JPS604379A - 固体カメラ - Google Patents
固体カメラInfo
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- JPS604379A JPS604379A JP58113076A JP11307683A JPS604379A JP S604379 A JPS604379 A JP S604379A JP 58113076 A JP58113076 A JP 58113076A JP 11307683 A JP11307683 A JP 11307683A JP S604379 A JPS604379 A JP S604379A
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- Japan
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- signal
- vertical
- vertical transfer
- solid
- gate
- Prior art date
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/10—Integrated devices
- H10F39/12—Image sensors
- H10F39/15—Charge-coupled device [CCD] image sensors
Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
従来例の構成とその問題点
近年、新しい撮像デバイスとして固体撮像素子の研究開
発が活発に行われ、急速に実用化の域に達しつつある。
発が活発に行われ、急速に実用化の域に達しつつある。
固体撮像素子を用いたテレビカメラは従来の撮像管方式
のテレビカメラに比べて、長寿命、堅牢性に富む、焼き
付きがない、取扱いが容易である等多くの特徴を有する
。一 固体撮像素子にはアレイ状に配置された光電変換素子か
らの信号電荷を、電荷転送による得るＣＣＤ型、垂直及
び水平方向に配置されたシフトレジスタから出力される
走査パルスにより光電変換素子の位置をアドレスして信
号を読み出すＭＯＳ型等多くの方式がある。その中でテ
レビカメラとしての固体撮像素子は感度、疑似信号等の
諸性能を考慮すると、インターラインＣＣＤ型固体撮像
素子（ＩＬ−ＣＣＤ）が最も有利であると考えられる。
のテレビカメラに比べて、長寿命、堅牢性に富む、焼き
付きがない、取扱いが容易である等多くの特徴を有する
。一 固体撮像素子にはアレイ状に配置された光電変換素子か
らの信号電荷を、電荷転送による得るＣＣＤ型、垂直及
び水平方向に配置されたシフトレジスタから出力される
走査パルスにより光電変換素子の位置をアドレスして信
号を読み出すＭＯＳ型等多くの方式がある。その中でテ
レビカメラとしての固体撮像素子は感度、疑似信号等の
諸性能を考慮すると、インターラインＣＣＤ型固体撮像
素子（ＩＬ−ＣＣＤ）が最も有利であると考えられる。
以下、ＩＬ−ＣＯＤの構成、動作を第１図〜第４図を用
いて説明する。
いて説明する。
第１図において、１は光電変換素子としてのフォトダイ
オード、２は垂直転送レジスタであり、この垂直転送レ
ジスタ２は、垂直転送レジスタ２は、垂直転送ゲー）３
，４，５．６により構成されている。７は信号読み出し
ゲートであり、等測的に垂直転送ゲート３および５と共
通となっている。８は垂直転送パルスの供給端子である
。９は水平転送レジスタであり、この水平転送レジスタ
９Ｖｉ水平転送ゲート１ｏ、１１により構成されている
。１２は水平転送パルスの供給端子である。
オード、２は垂直転送レジスタであり、この垂直転送レ
ジスタ２は、垂直転送レジスタ２は、垂直転送ゲー）３
，４，５．６により構成されている。７は信号読み出し
ゲートであり、等測的に垂直転送ゲート３および５と共
通となっている。８は垂直転送パルスの供給端子である
。９は水平転送レジスタであり、この水平転送レジスタ
９Ｖｉ水平転送ゲート１ｏ、１１により構成されている
。１２は水平転送パルスの供給端子である。
１３は電荷検出部であり、転送されてきた信号電荷を信
号電圧に変換する。この電荷検出部１３は通常フローテ
ィングディフィージョンアンプ（ＦＮｏａｔｉｎｇ Ｄ
ｉｆｆｕｓｉｏｎ Ａｍｐｎｉｆｉｅｒ）で構成されて
いる。１４は信号出力端子である。以上の如き構成のＩ
Ｌ−ＣＯＤの動作を次に説明する。
号電圧に変換する。この電荷検出部１３は通常フローテ
ィングディフィージョンアンプ（ＦＮｏａｔｉｎｇ Ｄ
ｉｆｆｕｓｉｏｎ Ａｍｐｎｉｆｉｅｒ）で構成されて
いる。１４は信号出力端子である。以上の如き構成のＩ
Ｌ−ＣＯＤの動作を次に説明する。
フォトダイオード１は被写体よりの入射光を光電変換し
、信号電荷を得る。この光電変換により得られた信号電
荷は、信号読み出しゲート７を介して垂直転送レジスタ
２を構する垂直転送ゲートへ読み込捷れた後、垂直転送
パルス供給端子８より供給された垂直転送パルスにより
、水平転送レジスタ９の方向へ順次転送され、１水平ラ
イン分毎に水平転送レジスタ９に読み込まれる。水平帆
送レジスタへ読み込まれた信号電荷は、水平転送パルス
供給端子１２から供給される水平転送パルスにより、電
荷検出部１３へ順次転送され、電荷検出部１３により電
圧に変換され、信号出力端子１４から点順次信号として
得られる。前記の如き方法により得られた点順次信号を
電気回路により信号処理する事によりテレビジョン信号
を得る。
、信号電荷を得る。この光電変換により得られた信号電
荷は、信号読み出しゲート７を介して垂直転送レジスタ
２を構する垂直転送ゲートへ読み込捷れた後、垂直転送
パルス供給端子８より供給された垂直転送パルスにより
、水平転送レジスタ９の方向へ順次転送され、１水平ラ
イン分毎に水平転送レジスタ９に読み込まれる。水平帆
送レジスタへ読み込まれた信号電荷は、水平転送パルス
供給端子１２から供給される水平転送パルスにより、電
荷検出部１３へ順次転送され、電荷検出部１３により電
圧に変換され、信号出力端子１４から点順次信号として
得られる。前記の如き方法により得られた点順次信号を
電気回路により信号処理する事によりテレビジョン信号
を得る。
第２図に前記のＩＬ−ＣＯＤの受光部の平面図を示す。
第２図において、第１図と同一の機能を有する部分には
同一の番号を付している。第２図において、１はフォト
ダイオード、２は垂直転送レジスタ、３〜６は垂直転送
ゲートであり、前記垂直転送レジスタは４相構成として
いる。３はφＶ３．４Ｖｉφｖ４．５はφＶ１．６はφ
Ｖ２である。７は信号読み出しゲートであり、前記信号
読み出しゲート７Ｖｉフオトダイオード１に対応して垂
直転送ゲート６．４すなわちφｖ２．φｖ４に対応して
設けられている。１５は水平方向に画素を分離するため
のチャンネルストッパーである実際は読み出しゲート部
以外のフォトダイオードの周辺に設置されている。
同一の番号を付している。第２図において、１はフォト
ダイオード、２は垂直転送レジスタ、３〜６は垂直転送
ゲートであり、前記垂直転送レジスタは４相構成として
いる。３はφＶ３．４Ｖｉφｖ４．５はφＶ１．６はφ
Ｖ２である。７は信号読み出しゲートであり、前記信号
読み出しゲート７Ｖｉフオトダイオード１に対応して垂
直転送ゲート６．４すなわちφｖ２．φｖ４に対応して
設けられている。１５は水平方向に画素を分離するため
のチャンネルストッパーである実際は読み出しゲート部
以外のフォトダイオードの周辺に設置されている。
次に、垂直転送レジスタ、フォトダイオード、信号読み
出しゲート等の関係を第３図２に、ｌ）を用いて説明す
る。
出しゲート等の関係を第３図２に、ｌ）を用いて説明す
る。
第３図は第２図に示したＡ −Ａ’部の断面図である０
第３図へにおいて、第１図、第２図と同一の機能を有す
る部分には同一の番号を付している。
る部分には同一の番号を付している。
第３図へにおいて、固体撮像素子１ｌ−ｉｎ型基板１６
上に９層１７をエピタキシャル成長させた上に、ｎ＋層
１を設けてＰＮ接合によるフォトダイオードを構成して
いる。６は垂直転送ゲートであり、前記垂直転送ゲート
Ｕｎ一層１８、ｐ＋層７の上方に配置されている。７は
信号読み出しゲートであり、１８のｎ’層と１７のｐ層
との接合部で埋込みチャンネル”ｙｌ！！ｃ ＣＤ即ち
垂直転送レジスタ２が構成されている。１９はフォトダ
イオード部１以外の部分に被写体より入射光が照射され
てスメア等疑似信号が発生するのを防ぐだめの遮光用ザ
ルミ配線である。ここで、基板１６とエピタキシャル層
１７の間には電源２ｏにより逆バイアス電圧が印加され
ている。−また１ 、７，８．１３の各拡散層と転送電
極６の間は酸化シリコン（Ｓ ｔ ０２ ）２１で絶縁
されており、また素子の表面はリンガラス（ＰＳＧ）２
２で覆って保護している。第３図１）は第３Ｎａの各部
のポテンシャルの概要を示す図である。第３図しにおい
て実線のポテンシャ９図は垂直転送時のポテンシャル図
である。チャンネルストッパー領域１５のポテンシャル
は常に一定である。フォトダイオード部１のポテンシャ
ルはダーク状態のポテンシャルＶＡがら入射光を受けて
、信号電荷が満杯になった時のポテンシャルＶＢまでの
間の値をとる。垂直転送段１８のポテンシャルは、垂直
転送ゲート６に垂直転送パルスが印加されない時のポテ
ンシャルＶｃと垂直転送パルスか印加さ汎た時のボテン
シャルＶｐの間の値をとる。捷だ信号読み出しゲート７
のボテンシャルは、垂直転送パルスが垂直転送ゲート６
に印加されない時のボテンシャルＶＥと印加された時の
ボテンシャルｖＦの間の値をとる。垂直転送段１８にお
ける信号電荷はポテンシャルＶＣとＶｐ。
上に９層１７をエピタキシャル成長させた上に、ｎ＋層
１を設けてＰＮ接合によるフォトダイオードを構成して
いる。６は垂直転送ゲートであり、前記垂直転送ゲート
Ｕｎ一層１８、ｐ＋層７の上方に配置されている。７は
信号読み出しゲートであり、１８のｎ’層と１７のｐ層
との接合部で埋込みチャンネル”ｙｌ！！ｃ ＣＤ即ち
垂直転送レジスタ２が構成されている。１９はフォトダ
イオード部１以外の部分に被写体より入射光が照射され
てスメア等疑似信号が発生するのを防ぐだめの遮光用ザ
ルミ配線である。ここで、基板１６とエピタキシャル層
１７の間には電源２ｏにより逆バイアス電圧が印加され
ている。−また１ 、７，８．１３の各拡散層と転送電
極６の間は酸化シリコン（Ｓ ｔ ０２ ）２１で絶縁
されており、また素子の表面はリンガラス（ＰＳＧ）２
２で覆って保護している。第３図１）は第３Ｎａの各部
のポテンシャルの概要を示す図である。第３図しにおい
て実線のポテンシャ９図は垂直転送時のポテンシャル図
である。チャンネルストッパー領域１５のポテンシャル
は常に一定である。フォトダイオード部１のポテンシャ
ルはダーク状態のポテンシャルＶＡがら入射光を受けて
、信号電荷が満杯になった時のポテンシャルＶＢまでの
間の値をとる。垂直転送段１８のポテンシャルは、垂直
転送ゲート６に垂直転送パルスが印加されない時のポテ
ンシャルＶｃと垂直転送パルスか印加さ汎た時のボテン
シャルＶｐの間の値をとる。捷だ信号読み出しゲート７
のボテンシャルは、垂直転送パルスが垂直転送ゲート６
に印加されない時のボテンシャルＶＥと印加された時の
ボテンシャルｖＦの間の値をとる。垂直転送段１８にお
ける信号電荷はポテンシャルＶＣとＶｐ。
間を転送される。
次にフォトダイオード１の信号電荷を垂直転送段１８に
読み込む際のポテンシャルを説明するＯ信号電荷を垂直
転送段１８に読み込むには、垂直帰線期間中に信号読み
出しパルスを垂直転送ゲート６に印加する０垂直転送パ
ルスよりも十分大きい信号読み出しパルスを垂直転送ゲ
ート６に印加すれば、信号読み出しゲート７及び垂直転
送段１８のボテンシャルは第３図すの破線で示した電位
と々る。すなわち、信号読み出しゲートのポテンシャル
は■Ｇ１垂直転送段１８のポテンシャルは■Ｈとなり、
フォトダイオード１に蓄積された信号電荷は信号読み出
しパルスが印加されている期間中のみ垂直転送段１８へ
読み出される。前記の如き構成のＩＬ−ＣＯＤに第４図
に示す垂直転送パルスφｖ１〜φｖ４を第１図に示す垂
直転送パルス供給端子８より供給すれば、第１フイール
ドにおいては、信号読み出しゲートとφｖ２が共通とな
った水平ラインのフォトダイオードの信号電荷を読み出
す、第２フイールドにおいては、信号読み出しゲートと
φｖ４が共通となった水平ラインのフトダイオードの信
号を読み出す。したがって、信号出力端子１４から得ら
れた信号電圧を電気回路で信号処理を行えば２：１イン
ターレース走査の行われたテレビジョン信号を得る事が
できる。ここで第４図に示した垂直転送パルスのうち、
φ■２に示したＡ、φｖ４に示したＢの各パルスは信号
読み出しパルスである。
読み込む際のポテンシャルを説明するＯ信号電荷を垂直
転送段１８に読み込むには、垂直帰線期間中に信号読み
出しパルスを垂直転送ゲート６に印加する０垂直転送パ
ルスよりも十分大きい信号読み出しパルスを垂直転送ゲ
ート６に印加すれば、信号読み出しゲート７及び垂直転
送段１８のボテンシャルは第３図すの破線で示した電位
と々る。すなわち、信号読み出しゲートのポテンシャル
は■Ｇ１垂直転送段１８のポテンシャルは■Ｈとなり、
フォトダイオード１に蓄積された信号電荷は信号読み出
しパルスが印加されている期間中のみ垂直転送段１８へ
読み出される。前記の如き構成のＩＬ−ＣＯＤに第４図
に示す垂直転送パルスφｖ１〜φｖ４を第１図に示す垂
直転送パルス供給端子８より供給すれば、第１フイール
ドにおいては、信号読み出しゲートとφｖ２が共通とな
った水平ラインのフォトダイオードの信号電荷を読み出
す、第２フイールドにおいては、信号読み出しゲートと
φｖ４が共通となった水平ラインのフトダイオードの信
号を読み出す。したがって、信号出力端子１４から得ら
れた信号電圧を電気回路で信号処理を行えば２：１イン
ターレース走査の行われたテレビジョン信号を得る事が
できる。ここで第４図に示した垂直転送パルスのうち、
φ■２に示したＡ、φｖ４に示したＢの各パルスは信号
読み出しパルスである。
ところが、以上説明した垂直転送パルスの関係を持たせ
て２：１インターレース走査を行った場合に２つの問題
点が生じる。
て２：１インターレース走査を行った場合に２つの問題
点が生じる。
第１の問題点は残像の発生である。前記残像の発生原因
は、第４図から明らかなようにフォトダイオードへの信
号電荷の蓄積時間は、２フィールド期間であるが、信号
電荷の読み出しは１水平ラインおきに１フイールド毎に
行われるためである。
は、第４図から明らかなようにフォトダイオードへの信
号電荷の蓄積時間は、２フィールド期間であるが、信号
電荷の読み出しは１水平ラインおきに１フイールド毎に
行われるためである。
したがって撮像中にテレビカメラをパンした場合などに
Ｖｉ１フィルド後の信号電荷が読み出さ扛る残像が発生
し、画像のエツジ部が２重に見える。
Ｖｉ１フィルド後の信号電荷が読み出さ扛る残像が発生
し、画像のエツジ部が２重に見える。
第２の問題点は、インターレースフリッカ−の発生であ
る。ビジコン等一般的な撮像管においては、その走査ビ
ームのビームは、はぼ円形でありしかも、走査ビーム径
が本来の走査線幅かっている。）ため、第６図に示すよ
うに走査ビーム３０が両フィールド分にまたがって走査
する。
る。ビジコン等一般的な撮像管においては、その走査ビ
ームのビームは、はぼ円形でありしかも、走査ビーム径
が本来の走査線幅かっている。）ため、第６図に示すよ
うに走査ビーム３０が両フィールド分にまたがって走査
する。
なお、実際の走査ビームはもっと大きく電子密度はビー
ム中心に対してがらス分布している。したがって走査線
相互の境界にボケている。すなわち、垂直方向のＭＴ
Ｆｉｄ、垂直線数以下となっている。
ム中心に対してがらス分布している。したがって走査線
相互の境界にボケている。すなわち、垂直方向のＭＴ
Ｆｉｄ、垂直線数以下となっている。
しかしながら、固体撮像素子の場合には第２図に示した
ようにフォトダイオード１が完全に分散して配置されて
いるため撮像管のように走査線相互の境界がボケる事は
ない。すなわち垂直方向のＭＴＦｆｉ垂直走査線数近く
でも、はとんど低下しない。したがって垂直方向に輝度
信号が犬きく変化した垂直相関の無い被写体像を撮像し
たモニターＴＶで見ると前記、垂直相関の無い被写体部
分ではフィールド毎に信号が大きく変化するために、見
かけ上フリッカ−となって現われる。この現象は放送用
等高解像度なテレビカメラにおいては発生している。
ようにフォトダイオード１が完全に分散して配置されて
いるため撮像管のように走査線相互の境界がボケる事は
ない。すなわち垂直方向のＭＴＦｆｉ垂直走査線数近く
でも、はとんど低下しない。したがって垂直方向に輝度
信号が犬きく変化した垂直相関の無い被写体像を撮像し
たモニターＴＶで見ると前記、垂直相関の無い被写体部
分ではフィールド毎に信号が大きく変化するために、見
かけ上フリッカ−となって現われる。この現象は放送用
等高解像度なテレビカメラにおいては発生している。
発明の目的
本発明は上記従来の問題点を解決し、残像が無く、イン
ターレースフリッカ−も無い固体カメラを提供するもの
である。
ターレースフリッカ−も無い固体カメラを提供するもの
である。
発明の構成
本発明は、光電変換素子に対応して配置された信号読み
出しゲートと、垂直転送レジスタ１段を４相の垂直転送
ゲートにより構成し、前記垂直転送ゲートのうち２つの
転送ゲートを等測的に前記読み出しゲートとを共通接続
として、前記光電変換素子よりの信号電荷を読み出し、
垂直、水平に転送し、時系列に信号を得るインターライ
ン型固体撮像素子において、信号読み出しゲートと等価
的に共通接続された垂直転送ゲート全てに信号読み出し
パルスを毎フィールドの垂直帰線期間中に同時に印加す
る事により残像が無く、インターレースフリッカ−も無
いテレビカメラの信号を得るものである。
出しゲートと、垂直転送レジスタ１段を４相の垂直転送
ゲートにより構成し、前記垂直転送ゲートのうち２つの
転送ゲートを等測的に前記読み出しゲートとを共通接続
として、前記光電変換素子よりの信号電荷を読み出し、
垂直、水平に転送し、時系列に信号を得るインターライ
ン型固体撮像素子において、信号読み出しゲートと等価
的に共通接続された垂直転送ゲート全てに信号読み出し
パルスを毎フィールドの垂直帰線期間中に同時に印加す
る事により残像が無く、インターレースフリッカ−も無
いテレビカメラの信号を得るものである。
実施例の説明
以下、本発明による固体カメラの１実施例を第６図、第
７図を用いて説明する。
７図を用いて説明する。
第６図は本発明による前記Ｉ Ｌ−ＣＯＤの垂直駆動パ
ルスである。φｖ１．φｖ３１″を第４図に示した従来
の垂直駆動パルスと同一であるが、φｖ２．φｖ４は、
第１．第２フィールド共に同時に信号読み出しパルスを
設けている。第６図に示す垂直駆動パルスを第１図に示
すＩＬ−ＣＯＤの垂直転送パルス供給端子８のφｖ１〜
φｖ４供給端子に印加した時の垂直転送段を構成する垂
直転送ゲートφ■１〜φｖ４におけるポテンシャルの概
要を第７図に示す。
ルスである。φｖ１．φｖ３１″を第４図に示した従来
の垂直駆動パルスと同一であるが、φｖ２．φｖ４は、
第１．第２フィールド共に同時に信号読み出しパルスを
設けている。第６図に示す垂直駆動パルスを第１図に示
すＩＬ−ＣＯＤの垂直転送パルス供給端子８のφｖ１〜
φｖ４供給端子に印加した時の垂直転送段を構成する垂
直転送ゲートφ■１〜φｖ４におけるポテンシャルの概
要を第７図に示す。
第７図は第２図に示したＢ −Ｅ’断面のポテンシャル
を示し、幹ポテンシャル図は第６図に示したｔ１〜ｔ６
の各時間におけるものである。ここで、７オトダイオー
ドから垂直転送段への信号読み込みのメカニズムは第３
図を用いて説明したので省略する。またポテンシャルの
説明に不必要な遮光用アルミ配線や表面保護膜（ＰＳＧ
）等は省略している。
を示し、幹ポテンシャル図は第６図に示したｔ１〜ｔ６
の各時間におけるものである。ここで、７オトダイオー
ドから垂直転送段への信号読み込みのメカニズムは第３
図を用いて説明したので省略する。またポテンシャルの
説明に不必要な遮光用アルミ配線や表面保護膜（ＰＳＧ
）等は省略している。
第７図において８は垂直転送パルス供給端子、１８は垂
直転送段を構成するｎ−拡散層、２３はφｖ１電極、２
４はφｖ２電極、２５はφ■３電極、２６にφｖ４電極
、２１は拡散層とφ■１〜φ■４電極を分離する絶縁層
（Ｓ １０２ ）そある。
直転送段を構成するｎ−拡散層、２３はφｖ１電極、２
４はφｖ２電極、２５はφ■３電極、２６にφｖ４電極
、２１は拡散層とφ■１〜φ■４電極を分離する絶縁層
（Ｓ １０２ ）そある。
次に本発明による垂直駆動パルスφｖ１〜φＶ４を垂直
駆動パルス供給端子８に印加したときの動作を第７図に
もとすいて説明する。
駆動パルス供給端子８に印加したときの動作を第７図に
もとすいて説明する。
１ず、第６図における垂直帰線期間中のｔ におけるポ
テンシャルは、第７図のｔｌ に示す形となり、各パケ
ットの中には信号電荷は存在しない。
テンシャルは、第７図のｔｌ に示す形となり、各パケ
ットの中には信号電荷は存在しない。
次に第６図のｔ２におけるポテンシャルは第７図のｔ２
に示す形となる。すなわち信号読み出しパルスをφｖ２
．φ■４に同時に印加する事により第２図に示したフォ
トダイオードＰＤ１．ＰＤ３の信号電荷Ｑ１．Ｑ３をφ
■２の電極下のパケットに読み込み、フォトダイオード
ＰＤ２の信号電荷Ｑ２をφｖ４の電極下のパケットに読
み込む（ここで７オトダイオードからφｖ２．φｖ４の
電極下のパケットに読み込むメカニネ゛ムに第３図で説
明したので省略する）次に第６図のｔ３におけるポテン
シャルは第７図のｔ に示す形となるが、ｔ３において
は、φｖ２．φ■４電極下のパケットに読み込まれた信
号電荷をφｖ２．φｖ３電極下のパケットで混合する。
に示す形となる。すなわち信号読み出しパルスをφｖ２
．φ■４に同時に印加する事により第２図に示したフォ
トダイオードＰＤ１．ＰＤ３の信号電荷Ｑ１．Ｑ３をφ
■２の電極下のパケットに読み込み、フォトダイオード
ＰＤ２の信号電荷Ｑ２をφｖ４の電極下のパケットに読
み込む（ここで７オトダイオードからφｖ２．φｖ４の
電極下のパケットに読み込むメカニネ゛ムに第３図で説
明したので省略する）次に第６図のｔ３におけるポテン
シャルは第７図のｔ に示す形となるが、ｔ３において
は、φｖ２．φ■４電極下のパケットに読み込まれた信
号電荷をφｖ２．φｖ３電極下のパケットで混合する。
次に第６図の１４．ｔ５Ｖｌおけるポテンシャルは第７
図の１４．１５に示す形と々るが、これは時間ｔ３にお
いて混合された信号電荷を垂直転送ゲートの１ゲートず
つ右方向へ転送している様子を示したものである。
図の１４．１５に示す形と々るが、これは時間ｔ３にお
いて混合された信号電荷を垂直転送ゲートの１ゲートず
つ右方向へ転送している様子を示したものである。
したがって、第１フイールドでは、第２図に示すＰＤｌ
とＰＤ２．ＰＤ３とＰＤ４（図示せず）というように各
フォトダイオードの信号電荷を混合した後、蝙直転送、
水平転送を行なって読み出している。
とＰＤ２．ＰＤ３とＰＤ４（図示せず）というように各
フォトダイオードの信号電荷を混合した後、蝙直転送、
水平転送を行なって読み出している。
第２フイールドでは、第８図に示すように、ＰＤ。
（図示せず）とＰＤｌ、ＰＤ２とＰＤ３．ＰＤ４とＰＤ
６（図示せずというように各フォトダイオードの信号電
荷を混合した後、垂直、水平転送を行ない信号を時系列
に読み出している。
６（図示せずというように各フォトダイオードの信号電
荷を混合した後、垂直、水平転送を行ない信号を時系列
に読み出している。
発明の効果
以上述べたように本発明を用いると、フォトダイオード
への信号電荷の蓄積時間は１フィールド期間であり、信
号読み出しもウィールド毎であるため、従来例で述べた
残像は全く発生しない。
への信号電荷の蓄積時間は１フィールド期間であり、信
号読み出しもウィールド毎であるため、従来例で述べた
残像は全く発生しない。
また、垂直方向に隣接する２つの水平ラインのフォトダ
イオードの信号電荷を混合して読み出すため、見かけ上
のフォトダイオードの開口率が広くなり（ＭＴＦが低下
し）、すなわち、撮像管の走査線と電子ビームの関係の
如くなり、インターレースフリッカ−の発生も皆無とな
る。
イオードの信号電荷を混合して読み出すため、見かけ上
のフォトダイオードの開口率が広くなり（ＭＴＦが低下
し）、すなわち、撮像管の走査線と電子ビームの関係の
如くなり、インターレースフリッカ−の発生も皆無とな
る。
更に、フォトダイオードの信号電荷を混合する際、第１
フイールドと第２フイールドとで、インクセースするよ
うに信号電荷を混合するため、等価的に撮像管程度の垂
直解像度が得られるため垂直解像度は全く問題とならな
い。
フイールドと第２フイールドとで、インクセースするよ
うに信号電荷を混合するため、等価的に撮像管程度の垂
直解像度が得られるため垂直解像度は全く問題とならな
い。
捷た、本発明による垂直転送パルスを得る方法は従来例
に比べて、複雑となる要素は全く無く、むしろより簡単
な構成により得る事ができる。
に比べて、複雑となる要素は全く無く、むしろより簡単
な構成により得る事ができる。
第１図はＩＬ−ＣＯＤの等価回路、第２図はＩＬ−ＣＯ
Ｄの平面図、第３図ａはＩＬ−ＣＯＤの断面図、ｂは第
３図ａの各部のポテンシャルの概要を示す図、第４図は
従来のＩＬ−ＣＣＤの垂直駆動パルスを示す図、第６図
は撮像管における走査線と電子ビームの関係を示す図、
第６図に本発明の固定カメラの１実施例における垂直転
送パルスを示す図、第７図および第８図は本発明の固定
カメラの１実施例における垂直転送段のポテンシャルを
示す図である。 １ ・・フォトダイオード（光電変換素子）、２・・・
垂直転送レジスタ、３，４，５．６・・・垂直転送ゲー
ト、７−−信号読出しゲート、８・・・・・垂直転送パ
ルス入力端子、９ ・・・・水平転送レジスタ、１０．
１１・・・・・水判逮ゲート、１２・・・・・・水平転
送パルス入力端子、１３ 電荷検出部、２３ φ■１電
極、２４ ・ φ■２電極、２５ φ■３電極、２６
・φ■４電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 φにψにφ６φｈ （−−ｖ−−） 第２図 第７図 軌道方向 第８図 転送方向
Ｄの平面図、第３図ａはＩＬ−ＣＯＤの断面図、ｂは第
３図ａの各部のポテンシャルの概要を示す図、第４図は
従来のＩＬ−ＣＣＤの垂直駆動パルスを示す図、第６図
は撮像管における走査線と電子ビームの関係を示す図、
第６図に本発明の固定カメラの１実施例における垂直転
送パルスを示す図、第７図および第８図は本発明の固定
カメラの１実施例における垂直転送段のポテンシャルを
示す図である。 １ ・・フォトダイオード（光電変換素子）、２・・・
垂直転送レジスタ、３，４，５．６・・・垂直転送ゲー
ト、７−−信号読出しゲート、８・・・・・垂直転送パ
ルス入力端子、９ ・・・・水平転送レジスタ、１０．
１１・・・・・水判逮ゲート、１２・・・・・・水平転
送パルス入力端子、１３ 電荷検出部、２３ φ■１電
極、２４ ・ φ■２電極、２５ φ■３電極、２６
・φ■４電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 φにψにφ６φｈ （−−ｖ−−） 第２図 第７図 軌道方向 第８図 転送方向
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 アレイ状に配置した光電変換素子群と、複数の転送ゲー
トからなる電荷結果素子により構成された垂直および水
平転送レジスタを備え、前記光電変換素子に対応して配
置された信号読み出しゲートと前記垂直レジスタのうち
所定の転送ゲートとを等制約に共通接続とした固体撮像
装置において前記光電変換素子から垂直レジスタへ信号
電荷を読み込む際に、前記信号読み出しゲートと共通接
続された垂直転送ゲートに、フィルド毎に、同時に信号
読み出しパルスを印加し、その後垂直方向に隣接する光
電変換素子の信号電荷を混合し、垂直および水平方向に
電荷転送して、映像信号を得ることを特徴とした固体カ
メラ０ 撮像素子（以後、ＩＬＣＣＤ と略す）を用いた固体カ
メラに関するものである。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58113076A JPS604379A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 固体カメラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58113076A JPS604379A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 固体カメラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS604379A true JPS604379A (ja) | 1985-01-10 |
Family
ID=14602867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58113076A Pending JPS604379A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 固体カメラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604379A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60198978A (ja) * | 1984-03-23 | 1985-10-08 | Matsushita Electronics Corp | 電荷転送撮像装置の駆動方法 |
| JPS6377703A (ja) * | 1986-09-20 | 1988-04-07 | 永大産業株式会社 | 改質木質材の製造方法 |
| US5379064A (en) * | 1991-06-21 | 1995-01-03 | Sony Corporation | CCD imager having four-phase vertical shift registers operated by three-valued clock signals |
| DE102019100881A1 (de) | 2018-01-22 | 2019-07-25 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Verfahren zur Herstellung einer lichtemittierenden Vorrichtung und lichtemittierende Vorrichtung |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5380119A (en) * | 1976-12-24 | 1978-07-15 | Sony Corp | Interline type ccd image pickup device |
| JPS5685981A (en) * | 1979-12-15 | 1981-07-13 | Sharp Corp | Solid image pickup apparatus |
-
1983
- 1983-06-22 JP JP58113076A patent/JPS604379A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5380119A (en) * | 1976-12-24 | 1978-07-15 | Sony Corp | Interline type ccd image pickup device |
| JPS5685981A (en) * | 1979-12-15 | 1981-07-13 | Sharp Corp | Solid image pickup apparatus |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60198978A (ja) * | 1984-03-23 | 1985-10-08 | Matsushita Electronics Corp | 電荷転送撮像装置の駆動方法 |
| JPS6377703A (ja) * | 1986-09-20 | 1988-04-07 | 永大産業株式会社 | 改質木質材の製造方法 |
| US5379064A (en) * | 1991-06-21 | 1995-01-03 | Sony Corporation | CCD imager having four-phase vertical shift registers operated by three-valued clock signals |
| DE102019100881A1 (de) | 2018-01-22 | 2019-07-25 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Verfahren zur Herstellung einer lichtemittierenden Vorrichtung und lichtemittierende Vorrichtung |
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