JPS6041346B2 - 球面動圧軸受の溝加工用露光方法 - Google Patents
球面動圧軸受の溝加工用露光方法Info
- Publication number
- JPS6041346B2 JPS6041346B2 JP51017386A JP1738676A JPS6041346B2 JP S6041346 B2 JPS6041346 B2 JP S6041346B2 JP 51017386 A JP51017386 A JP 51017386A JP 1738676 A JP1738676 A JP 1738676A JP S6041346 B2 JPS6041346 B2 JP S6041346B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spherical
- exposure method
- bearing
- groove machining
- hydrodynamic bearings
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Projection-Type Copiers In General (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は球面スパイラル溝付軸受の溝加工方法に関す
るものである。
るものである。
一般に、球面スパイラル溝付軸受は、第１図に示す如く
、球体２を有する回転軸１と支持部材３とからなり、そ
の協動面２′，３′のいずれか一方に浅いスパイラル状
溝４が刻設され、作動時に、軸２は、協動面２′，３′
の間にスパイラル状溝４によって引き込まれ、押圧され
た媒体を介して支承されるようになっている。
、球体２を有する回転軸１と支持部材３とからなり、そ
の協動面２′，３′のいずれか一方に浅いスパイラル状
溝４が刻設され、作動時に、軸２は、協動面２′，３′
の間にスパイラル状溝４によって引き込まれ、押圧され
た媒体を介して支承されるようになっている。
而して、この種スパイラル溝付軸受の軸受面上に溝形を
刻設する場合、大量に且つ安価にこの溝形を付ける方法
として、フオトェッチング法がある。例えば、この方法
としては、本出顔人が先に出願したものとして、第２図
に示したような方法がある。これは、球面に刻設される
べきパターンを平面図に変換した原図よりなるフィルム
マスク５と、水銀灯等の光源、スリット、レンズよりな
る光学系（図示せず）によって得た平行紫外光線６を用
いるもので、その一端開□面にフィルムマスク５を貼つ
た円筒状治具７に、フオトレジスト８を塗布した中心推
力部村の球面２を挿入し、当該球面に上記フオトマスク
５を介して、上記平行光線を所要時間照射する。その後
、通常のフオトェッチングと同様の方法で現像し、スパ
イラル溝を形成すべき部分のみ金属表面を露出させ、エ
ッチングによりスパイラル溝を形成している。ところが
、上記従来の方法では平行光線を用いるので、半球面に
しか照射できず、しかも赤道に近づくに従って像が写り
にくくなるため、焼き付けることが可能な面の、極から
の角度ＱはＱ＜９００となって、被加工球面の赤道部迄
溝パターンを競付けることができなかった。
刻設する場合、大量に且つ安価にこの溝形を付ける方法
として、フオトェッチング法がある。例えば、この方法
としては、本出顔人が先に出願したものとして、第２図
に示したような方法がある。これは、球面に刻設される
べきパターンを平面図に変換した原図よりなるフィルム
マスク５と、水銀灯等の光源、スリット、レンズよりな
る光学系（図示せず）によって得た平行紫外光線６を用
いるもので、その一端開□面にフィルムマスク５を貼つ
た円筒状治具７に、フオトレジスト８を塗布した中心推
力部村の球面２を挿入し、当該球面に上記フオトマスク
５を介して、上記平行光線を所要時間照射する。その後
、通常のフオトェッチングと同様の方法で現像し、スパ
イラル溝を形成すべき部分のみ金属表面を露出させ、エ
ッチングによりスパイラル溝を形成している。ところが
、上記従来の方法では平行光線を用いるので、半球面に
しか照射できず、しかも赤道に近づくに従って像が写り
にくくなるため、焼き付けることが可能な面の、極から
の角度ＱはＱ＜９００となって、被加工球面の赤道部迄
溝パターンを競付けることができなかった。
而して、球面スパイラル溝付軸受は、超高速回転時には
中心推力部材の球面赤道部で周速が大きい。それ故、赤
動部まで溝がない軸受は媒体が、協動面２′，３′間に
吸込まれないため軸受本来の性能を発揮できないばかり
でなく、糠付き等の事故につながるという欠点を有して
いる。又、この欠点を除去するために支承部材３の凹球
面部の深さ日を浅くして溝部分を露出する方法が知られ
ている。ところが、この種軸受は、赤道部で最大の支承
力を発揮するため、支承力が著しく低下していた。そこ
で、本発明は、上記事情に鑑み、従来のフオトェッチソ
グ法を改良したもので、支承力を損うことなく、媒体の
吸込を容易なさしめるため、溝を赤道部を越える位置迄
刻設する方法を提供するものである。
中心推力部材の球面赤道部で周速が大きい。それ故、赤
動部まで溝がない軸受は媒体が、協動面２′，３′間に
吸込まれないため軸受本来の性能を発揮できないばかり
でなく、糠付き等の事故につながるという欠点を有して
いる。又、この欠点を除去するために支承部材３の凹球
面部の深さ日を浅くして溝部分を露出する方法が知られ
ている。ところが、この種軸受は、赤道部で最大の支承
力を発揮するため、支承力が著しく低下していた。そこ
で、本発明は、上記事情に鑑み、従来のフオトェッチソ
グ法を改良したもので、支承力を損うことなく、媒体の
吸込を容易なさしめるため、溝を赤道部を越える位置迄
刻設する方法を提供するものである。
即ち、本発明は、第３図に示す如く、平行紫外線６を凸
レンズ９により収束光６′とし、中心推力部材２とフィ
ルムマスク５′とを夫々の中心軸が合致するように指具
７′によって固定し、収束光６′の所定位置にこの袷貝
７により固定されたフィルムマスク５′とフオトレジス
トを均一に塗布された中心推力部材２とを近接させて配
置し、前記収束光６′をフィルムマスク５′越いこ球面
２に照射する。
レンズ９により収束光６′とし、中心推力部材２とフィ
ルムマスク５′とを夫々の中心軸が合致するように指具
７′によって固定し、収束光６′の所定位置にこの袷貝
７により固定されたフィルムマスク５′とフオトレジス
トを均一に塗布された中心推力部材２とを近接させて配
置し、前記収束光６′をフィルムマスク５′越いこ球面
２に照射する。
このようにすると、紫外光線６は赤道部を越えて照射さ
れ、その照射面角度Ｂは８＞９００となる。それ故、こ
の照射部分にまで延長されたスパイラル溝を、この収束
光に沿って平面図のパターンに変換し、これをフィルム
マスクとして用いれば、従来、平行光線を用いていたも
のに収束用レンズを追加するだけの簡単な構造で、照射
面角度を大きくすることができる。なお、収束用レンズ
は石英ガラスまたはパィレックス等の紫外光線を吸収し
ない材質のもので形成するが、その径を大きくする程に
照射両角度６を大きくすることができる。また、本発明
に用いる拾具７′は収束光６′を球面２の周囲から照射
させるために、球面２が収容される空間を十分大きく形
成しておく必要がある。以上説明したように、この発明
は球面動圧軸受の中心推力部村上にフオトェツチング法
により所望の溝パターンを刻設する方法において、平行
化された光をレンズ系によって収束光とする一方、被加
工面にフオトレジストを塗布させた中心推力部村と、球
面上に刻設されるべき溝パタ−ンを平面図に変換した原
因よりなるフオトマスクとを芯合せして直線状に配置し
て上記収束光の途中にセットして露光して、所要の溝パ
ターンを焼付けるようにしたから、球面動圧軸受のスパ
イラル溝を形成するためのフオトヱツチングが球の半球
のみならず赤道を超えた南緯面に迄形成できるようにな
り、スパイラル溝が赤道位置にまで刻談されないために
生じる球面勤圧軸受が高速回転時に媒体を吸込まなくな
る現像を除去して、焼き付き等の事故を防止し、性能の
よい球面勤圧軸受を得ることができる。
れ、その照射面角度Ｂは８＞９００となる。それ故、こ
の照射部分にまで延長されたスパイラル溝を、この収束
光に沿って平面図のパターンに変換し、これをフィルム
マスクとして用いれば、従来、平行光線を用いていたも
のに収束用レンズを追加するだけの簡単な構造で、照射
面角度を大きくすることができる。なお、収束用レンズ
は石英ガラスまたはパィレックス等の紫外光線を吸収し
ない材質のもので形成するが、その径を大きくする程に
照射両角度６を大きくすることができる。また、本発明
に用いる拾具７′は収束光６′を球面２の周囲から照射
させるために、球面２が収容される空間を十分大きく形
成しておく必要がある。以上説明したように、この発明
は球面動圧軸受の中心推力部村上にフオトェツチング法
により所望の溝パターンを刻設する方法において、平行
化された光をレンズ系によって収束光とする一方、被加
工面にフオトレジストを塗布させた中心推力部村と、球
面上に刻設されるべき溝パタ−ンを平面図に変換した原
因よりなるフオトマスクとを芯合せして直線状に配置し
て上記収束光の途中にセットして露光して、所要の溝パ
ターンを焼付けるようにしたから、球面動圧軸受のスパ
イラル溝を形成するためのフオトヱツチングが球の半球
のみならず赤道を超えた南緯面に迄形成できるようにな
り、スパイラル溝が赤道位置にまで刻談されないために
生じる球面勤圧軸受が高速回転時に媒体を吸込まなくな
る現像を除去して、焼き付き等の事故を防止し、性能の
よい球面勤圧軸受を得ることができる。
第１図は球面勤圧軸受の構造説明図、第２図はフオトェ
ッチング法によってスパイラル溝を形成する従来法の説
明図、第３図は本発明方法の説明図である。 １・・・・・・球面動圧軸受の回転軸、２・・・・・・
スパイラル溝が刻談される球面、４……スパイラル溝、
５′…・・・フィルムマスク、７′・・・・・・袷具、
８・・・・・・フオトレジスト、９・・・・・・収束用
レンズ。 第１図第２図 第３図
ッチング法によってスパイラル溝を形成する従来法の説
明図、第３図は本発明方法の説明図である。 １・・・・・・球面動圧軸受の回転軸、２・・・・・・
スパイラル溝が刻談される球面、４……スパイラル溝、
５′…・・・フィルムマスク、７′・・・・・・袷具、
８・・・・・・フオトレジスト、９・・・・・・収束用
レンズ。 第１図第２図 第３図
Claims (1)
- １ 球面動圧軸受の中心推力部材上にフオトエツチング
法により所要の溝パターンを刻設する方法において、平
行化された光をレンズ系によつて収束光とする一方、被
加工面にフオトレジストを塗布された中心推力部材と、
球面上に刻設されるべき溝パターンを平面図に変換した
原図よりなるフオトマスクとを芯合わせして直線状に配
置して上記収束光の途中にセツトして露光することを特
徴とする球面動圧軸受の溝加工用露光方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51017386A JPS6041346B2 (ja) | 1976-02-18 | 1976-02-18 | 球面動圧軸受の溝加工用露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51017386A JPS6041346B2 (ja) | 1976-02-18 | 1976-02-18 | 球面動圧軸受の溝加工用露光方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS52100043A JPS52100043A (en) | 1977-08-22 |
| JPS6041346B2 true JPS6041346B2 (ja) | 1985-09-17 |
Family
ID=11942552
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51017386A Expired JPS6041346B2 (ja) | 1976-02-18 | 1976-02-18 | 球面動圧軸受の溝加工用露光方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6041346B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5822042A (en) * | 1992-11-12 | 1998-10-13 | International Business Machines Corporation | Three dimensional imaging system |
-
1976
- 1976-02-18 JP JP51017386A patent/JPS6041346B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS52100043A (en) | 1977-08-22 |
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