JPS6042361Y2 - 混合ガス中の水蒸気成分の測定装置 - Google Patents
混合ガス中の水蒸気成分の測定装置Info
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- JPS6042361Y2 JPS6042361Y2 JP2184285U JP2184285U JPS6042361Y2 JP S6042361 Y2 JPS6042361 Y2 JP S6042361Y2 JP 2184285 U JP2184285 U JP 2184285U JP 2184285 U JP2184285 U JP 2184285U JP S6042361 Y2 JPS6042361 Y2 JP S6042361Y2
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 11
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 5
- 229910018503 SF6 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N sulfur hexafluoride Chemical compound FS(F)(F)(F)(F)F SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229960000909 sulfur hexafluoride Drugs 0.000 claims description 4
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 27
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/37—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using pneumatic detection
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は赤外線吸収式ガス分析による混合ガス中の水蒸
気成分の測定装置に関する。
気成分の測定装置に関する。
赤外線吸収式ガス分析では、多原子ガスがその分子構造
に関係して特定のスペクトル範囲の赤外線を吸収し、そ
の際に温度上昇を生ずるという特性が利用されている。
に関係して特定のスペクトル範囲の赤外線を吸収し、そ
の際に温度上昇を生ずるという特性が利用されている。
この温度上昇またはそれに伴って閉容器内に生ずる圧力
上昇が検出され、それにより混合ガス（測定ガス）中の
多原子ガスの成分が測定される。
上昇が検出され、それにより混合ガス（測定ガス）中の
多原子ガスの成分が測定される。
そのための公知の測定装置は光学的測定装置として構成
されており、主として赤外線放射源と測定セルと受光器
（赤外線検出器）とから戊る。
されており、主として赤外線放射源と測定セルと受光器
（赤外線検出器）とから戊る。
試料である混合ガス（測定ガス）は測定セルのなかに存
在する。
在する。
また測定ガス中の測定対象成分は単独で、あるいは単原
子ガス特に窒素あるいは不活性ガスと混合されて受光室
に封入されており、それによりこの受光室は選択性受光
器として機能する。
子ガス特に窒素あるいは不活性ガスと混合されて受光室
に封入されており、それによりこの受光室は選択性受光
器として機能する。
非選択性受光器を用いる場合には、この受光器の前に、
測定対象成分を封入された選択セルが設けられる。
測定対象成分を封入された選択セルが設けられる。
光路に位置しガスで満たされる受光室およびセルは、主
として２〜１０μのスペクトル範囲で透過性を有する材
料から戊る窓で閉じられている。
として２〜１０μのスペクトル範囲で透過性を有する材
料から戊る窓で閉じられている。
しかし測定ガス中の水蒸気成分の測定は、水蒸気が、そ
の露点が低いことと温度に関係して表面に付着しやすい
こととのために不安定である点で、また周囲温度におい
て受光室または選択セルの封入ガスとしての適性に欠け
る点て困難に直面する。
の露点が低いことと温度に関係して表面に付着しやすい
こととのために不安定である点で、また周囲温度におい
て受光室または選択セルの封入ガスとしての適性に欠け
る点て困難に直面する。
混合ガスの水蒸気成分をも赤外線分析法により測定でき
るようにするため、本考案の目的は、測定に利用される
波長範囲に水蒸気と類似の吸収帯を有し、露点が高く、
安定で、かつ工業上の主要な測定ガス中の成分としては
通常存在しない等価ガスを見い出すことである。
るようにするため、本考案の目的は、測定に利用される
波長範囲に水蒸気と類似の吸収帯を有し、露点が高く、
安定で、かつ工業上の主要な測定ガス中の成分としては
通常存在しない等価ガスを見い出すことである。
この目的は、本考案によれば、冒頭に記載した種類の測
定装置において、六弗化硫黄（ＳＦ６）ガスによる赤外
線吸収によって水蒸気成分を選択的に測定することによ
り遠戚される。
定装置において、六弗化硫黄（ＳＦ６）ガスによる赤外
線吸収によって水蒸気成分を選択的に測定することによ
り遠戚される。
本考案の原理を説明するため第１図にはガス分折装置の
実施例が非常に簡略に示されている。
実施例が非常に簡略に示されている。
第１図には単光束−断続光法で作動し、選択性受光器を
有する装置が示されている。
有する装置が示されている。
反射器２を有する赤外線放射源１から発した光束は、水
蒸気成分を測定すべき測定ガス３で満たされた測定セル
４を横断して、封入ガス８として純粋な六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ６）ガスを単独で、あるいは窒素あるいは不活性ガス
と混合して含んでいる受光室５に入る。
蒸気成分を測定すべき測定ガス３で満たされた測定セル
４を横断して、封入ガス８として純粋な六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ６）ガスを単独で、あるいは窒素あるいは不活性ガス
と混合して含んでいる受光室５に入る。
測定セルおよび受光室の端面は弗化カルシウムから成る
窓６で閉じられている。
窓６で閉じられている。
受光室５に入った赤外線エネルギーが封入ガス８に吸収
されることにより、封入ガスの温度上昇にしたがってま
た圧力上昇が生じ、この圧力上昇によりダイアフラム・
コンデンサ１０のダイアフラム９が偏位する。
されることにより、封入ガスの温度上昇にしたがってま
た圧力上昇が生じ、この圧力上昇によりダイアフラム・
コンデンサ１０のダイアフラム９が偏位する。
放射源１から到来する赤外線は回転するスリット円板７
により周期的に断続されるので、発生した圧力変動は、
電源１２と直列にダイアフラム・コンデンサ１０に接続
されている抵抗１１から交流電気信号として取り出され
る。
により周期的に断続されるので、発生した圧力変動は、
電源１２と直列にダイアフラム・コンデンサ１０に接続
されている抵抗１１から交流電気信号として取り出され
る。
この交流信号は、交流増幅器および整流器を含む信号処
理回路１３において、測定ガス３の水蒸気成分に対応す
る測定信号に変換され、計器１４により指示される。
理回路１３において、測定ガス３の水蒸気成分に対応す
る測定信号に変換され、計器１４により指示される。
同様にして、測定光路および比較光路を有する公知の複
光束形の、赤外線ガス分析装置を構成することもできる
。
光束形の、赤外線ガス分析装置を構成することもできる
。
第１図は選択性受光器を有する場合の実施例の概略構成
図である。 １・・・・・・赤外線放射源、２・・・・・・反射器、
３・・・・・・測定ガス、４・・・・・・測定セル、５
・・・・・・受光室、６・・・・・・窓、７・・・・・
・スリット円板、訃・・・・・封入ガス、９・・・・・
・ダイアフラム、１０・・・・・・ダイアフラム・コン
デンサ、１１・・・・・・抵抗、１２・・・・・・電源
、１３・・・・・・信号処理回路、１４・・・・・・計
器。
図である。 １・・・・・・赤外線放射源、２・・・・・・反射器、
３・・・・・・測定ガス、４・・・・・・測定セル、５
・・・・・・受光室、６・・・・・・窓、７・・・・・
・スリット円板、訃・・・・・封入ガス、９・・・・・
・ダイアフラム、１０・・・・・・ダイアフラム・コン
デンサ、１１・・・・・・抵抗、１２・・・・・・電源
、１３・・・・・・信号処理回路、１４・・・・・・計
器。
Claims (1)
- 赤外線吸収式ガス分析による混合ガス中の水蒸気成分の
測定装置において、赤外線放射源と、前記水蒸気成分を
含む混合ガスが導入され前記赤外線放射源からの赤外線
が照射される測定セルと、選択性受光器として気体を封
入された受光室とを備え、前記受光室の封入ガスが六弗
化硫黄ガスを含んでいることを特徴とする混合ガス中の
水蒸気成分の測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2803369.4 | 1978-01-26 | ||
| DE19782803369 DE2803369C2 (de) | 1978-01-26 | 1978-01-26 | Meßeinrichtung zur Bestimmung des Wasserdampfanteils in einem Gasgemisch mittels Infrarot-Absorptions-Gasanalyse |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60148958U JPS60148958U (ja) | 1985-10-03 |
| JPS6042361Y2 true JPS6042361Y2 (ja) | 1985-12-26 |
Family
ID=6030444
Family Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP810979A Pending JPS54111396A (en) | 1978-01-26 | 1979-01-26 | Method of measuring steam content in mixed gas by inrared ray absorption type gas analysis |
| JP2184285U Expired JPS6042361Y2 (ja) | 1978-01-26 | 1985-02-18 | 混合ガス中の水蒸気成分の測定装置 |
| JP2184385U Granted JPS60148959U (ja) | 1978-01-26 | 1985-02-18 | 混合ガス中の水蒸気成分の測定装置 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP810979A Pending JPS54111396A (en) | 1978-01-26 | 1979-01-26 | Method of measuring steam content in mixed gas by inrared ray absorption type gas analysis |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2184385U Granted JPS60148959U (ja) | 1978-01-26 | 1985-02-18 | 混合ガス中の水蒸気成分の測定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (3) | JPS54111396A (ja) |
| DE (1) | DE2803369C2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2808033A1 (de) * | 1978-02-24 | 1979-08-30 | Siemens Ag | Einrichtung zur unterdrueckung der wasserdampf-querempfindlichkeit bei einem nicht dispersiven infrarot-gasanalysator |
| DE3402800A1 (de) * | 1984-01-27 | 1985-08-01 | Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt | Nach dem gasfilterkorrelationsverfahren arbeitendes fotometer |
| JPS6120840A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-29 | Horiba Ltd | 赤外線分析計の校正機構 |
| DE3446436A1 (de) * | 1984-12-20 | 1986-07-03 | Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt | Nichtdispersives fotometer |
| DE4034375A1 (de) * | 1990-10-29 | 1992-04-30 | Diehl Gmbh & Co | Gas-messeinrichtung |
| CN102735625A (zh) * | 2011-04-15 | 2012-10-17 | 朗松珂利(上海)仪器仪表有限公司 | 检测变压器sf6中微水含量的激光检测仪及检测方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2324669A1 (de) * | 1973-05-16 | 1974-12-05 | Hartmann & Braun Ag | Pneumatischer strahlungsempfaenger fuer ultrarot-gasanalysegeraete |
-
1978
- 1978-01-26 DE DE19782803369 patent/DE2803369C2/de not_active Expired
-
1979
- 1979-01-26 JP JP810979A patent/JPS54111396A/ja active Pending
-
1985
- 1985-02-18 JP JP2184285U patent/JPS6042361Y2/ja not_active Expired
- 1985-02-18 JP JP2184385U patent/JPS60148959U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60148958U (ja) | 1985-10-03 |
| JPS60148959U (ja) | 1985-10-03 |
| JPS612922Y2 (ja) | 1986-01-30 |
| DE2803369A1 (de) | 1979-08-02 |
| DE2803369C2 (de) | 1982-03-04 |
| JPS54111396A (en) | 1979-08-31 |
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