JPS6036035A - 超音波伝送方式 - Google Patents
超音波伝送方式Info
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- JPS6036035A JPS6036035A JP14618783A JP14618783A JPS6036035A JP S6036035 A JPS6036035 A JP S6036035A JP 14618783 A JP14618783 A JP 14618783A JP 14618783 A JP14618783 A JP 14618783A JP S6036035 A JPS6036035 A JP S6036035A
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
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- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
皮血次」
この発明は、医療機器として用いられるコンピュータI
・モグラフイ装置などに用いられる超音波伝送方式に関
するものである。
・モグラフイ装置などに用いられる超音波伝送方式に関
するものである。
【X葱遺
コンピュータトモグラフィ装置には、伝送される超音波
が被検体の中を通る場合に受ける伝送歪および位相回転
が場所によって変化することを利用しているものがある
。従来、研究されているこれら装置においては、超音波
に感応するデバイスが線−トあるいは点上にあるのに対
して狭い指向性をもつ超11波源を用いるため、IrJ
i音波源と感応デバイスとの相対位置関係を精密に維持
するために特別の機構を必要とする。従来研究されてい
るこれらの方法では超音波感応デ/へイスは線」二を走
査するものであって立体視像を得ることかできない。 旦−一一一的 この発明は、平面上を同一位相で振動する超音波源と音
波を吸収するモ面に超音波の感応線を分布させることに
よって立体視像を得ることを可能とし、感応平面自体に
よる影響を極小にすることを1」的とするものである。 −−1 本発明の構成について、以下、実施例に基づいて説明す
る。 超音波が伝送される伝送媒体において、媒体の物理的な
特性に応じてMiK波を受信する点における影響には変
化が生ずる。この変化を多くの点においてとらえること
によって伝送媒体の物理的な特性に関する何らかの情報
を得ることが出来る。 第1図は、本発明の構成を示すもので、図中、■は複数
の角形の磁歪振動子を集合してなる超音波源であって、
該超音波源は平面状をなし平面各点において振動の位相
が一致している。(りは超音波受信平面であって■の■
の方向の面は超音波感応デ/ヘイスからなる画素を分布
させることによって構成されているものである。(2)
は超音波が伝送される方向を示すものであって、而■お
よび■の間の空間には超音波伝送特性の相異が分布され
る被写体がおかれる。このような相異は■なる面に分布
する超音波感応デバイスによってとらえられる。 第2図は■なる面に分1「iする8音波感応デバイスの
一つの構成を示すもので、多層にわたって集積回路を加
工する場合の材料の成長とエツチング法を轟用すること
によってなるものである。第2図の左側の数字は層番号
を示すものであって、第2図は第1図の■なる平面に垂
直な感応デバイスの断面を示す。第2図のF、とF2は
鉄を成長させた部分であって、これにNなるニッケルな
どの磁歪振動子となる材料を成長させである。Fl 。 F2 、Nの部分は磁束の通る通路を形成するものであ
って、C3はF2に磁気偏極を発生させる直流を流して
F2を通る磁束の変化をとらえるコイルの断面である。 右傾斜の斜線の部分は絶縁物を成長させてなる部分で、
04〜C12はこれら絶縁物の中に“うめ込まれたアド
レス用の複数の直線導体であってこれらの符号化信号は
感応デバイスごとに対応して出力される。これらのアド
レス線は特定の感応デバイスをアドレスしてC1+C2
によって検出される電圧を検出、するものでこれを制御
する電子回路は5と6なる層に形成され、8なる層で以
」二の動作に必要な配線を行う。この配線のために他の
層から8なる層への接続線を通すには接続線をなす導体
の周囲は各層において絶縁物で隔離する必要がある。 第2図にNにて示すニッケルなどの磁歪振動子は各感応
デバイスごとに分離して形成され′ており、第2図の上
方から伝播してきた超音波に感応して振動するが、この
とき各感応デバイスごとに独自の振動に応答することが
できる。この機械的振動によってF2を通る磁束に変化
が生じCI+02なるコイルに交流電圧か誘起される。 これはタブレットによってアドレスされたときに読出さ
れる。なお、Nなる磁歪振動r−を分π形J&する方法
は後述する。−コイルC1、C2、C3などの構造は第
3図乃至第5図に示すが、構造はC,、C2、C3とも
同じであるのでC1についてのミ述べる。 第3図はC1の構造を第1図の■なる平面に直角方向か
ら各層を重ねて見たものであって、コイルの最下層の構
造は第4図のようになっている。 第4図の■は第3図の■と同じ部分を示すもので、第4
図の@なるコイルを次の層のコイルに接わ“5するため
に」一層にむけて成長された導体部分で次の層のコイル
は■に接続されて左回りに構成され、第3図の■と■の
間のキャップを残して■のさらに上層のコイルに接続す
るための導体を形成する。$4図の[相]なる部分は最
下層コイルの終端であって、うりの部分とは絶縁された
ギャップを保っている。この(0)なる部分にはさらに
下層へのびる・4体に接続され第2図の8なる層の配線
と接続が行われる。 第5図はコイルの最上層のものを示すもので、(毀なる
部分において最上層の直下のコイルから導体が成長され
、これ番し狗が左回りに成長されて替なる部分に到る。 この層においてC1の外側のコイル即ち第2図の02へ
の接続を行うためにQなる部分を成長させ、0なる部分
で02と接続させる。■とりなる部分は第3図の0と@
に相当する。C2コイルはC1コイルとは逆向きに巻か
れるように成長され、[相]なるギャップを残して最−
L層の直下の02のコイルから成長された導体に接続さ
れるものである。C2の最下層コイルは第4図の02に
示すように0なる部分で最下層から2番目のコイルに接
続されるから右回りにたどって0なるギャップを残して
0において終り、この0は第2図の8なる層における配
線から成長された導体に接続される。 以上のようにして成長された感応デバイスは第1図の■
なる平面に分布する。第2図の04〜C12はこれら感
応デバイスをアドレスするものであって、このアドレス
によってcl、C2に誘導された電圧を読取るものであ
る。この誘導電圧を読取る回路は第6図のようになる。 第6IAにおいて−EからRを通ってCI、C2に通ず
る回路のうち−E 、 R’+およびMなる端子はモノ
リシック構造の外部回路でMは読出出力端子で、Dなる
ダイオードは各感応デバイス対応に設けられる。F1〜
F8は感応デバイスをアドレスするフリップ−フロップ
であり、出力は符号化されてA、−A8に接続される。 C1,C2に発生する電圧をMなる端子に出力するには
A1〜A8が同時にONとなってDが導通状態となるこ
とによるものである。次に磁歪振動子Nを分離形成する
方法についてのべる。 第7図はその工程を示すもので、鴇7図の(a)は第2
図の17層であるSとF2からなる部分にNなるニッケ
ルの金層のへ着を行い、(b)においてF2に接続され
る部分をマスクするマスクパターンを用いたエツチング
処理を行う。(C)では全面にシリコンからなる材料G
を形成L(b)Q)Nの部分以外をマスクするマスクパ
ターンによって(C)のGをCF4 、CF4+o2
、CF4+H2などを利用してエツチングし、(d)な
る材料分布を作り以後(a)から(d)までをくり返す
ことによって(e)なる構造を作る。次にGなる半導体
部分を上記のカスを用いてSなる絶縁材料層まで除去し
Nなる部分を独立させるものである。 第7図の方法によって作られるデバイスは第2図のよう
な材料の分布をなすもので、これらのデバイスは一つの
感応線上に並ひ、これら感応線は7字形の溝が隣接して
いる場合に中間の凸部の瑣tに位置ずけられるものであ
る。第7図の方法によって多数の感応線の構造を作るこ
とができるか、これらは分離されなければならない。こ
のため第7図の(e)と(f)に示されるようなダミ一
工程を第1図の■なる平面全体に応用する必要がある。 第8図はこの工程を示すもので■と[株]はそれぞれ第
2図のNとその他の構造を示すものである。 第1の工程である第8図(A)において■と(す2は第
7図においてダミー材料となった半導体であって(B)
の■と■からなる感応デ/<、イスの中間を埋めている
。感応線は■なる一フルミはくのにに構成される。アル
ミはくは(B)の■なる点で切断され(C)のように感
応iごとに分離しアルミはくは折りまげられて7字溝の
列の山部の頂ににはり付ける。 これら7字溝の列を図示すると(0)のようになる。 (D)は(C)なる構造を巨視的に描いたものである。 第1図の■を一発する超音波は(D)の溝の内部で反射
をくり返すうちに減衰し反射して(D)の裏面に出″て
くる成分が小さくなる。 第2図の04〜C12なるアドレス線によってアドレス
することによって第6図のMなる出力端−rにアドレス
された画素の巻線にNなる磁歪振動子によって誘起され
た交流電圧が得られ、さらに第6図DEMによって直流
に変換される。DEM出力の直流を得るには超音波源で
ある第1図のへ)に分布する角形磁歪振動子を励起する
交流によってMの出力を検出する。第6図のLFはD
E M lj力の不要波を除去するものである。LF小
出力あるOUT端子にはMに得られる交流の位相に比例
して正負の電圧が得られる。この位相は第1図の被写体
の入る空間を通る場合に起る位相回転により画素ごとに
異なる値をとる。振幅について−も同様のことが云える
。第6図および第2図に示す04〜C12は一木の感応
線におけるデバイスをアドレスするものである。これら
のアドレスはコラムアドレスであるとするとロウアIS
レスに相当して感応線を・アドレスする符号線が必要で
あるが、これらは感応平面の外側の回路によって配線で
きる。 立体視像を得るには第1図の構造を■なる垂線を軸にし
て15に転する。立体視像の精細度は垂直方向について
は等高線のようにIIIk、fit的であって、それぞ
れの高さにおける平面の断層像を詳細にするのが通例で
ある。今、第6図のO20の交流を4MH’zとし、同
1i4At−Aa(7)切替速度をl M Hzとする
と、一つの切替周期に入るO5C出力波形は4サイクル
となり、一応、折返し波は除去できる。このとき256
なる数のl+!4I素デバイスを全部走査すると0 、
256 m sを要する。上記のように垂直方向の精細
□度をあらくし水平方向の32分の1にとったとし、画
素数を512(水平)×16(垂直)とすると上記25
6の画素デバイスからなるブロックの数は32ケとなる
。 第1図の■なる軸の1回転を50msで行うものとする
と、この1回転の間に200回の操作ができることとな
り瞬間をとらえた化体視像を得るこ・とができる。 第1図の■なる軸の1181!J転によって200回の
走査を行うが、各回ごとに■なる平面の水平方向の一つ
の走査線上に分布する各画素デバイスの出力値を用いれ
ば上記回転角度の各点における1次元フーリエ変換を利
用して2次図形に変換する公知のコンピュータトモグラ
フィの原理を適用できる。このようにすれば■の水平方
向のそれぞれの走査線についてトモグラフイ]4形を得
ることができる。これらは後述のように等高線による立
体視図形に変換することができる。各回転についてこの
ような処理を行うには■なる平面−にの各画素の各回転
角度のデータが必要であって、これらのデータは処理前
にファイルにデータベースの形で記録しておいてトモグ
ラフィ図形処理を計算機を用いて行うのが適当である。 第9図においてQは第3図の■、■は■に相当し■は被
写体である。■は静止したままであるが0、Oは円◎の
[1]心を回転の中心として■なる方向に回転し、第1
図の■・なる平面の各画素の各回転角度のデータは第9
図のFなるファイルユニットに転送される。Oは回転す
る0、0なる超音波伝送系へ電力を静l];シたままで
送り出す切点であって運動する導体と接触している。■
はデータを伝送するケーブルである。CPUはFのデー
タによってトモグラフィ処理を行うA1算機であ、す、
TYは各種のデータのとり方を指示し結果を表示するキ
ーボードディスプレイである。Oなる91点は水銀など
を利用して高速回転においても接触不良とならないよう
にするが多くの9J点をもつことは不可能であって」二
記のように多くのデータをFに転送するには伝送フレー
ムを組んで■なるケーブルを周期的に符号伝送を行い、
■なる超音波伝送系の回転の、中、心から別ルートで伝
送する。■なるケーブルにおける伝送の物理的な形式は
光ファイバによるもので、■においては回転部分とケー
ブルからなる静止部分の物理的な結合を行う。■なる部
分における回転は0なる点を中心とするもので回転部分
から発せられる光は静1に部分の一定個所で受光するこ
とができる。 第10図はこの結合部を示すもので第10図(a)は外
観を示しaなる部分は静止しbなる部分力t(回転して
いる。このaとbはffK、 l 0図(b)に示すよ
うにみぞと凸部がかみあうことによって結合した状態で
回転している。第1O図(b)の■とΦ)は光フアイバ
ケーブルで■と■はその芯である。■と■はそれぞれ回
転部と静止部にあるレンズでアラてのを出た光が集光さ
れて(匂で受光される。■と■はそれぞれ遮光のための
構造である。 人体などの断層写真を撮影する場合は、第91渇におい
て■は静止した台1ユにあって◎が回転することとなる
。このとき回転部分は人体とはLt’同じ長さを持ち必
要がある。そしてこの回転部分の内部を超音波伝送系(
第9図の0.!:O)は紙面に垂直方向1こ移動するこ
とによって人体の4f−7Jの81!り)を撮影できる
ようになっている必要がある。 第11図は、回転部分を示す図で、該回転部分は第11
図(a)に示すような中空の国体の中に人っている。国
体の中空の部分には(Dなる人体なと゛の被写体がおか
れる。回転部分は国体の中本こ1(体外壁に滑り玉でお
さえられる形でおさめられffSl1図(a)の■なる
部分で第1O図および第9図のQとOに示すような電気
的光学的接合を行う。回転部分は第11図(b)のよう
な形になり■と■なる部分においてL記滑り玉による国
体との結合が行われ、■と■にそれぞれm 音波伝送系
の源と受信平面がおかれる。このa音波伝送系は■と■
の]二を水平移動が可能なようになっている必要がある
。この時、光による■−記符号伝送系における接続が保
たれるために仲反射鏡を含む光学系が必要となる。 超音波伝送系の出力源をファイルユニットまで伝送する
伝送系は、上記のように光によるもので、これによって
静止系と運動系との間の物理的結合が相対連動によって
断とならないようにすることができる。第10図の構造
はこのためのもので、さらに」−記超音波伝送系と回転
部分との接合も第12図のような系を用いる。第6図に
おいて(1)は第11図の■あるいはに)の1−に設け
られるみそであって■で示す光線が通る。これは■なる
超音波伝送系の出力側の光源であって光変調器■を出た
光は■に固定された■なる反射鏡によって屈折し■なる
ケーブルファイバの芯■に受光される。■は集光レンズ
であって■なる光線の方向が変動しても(のに集束され
るようにする。(ゆで集光された光は第9図■において
第10図の構造によって静止系に伝送される。 光による符号伝送系の符号伝送速度は270Mb /
s程度とすることによって回転の各角度ごとのデータを
全部第9図のFなるファイルユニットに伝送することが
できる。この伝送で伝送されるデータにはどの角度のデ
ータであるかを明示する必要があり、伝送フレームは各
角度ごとに組んでこれに角度データをおくフィールドを
設ける。このように角度を明確にするには−1−記回転
部分の回転は同期する必要がある。伝送フレームの各フ
ィールドの作成、回転角度情報の作成および回転の同期
制御は次のように行う。 第13図のOU T 1端子には伝送フレーL1のネ:
1号系列が出力される。この符号系列のクロックはO2
0なる発振器によって動作するクロック発生器CLによ
って作られる。第13図のYはロウアドレス線を駆動す
るレジスタでCL出力論理値の28〜212なる桁によ
って動作し、順次i1図の■平面の水平走、査線な指す
。XiとX2はコラムアドレス線を駆動するレジスタで
CL出力論理値の2°〜27なる桁によって動作し」−
記水平走査線の前半画素デバイスおよび後半画素デバイ
ースをそれぞれアドレスする。Xlとx2の指定が終る
ことによってYを指定し第6図のMなる端子に信号が出
力される。第13図のA1とA2なるタブレット構造に
おいてy2:x、およびYとX2の指定を行いB1とB
2の↓印のついた交点においてM端子への信号読出を行
う。各読出信号はADi〜AD32なるアナログ−ディ
ジタル変換回路によって8ビツトレジスタに記録される
。この読出しシーケンスと、並列にZなる分配回路によ
ってAD1〜AD32の出力ディジタル値が読出されて
伝送フレーム作成回路へ出力される。AD、〜AD32
の出力には2段のレジスタが心安で1段]−1にYとX
lおよびYとX2によ′る読出記録を行い、2段[Iは
Zの指定による符−)送出を行う。Yどxlおよびx2
による次の走査が開始される直前に1段目レジスタの内
容を2段目レジスタに転送する。CIと02なるマトリ
ックスはAD、〜AD32の出力を2の出力線によって
開閉と伝送フレームのビット構成を行うものである。 伝送フレームを作る部分はF、AGおよびFXによって
なる。FはCL小出力よって01と02の出力を伝送し
CIと02の出力符号を送信している間にAGによって
作ったCRCチェック符号を送出する時間、CRCチェ
ック符号を送信する時間、および回転角度情報その他の
符号をANから送伝する時間にONとなる信号線を作る
。FXなるマトリックスはFの出力によってAG、AN
およびC1とC2の出力をゲートなるものである。角度
情報を作るANはCLの最高桁の出力によって動作する
バイナリカウンタの部分を含んでいてこの出力はOUT
、−2FXを通して接続する一方回転制御を行うために
直接OU T 2に作成するものである。 第14図は−に述の回転制御を行う機能を示す図で、(
a)図の■と■は第11図の(b)なる回転わくに固定
されるものでギアによ“つて■と■からなる原動回転子
に連結している。■は回転わくの回転軸であり第10図
(b)の■と■からなる部分が埋め込まれている。■と
■の部分ではギヤのかみ合いが行われる。■は原動回転
子の回転軸で■なる界磁線輪によって回転が得られる電
動器の一部をなす。■と[相]は■なる回転軸に固定さ
れて回転するもので■は透明な部分とσΦなる不透明な
部分からなる回転盤である。■なる光源でこの回転盤を
照射しその応答な■なる光センサによって受光する。■
は連結機構を示す。■の出力波形は(b)図の■のよう
な波形をなすものであって、これに対しくb)図の■に
示す波形は(a)図OU T2 、 tillち、第1
3図の0UT2の数値の変化を示すものである。第14
図(a)のPUは(b)l:fflの■と■の波形を用
いてディジタル信号処理を行うサンプル値データ系であ
って、(b)図の■なる波形即ち、回転盤の出力信号が
OFFとなったときに(b)図の■のレベルと■の波形
の中心レベルとの差を、めこれをDA変換してPUの3
と4からなる端子に出力して0なる補助S線に流し、電
動機の回転を11ノ制御し、この回転を第13図のAN
のカウンタ部分の変化に同期させるものである。 伝送フレームによって運ばれたデータは第9図のファイ
ルユニツl−Fに記録される。このため第9EAの■で
示すファイバケーブルの終端器において伝送フレームの
同期検出と復号化を行うものであるがこの方法について
は、本出願人によって既に提案されている再送訂正方式
に説明したものと同様にして工夫することができる。フ
ァイルユニツ)FのデータはCPUが実行するプログラ
ムによって解析することが可能である。この解析は一般
にn回転分のデータによって行うことがII)能である
。何回転分のデータをとるかはTYなる操作卓から■に
出される指定符号によって指示することが0f能である
。これらのデータはどのように解析するかはCPUに入
れるプログラムを工夫することによって定めることがで
きる。笠高線力式による立体視図形を1)るには第1図
■の各水平走査銀のデータについて第15図に示すよう
な変形を行う。即ち第15図(a)に示すようにデータ
のトモグラフィ解析によって得た図形P上の任意点Aの
X軸、Y@bの座標値をめそのX座標値を別の水平線−
にの0点とA’ x伝との距離としこのOA’Xなる線
分をY′なる斜線にそってA’V、A’の位置まで平行
移動しo、A’yの距離がA点のY座標値に等しくなる
ようにする。 次にこのA′を第1図■のそれぞれの水平走査線の高さ
だけptS15図の垂直方向(2の方向)に平行移動し
、このA点の伯を記録する。この処理をP■のすべての
点について行う。各高さについて書いたこの種図形を全
部重ねて古くことによって立体視像を得ることができる
。 蝮−一】 以上の説明から明らかなように、本発明をコンピュータ
トモグラフィ装置に応用すれば物体の内部における組織
に関する瞬間的な動きをとらえた情報を立体的な像の形
で得ることができる。
が被検体の中を通る場合に受ける伝送歪および位相回転
が場所によって変化することを利用しているものがある
。従来、研究されているこれら装置においては、超音波
に感応するデバイスが線−トあるいは点上にあるのに対
して狭い指向性をもつ超11波源を用いるため、IrJ
i音波源と感応デバイスとの相対位置関係を精密に維持
するために特別の機構を必要とする。従来研究されてい
るこれらの方法では超音波感応デ/へイスは線」二を走
査するものであって立体視像を得ることかできない。 旦−一一一的 この発明は、平面上を同一位相で振動する超音波源と音
波を吸収するモ面に超音波の感応線を分布させることに
よって立体視像を得ることを可能とし、感応平面自体に
よる影響を極小にすることを1」的とするものである。 −−1 本発明の構成について、以下、実施例に基づいて説明す
る。 超音波が伝送される伝送媒体において、媒体の物理的な
特性に応じてMiK波を受信する点における影響には変
化が生ずる。この変化を多くの点においてとらえること
によって伝送媒体の物理的な特性に関する何らかの情報
を得ることが出来る。 第1図は、本発明の構成を示すもので、図中、■は複数
の角形の磁歪振動子を集合してなる超音波源であって、
該超音波源は平面状をなし平面各点において振動の位相
が一致している。(りは超音波受信平面であって■の■
の方向の面は超音波感応デ/ヘイスからなる画素を分布
させることによって構成されているものである。(2)
は超音波が伝送される方向を示すものであって、而■お
よび■の間の空間には超音波伝送特性の相異が分布され
る被写体がおかれる。このような相異は■なる面に分布
する超音波感応デバイスによってとらえられる。 第2図は■なる面に分1「iする8音波感応デバイスの
一つの構成を示すもので、多層にわたって集積回路を加
工する場合の材料の成長とエツチング法を轟用すること
によってなるものである。第2図の左側の数字は層番号
を示すものであって、第2図は第1図の■なる平面に垂
直な感応デバイスの断面を示す。第2図のF、とF2は
鉄を成長させた部分であって、これにNなるニッケルな
どの磁歪振動子となる材料を成長させである。Fl 。 F2 、Nの部分は磁束の通る通路を形成するものであ
って、C3はF2に磁気偏極を発生させる直流を流して
F2を通る磁束の変化をとらえるコイルの断面である。 右傾斜の斜線の部分は絶縁物を成長させてなる部分で、
04〜C12はこれら絶縁物の中に“うめ込まれたアド
レス用の複数の直線導体であってこれらの符号化信号は
感応デバイスごとに対応して出力される。これらのアド
レス線は特定の感応デバイスをアドレスしてC1+C2
によって検出される電圧を検出、するものでこれを制御
する電子回路は5と6なる層に形成され、8なる層で以
」二の動作に必要な配線を行う。この配線のために他の
層から8なる層への接続線を通すには接続線をなす導体
の周囲は各層において絶縁物で隔離する必要がある。 第2図にNにて示すニッケルなどの磁歪振動子は各感応
デバイスごとに分離して形成され′ており、第2図の上
方から伝播してきた超音波に感応して振動するが、この
とき各感応デバイスごとに独自の振動に応答することが
できる。この機械的振動によってF2を通る磁束に変化
が生じCI+02なるコイルに交流電圧か誘起される。 これはタブレットによってアドレスされたときに読出さ
れる。なお、Nなる磁歪振動r−を分π形J&する方法
は後述する。−コイルC1、C2、C3などの構造は第
3図乃至第5図に示すが、構造はC,、C2、C3とも
同じであるのでC1についてのミ述べる。 第3図はC1の構造を第1図の■なる平面に直角方向か
ら各層を重ねて見たものであって、コイルの最下層の構
造は第4図のようになっている。 第4図の■は第3図の■と同じ部分を示すもので、第4
図の@なるコイルを次の層のコイルに接わ“5するため
に」一層にむけて成長された導体部分で次の層のコイル
は■に接続されて左回りに構成され、第3図の■と■の
間のキャップを残して■のさらに上層のコイルに接続す
るための導体を形成する。$4図の[相]なる部分は最
下層コイルの終端であって、うりの部分とは絶縁された
ギャップを保っている。この(0)なる部分にはさらに
下層へのびる・4体に接続され第2図の8なる層の配線
と接続が行われる。 第5図はコイルの最上層のものを示すもので、(毀なる
部分において最上層の直下のコイルから導体が成長され
、これ番し狗が左回りに成長されて替なる部分に到る。 この層においてC1の外側のコイル即ち第2図の02へ
の接続を行うためにQなる部分を成長させ、0なる部分
で02と接続させる。■とりなる部分は第3図の0と@
に相当する。C2コイルはC1コイルとは逆向きに巻か
れるように成長され、[相]なるギャップを残して最−
L層の直下の02のコイルから成長された導体に接続さ
れるものである。C2の最下層コイルは第4図の02に
示すように0なる部分で最下層から2番目のコイルに接
続されるから右回りにたどって0なるギャップを残して
0において終り、この0は第2図の8なる層における配
線から成長された導体に接続される。 以上のようにして成長された感応デバイスは第1図の■
なる平面に分布する。第2図の04〜C12はこれら感
応デバイスをアドレスするものであって、このアドレス
によってcl、C2に誘導された電圧を読取るものであ
る。この誘導電圧を読取る回路は第6図のようになる。 第6IAにおいて−EからRを通ってCI、C2に通ず
る回路のうち−E 、 R’+およびMなる端子はモノ
リシック構造の外部回路でMは読出出力端子で、Dなる
ダイオードは各感応デバイス対応に設けられる。F1〜
F8は感応デバイスをアドレスするフリップ−フロップ
であり、出力は符号化されてA、−A8に接続される。 C1,C2に発生する電圧をMなる端子に出力するには
A1〜A8が同時にONとなってDが導通状態となるこ
とによるものである。次に磁歪振動子Nを分離形成する
方法についてのべる。 第7図はその工程を示すもので、鴇7図の(a)は第2
図の17層であるSとF2からなる部分にNなるニッケ
ルの金層のへ着を行い、(b)においてF2に接続され
る部分をマスクするマスクパターンを用いたエツチング
処理を行う。(C)では全面にシリコンからなる材料G
を形成L(b)Q)Nの部分以外をマスクするマスクパ
ターンによって(C)のGをCF4 、CF4+o2
、CF4+H2などを利用してエツチングし、(d)な
る材料分布を作り以後(a)から(d)までをくり返す
ことによって(e)なる構造を作る。次にGなる半導体
部分を上記のカスを用いてSなる絶縁材料層まで除去し
Nなる部分を独立させるものである。 第7図の方法によって作られるデバイスは第2図のよう
な材料の分布をなすもので、これらのデバイスは一つの
感応線上に並ひ、これら感応線は7字形の溝が隣接して
いる場合に中間の凸部の瑣tに位置ずけられるものであ
る。第7図の方法によって多数の感応線の構造を作るこ
とができるか、これらは分離されなければならない。こ
のため第7図の(e)と(f)に示されるようなダミ一
工程を第1図の■なる平面全体に応用する必要がある。 第8図はこの工程を示すもので■と[株]はそれぞれ第
2図のNとその他の構造を示すものである。 第1の工程である第8図(A)において■と(す2は第
7図においてダミー材料となった半導体であって(B)
の■と■からなる感応デ/<、イスの中間を埋めている
。感応線は■なる一フルミはくのにに構成される。アル
ミはくは(B)の■なる点で切断され(C)のように感
応iごとに分離しアルミはくは折りまげられて7字溝の
列の山部の頂ににはり付ける。 これら7字溝の列を図示すると(0)のようになる。 (D)は(C)なる構造を巨視的に描いたものである。 第1図の■を一発する超音波は(D)の溝の内部で反射
をくり返すうちに減衰し反射して(D)の裏面に出″て
くる成分が小さくなる。 第2図の04〜C12なるアドレス線によってアドレス
することによって第6図のMなる出力端−rにアドレス
された画素の巻線にNなる磁歪振動子によって誘起され
た交流電圧が得られ、さらに第6図DEMによって直流
に変換される。DEM出力の直流を得るには超音波源で
ある第1図のへ)に分布する角形磁歪振動子を励起する
交流によってMの出力を検出する。第6図のLFはD
E M lj力の不要波を除去するものである。LF小
出力あるOUT端子にはMに得られる交流の位相に比例
して正負の電圧が得られる。この位相は第1図の被写体
の入る空間を通る場合に起る位相回転により画素ごとに
異なる値をとる。振幅について−も同様のことが云える
。第6図および第2図に示す04〜C12は一木の感応
線におけるデバイスをアドレスするものである。これら
のアドレスはコラムアドレスであるとするとロウアIS
レスに相当して感応線を・アドレスする符号線が必要で
あるが、これらは感応平面の外側の回路によって配線で
きる。 立体視像を得るには第1図の構造を■なる垂線を軸にし
て15に転する。立体視像の精細度は垂直方向について
は等高線のようにIIIk、fit的であって、それぞ
れの高さにおける平面の断層像を詳細にするのが通例で
ある。今、第6図のO20の交流を4MH’zとし、同
1i4At−Aa(7)切替速度をl M Hzとする
と、一つの切替周期に入るO5C出力波形は4サイクル
となり、一応、折返し波は除去できる。このとき256
なる数のl+!4I素デバイスを全部走査すると0 、
256 m sを要する。上記のように垂直方向の精細
□度をあらくし水平方向の32分の1にとったとし、画
素数を512(水平)×16(垂直)とすると上記25
6の画素デバイスからなるブロックの数は32ケとなる
。 第1図の■なる軸の1回転を50msで行うものとする
と、この1回転の間に200回の操作ができることとな
り瞬間をとらえた化体視像を得るこ・とができる。 第1図の■なる軸の1181!J転によって200回の
走査を行うが、各回ごとに■なる平面の水平方向の一つ
の走査線上に分布する各画素デバイスの出力値を用いれ
ば上記回転角度の各点における1次元フーリエ変換を利
用して2次図形に変換する公知のコンピュータトモグラ
フィの原理を適用できる。このようにすれば■の水平方
向のそれぞれの走査線についてトモグラフイ]4形を得
ることができる。これらは後述のように等高線による立
体視図形に変換することができる。各回転についてこの
ような処理を行うには■なる平面−にの各画素の各回転
角度のデータが必要であって、これらのデータは処理前
にファイルにデータベースの形で記録しておいてトモグ
ラフィ図形処理を計算機を用いて行うのが適当である。 第9図においてQは第3図の■、■は■に相当し■は被
写体である。■は静止したままであるが0、Oは円◎の
[1]心を回転の中心として■なる方向に回転し、第1
図の■・なる平面の各画素の各回転角度のデータは第9
図のFなるファイルユニットに転送される。Oは回転す
る0、0なる超音波伝送系へ電力を静l];シたままで
送り出す切点であって運動する導体と接触している。■
はデータを伝送するケーブルである。CPUはFのデー
タによってトモグラフィ処理を行うA1算機であ、す、
TYは各種のデータのとり方を指示し結果を表示するキ
ーボードディスプレイである。Oなる91点は水銀など
を利用して高速回転においても接触不良とならないよう
にするが多くの9J点をもつことは不可能であって」二
記のように多くのデータをFに転送するには伝送フレー
ムを組んで■なるケーブルを周期的に符号伝送を行い、
■なる超音波伝送系の回転の、中、心から別ルートで伝
送する。■なるケーブルにおける伝送の物理的な形式は
光ファイバによるもので、■においては回転部分とケー
ブルからなる静止部分の物理的な結合を行う。■なる部
分における回転は0なる点を中心とするもので回転部分
から発せられる光は静1に部分の一定個所で受光するこ
とができる。 第10図はこの結合部を示すもので第10図(a)は外
観を示しaなる部分は静止しbなる部分力t(回転して
いる。このaとbはffK、 l 0図(b)に示すよ
うにみぞと凸部がかみあうことによって結合した状態で
回転している。第1O図(b)の■とΦ)は光フアイバ
ケーブルで■と■はその芯である。■と■はそれぞれ回
転部と静止部にあるレンズでアラてのを出た光が集光さ
れて(匂で受光される。■と■はそれぞれ遮光のための
構造である。 人体などの断層写真を撮影する場合は、第91渇におい
て■は静止した台1ユにあって◎が回転することとなる
。このとき回転部分は人体とはLt’同じ長さを持ち必
要がある。そしてこの回転部分の内部を超音波伝送系(
第9図の0.!:O)は紙面に垂直方向1こ移動するこ
とによって人体の4f−7Jの81!り)を撮影できる
ようになっている必要がある。 第11図は、回転部分を示す図で、該回転部分は第11
図(a)に示すような中空の国体の中に人っている。国
体の中空の部分には(Dなる人体なと゛の被写体がおか
れる。回転部分は国体の中本こ1(体外壁に滑り玉でお
さえられる形でおさめられffSl1図(a)の■なる
部分で第1O図および第9図のQとOに示すような電気
的光学的接合を行う。回転部分は第11図(b)のよう
な形になり■と■なる部分においてL記滑り玉による国
体との結合が行われ、■と■にそれぞれm 音波伝送系
の源と受信平面がおかれる。このa音波伝送系は■と■
の]二を水平移動が可能なようになっている必要がある
。この時、光による■−記符号伝送系における接続が保
たれるために仲反射鏡を含む光学系が必要となる。 超音波伝送系の出力源をファイルユニットまで伝送する
伝送系は、上記のように光によるもので、これによって
静止系と運動系との間の物理的結合が相対連動によって
断とならないようにすることができる。第10図の構造
はこのためのもので、さらに」−記超音波伝送系と回転
部分との接合も第12図のような系を用いる。第6図に
おいて(1)は第11図の■あるいはに)の1−に設け
られるみそであって■で示す光線が通る。これは■なる
超音波伝送系の出力側の光源であって光変調器■を出た
光は■に固定された■なる反射鏡によって屈折し■なる
ケーブルファイバの芯■に受光される。■は集光レンズ
であって■なる光線の方向が変動しても(のに集束され
るようにする。(ゆで集光された光は第9図■において
第10図の構造によって静止系に伝送される。 光による符号伝送系の符号伝送速度は270Mb /
s程度とすることによって回転の各角度ごとのデータを
全部第9図のFなるファイルユニットに伝送することが
できる。この伝送で伝送されるデータにはどの角度のデ
ータであるかを明示する必要があり、伝送フレームは各
角度ごとに組んでこれに角度データをおくフィールドを
設ける。このように角度を明確にするには−1−記回転
部分の回転は同期する必要がある。伝送フレームの各フ
ィールドの作成、回転角度情報の作成および回転の同期
制御は次のように行う。 第13図のOU T 1端子には伝送フレーL1のネ:
1号系列が出力される。この符号系列のクロックはO2
0なる発振器によって動作するクロック発生器CLによ
って作られる。第13図のYはロウアドレス線を駆動す
るレジスタでCL出力論理値の28〜212なる桁によ
って動作し、順次i1図の■平面の水平走、査線な指す
。XiとX2はコラムアドレス線を駆動するレジスタで
CL出力論理値の2°〜27なる桁によって動作し」−
記水平走査線の前半画素デバイスおよび後半画素デバイ
ースをそれぞれアドレスする。Xlとx2の指定が終る
ことによってYを指定し第6図のMなる端子に信号が出
力される。第13図のA1とA2なるタブレット構造に
おいてy2:x、およびYとX2の指定を行いB1とB
2の↓印のついた交点においてM端子への信号読出を行
う。各読出信号はADi〜AD32なるアナログ−ディ
ジタル変換回路によって8ビツトレジスタに記録される
。この読出しシーケンスと、並列にZなる分配回路によ
ってAD1〜AD32の出力ディジタル値が読出されて
伝送フレーム作成回路へ出力される。AD、〜AD32
の出力には2段のレジスタが心安で1段]−1にYとX
lおよびYとX2によ′る読出記録を行い、2段[Iは
Zの指定による符−)送出を行う。Yどxlおよびx2
による次の走査が開始される直前に1段目レジスタの内
容を2段目レジスタに転送する。CIと02なるマトリ
ックスはAD、〜AD32の出力を2の出力線によって
開閉と伝送フレームのビット構成を行うものである。 伝送フレームを作る部分はF、AGおよびFXによって
なる。FはCL小出力よって01と02の出力を伝送し
CIと02の出力符号を送信している間にAGによって
作ったCRCチェック符号を送出する時間、CRCチェ
ック符号を送信する時間、および回転角度情報その他の
符号をANから送伝する時間にONとなる信号線を作る
。FXなるマトリックスはFの出力によってAG、AN
およびC1とC2の出力をゲートなるものである。角度
情報を作るANはCLの最高桁の出力によって動作する
バイナリカウンタの部分を含んでいてこの出力はOUT
、−2FXを通して接続する一方回転制御を行うために
直接OU T 2に作成するものである。 第14図は−に述の回転制御を行う機能を示す図で、(
a)図の■と■は第11図の(b)なる回転わくに固定
されるものでギアによ“つて■と■からなる原動回転子
に連結している。■は回転わくの回転軸であり第10図
(b)の■と■からなる部分が埋め込まれている。■と
■の部分ではギヤのかみ合いが行われる。■は原動回転
子の回転軸で■なる界磁線輪によって回転が得られる電
動器の一部をなす。■と[相]は■なる回転軸に固定さ
れて回転するもので■は透明な部分とσΦなる不透明な
部分からなる回転盤である。■なる光源でこの回転盤を
照射しその応答な■なる光センサによって受光する。■
は連結機構を示す。■の出力波形は(b)図の■のよう
な波形をなすものであって、これに対しくb)図の■に
示す波形は(a)図OU T2 、 tillち、第1
3図の0UT2の数値の変化を示すものである。第14
図(a)のPUは(b)l:fflの■と■の波形を用
いてディジタル信号処理を行うサンプル値データ系であ
って、(b)図の■なる波形即ち、回転盤の出力信号が
OFFとなったときに(b)図の■のレベルと■の波形
の中心レベルとの差を、めこれをDA変換してPUの3
と4からなる端子に出力して0なる補助S線に流し、電
動機の回転を11ノ制御し、この回転を第13図のAN
のカウンタ部分の変化に同期させるものである。 伝送フレームによって運ばれたデータは第9図のファイ
ルユニツl−Fに記録される。このため第9EAの■で
示すファイバケーブルの終端器において伝送フレームの
同期検出と復号化を行うものであるがこの方法について
は、本出願人によって既に提案されている再送訂正方式
に説明したものと同様にして工夫することができる。フ
ァイルユニツ)FのデータはCPUが実行するプログラ
ムによって解析することが可能である。この解析は一般
にn回転分のデータによって行うことがII)能である
。何回転分のデータをとるかはTYなる操作卓から■に
出される指定符号によって指示することが0f能である
。これらのデータはどのように解析するかはCPUに入
れるプログラムを工夫することによって定めることがで
きる。笠高線力式による立体視図形を1)るには第1図
■の各水平走査銀のデータについて第15図に示すよう
な変形を行う。即ち第15図(a)に示すようにデータ
のトモグラフィ解析によって得た図形P上の任意点Aの
X軸、Y@bの座標値をめそのX座標値を別の水平線−
にの0点とA’ x伝との距離としこのOA’Xなる線
分をY′なる斜線にそってA’V、A’の位置まで平行
移動しo、A’yの距離がA点のY座標値に等しくなる
ようにする。 次にこのA′を第1図■のそれぞれの水平走査線の高さ
だけptS15図の垂直方向(2の方向)に平行移動し
、このA点の伯を記録する。この処理をP■のすべての
点について行う。各高さについて書いたこの種図形を全
部重ねて古くことによって立体視像を得ることができる
。 蝮−一】 以上の説明から明らかなように、本発明をコンピュータ
トモグラフィ装置に応用すれば物体の内部における組織
に関する瞬間的な動きをとらえた情報を立体的な像の形
で得ることができる。
第1図は本方式の基本構成を示す図、第2図乃至第5図
及び第7図乃至第8図は本方式の主要部をなす感応平面
の構成法を示す図、第6図は感応平面に分布するデバイ
スの原理を電気回路図によって示す図、第9図乃至第1
5図は本方式を被写体の瞬間的な動きをとらえる立体的
なコンピュータトモグラフィ法に応用するための装置構
成法を示す図で、特に、第13図はコンピュータトモグ
ラフィ法のための情報を集めるための電気回路図を示す
。 第1図において、■は超音波源、■は超音波受信平面、
■は超音波伝送方向、■は回転中心、C!〜C3・・・
コイル、04〜C12・・・アドレス導線、第6図にお
いて、N・・・磁歪振動子、DEM・・・交流−直流変
換器、LF・・・不要波除去回路。 第1図 ■ 第2図 く ω o 。 + ++ リ 第14図 0UT2 第15 図
及び第7図乃至第8図は本方式の主要部をなす感応平面
の構成法を示す図、第6図は感応平面に分布するデバイ
スの原理を電気回路図によって示す図、第9図乃至第1
5図は本方式を被写体の瞬間的な動きをとらえる立体的
なコンピュータトモグラフィ法に応用するための装置構
成法を示す図で、特に、第13図はコンピュータトモグ
ラフィ法のための情報を集めるための電気回路図を示す
。 第1図において、■は超音波源、■は超音波受信平面、
■は超音波伝送方向、■は回転中心、C!〜C3・・・
コイル、04〜C12・・・アドレス導線、第6図にお
いて、N・・・磁歪振動子、DEM・・・交流−直流変
換器、LF・・・不要波除去回路。 第1図 ■ 第2図 く ω o 。 + ++ リ 第14図 0UT2 第15 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (”−1つ、直線上に位置する多数の超音波感応デバイ
スによって感応線を構成し、相隣る2木の感応線の間に
平行なV字形の直線状の溝を形成し、多数の上記感応線
によって構成される17−面に向けて同一位相で励起さ
れる角形磁歪振動子を11面状に配置してなる超音波源
から超音波を伝送することを特徴とする超音波伝送方式
。 (2)、前記超音波感応デバイスは絶縁材料、導体材料
、および半導体材料を相互に層平面に交る平面を境界と
して、この層平面に成長して成る特許請求の範囲ft5
1項記載の超音波伝送方式。 (3)、前記超音波感応デバイスは誘導線輪の鉄心に磁
歪振動子を成長して成る特許請求の範囲第1項又は第2
項記載の超音波伝送方式。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14618783A JPS6036035A (ja) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | 超音波伝送方式 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14618783A JPS6036035A (ja) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | 超音波伝送方式 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6036035A true JPS6036035A (ja) | 1985-02-25 |
Family
ID=15402099
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14618783A Pending JPS6036035A (ja) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | 超音波伝送方式 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6036035A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0345250A (ja) * | 1989-07-13 | 1991-02-26 | Yokogawa Medical Syst Ltd | 超音波探触子 |
-
1983
- 1983-08-10 JP JP14618783A patent/JPS6036035A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0345250A (ja) * | 1989-07-13 | 1991-02-26 | Yokogawa Medical Syst Ltd | 超音波探触子 |
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