JPS6040000A - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
圧電振動子の製造方法Info
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- JPS6040000A JPS6040000A JP14860383A JP14860383A JPS6040000A JP S6040000 A JPS6040000 A JP S6040000A JP 14860383 A JP14860383 A JP 14860383A JP 14860383 A JP14860383 A JP 14860383A JP S6040000 A JPS6040000 A JP S6040000A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric
- electrode
- piezoelectric vibrator
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
発明の分！ｌ！７＝
この発明は、圧電振動子の製）Δ１ｊ法に関りるもので
ある。 従来の技術 従来にす、ｊ１電ブ１Ｆ−等の圧電振動子の製造方法と
しては、圧電基板の両１Ｔｉｉにそれぞれ電１１己賃り
、その２つの電極のうち一方の電極の電極１１１０こ、
振動板を固着さける方法が一般的である。 しかし、従来のこの製造方法で、薄い圧電基板を使用し
た圧電振１ＩＩＩＪ子を得ようとした揚台、圧電基板に
電極を設りる際や、両面に電橋を設けｌ〔圧′ｔｊｓ基
板に振動板を固着させる際などに、圧電基板にワレやカ
ケ等が発生ずることがあり、圧電基板の取扱いや加工が
困テ１Ｆである。また、たとえ圧電基板の取扱いや加工
を慎重に行なったとしても、圧電長板のワレや）Ｊケ等
を完全に防止づることは困難であり、ある程度の割合で
不良品が発生づる。 このように、従来の圧電振動子の製造方法は、圧電基板
の取扱いや加工が困デ１（であり、しかも不良品発生率
が高いため、（７１産に適したちのＣはない。 発明の目的 この発明ｔｅ１． 、 上記の問題を解消゛りるために
なされたものであり、その目的は、不良品発生率が低く
、しかも加工工程の少ない、圧電振動子の製造方法を提
供することである。 発明の要約 この発明を要約りれば、非）！導電性の１辰動仮の一方
の面に電極を設
ある。 従来の技術 従来にす、ｊ１電ブ１Ｆ−等の圧電振動子の製造方法と
しては、圧電基板の両１Ｔｉｉにそれぞれ電１１己賃り
、その２つの電極のうち一方の電極の電極１１１０こ、
振動板を固着さける方法が一般的である。 しかし、従来のこの製造方法で、薄い圧電基板を使用し
た圧電振１ＩＩＩＪ子を得ようとした揚台、圧電基板に
電極を設りる際や、両面に電橋を設けｌ〔圧′ｔｊｓ基
板に振動板を固着させる際などに、圧電基板にワレやカ
ケ等が発生ずることがあり、圧電基板の取扱いや加工が
困テ１Ｆである。また、たとえ圧電基板の取扱いや加工
を慎重に行なったとしても、圧電長板のワレや）Ｊケ等
を完全に防止づることは困難であり、ある程度の割合で
不良品が発生づる。 このように、従来の圧電振動子の製造方法は、圧電基板
の取扱いや加工が困デ１（であり、しかも不良品発生率
が高いため、（７１産に適したちのＣはない。 発明の目的 この発明ｔｅ１． 、 上記の問題を解消゛りるために
なされたものであり、その目的は、不良品発生率が低く
、しかも加工工程の少ない、圧電振動子の製造方法を提
供することである。 発明の要約 この発明を要約りれば、非）！導電性の１辰動仮の一方
の面に電極を設
【フ、その￥ｉ極面に、あるいは導電性
の振動板の一方の面に、セラミック々Ａ Ｈ”ｌ＠溶Ｉ
ｌｌ シてセラミック膜を形成し、さらにそのセラミツ
クＩＦＪ上に電極を設ｃノることにより、圧電振動子を
製造りる方法ｌ−ある。 実施例の説明 以下、この発明の実施例を詳しく説明りる。 第１図は、この発明の製造方法により】（１造されたハ
］電振動子の一例を承り斜？３（図である。第１図にＪ
３いて、１は非導電性振動板であり、２および４は電極
で（ちり、３はｊ［電しラミック膜Ｃある。 まず、非導電性撮動板１として、セラミック基（反を’
−１” Ｉｇｔ＋リ−る。イして口の非導７ＩＢｌ〕１
１ｉＱ動４反 １の一方の面に、銀（Ａ（＋ ）をパタ
ーン印刷して、雷へ２を段（）る。次に、この電極２の
電極面に、圧電セラミック材料を溶用づることにより、
圧電セラミック膜３を形成りる。圧電１７９４７９月１
１を溶ＣＪす゛る方法どしては、ブラスマ溶ＯＪやフレ
ーム溶用等が考えられる。さらに、このように形成され
た１丁型セラミック膜３の面上に、再び銀（Ａｃ＋）を
パターン印刷して電極４を護りで、圧電振動子を完成さ
せる。 以下は、非導電性振動板１に電極２を設ける過程を経１
〔、この発明の圧電振動子を製造づる方法の一実施例で
あるが、非導電性撮動板の替わりに導電性振動板を使用
刀れば、導電性振動）及が電極の１幾能をも兼４ａるた
め、ｊ、？、（電性振動板に電極を設置）る必要がない
。 第２図は、この発明の製う前方法にＪ：り製造された導
電性振動板を使用した圧電振動子の一例を示づ斜視図Ｃ
ある。第２図にＪ３いて、５は導電１１振り」板であり
、３ ＋、Ｌ圧電セラミック膜であり、４は電（リミで
ある。 まＪ゛、ンク電１４Ｆ振動板：）どして、金属板を準備
Ｊる。 次に、このン９宙牲振動板５の一方面に、圧電セラミッ
ク１，４ ｉ２をｉＦＦ ＱＪ することにより、圧電
セラミック膜３を形成Ｊる。さらに、このように形成さ
れた圧電しラミック膜３の面−Ｌに、銀＜Ａｇ）をパタ
ーン印刷して電極４を設りて、圧電振動子を完成さＵる
。 以上２通りの圧電振動子の製造方法は、この発明の実施
例であり、この発明の趣旨を１０なわない範囲内で変更
をなしうることｔ、１いうまでもない。 特に、非導電性撮動板１および導電性振動板５の形状、
電極２．４の形成方法、圧電セラミック膜３の厚み等は
任意である。 発明の効果 以−１−のように、この発明の圧電１辰動子の′！１．
Ｊ造力法によれば、従来の圧電振動子の製造方法の、両
１ 面に電極を設えた圧電基板に振動板を固着させるという
工桿を省くことができる。 また、このブト明の製造方法で薄い圧電セラミック膜の
圧電振動子を製造しても、電極を形成する際に圧電セラ
ミック膜にワレやカケ等が発生りることがないため、圧
電基板に電極を設りる際や、両面に電極を設【ノた圧電
基板に１崩動（反を固ｒ、！Ｊる１系に、圧電基板に１
７しやカケ等が発生することのある＜：Ｌ ）ｌｔの）
［電振動子の製造り法と比較して、この発明のＩＴ電振
動了の製造方法は不良品発生率が低い。 従来の製造方法に比べ゛Ｃ１不良品発生率が低く、しか
も加エエ稈数の少ないこの発明の圧電振動子の製造方法
は、量産に適しているといえる。
の振動板の一方の面に、セラミック々Ａ Ｈ”ｌ＠溶Ｉ
ｌｌ シてセラミック膜を形成し、さらにそのセラミツ
クＩＦＪ上に電極を設ｃノることにより、圧電振動子を
製造りる方法ｌ−ある。 実施例の説明 以下、この発明の実施例を詳しく説明りる。 第１図は、この発明の製造方法により】（１造されたハ
］電振動子の一例を承り斜？３（図である。第１図にＪ
３いて、１は非導電性振動板であり、２および４は電極
で（ちり、３はｊ［電しラミック膜Ｃある。 まず、非導電性撮動板１として、セラミック基（反を’
−１” Ｉｇｔ＋リ−る。イして口の非導７ＩＢｌ〕１
１ｉＱ動４反 １の一方の面に、銀（Ａ（＋ ）をパタ
ーン印刷して、雷へ２を段（）る。次に、この電極２の
電極面に、圧電セラミック材料を溶用づることにより、
圧電セラミック膜３を形成りる。圧電１７９４７９月１
１を溶ＣＪす゛る方法どしては、ブラスマ溶ＯＪやフレ
ーム溶用等が考えられる。さらに、このように形成され
た１丁型セラミック膜３の面上に、再び銀（Ａｃ＋）を
パターン印刷して電極４を護りで、圧電振動子を完成さ
せる。 以下は、非導電性振動板１に電極２を設ける過程を経１
〔、この発明の圧電振動子を製造づる方法の一実施例で
あるが、非導電性撮動板の替わりに導電性振動板を使用
刀れば、導電性振動）及が電極の１幾能をも兼４ａるた
め、ｊ、？、（電性振動板に電極を設置）る必要がない
。 第２図は、この発明の製う前方法にＪ：り製造された導
電性振動板を使用した圧電振動子の一例を示づ斜視図Ｃ
ある。第２図にＪ３いて、５は導電１１振り」板であり
、３ ＋、Ｌ圧電セラミック膜であり、４は電（リミで
ある。 まＪ゛、ンク電１４Ｆ振動板：）どして、金属板を準備
Ｊる。 次に、このン９宙牲振動板５の一方面に、圧電セラミッ
ク１，４ ｉ２をｉＦＦ ＱＪ することにより、圧電
セラミック膜３を形成Ｊる。さらに、このように形成さ
れた圧電しラミック膜３の面−Ｌに、銀＜Ａｇ）をパタ
ーン印刷して電極４を設りて、圧電振動子を完成さＵる
。 以上２通りの圧電振動子の製造方法は、この発明の実施
例であり、この発明の趣旨を１０なわない範囲内で変更
をなしうることｔ、１いうまでもない。 特に、非導電性撮動板１および導電性振動板５の形状、
電極２．４の形成方法、圧電セラミック膜３の厚み等は
任意である。 発明の効果 以−１−のように、この発明の圧電１辰動子の′！１．
Ｊ造力法によれば、従来の圧電振動子の製造方法の、両
１ 面に電極を設えた圧電基板に振動板を固着させるという
工桿を省くことができる。 また、このブト明の製造方法で薄い圧電セラミック膜の
圧電振動子を製造しても、電極を形成する際に圧電セラ
ミック膜にワレやカケ等が発生りることがないため、圧
電基板に電極を設りる際や、両面に電極を設【ノた圧電
基板に１崩動（反を固ｒ、！Ｊる１系に、圧電基板に１
７しやカケ等が発生することのある＜：Ｌ ）ｌｔの）
［電振動子の製造り法と比較して、この発明のＩＴ電振
動了の製造方法は不良品発生率が低い。 従来の製造方法に比べ゛Ｃ１不良品発生率が低く、しか
も加エエ稈数の少ないこの発明の圧電振動子の製造方法
は、量産に適しているといえる。
【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は、この発明の製造方法によって１
！７られた圧電振動子の一例を示゛り斜視図でｊうる
。 １・・・非導電性撮動板、２．４・・・′ｔ′Ｘｉ極、
３・・・圧電セラミック膜、５・・・導電性振動１ｆＭ
。 Ｑｈ Ｒ’ｌ 出 １頭 人 株式会社村ＦＪ、＋ ′！Ａ作所
！７られた圧電振動子の一例を示゛り斜視図でｊうる
。 １・・・非導電性撮動板、２．４・・・′ｔ′Ｘｉ極、
３・・・圧電セラミック膜、５・・・導電性振動１ｆＭ
。 Ｑｈ Ｒ’ｌ 出 １頭 人 株式会社村ＦＪ、＋ ′！Ａ作所
Claims (1)
- 非ン９電１ｊｌの振動板の一方の面に電極を設（）、そ
−の霜１う１面に、あるいはＶ＋導電性振りｊ板の一方
の亀ｉに、ｐラミック＜Ａ ｉｌ′３＋を溶用してセラ
ミック１１つ１を形成し、さらにそのセラミ・ンク膜上
に電１１１ｋをｈψ（）で１−ノるＩｌｆ電振電子動子
ＡＪ造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14860383A JPS6040000A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14860383A JPS6040000A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 圧電振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6040000A true JPS6040000A (ja) | 1985-03-02 |
Family
ID=15456459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14860383A Pending JPS6040000A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6040000A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63121998U (ja) * | 1987-02-02 | 1988-08-08 |
-
1983
- 1983-08-12 JP JP14860383A patent/JPS6040000A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63121998U (ja) * | 1987-02-02 | 1988-08-08 |
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