて、全ての要件が
満足されるので、ノズル４２からの連続した高圧スプレ
ーを通してベルトが進む時に、ヘルドに対する冷却剤の
有利な核のある沸騰が生ずる。本発明の鋳造装置によつ
て生産されるフィラメントを高品質にするために、反対
面からベルトの鋳造面への冷却剤又はその他の汚れもの
の浸出又フは移動が防止されなければならない。

このような移動は、本発明によれば、鋳造面と反対面と
の間の圧力差によつて積極的に止められる。この圧力差
は、冷却箱即ち囲い４０の少なくとも一部分の排気によ
つて得られる。この目的のために、排気・口構造体４４
が設けられる。これらの構造体は、第５図、第６図に詳
細に示されており、後述する。第３Ａ図、第４Ａ図を参
照すると、ベルト１４は、冷却室への入口の所の一対の
アイドラロール４６によつて長さ方向に案内される。

囲いの中につくられる真空を維持するために、入口シー
ル及び底部ワイパ４８が設けられる。これは、上流端で
、ベルト１４からの境界層の空気が入るのを防ぐ。調節
可能に配置された担体で、シールプレートの５０，５２
が、ベルト１４の両側に設けられ、こうして冷却装置の
全長を通じた囲い４０の頂部（ベルト１４を除く）を形
成している。

プレート５０，５２は、プレートの横断方向調節ノッチ
５６を貫通する複数の調節ボルト５４によつて横方向に
調節される。（第４Ａ図、第４Ｂ図、第５図参照）。ボ
ルト５４は、囲い４０の一対の永久固定されたつばプレ
ート５８，６０に取り付けられる。調節ボルト５４は、
つばプレート５８，６０の下側のナット６２によつて保
持される。ベルトの反対面（底面）は、細長いシール６
８によつて保持される。

ガイドとして働くこのシールは、調節可能な案内プレー
ト５０，５２の溝に取り付けられるのが好ましい。この
シールを形成する適当な材料は、ポリテトラフルオロエ
チレン（テフロン）である。このシール６８は低摩擦係
数を有し、従つて、その上をベルトが容易に摺動可能で
、囲い４０の頂部を効果的に密封する。ガイド６８の頂
部表面は、線接触するように中高にされて、より効果的
な密封ができるように、その線に沿つて圧力を増してい
る。動作中は、加圧冷却剤はマニホールド６６によつて
ベルト１４の反対面に吹きつけるノズル４２を通して供
給される。

この冷却剤は、反対面に対．して核のある沸騰を行い、
その結果、冷却剤の蒸気と滴が形成され、こうしてベル
ト１４を効果的に冷却する。排気口構造体４４による負
圧の形成により、ベルト１４は、前述のシール６８に保
持される。

ベルト１４が速く動くシールに沿つてどのような僅かの
開口が存在しても、ベルト１４の縁の周りでは漏れは生
じない。これは、即座の空気流が（第５図と第６図の流
線矢印参照）冷却剤に掃く力を及ぼし、これが冷却剤を
囲い４０の中に引き戻すからである。このため、ベルト
、プーリ、ロールへの冷却剤の移行が防止される。勿論
、正圧即ち大気圧より高い圧力を鋳造面に加えること、
或いは正圧を鋳造面に、負圧を反対面に加えることによ
つても同様の結果が得られる。

なお、正圧即ち大気圧以上の圧力を鋳造面に加えること
は、単に鋳造処理を加圧室内において行うことによつて
簡単に実施し得る。鋳造面が、反対面より高い圧力にな
るように、ベルト１４のような冷却部材を形成する基板
の両面に圧力差を加えることは、望ましい掃除作用を与
える。このような圧力差は、シールのどんな欠陥個所で
も、或いはベルトが振動して、瞬間的にその縁がシール
６８から浮き上がつてしまつたどんな個所でも、冷却剤
を囲いの中へ引き戻す。こうして、本発明は、冷却装置
の囲いをしつかりシールするだけでなく、冷却剤を、冷
却室内に閉じ込めておく積極的な掃除作用を与える。落
下する滴と凝縮された蒸気は、適当な収集と再循環のた
めに、囲い４０に集められて、水だめ３８に流れる。（
第３Ｂ図参照）。第５図、第６図を参照すると、ベルト
１４がより詳細に断面が示されており、これは、望まし
くは銅合金から成り、鋳造面及び反対面７２，７４を有
する本体即ち基板７０から成つている。

真空口構造体４４は、管７６によつて負圧源に接続され
、入口７８と接続路８０を形成している。接続路７８を
真空に接続すると、基板７０の反対面７４に隣接した囲
い４０の上側領域８２から蒸気が排出される。また、こ
れら２つの図の矢印で示すように、大気圧は、周囲の空
気が細長いシール６８の欠陥を通つてこの領域に入る通
路を誘起する。前述のことから明らかなように、第６図
に示された蒸気は、基板の反対面にノズル４２によつて
吹きつけられた冷却剤の核のある沸騰によつて一部形成
される。

比較的小量の冷却剤が使用されるが、この冷却剤は、高
圧で、望ましくは４０−８０１ｂｓ１ｉｎで、かつ高速
で吹きつけられる。このため、ベルトの反対側７４に対
して、液体膜を通して新しい液を最大限浸透させること
ができる。気化の潜熱が利用されて、熱伝達プロセスを
最適化する。排気口構造体４４によつて得られる真空は
、冷却剤の吹きつけの衝撃に抗して、ベルト１４を所定
位置に保持する。

更に、比較的小寸法のオリフィスノズルが使用されて、
冷却剤の一定流量を維持しながら、スプレージェット速
度を増加する。

本発明の開発中に得られた実験結果は、冷却剤圧力の増
加による吹きつけ速度の増加に応じて熱伝達が増加し、
改善されたことが観察されたことを示している。

また他の結果は、同等の圧力増加なしに単に冷却剤流量
を増やすことは、熱伝達特性にたいした改善を与えない
ことを示している。従つて、より高圧の冷却剤と共に、
比較的小さいノズル１４の使用により、より効果的な冷
却装置が得られ、このため所望の冷却速度を達成するた
ノめに、小さな熱伝達面を必要とする。ノズル吹きつけ
速度の増加で観察された熱伝達増加は、ベルト面におけ
る吹きつけによつてもたらされる強い摩擦作用で説明が
可能である。

特に、冷却プロセス中につくられたどん蒸気も、高７速
スプレーによつてより効果的に強い摩擦作用を起し、こ
几こ化こすつて離れていく。こうして、熱伝達効率を妨
げるいかなる蒸気膜も、ベルトからこ化ごしこすり取ら
れて、効果的な冷却が行われる。吹きつけられる冷却剤
は、面７４に吹きつける時、露点温度より高いことが望
まい。

実際、冷却剤は、鋳造面７２に凝縮が生じないようにす
るために、約７５℃に加熱されるのが望ましく、こうす
ることによつて、鋳造面にいかなる汚れが付着すること
も避けられる。前述したように、鋳造面アモルファス合
金には、急速な冷却が必要とされる。

゜“加熱されだ冷却剤、即ち約７５℃の水を使用すると
、急冷に適したベルト面の状態が促進されることが見出
された。本発明によれば、冷却装置との接触からベルト
１４が離れて行く前に、残留冷却剤を反対面７４から全
てとり除くために、多数のかき板８４が、端部真空室８
６に隣接して設けられる。

室８６の真空による過剰冷却剤及び蒸気膜の機械的除去
により、ロール２０，２２等との接触を通しても冷却剤
が鋳造面に入り込むことはなく、製造されたフィラメン
トの品質に悪影響を与えない。かき板８４が無いと、液
体膜がベルト面に捕捉され、冷却装置の次の行程中、吹
きつけられた冷却層は、この膜を通して浸透しなければ
ならなくなる。こうして、捕捉された膜は、核のある沸
騰の効率を下げることによつて、冷却装置の有効な熱伝
達速度を小さくしてしまう。第３Ｂ図、第４Ｂ図で見る
ように、薄いステンレススチール板で構成されるのが望
ましいかき板８４は、留め具８８によつて穴あきプレー
ト９０に固定される。

残留冷却剤と膜をより積極的に取り除くために、かき板
８４は、ベルト１４の移動方向とは反対方向を向いてい
るのが望ましい。かき板８４とベルト１４とのなす角度
は、残留冷却剤を最大限に除去するために、相当な鋭角
とすることが好ましく、推奨される角度は約２０とであ
る。更に第３Ｂ図で解るように、室８６は、穴あきプレ
ート９０の支持壁９２と、傾斜底面９４を有している。

かき板８４によつてベルト１４の反対面から除去された
どんな冷却剤も穴９６を通して底面９４に落下し、支持
壁９２の開口９８を通し．て水溜め３８に流れる。前述
したように、かき板８４によつて、ベルトの縁の周りや
、鋳造面上に冷却剤が拡散しないようにするために、室
８６は低圧に維持される。

従つて、鋳造面と反対面との間の差圧よる逆流空気４は
、ベルト１４の鋳造面の方へではなく、室８６の方へ冷
却剤を強制還流させる。前述の結果を達成するために、
別々の排出構造体が室８６に設けられる。推奨実施例で
は、全体のスプレー室の圧力を下げる排気口構造体４４
は、同様に、室８６の圧力も下げる。この低圧は、壁９
２の開口９８によつて、室８６に通じている。こうして
、前述のことは、連続鋳造において、冷却剤が有効利用
される装置、また、製造されたフィラメントの品質を改
善する乾燥鋳造面を有する装置について述べている。

これらの結果は、吹きつけ冷却が行われる室を少なくと
も一部冷却することにより、冷却基板の反対面からどん
な残留フ冷却剤もかき落して除去することにより、更に
、冷却剤を加圧、加熱し、小径ノズルオリフィスを通し
て吹きつけることにより達成される。他の差圧値も有効
であるが、ベルトの延展面と反対面の間は、約２．５ｃ
ｗ１Ｈｇの差圧であることが望・ましい。

また、ベルトの移動方向との反対向きのかき板は、２０
０の傾きの方向てあることが良いが、他の傾きの方向も
、本発明の範囲に含まれる。以上は、図示した本発明の
推奨実施例を述べた”ものにすぎず、この実施例によつ
て発明が限定されるものではない。

本発明の等価な多数の変形例が当業者により得られるこ
とは自明である。本発明の可能なもうひとつの変形例は
、ベルトの下面を排気するよりもむしろ、どんな冷却剤
も強制的に還流させるように、ベルトの縁の周りに配置
された空気ジェットを使用するものである。このような
構造体もまた、差圧を生じさせ、反対面の方へ冷却剤を
強制的に戻すことができる。このような修正、変形、均
等物は、本発明が、正当に、法的に権利を附与された全
ての均等物の利益を得るために解釈する場合、特に特許
請求の範囲に記載された本発明の技術的範囲内にあると
されるべきことはいうまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による冷却装置を備えた連続フィラメ
ント鋳造装置の立面図すなわち側面図。 第２図は、第１図の構造体におけるベルト及びその上に
形成された固化金属フィラメントを示す図。第３Ａ図、
第３Ｂ図は、本発明による冷却装置の一部断面の詳細立
面図。第４Ａ図、第４Ｂ図は、本発明による冷却装置の
一部除いた平面図。第５図は、第４Ａ図の線５−５に沿
つた本発明による冷却装置の断面図。第６図は、第５図
の一部を形成する真空部分の拡大図。１０・・・・・・
炉、１２・・・・・・ノズル、１４・・・・・ベルト、
１６・・・・・・溶融合金、１８・・・・・・冷却装置
、２０，２２・・・・・・ロール、２４，２６・・・・
・支柱、３０・・金属フィラメント、３２・・・・・巻
取リール、３４・・・・・・管、３６・・・・・・継手
、３８・・・・・・水溜め、４０・・・・囲い、４２・
・・・・ノズル、４４・・・・・排気口構造体、４６・
・・・・アイドラロール、４８・・・・ワイパ、５０，
５２・・・・・ウールプレート、５４・・・・・・調整
ボルト、６８・・・・ウール、７０・ ・・基板、８４
・かき板、８６・・・・・真空室。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 固化されるべき溶融した材料を受ける鋳造面とその
   反対側にある反対面を有する移動する冷却部材上で、前
   記材料を連結続鋳する方法において、前記鋳造面上にお
   ける圧力を、前記反対面上における圧力よりも大きくす
   るために、前記冷却部材の鋳造面とその反対面との間に
   圧力差を与える段階と、前記反対面に冷却剤を吹き付け
   る段階とからなり、前記圧力勾配によつて、前記反対面
   から前記鋳造面への冷却剤の流れが防止される冷却部材
   の冷却方法。 ２ 固化させるべき溶融した材料を受ける鋳造面とその
   反対側にある反対面を有する移動する冷却部材上で、固
   化させるべき溶融した材料を連続鋳造する装置において
   、前記鋳造面における圧力が前記反対面における圧力よ
   り高くなるように前記冷却部材の鋳造面とその反対面と
   の間に圧力差を生じさせる加圧手段と、前記反対面に冷
   却剤を吹きつける吹きつけ手段とを備え、前記圧力差に
   よつて前記加圧手段が、前記反対面から前記鋳造面への
   冷却剤の移動を防止する冷却部材の冷却装置。 ３（ａ）反対面に対して冷却剤を吹きつける吹きつけ手
   段、（ｂ）前記反対面から残留冷却剤を除去するかき落
   とし手段、（ｃ）移動する冷却部材の一方の面と密閉接
   触する囲い、（ｄ）前記反対面から鋳造面へ冷却剤が移
   動するのを防止するため、前記囲いの内外に圧力差を加
   える加圧手段からなる固化させるべき溶融した材料を受
   ける鋳造面と反対面を有する移動する冷却部材を備えた
   連続鋳造装置の冷却装置。 ４ 前記吹きつけ手段が、前記反対面に冷却剤を吹きつ
   ける一連のノズルからなる特許請求の範囲第３項記載の
   冷却装置。 ５ 前記ノズルが、前記囲い内に配置され、上方に向い
   ている特許請求の範囲第４項記載の冷却装置。 ６ 前記かき落し手段が、前記囲いの中に配置されてい
   る特許請求の範囲第５項記載の冷却装置。 ７ 前記かき落し手段が、前記移動する冷却部材の移動
   方向と反対を向いた、薄く、比較的硬い材料からなる少
   なくとも一枚のシートから構成されている特許請求の範
   囲第６項記載の冷却装置。 ８ 前記かき落し手段が、前記反対面に対して約２０゜
   の角度をなす少なくとも一枚のステンレススチール製の
   シートから構成されている特許請求の範囲第７項記載の
   冷却装置。 ９ 前記吹きつけ手段が、前記部材に沿つて延びるマニ
   ホールドと、前記反対面の方を向いた前記マニホールド
   上の複数のノズルを備え、それによつて、前記部材を冷
   却するために、複数のスプレーシェットを供給する特許
   請求の範囲第８項記載の冷却装置。