JPS6037702A - 膜抵抗体 - Google Patents
膜抵抗体Info
- Publication number
- JPS6037702A JPS6037702A JP58147523A JP14752383A JPS6037702A JP S6037702 A JPS6037702 A JP S6037702A JP 58147523 A JP58147523 A JP 58147523A JP 14752383 A JP14752383 A JP 14752383A JP S6037702 A JPS6037702 A JP S6037702A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- film
- trimming
- resistance value
- film resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は同一抵抗体内で一部分の膜厚を厚くした膜抵
抗体に関するものである。
抗体に関するものである。
混成集積回路に内蔵される膜抵抗体ば膜抵抗体の製造工
程におりる抵抗値のバラツキ、あるいは混成集積回路に
内蔵される能動部品、受動部品等の特性値のバラツキを
補償するために、膜抵抗体単体で、あるいは前記部品を
混成集積回路に組み込んだ後に、トリミングと呼ばれる
抵抗値修正が必要である。特に産業用の混成集積回路で
は極めて高い抵抗値精度が要求されるため、トリミング
も微調整が可能でなければならない。
程におりる抵抗値のバラツキ、あるいは混成集積回路に
内蔵される能動部品、受動部品等の特性値のバラツキを
補償するために、膜抵抗体単体で、あるいは前記部品を
混成集積回路に組み込んだ後に、トリミングと呼ばれる
抵抗値修正が必要である。特に産業用の混成集積回路で
は極めて高い抵抗値精度が要求されるため、トリミング
も微調整が可能でなければならない。
従来、この種の用途に用いられる膜抵抗体として第１図
に示すものがあった。同図ｔａ＋において、１は相互に
平行に配置された２つの電極導体、２は両電極導体１間
に形成された抵抗体膜であり、この抵抗体膜２には電極
導体１に平行にトリミング３が施されている。なお、同
図（ｂｌはその断面図である。
に示すものがあった。同図ｔａ＋において、１は相互に
平行に配置された２つの電極導体、２は両電極導体１間
に形成された抵抗体膜であり、この抵抗体膜２には電極
導体１に平行にトリミング３が施されている。なお、同
図（ｂｌはその断面図である。
第２図は抵抗体膜２のトリミング３長さしに対する抵抗
値の変化を示すものである。
値の変化を示すものである。
従来の膜抵抗体は以上のように構成されており、第２図
から明らかなように、ｌ−リミング長さによって抵抗体
膜２の抵抗値が指数関数的に変化するために、高精度の
抵抗値修正が出来ない欠点がある。
から明らかなように、ｌ−リミング長さによって抵抗体
膜２の抵抗値が指数関数的に変化するために、高精度の
抵抗値修正が出来ない欠点がある。
又、抵抗値精度を良くしようとすると、ｌ・リミング速
度を極端に遅くしなければならないために、生産性が悪
いという欠点がある。
度を極端に遅くしなければならないために、生産性が悪
いという欠点がある。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、抵抗体膜の一部の膜厚を厚くする
ことにより、固有抵抗の大きい部分と小さい部分を作り
、固有抵抗の大きい方から小さい方にトリミングするこ
とにより、トリミング長さと抵抗値変化との比をほぼ一
定に近づけることができるようにした膜抵抗体を千足供
せんとするものである。
めになされたもので、抵抗体膜の一部の膜厚を厚くする
ことにより、固有抵抗の大きい部分と小さい部分を作り
、固有抵抗の大きい方から小さい方にトリミングするこ
とにより、トリミング長さと抵抗値変化との比をほぼ一
定に近づけることができるようにした膜抵抗体を千足供
せんとするものである。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第３図（ａ）、 （ｂ）はこの発明の一実施例を説明す
るための図面で、図において、第１図と同一符号は同一
のものを示す。本実施例において、抵抗体膜２はその一
端２ａから所定距離βの位置以降その他端２ｂまでの部
分４が膜厚が厚くなっており、この厚膜部分４はスクリ
ーン印刷を２回以上行なって膜厚を厚く形成されている
。
るための図面で、図において、第１図と同一符号は同一
のものを示す。本実施例において、抵抗体膜２はその一
端２ａから所定距離βの位置以降その他端２ｂまでの部
分４が膜厚が厚くなっており、この厚膜部分４はスクリ
ーン印刷を２回以上行なって膜厚を厚く形成されている
。
次に作用効果について説明する。抵抗体膜２はその幅方
向に、即ち電極導体１に平行にトリミングすると、第２
図に示したようにトリミング長さによって抵抗値が指数
関数的に増加するので、本実施例では抵抗値が急増しは
じめる付近以降の抵抗体膜の膜厚を２倍以上にして厚膜
部分４を形成することにより、その部分の固有抵抗を小
さくし、第４図に示すように、トリミング長さしに対す
る抵抗体膜の抵抗値変化を緩和している。
向に、即ち電極導体１に平行にトリミングすると、第２
図に示したようにトリミング長さによって抵抗値が指数
関数的に増加するので、本実施例では抵抗値が急増しは
じめる付近以降の抵抗体膜の膜厚を２倍以上にして厚膜
部分４を形成することにより、その部分の固有抵抗を小
さくし、第４図に示すように、トリミング長さしに対す
る抵抗体膜の抵抗値変化を緩和している。
以上のようにこの発明によれば、トリミング長さと膜抵
抗体の抵抗値変化との比が一定に近くなるように抵抗体
膜の一部分の膜厚を厚くしたので、膜抵抗体の抵抗値精
度が極めて良く、又生産性が良いなど、実用上大きな効
果が得られるものである。
抗体の抵抗値変化との比が一定に近くなるように抵抗体
膜の一部分の膜厚を厚くしたので、膜抵抗体の抵抗値精
度が極めて良く、又生産性が良いなど、実用上大きな効
果が得られるものである。
第１図は従来の膜抵抗体を示し、（ａｌは平面図、（ｂ
ｌはそのＡ−Ａ″線断面図、第２図は第１図の抵抗体膜
におけるトリミング長さに対する抵抗値を示す図、第３
図は本発明の一実施例による膜抵抗体を示し、ｔａ＋は
平面図、（ｂｌはそのＢ−Ｂ”線断面図、第４図は第３
図の抵抗体膜におけるトリミング長さに対する抵抗値を
示す図である。 １は電極導体、２は抵抗体膜、２ａは一端、２ｂは他端
、３はトリミング、４は厚膜部分である。 なお図中、同一符号は同−又は相当部分を示す代理人
大 岩 増 雄 第１図 第２図 トυミ〉ワ゛長さ （Ｌ）− 第３図 第４図 トリミ〉り゛長鎖Ｌ） −
ｌはそのＡ−Ａ″線断面図、第２図は第１図の抵抗体膜
におけるトリミング長さに対する抵抗値を示す図、第３
図は本発明の一実施例による膜抵抗体を示し、ｔａ＋は
平面図、（ｂｌはそのＢ−Ｂ”線断面図、第４図は第３
図の抵抗体膜におけるトリミング長さに対する抵抗値を
示す図である。 １は電極導体、２は抵抗体膜、２ａは一端、２ｂは他端
、３はトリミング、４は厚膜部分である。 なお図中、同一符号は同−又は相当部分を示す代理人
大 岩 増 雄 第１図 第２図 トυミ〉ワ゛長さ （Ｌ）− 第３図 第４図 トリミ〉り゛長鎖Ｌ） −
Claims (1)
- （１）相互に平行に配置された２つの電極導体と、該両
電極導体間に形成された抵抗体膜とからなり、該抵抗体
膜に上記電極導体に平行にトリミングを行なって抵抗値
を可変に設定できるようにした膜抵抗体であって、上記
抵抗体膜は、トリミング３さと抵抗値変化との比が一定
に近くなるようその一部の膜厚が厚くなっていることを
特徴とする膜抵抗体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58147523A JPS6037702A (ja) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | 膜抵抗体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58147523A JPS6037702A (ja) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | 膜抵抗体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6037702A true JPS6037702A (ja) | 1985-02-27 |
Family
ID=15432238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58147523A Pending JPS6037702A (ja) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | 膜抵抗体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6037702A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04114404A (ja) * | 1990-09-04 | 1992-04-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 抵抗体 |
| JPH0445825U (ja) * | 1990-08-21 | 1992-04-17 |
-
1983
- 1983-08-10 JP JP58147523A patent/JPS6037702A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0445825U (ja) * | 1990-08-21 | 1992-04-17 | ||
| JPH04114404A (ja) * | 1990-09-04 | 1992-04-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 抵抗体 |
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