JPS6044542B2 - サ−ボ式比例圧力制御弁 - Google Patents

サ−ボ式比例圧力制御弁

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JPS6044542B2
JPS6044542B2 JP16040480A JP16040480A JPS6044542B2 JP S6044542 B2 JPS6044542 B2 JP S6044542B2 JP 16040480 A JP16040480 A JP 16040480A JP 16040480 A JP16040480 A JP 16040480A JP S6044542 B2 JPS6044542 B2 JP S6044542B2
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JP
Japan
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valve
main
servo
diaphragm
passage
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JP16040480A
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義 小島
哲夫 内浜
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Azbil Corp
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Azbil Corp
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 この発明は電気信号により流体圧力、とくに燃 焼用
ガス圧を比例的に制御するサーボ式圧力制御弁の最小圧
力の制御性の改良に関するものてある。
従来この種のサーボ式比例圧力制御弁は最小圧力を制
御する機構が設けられていない。
すなわち第2図は従来のサーボ式圧力制御弁のコントロ
ールから電磁コイルヘの出力電流と出口通路の圧力との
関係を示すもので、これによると出力電流の減少ととも
に出口通路の圧力も減少するが、とくに燃焼用ガスの圧
力制御のばあい、燃焼装置たとえばガスバーナによつて
決まる最小圧力以下になると、安定した燃焼はもとより
、ブローオフによる生ガス放出等の危険な状態が生じる
おそれがある。 この発明は、このような従来の欠点を
解消しようとするもので、コントローラから電磁コイル
ヘの出力電流がどのように減少しても、出口通路の圧力
があらかじめ設定した最小値以下にはならないように改
良したサーボ式比例圧力制御弁を提供することを目的と
している。
この発明のサーボ式比例圧力制御弁は、サーボ弁の開
度を制御する電磁コイルに供給される電流がゼ川こなつ
ても、サーボ弁の開度が所定の最小値以下にならないよ
うに、フィードバックダイヤフラムを押圧する弾性部材
を有する。
すなわちこの弾性部材は、電磁コイルに供給される電流
が減少することでプランジャーがフィードバックダイヤ
フラムに対して後退する過程で、出口通路の圧力が所定
の最小値に達したときに、フィードバックダイヤフラム
に作用しているフィードバック圧力とバランスするよう
にフィードバックダイヤフラムを押圧する。これによつ
て出力通路の圧力は設定された最小値以下になることは
ない。以下にこの発明の一実施例を図について説明する
。すなわち第1図において符号1で示すバルブ本体の内
部は熱焼ガス供給側に接続される入口通路2とバーナ側
に接続される通路3とが形成され、この両者は主弁4に
よつて開閉されるボート5を介して相互に連通している
。主弁4はガイド6とスプリング7によつて支持され、
このスプリング7によつてボート5を閉じる方向に付勢
されている。また出口通路3に対して主ダイヤフラム室
8を区画している主ダイヤフラム9に接している。弁本
体1にはワーキングガス切替え弁機構を内蔵したサーボ
弁本体10が固定されている。ワーキングガス切替え弁
機構には入口通路2より通路11、オリフィス12を通
して導かれてくるワーキングガスを閉止する小弁座13
とバイパス弁14と切替弁15とワーキングガスをサー
ボ弁側に導く通路16と主ダイヤフラム室8と連通する
通路17によつて構成され、これによつて切替え弁15
は入口通路2から主ダイヤフラム室8への通路および入
口通路2からサーボ弁20を介して出口通路3に通する
通路の一組の通路と、主ダイヤフラム室8から出口通路
3に通する通路を選択的に切替える。なお切替え弁15
を駆動する駆動部は図に示してない。またサーボ弁本体
10の上部にはサーボ弁座18を有する座板28が固定
され、この弁座上にはフィードバックダイヤフラム19
が設けられ、その周縁部において弁座18の周縁部に固
着されている。フィードバックダイヤフラム19の下面
中央には弁座18を開閉するサーボ弁20が固定されて
いる。座板28には通路16と出口通路3に連通する通
路25とを弁座18を通して連通させる孔29が設けら
れている。サーボ弁本体10の上部には電磁コイル22
が設けられ、このコイルの中央部にはプランジャー21
が上下動自在に設けられ、かつその下端部はフィードバ
ックダイヤフラム19のサーボ弁20が設けられた面と
反対側の面すなわちワーキングガス圧検出側と反対側に
当接し、さらにそのプランジャー21は弾性板27によ
り支持されている。これによつて電磁コイルはプランジ
ャー21とともにフィードバックダイヤフラムに加える
力を制御する磁気回路を構成する。サーボ弁本体10に
は板ばねからなる弾性部材23の一端が調節ねじ24に
よつて取付けられ、その他端はプランジャー21の下端
とサーボ弁20との間においてこのサーボ弁20に付勢
力を与えている。そしてこの弾性部材によつて、主弁4
の閉止状態で出口通路3の圧力はあらかじめ設定された
所定の値以上に維持される。これら座板28、フィード
バックダイヤフラム19、サーボ弁20、プランジャー
21、電磁コイル22、弾性板27、弾性部材23およ
び調節ねじ24によつてサーボ弁機構が構成される。上
述のように構成されたサーボ式圧力制御弁においてガス
燃焼装置に熱要求がないばあい、切替え弁機構の小弁座
13は切替え弁15によつて閉となる。したがつて入口
通路2により導かれたワーキングガスは小弁座13で遮
断されるとともにバイパス弁座14が開となる。一方主
ダイヤフラム室8はバイパス弁座14を通して出口通路
3と連通しているため、主ダイヤフラム室8の残余ワー
キングガスは出口通路3に排出され、主弁4はスプリン
グ7の力によりボート5を閉じるように付勢される。次
に熱要求があるばあいは、切替え弁15が小弁座13を
開き、代つてバイパス弁14を閉とする。
したがつてワーキングガスは通路17を通して主ダイヤ
フラム室8に導かれるため主ダイヤフラム室8の圧力は
ワーキングガスによつて上昇し、出口通路3の圧力より
高くなるので、主ダイヤフラム9はスプリング7の力に
抗して主弁4を開く方向に力を発生する。主ダイヤフラ
ム9に生じた力がスプリング7の力より大きくなると主
弁4は開き始め、燃焼ガスはボート5を通して出口通路
3に流れ始める。同時に出口通路3の圧力が上昇し始め
る。この圧力は通路26を通してフィードバックダイヤ
フラム19にフィードバックされる。一方電磁コイル2
2にはコントローラ(図に示してない)からの出力電流
が供給されるが、この電流により生じた磁気力がプラン
ジャー21を介してフィードバックダイヤフラム19に
加わる。したがつてこのフィードバックダイヤフラムは
その下方からフィードバック圧力が、またその上方から
プランジャー21により力が加わつているが、最終的に
コントローラが演算した設定電流によつて生じるプラン
ジャ21の力とフィードバック圧力がフィードバックダ
イヤフラム19を介して生じる力とバランスするように
動作する。したがつて熱要求の度合いと比較してボート
5の開度が大きいばあい出口通路3の圧力は高いすなわ
ちガス流量が多いため、フィードバック圧力も高く、こ
のためフィードバックダイヤフラム19は上方へ動作し
、このフィードバックダイヤフラムに固定されたサーボ
弁20はサーボ弁座18の開口面積を大きくする方向に
動作する。したがつてワーキングガスはサーボ弁座18
を通して出口通路3にブリードする。このブリードによ
り主ダイヤフラム室8の圧力が減少し、主弁4は閉じる
方向に動くためボート5の開口度は減少し、熱要求と一
致した位置でバランスする。そして熱要求が減少すれば
コントローラの出力電流が減少するためプランジャー2
1の磁気力が弱くなり、フィードバックダイヤフラム1
9は上方へ移動する。
これによりサーボ弁20とサーボ弁座18の開口面積が
広がるため、主ダイヤフラム室8のワーキングガスがそ
れに応じて排出され、主ダイヤフラム室8の圧力が減少
し、主弁4は閉じる方向に移動するため出口通路3の圧
力が減少する。さらに熱要求が減少してサーボ弁20が
全開位置(第2図のa点)となると主ダイヤフラム室8
の残余ワーキングガスは排出され、主弁4は閉となる。
ただし入口通路2より通路11,16,25,26を通
して若干のガスが流れている。このときフィードバック
ダイヤフラム19には下方からのフィードバック圧力と
、上方からの磁気力、さらに上方から弾性部材23によ
る最小圧力制御のための力が与えられている。なお弾性
部材23による付勢力は調節ねじ24により燃焼装置に
よる最小圧力値に応じて調節できるので、その最小圧力
をP1に設定したばあい、熱要求が減少してプランジャ
ー21が上方へ移動し、出口通路3の圧力がP1となる
位置でフィードバックダイヤフラム19には下方からの
フィードバック圧力と、上方からの弾性部材23による
付勢力によりバランスする。このためさらに熱要求が減
少し続けてもプランジャー21が上方へ移動するのみで
出口通路3の圧力はP1を維持する(第3図)。この発
明は上述のようにフィードバックダイヤフラムに、主弁
の閉止状態に近い状態において出ーロ通路の圧力をあら
かじめ設定へ^た所定の値以上に維持する弾性部材を当
接させているので、主弁の閉止状態に近い状態において
出口通路のガス流量はあらかじめ定められたある値以上
に維持され、したがつてブローオフによる生ガス放出を
防止することができる利点がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明におけるサーボ式比例圧力制御弁の一
実施例を示す正断面図、第2図は従来のサーボ式比例圧
力制御弁におけるコントローラから電磁コイルへ流れる
出力電流と出口通路の圧力との関係を示すグラフ、第3
図はこの発明のサーボ式比例圧力制御弁におけるコント
ローラから電磁コイルへ流れる出力電流と出口通路の圧
力との関係を示すグラフである。 1・・・・・・弁本体、2・・・・・・入口通路、3・
・・・・・出口通路、4・・・・・・主弁、5・・・・
・・ボート、6・・・・・・ガイド、7・・・・・スプ
リング、8・・・・・・主ダイヤフラム室、9・・・・
主ダイヤフラム、10・・・・・・サーボ弁本体、11
・・・・・・通路、12・・・・・オリフィス、13・
・・・・・小弁座、14・・・・・・バイパス弁座、1
5・・・・・・切替え弁、16・・・・・・通路、17
・・・・・・通路、18・・・・・・サーボ弁座、19
・・・・フィードバックダイヤフラム、20・・・・サ
ーボ弁、21・・・・・プランジャー、22・・電磁コ
イル、23・・・・・弾性部材、24・・・・・・調節
ねじ、25・・・・・・通路、26・・・・・・通路、
27・・・・・・弾性板、28・・・・・・座板、29
・・・・・・孔。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 ポートを介して相互に連通する入口通路および出口
    通路を有するバルブ本体と、上記ポートの開口面積を制
    御する主弁と、この主弁を駆動する主ダイヤフラムと、
    上記主弁を常時閉止方向に付勢するスプリングと、上記
    出口通路の圧力を検出するフィードバックダイヤフラム
    を有するサーボ弁と、上記入口通路から上記主ダイヤフ
    ラム室に通ずる通路と上記入口通路から上記サーボ弁を
    介して上記出口通路に通ずる通路とからなる第1の系路
    と、上記主ダイヤフラム室から上記出口通路に通する第
    2の系路と、上記第1の系路と上記第2の系路のいずれ
    か一方を選択する切替え弁と、上記フィードバックダイ
    ヤフラムに当接して設けられたプランジャーと、このプ
    ランジャーを駆動する電磁コイルとからなるサーボ式比
    例圧力制御弁において、上記フィードバックダイヤフラ
    ムと等接し、このフィードバックダイヤフラムを上記サ
    ーボ弁の開度が所定の値まで小さくなるように押圧する
    弾性部材を設けたことを特徴とするサーボ式比例圧力制
    御弁。
JP16040480A 1980-11-14 1980-11-14 サ−ボ式比例圧力制御弁 Expired JPS6044542B2 (ja)

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JP16040480A JPS6044542B2 (ja) 1980-11-14 1980-11-14 サ−ボ式比例圧力制御弁

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JPS5786679A JPS5786679A (en) 1982-05-29
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JP16040480A Expired JPS6044542B2 (ja) 1980-11-14 1980-11-14 サ−ボ式比例圧力制御弁

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JPS59177877U (ja) * 1983-05-13 1984-11-28 ダイヤモンド電機株式会社 比例制御弁
JP4919733B2 (ja) * 2006-08-24 2012-04-18 株式会社日立ハイテクノロジーズ 基板洗浄装置、基板洗浄方法、及び基板の製造方法

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