JPS6035802B2 - 感湿素子 - Google Patents
感湿素子Info
- Publication number
- JPS6035802B2 JPS6035802B2 JP55003918A JP391880A JPS6035802B2 JP S6035802 B2 JPS6035802 B2 JP S6035802B2 JP 55003918 A JP55003918 A JP 55003918A JP 391880 A JP391880 A JP 391880A JP S6035802 B2 JPS6035802 B2 JP S6035802B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensing element
- humidity
- moisture sensing
- relative humidity
- electrical resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は相対湿度を検出する感湿素子に関するものであ
る。
る。
従来、Ｆｅ２０３，ＡＩ２０３，ＮｉＯおよびＺｎ○な
どの金属酸化物を用いて、湿度検出素子が作られてきた
が、これらの素子の湿度−電気抵抗特性は実用上の要求
を十分に満たすものではなかった。
どの金属酸化物を用いて、湿度検出素子が作られてきた
が、これらの素子の湿度−電気抵抗特性は実用上の要求
を十分に満たすものではなかった。
例えばＮｉ○の場合、６０％以下の相対湿度では感度が
にぶく、Ｆｅ２０３，ＡＩ２０３の場合には抵抗値が大
きいという欠点があった。（応用物理３５ ３５５（１
９６６））。また、塩化リチウム感湿素子もよく知られ
ているが、潮解性の塩を用いているために、高温度雰囲
気で使用すると塩が流れ出し、使用できなくなるという
欠点があった。本発明は上記のような従来の欠点を除去
するためになされたもので、従来の材料にかわる新しい
材料を提供しようとするものである。
にぶく、Ｆｅ２０３，ＡＩ２０３の場合には抵抗値が大
きいという欠点があった。（応用物理３５ ３５５（１
９６６））。また、塩化リチウム感湿素子もよく知られ
ているが、潮解性の塩を用いているために、高温度雰囲
気で使用すると塩が流れ出し、使用できなくなるという
欠点があった。本発明は上記のような従来の欠点を除去
するためになされたもので、従来の材料にかわる新しい
材料を提供しようとするものである。
本発明にかかる磁器組成物はＭ，。
（Ｐ０４）６×２（ここでＭはＭｇ，Ｃａ，Ｓｒ，舷お
よびＣｄのうちから選ばれた少なくとも１種、Ｘはハロ
ゲン原子のうちから選ばれた少なくとも１種）で表わさ
れる物質（アバタィト）において、原子Ｍを原子Ａ（Ａ
はＬｉ，Ｎａ、Ｋ，ＣｕおよびＡｇのうちから選ばれた
少なくとも１種）で０．１原子％か６０原子％置換する
ことを特徴とする。この材料を用いて作製された感湿素
子の電気抵抗値は相対湿度０〜１００％にわたって大き
く変化するので、電気抵抗の変化によって湿度を容易に
検出することができる。また、この材料は安価な原料か
ら通常の磁器製造技術で容易に作ることができるなど工
業製品として有利な条件を持っている。以下、この発明
の詳細を実施例を用いて説明する。
よびＣｄのうちから選ばれた少なくとも１種、Ｘはハロ
ゲン原子のうちから選ばれた少なくとも１種）で表わさ
れる物質（アバタィト）において、原子Ｍを原子Ａ（Ａ
はＬｉ，Ｎａ、Ｋ，ＣｕおよびＡｇのうちから選ばれた
少なくとも１種）で０．１原子％か６０原子％置換する
ことを特徴とする。この材料を用いて作製された感湿素
子の電気抵抗値は相対湿度０〜１００％にわたって大き
く変化するので、電気抵抗の変化によって湿度を容易に
検出することができる。また、この材料は安価な原料か
ら通常の磁器製造技術で容易に作ることができるなど工
業製品として有利な条件を持っている。以下、この発明
の詳細を実施例を用いて説明する。
出発原料として純度９９．９％以上のＣａＨＰ０４，Ｃ
ａＣ０３，Ｎａ２Ｃ０３およびＮ比Ｆを、Ｃａの１０原
子％をＮａが置換した（Ｃａ，Ｎａ），。
ａＣ０３，Ｎａ２Ｃ０３およびＮ比Ｆを、Ｃａの１０原
子％をＮａが置換した（Ｃａ，Ｎａ），。
（Ｐ０４）６Ｆ２のフッ素アバタイトになるように秤量
しボールミル中で混合する。これをルッボに入れ、空気
中９５０ｑ○で４時間反応させる。冷却後粉砕し、得ら
れたアバタィト粉末にポリビニルアルコール水溶液を加
えて造粒し、７００ｋ９／地の圧力で２５肋◇×３肌の
円板状に形成する。これを再び１０５０℃で２時間焼成
する。このようにして得られた焼結体を、研磨、洗浄、
乾燥し、金ペーストをスクリーンメッシュ法で櫛形に印
刷する。これれを８００ｑｏで糠付した後リード線をハ
ンダ付する。このようにして感湿素子が得られる。他の
１価金属置換ハロゲン化アバタィトでも焼成条件は異な
るが、ほぼ同様の方法で合成できる。素材はリン酸塩、
ハロゲン化物、炭酸塩、酸化物、シュウ酸塩等、反応し
てハロゲン化アバタイトになるものなら、どのようなも
のであってもよい。純度も特に９９．９％以上である必
要はない。第１図は、この発明にかかる感湿素子の構造
を示す。
しボールミル中で混合する。これをルッボに入れ、空気
中９５０ｑ○で４時間反応させる。冷却後粉砕し、得ら
れたアバタィト粉末にポリビニルアルコール水溶液を加
えて造粒し、７００ｋ９／地の圧力で２５肋◇×３肌の
円板状に形成する。これを再び１０５０℃で２時間焼成
する。このようにして得られた焼結体を、研磨、洗浄、
乾燥し、金ペーストをスクリーンメッシュ法で櫛形に印
刷する。これれを８００ｑｏで糠付した後リード線をハ
ンダ付する。このようにして感湿素子が得られる。他の
１価金属置換ハロゲン化アバタィトでも焼成条件は異な
るが、ほぼ同様の方法で合成できる。素材はリン酸塩、
ハロゲン化物、炭酸塩、酸化物、シュウ酸塩等、反応し
てハロゲン化アバタイトになるものなら、どのようなも
のであってもよい。純度も特に９９．９％以上である必
要はない。第１図は、この発明にかかる感湿素子の構造
を示す。
図においてｌａ，ｌｂは電極、２はアバタィト磁器であ
る。電極ｌａ，ｌｂにリード線３をハンダ付し、電気抵
抗測定器により櫛形電極ｌａとｌｂとの間の電気抵抗を
測定する。本発明による実施例を第１表、第２図に示す
。
る。電極ｌａ，ｌｂにリード線３をハンダ付し、電気抵
抗測定器により櫛形電極ｌａとｌｂとの間の電気抵抗を
測定する。本発明による実施例を第１表、第２図に示す
。
第１表は試料番号およびその内容、第２図は相対湿度に
対する各試料の電気抵抗値である。図からわかるように
本発明にかかる感湿素子は、相対湿度０〜１００％にわ
たってほぼ直線状になり、したがって広い相対湿度範囲
にわたって湿度を検出することができる。
対する各試料の電気抵抗値である。図からわかるように
本発明にかかる感湿素子は、相対湿度０〜１００％にわ
たってほぼ直線状になり、したがって広い相対湿度範囲
にわたって湿度を検出することができる。
また応答速度は０％〜５０％の相対湿度変化で約２鼠砂
であり、実用上問題ない。また電極の暁付を８００℃で
行なっており、したがって５００℃以下での使用には充
分耐えることができる。第１表
であり、実用上問題ない。また電極の暁付を８００℃で
行なっており、したがって５００℃以下での使用には充
分耐えることができる。第１表
第１図は本発明の一実施例による感湿素子の構造を示す
平面図、第．２図は本発明にかかる感湿素子の電気抵抗
と相対湿度との関係を示す特性図である。 ２…・・・感湿素子。 第１図 第２図
平面図、第．２図は本発明にかかる感湿素子の電気抵抗
と相対湿度との関係を示す特性図である。 ２…・・・感湿素子。 第１図 第２図
Claims (1)
- １ Ｍ＿１＿０（ＰＯ＿４）＿６Ｘ＿２（ＭはＭｇ，Ｃ
ａ，Ｓｒ，ＢａおよびＣｄのうちから選ばれた少なくと
も１種、Ｘはハロゲン原子のうちから選ばれた少なくと
も１種）で表わされる物質において、原子Ｍを原子Ａ（
ＡはＬｉ，Ｎａ，Ｋ，ＣｕおよびＡｇのうちから選ばれ
た少なくとも１種）で０．１原子％から６０原子％置換
することを特徴とする感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55003918A JPS6035802B2 (ja) | 1980-01-17 | 1980-01-17 | 感湿素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55003918A JPS6035802B2 (ja) | 1980-01-17 | 1980-01-17 | 感湿素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56101703A JPS56101703A (en) | 1981-08-14 |
| JPS6035802B2 true JPS6035802B2 (ja) | 1985-08-16 |
Family
ID=11570534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55003918A Expired JPS6035802B2 (ja) | 1980-01-17 | 1980-01-17 | 感湿素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6035802B2 (ja) |
-
1980
- 1980-01-17 JP JP55003918A patent/JPS6035802B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56101703A (en) | 1981-08-14 |
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