JPS604265B2 - アルミニウムの硼化方法 - Google Patents
アルミニウムの硼化方法Info
- Publication number
- JPS604265B2 JPS604265B2 JP7304680A JP7304680A JPS604265B2 JP S604265 B2 JPS604265 B2 JP S604265B2 JP 7304680 A JP7304680 A JP 7304680A JP 7304680 A JP7304680 A JP 7304680A JP S604265 B2 JPS604265 B2 JP S604265B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum
- mixed gas
- shelving
- boronization
- shelved
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、アルミニウムの棚化方法に関するものである
。
。
カートリッジのカンチレバーやトーンアーム、ヘッドシ
ェル、スピーカの振動板等は、軽くて弾性率の大きな材
料、すなわち比弾性率（弾性率／密度）の大きな材料が
望まれてきた。
ェル、スピーカの振動板等は、軽くて弾性率の大きな材
料、すなわち比弾性率（弾性率／密度）の大きな材料が
望まれてきた。
比弾性率が大きいことは、音速が大なることを意味し、
音響部品として非常に有効である。
音響部品として非常に有効である。
音響部品としては、比較的安価で加工性のよい材料であ
るアルミニウムが多く使用されている。しかしながら、
その比弾性率はたかだか２５００ｋ９／磯程度であり、
周波数特性を高城までのばすことは不可能であった。一
方、アルミニウムを棚化する方法は、従来から行なわれ
てきたが、アルミニウムの融点が低く（６６０ｏＣ）、
棚素の融点が高い（２２００００）ため、アルミニウム
を棚化する時に音響部品が変形してしまうという欠点を
有していた。
るアルミニウムが多く使用されている。しかしながら、
その比弾性率はたかだか２５００ｋ９／磯程度であり、
周波数特性を高城までのばすことは不可能であった。一
方、アルミニウムを棚化する方法は、従来から行なわれ
てきたが、アルミニウムの融点が低く（６６０ｏＣ）、
棚素の融点が高い（２２００００）ため、アルミニウム
を棚化する時に音響部品が変形してしまうという欠点を
有していた。
特にガス棚化法でアルミニウムを棚化する場合、棚素が
析出する温度がアルミニウムの融点以上になるために、
困難をともなっていた。本発明は、従釆のガス棚化法の
欠点を除去し、比弾性率の高い音響部品を得るアルミニ
ウムの棚化方法に関するものである。
析出する温度がアルミニウムの融点以上になるために、
困難をともなっていた。本発明は、従釆のガス棚化法の
欠点を除去し、比弾性率の高い音響部品を得るアルミニ
ウムの棚化方法に関するものである。
一般的なガス棚化法では、ＢＣ１３あるいはＢＢｒ３と
比の混合ガスを用いて、８００℃以上に加熱された基体
を棚化するという手法をとっている。
比の混合ガスを用いて、８００℃以上に加熱された基体
を棚化するという手法をとっている。
一方、プラズマ状態において棚化する方法は、原料ガス
（ＢＣ１３，＆日６）に交流高周波電界を印加してグロ
−放電を起して、原料ガスをプラズマ化し、これにより
原料ガス中の少なくとも一部の分子あるいは原子の励起
状態におき、低温で棚素を基体上に折出させ棚化するも
のである。このため、アルミニウム等の融点の低い金属
を変形させることなく棚化できる。以下本発明の方法に
ついて具体的に説明する。
（ＢＣ１３，＆日６）に交流高周波電界を印加してグロ
−放電を起して、原料ガスをプラズマ化し、これにより
原料ガス中の少なくとも一部の分子あるいは原子の励起
状態におき、低温で棚素を基体上に折出させ棚化するも
のである。このため、アルミニウム等の融点の低い金属
を変形させることなく棚化できる。以下本発明の方法に
ついて具体的に説明する。
まず、広とＢＣ１３の混合ガス（モル比３対１）を炉芯
管の一端から流入させ、一方、その他端からロータリー
ポンプで排気しながら炉内の気圧を０．５〜１町ｏｍに
なるようにバルブ調整する。次にアルミニウムを３００
ｑｏ〜５００℃の範囲内の温度に加熱しておき、炉芯管
に巻いたコイルに交流高周波電流を流しグロー放電を起
させる。これによりアルミニウムが棚化され、高比弾‘
性率の棚化アルミニウムが形成される。さらに詳しくは
実施例で述べる。
管の一端から流入させ、一方、その他端からロータリー
ポンプで排気しながら炉内の気圧を０．５〜１町ｏｍに
なるようにバルブ調整する。次にアルミニウムを３００
ｑｏ〜５００℃の範囲内の温度に加熱しておき、炉芯管
に巻いたコイルに交流高周波電流を流しグロー放電を起
させる。これによりアルミニウムが棚化され、高比弾‘
性率の棚化アルミニウムが形成される。さらに詳しくは
実施例で述べる。
実施例
外径８仇肋、内径６肋、長さ２１仇吻のアルミニウムパ
イプを透明石英管中におき、三塩化側素（ＢＣ１３）と
水素（日２）の混合ガス（モル比３対１）を流して、石
英管内の圧力を０．５Ｔｏｎに調整した。
イプを透明石英管中におき、三塩化側素（ＢＣ１３）と
水素（日２）の混合ガス（モル比３対１）を流して、石
英管内の圧力を０．５Ｔｏｎに調整した。
次にこの石英管の外側に巻かれたコイルに高流高周波電
流（１３．６８ＭＨＺ）を流し、プラズマ放電させた。
このときに高周波電力を調整し、アルミニウムパイプの
温度を約３００００にしておき、３０分間混合ガスを流
しつづけた。このようにして棚化されたアルミニウムパ
イプの比弾性と密度を測定し、比弾性率を算出した。結
果下表の試料１に示す。以下、ガスの種類、反応時の圧
力、アルミニウムパイプの温度の変えて、アルミニウム
の棚化を行なった。
流（１３．６８ＭＨＺ）を流し、プラズマ放電させた。
このときに高周波電力を調整し、アルミニウムパイプの
温度を約３００００にしておき、３０分間混合ガスを流
しつづけた。このようにして棚化されたアルミニウムパ
イプの比弾性と密度を測定し、比弾性率を算出した。結
果下表の試料１に示す。以下、ガスの種類、反応時の圧
力、アルミニウムパイプの温度の変えて、アルミニウム
の棚化を行なった。
それぞれについての結果を下表の試料２〜１０に示した
。ただし、試料８〜１０は比較例である。ここで反応時
間はすべて３０分とした。
。ただし、試料８〜１０は比較例である。ここで反応時
間はすべて３０分とした。
ただし ※比較例
※※プラズマ放電起こらず
上表からプラズマ状態にてアルミニウムを低い温度で棚
化させることができ、アルミニウム基体が変形せず、比
弾性率の高い棚化アルミニウムが得られることがわかる
。
化させることができ、アルミニウム基体が変形せず、比
弾性率の高い棚化アルミニウムが得られることがわかる
。
ここで、本発明の方法において、プラズマ放電を生じさ
せるための減圧状態を０．５Ｔｏｒｒ〜ｌＯＴｏｍに限
定したのは、０．５Ｔｏｎより低い圧力下では、棚化の
速度がおそくなるためであり、ｌ０Ｔｏｎより高い圧力
ではプラズマ放電がおこりにくいからである（試料９）
。
せるための減圧状態を０．５Ｔｏｒｒ〜ｌＯＴｏｍに限
定したのは、０．５Ｔｏｎより低い圧力下では、棚化の
速度がおそくなるためであり、ｌ０Ｔｏｎより高い圧力
ではプラズマ放電がおこりにくいからである（試料９）
。
Claims (1)
- １ 三塩化硼素（ＢＣｌ＿３）、あるいは、ジボラン（
Ｂ＿２Ｈ＿６）と水素（Ｈ＿２）の混合ガスを０．５Ｔ
ｏｒｒ〜１０Ｔｏｒｒの圧力下においてプラズマ状態に
し、前記混合ガスを３００℃〜５００℃の範囲で加熱さ
れたアルミニウム（Ａｌ）上に流し、アルミニウムを硼
化させることを特徴とするアルミニウムの硼化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7304680A JPS604265B2 (ja) | 1980-05-30 | 1980-05-30 | アルミニウムの硼化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7304680A JPS604265B2 (ja) | 1980-05-30 | 1980-05-30 | アルミニウムの硼化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56169768A JPS56169768A (en) | 1981-12-26 |
| JPS604265B2 true JPS604265B2 (ja) | 1985-02-02 |
Family
ID=13507026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7304680A Expired JPS604265B2 (ja) | 1980-05-30 | 1980-05-30 | アルミニウムの硼化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604265B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH079700B2 (ja) * | 1982-10-12 | 1995-02-01 | ティーディーケイ株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JPS59219462A (ja) * | 1983-05-26 | 1984-12-10 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | ほう素層被着方法 |
| EP0909832A1 (fr) * | 1997-10-17 | 1999-04-21 | RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT DU GROUPE COCKERILL SAMBRE, en abrégé: RD-CS | Procédé pour la mise à composition d'un produit métallique |
| GB2336603A (en) * | 1998-04-23 | 1999-10-27 | Metaltech Limited | A method and apparatus for plasma boronising |
| CN104488118B (zh) * | 2012-09-27 | 2016-12-14 | 东洋铝株式会社 | 导电构件、电极、二次电池、电容器以及导电构件和电极的制造方法 |
-
1980
- 1980-05-30 JP JP7304680A patent/JPS604265B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56169768A (en) | 1981-12-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS604265B2 (ja) | アルミニウムの硼化方法 | |
| US4058579A (en) | Process for producing an improved boron nitride crucible | |
| JPS59143498A (ja) | スピ−カ−用振動板およびその製造法 | |
| JPS5935092A (ja) | ダイヤモンドの気相合成法 | |
| JPS5915983B2 (ja) | ホウ素被膜の形成方法 | |
| JPS60186195A (ja) | 電気音響変換器用振動板の製造方法 | |
| FR2309648A1 (fr) | Procede et dispositif pour l'obtention d'un depot de metal de transition | |
| JPH0361369A (ja) | ダイヤモンド状炭素膜の製造方法 | |
| JPS60121271A (ja) | 超硬質被覆層の形成方法 | |
| JPS63225591A (ja) | 炭化珪素被覆黒鉛材料の製造方法 | |
| JPH02279598A (ja) | 炉芯管 | |
| JPH064915B2 (ja) | 立方晶窒化ホウ素の合成方法 | |
| JPH07243044A (ja) | ダイヤモンドの気相合成法 | |
| JPH04130013A (ja) | 窒素―水素化合物合成装置 | |
| JPH0361372A (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JPS60185489A (ja) | 電気音響変換器用振動板 | |
| JPH04115800A (ja) | スピーカー用振動板 | |
| JPS5894703A (ja) | 透明電極の製造方法およびその製造装置 | |
| JPS5821995B2 (ja) | 音響変換器用複層振動板およびその製造法 | |
| JPS62118237A (ja) | 水晶振動子湿度センサ− | |
| JPH03280698A (ja) | ダイヤモンド振動板の製造方法 | |
| JPH08158039A (ja) | 窒化炭素薄膜の形成方法 | |
| JPS6043418B2 (ja) | 物理蒸着皮膜形成用Ａｕ合金 | |
| JPH0361370A (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JPS60145374A (ja) | 気相蒸着膜の強化方法 |