JPS6035333A - 磁気ディスク用基板 - Google Patents
磁気ディスク用基板Info
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- JPS6035333A JPS6035333A JP58144576A JP14457683A JPS6035333A JP S6035333 A JPS6035333 A JP S6035333A JP 58144576 A JP58144576 A JP 58144576A JP 14457683 A JP14457683 A JP 14457683A JP S6035333 A JPS6035333 A JP S6035333A
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- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
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- G11B5/739—Magnetic recording media substrates
- G11B5/73923—Organic polymer substrates
- G11B5/73925—Composite or coated non-esterified substrates
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
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- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
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- Y10T428/30—Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、磁気記録・再生装置、光磁気記録・再生装置
に用いるディスク用基板に関する。
に用いるディスク用基板に関する。
近年、高密度、大容量、短時間アクセス等の要求を満足
させるために、記録・再生方式〇こつむ）て、種々の研
究が推進されている。これに伴ってこ１ｔらのメモリ装
置に使用される磁気ディスクの需要が増大している。
させるために、記録・再生方式〇こつむ）て、種々の研
究が推進されている。これに伴ってこ１ｔらのメモリ装
置に使用される磁気ディスクの需要が増大している。
従来から、広く使用されている記録・再生方式は磁気記
録・再生方式であり、外部記憶媒体として磁気ディスク
が用いられている。
録・再生方式であり、外部記憶媒体として磁気ディスク
が用いられている。
従来の磁気ディスクは、主としてアルミニュウム基板に
酸化鉄の薄膜が塗布されたものである。
酸化鉄の薄膜が塗布されたものである。
このような磁気ディスクの製造においては、磁気ディス
クの表面を平坦にするためにアルミニュウム基板を研磨
して鏡面状に仕上げ、その表面に酸化鉄を含有する塗料
を塗布し、その表面を平滑面とするために再度研磨を行
う。
クの表面を平坦にするためにアルミニュウム基板を研磨
して鏡面状に仕上げ、その表面に酸化鉄を含有する塗料
を塗布し、その表面を平滑面とするために再度研磨を行
う。
特に、高記録密度化される磁気ディスク用基板ば、表面
粗さが０．０３μｍ以下となるような高精度の加工が必
要であり、かつ微小くぼみ、微小突起のできるだけ少な
いものが望まれる。ところが、アルミニュウムをそのま
ま長時間平滑処理すると、”１ルミニユウム基板にうね
りが生じて平面化できす、それにより磁気ヘッドの浮上
量を小さくすることが不可能となる。そこで、アルミニ
ュウム基板を表面処理してアルマイトとしてその表面を
硬化させ、これを研磨して鏡面化し、これに記録層とし
ての磁性膜を形成させる方法が採用されるようになった
。
粗さが０．０３μｍ以下となるような高精度の加工が必
要であり、かつ微小くぼみ、微小突起のできるだけ少な
いものが望まれる。ところが、アルミニュウムをそのま
ま長時間平滑処理すると、”１ルミニユウム基板にうね
りが生じて平面化できす、それにより磁気ヘッドの浮上
量を小さくすることが不可能となる。そこで、アルミニ
ュウム基板を表面処理してアルマイトとしてその表面を
硬化させ、これを研磨して鏡面化し、これに記録層とし
ての磁性膜を形成させる方法が採用されるようになった
。
Ｉｔｓに近年、酸化鉄等の磁セ目Ａ ｉ’ｌをスパッタ
リングにより直接基板上に連続磁性体薄膜として形成す
る、いわゆるスパッタド・ディスクが実用化され、高密
度記録が可能な磁気ディスクとして使用されるようにな
ってきた。この高密度記録スパノタド・ディスクの基板
としても、前記の表面をアルマイト化したアルミニュウ
ム基板が主として使用されている。このスパノクド・デ
ィスクの製造においては、アルマイトの表面に磁性膜を
形成させるために、鉄をスパッタリングしてα状のＦ１
３３０４をその表面に形成し、これをγ化してＦｅ２Ｏ
３とするが、このような酸化還元工程で３５０〜４００
°Ｃ程度にまでアルマイ１−化基板を高温加熱する必要
がある。ところが、アルミニュウムの方がアルマイ１−
よりも約５倍はど熱膨張係数が大きいために、アルマイ
１−表面を鏡面仕上げしても、磁性膜を形成させる］二
程において、表面にクランクが発生ずることがあり、こ
のものは表面欠陥品として、磁気ディスクに用いること
ができないものとなる。
リングにより直接基板上に連続磁性体薄膜として形成す
る、いわゆるスパッタド・ディスクが実用化され、高密
度記録が可能な磁気ディスクとして使用されるようにな
ってきた。この高密度記録スパノタド・ディスクの基板
としても、前記の表面をアルマイト化したアルミニュウ
ム基板が主として使用されている。このスパノクド・デ
ィスクの製造においては、アルマイトの表面に磁性膜を
形成させるために、鉄をスパッタリングしてα状のＦ１
３３０４をその表面に形成し、これをγ化してＦｅ２Ｏ
３とするが、このような酸化還元工程で３５０〜４００
°Ｃ程度にまでアルマイ１−化基板を高温加熱する必要
がある。ところが、アルミニュウムの方がアルマイ１−
よりも約５倍はど熱膨張係数が大きいために、アルマイ
１−表面を鏡面仕上げしても、磁性膜を形成させる］二
程において、表面にクランクが発生ずることがあり、こ
のものは表面欠陥品として、磁気ディスクに用いること
ができないものとなる。
そこで、例えば特開昭５６−９４５２１号公報Ｇ号公報
上うに、アルミニュウム基板−ＬＧ匙Ｉ２リアミ１゛樹
脂あるいはシリコン４ム１脂を設りることにより耐熱性
を向上させる試みがなされているが、この場合は、樹脂
層を塗布しそれをキュアする新たな工程を必要とするた
め、コストアップは避けられない。
上うに、アルミニュウム基板−ＬＧ匙Ｉ２リアミ１゛樹
脂あるいはシリコン４ム１脂を設りることにより耐熱性
を向上させる試みがなされているが、この場合は、樹脂
層を塗布しそれをキュアする新たな工程を必要とするた
め、コストアップは避けられない。
本発明は、記録層の形成に必要な熱処理温度においても
、十分な耐熱性を有し、鏡面加工が可能で、表面欠陥が
少なく表面率’／？を性に優れ、しかも軽量で、耐蝕性
にも優れた磁気記録・再生装置に用いるディスク用基板
を提供することを目的とする。
、十分な耐熱性を有し、鏡面加工が可能で、表面欠陥が
少なく表面率’／？を性に優れ、しかも軽量で、耐蝕性
にも優れた磁気記録・再生装置に用いるディスク用基板
を提供することを目的とする。
本発明は、磁気記録・再生装置に用いるディスク用基板
が、ガラス状カーボン刊料集合体および／またはガラス
状カーボン材料を含む複合材料集合体により構成された
ことを特徴とする。
が、ガラス状カーボン刊料集合体および／またはガラス
状カーボン材料を含む複合材料集合体により構成された
ことを特徴とする。
不明８■ｍで、［ガラス状カーボン月料集合体」および
／または「複合飼料集合体」とは注型、圧縮、押出し等
の広く知られた各種成型法により成型された成型体の形
態、または基体表面にスパッタリング法や蒸着法等で直
接ガラス状カーボン材料を析出させた析出体の形態をな
す集合体である。
／または「複合飼料集合体」とは注型、圧縮、押出し等
の広く知られた各種成型法により成型された成型体の形
態、または基体表面にスパッタリング法や蒸着法等で直
接ガラス状カーボン材料を析出させた析出体の形態をな
す集合体である。
以下、本発明を補足的に説明する。
本発明のディスク用基板は、ガラス状カーボン材Ｈの集
合体および／またはガラス状カーボン材料を含む複合飼
料の集合体で構成される。このガラス状カーボン材料は
、熱硬化性樹脂を炭素化して得られるガラス状カーボン
材料、共重合や共縮合などにより熱硬化するように変性
された樹脂を炭素化して得られるガラス状カーボン材料
、硬化あるいは炭素化の過程で化学処理により結晶化を
著しく妨げることにより得られるガラス状カーボン材料
、メタン、エチレン、ベンゼン等の低分子型炭化水素類
を気相で熱分解して得られるガラス状カーボン材料等で
あり、具体的には、ポリアクリロニＩ・リル系ガラス状
カーボン羽村、レーヨン系ガラス状カーボン材料、ピッ
チ系ガラス状カーボン材料、リグニン系ガラス状カーボ
ン材料、フェノール系ガラス状カーボン材料、フラン系
ガラス状カーボン材利、アルキッド樹脂系ガラス状カー
ボン材料、不飽和ポリエステル系ガラス状カーボン材料
、キシレン樹脂系ガラス状カーボン材料等が挙げられる
。
合体および／またはガラス状カーボン材料を含む複合飼
料の集合体で構成される。このガラス状カーボン材料は
、熱硬化性樹脂を炭素化して得られるガラス状カーボン
材料、共重合や共縮合などにより熱硬化するように変性
された樹脂を炭素化して得られるガラス状カーボン材料
、硬化あるいは炭素化の過程で化学処理により結晶化を
著しく妨げることにより得られるガラス状カーボン材料
、メタン、エチレン、ベンゼン等の低分子型炭化水素類
を気相で熱分解して得られるガラス状カーボン材料等で
あり、具体的には、ポリアクリロニＩ・リル系ガラス状
カーボン羽村、レーヨン系ガラス状カーボン材料、ピッ
チ系ガラス状カーボン材料、リグニン系ガラス状カーボ
ン材料、フェノール系ガラス状カーボン材料、フラン系
ガラス状カーボン材利、アルキッド樹脂系ガラス状カー
ボン材料、不飽和ポリエステル系ガラス状カーボン材料
、キシレン樹脂系ガラス状カーボン材料等が挙げられる
。
また本発明で言うガラス状カーボン材料を含む複合Ｈ料
集合体は、前述のガラス状カーボン材料と合成樹脂およ
び／または炭素質フィラーとを含有する複合飼料の集合
体を意味する。合成樹脂としては、塩化ビニル樹脂、ポ
リ酢酸ビニル樹脂、ボリスヂレン樹脂等の熱可塑性樹脂
が挙げられ、またフェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリ
エステル樹脂、フラン樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂
、アルキッド樹脂、キシレン樹脂等の熱硬化性樹脂が挙
げられる。また炭素質フィラーは、一般的な炭素飼料を
意味するものであり、例えば残炭素率の高いリグニンや
ピッチ等の天然物、熱可塑性樹脂等を焼成することによ
り得られる人造黒鉛、）ァーネス法あるいはｆｉ撃法等
により製造されるカーボンブランク、天然に産出される
天然石墨等を挙げられる。
集合体は、前述のガラス状カーボン材料と合成樹脂およ
び／または炭素質フィラーとを含有する複合飼料の集合
体を意味する。合成樹脂としては、塩化ビニル樹脂、ポ
リ酢酸ビニル樹脂、ボリスヂレン樹脂等の熱可塑性樹脂
が挙げられ、またフェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリ
エステル樹脂、フラン樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂
、アルキッド樹脂、キシレン樹脂等の熱硬化性樹脂が挙
げられる。また炭素質フィラーは、一般的な炭素飼料を
意味するものであり、例えば残炭素率の高いリグニンや
ピッチ等の天然物、熱可塑性樹脂等を焼成することによ
り得られる人造黒鉛、）ァーネス法あるいはｆｉ撃法等
により製造されるカーボンブランク、天然に産出される
天然石墨等を挙げられる。
前述熱硬化性樹脂は、ガラス状カーボン材料同士あるい
はガラス状カーボン材料と炭素質フィラーを固着させる
バインダーとして作用するので、この樹脂を複合さセる
ことにより、衝突等の機械的破壊に対して強度のある堅
牢な複合材料集合体を得ることができ、熱可塑性樹脂よ
りも好ましいといえる。また熱硬化性樹脂を炭素化して
ガラス状カーボン月料を得る場合には、熱硬化性樹脂に
前記炭素質フィラーを含有させると炭素化がより−Ｗｉ
容易になる。しかし、合成樹脂あるいは炭素質フィラー
をガラス状カーボン材料に対して多量に複合させると、
材料が不均一なものとなりゃすいため、複合材料中には
ガラス状カーボン材料を４ｏ容量％以上、好ましくは５
ｏ容量％以上含ませることがよい。
はガラス状カーボン材料と炭素質フィラーを固着させる
バインダーとして作用するので、この樹脂を複合さセる
ことにより、衝突等の機械的破壊に対して強度のある堅
牢な複合材料集合体を得ることができ、熱可塑性樹脂よ
りも好ましいといえる。また熱硬化性樹脂を炭素化して
ガラス状カーボン月料を得る場合には、熱硬化性樹脂に
前記炭素質フィラーを含有させると炭素化がより−Ｗｉ
容易になる。しかし、合成樹脂あるいは炭素質フィラー
をガラス状カーボン材料に対して多量に複合させると、
材料が不均一なものとなりゃすいため、複合材料中には
ガラス状カーボン材料を４ｏ容量％以上、好ましくは５
ｏ容量％以上含ませることがよい。
本発明の磁気ディスク用基板は、ガラス状カーボン材料
集合体および／またはガラス状カーボン材料を含む複合
材料集合体により構成されこれらの集合体の製造方法と
しては、注型、圧縮、押出し等の広く知られた各種成型
法を適用することができる。
集合体および／またはガラス状カーボン材料を含む複合
材料集合体により構成されこれらの集合体の製造方法と
しては、注型、圧縮、押出し等の広く知られた各種成型
法を適用することができる。
本発明のディスク用基板は、空孔の数ができるだけ少な
いガラス状カーボン材料集合体、または、ガラス状カー
ボン材料を含む複合材料集合体によって製作されること
が好ましいが、このような集合体を得るためには、注型
法による場合は例えばカーボン材料の前駆体（熱硬化性
樹脂を硬化剤あるいは熱で硬化させた状態のもの）を得
る段階において、硬化剤を均一に分散させ、あるいは均
一に加熱し、かつ硬化速度があまり速くならないように
調整することにより得られる。また圧縮あるいは押出し
成型法の場合は、例えばカーボン材料あるいは上記複合
材料を熱硬化性樹脂で濡らして空隙を極力減少させて成
型することにより得られる。
いガラス状カーボン材料集合体、または、ガラス状カー
ボン材料を含む複合材料集合体によって製作されること
が好ましいが、このような集合体を得るためには、注型
法による場合は例えばカーボン材料の前駆体（熱硬化性
樹脂を硬化剤あるいは熱で硬化させた状態のもの）を得
る段階において、硬化剤を均一に分散させ、あるいは均
一に加熱し、かつ硬化速度があまり速くならないように
調整することにより得られる。また圧縮あるいは押出し
成型法の場合は、例えばカーボン材料あるいは上記複合
材料を熱硬化性樹脂で濡らして空隙を極力減少させて成
型することにより得られる。
本発明のディスク用基板は、その表面に何ら特別の処理
を施すことなく、高密度記録が可能なディスクの製造を
可能にするものである。
を施すことなく、高密度記録が可能なディスクの製造を
可能にするものである。
以上、磁気ディスク用基板について説明したが、光磁気
ディスク用基板についてもこれと同様の問題点が指摘さ
れる。また、光磁気ディスクについては、１８００ｒｐ
ｍ程度の高速回転で再生するため、軽量かつ平滑性の高
い補強基板用の材料が必要とされる。これらの観点から
、本発明を応用して同様の光記録再生用のディスク基板
を得ることができるものと考えられる。
ディスク用基板についてもこれと同様の問題点が指摘さ
れる。また、光磁気ディスクについては、１８００ｒｐ
ｍ程度の高速回転で再生するため、軽量かつ平滑性の高
い補強基板用の材料が必要とされる。これらの観点から
、本発明を応用して同様の光記録再生用のディスク基板
を得ることができるものと考えられる。
〔発明の効果〕
以上述べたように、本発明の磁気ディスク用基板は、十
分な耐熱性と平面平滑性を有し、その表面に何ら特別な
処理を施さなくとも、高密度記録が可能な磁気ディスク
の製造を可能にするものである。また、本発明のディス
ク用基板は、耐蝕性および化学的安定性にも優れている
ので、耐久性に優れたディスクとすることができる。
分な耐熱性と平面平滑性を有し、その表面に何ら特別な
処理を施さなくとも、高密度記録が可能な磁気ディスク
の製造を可能にするものである。また、本発明のディス
ク用基板は、耐蝕性および化学的安定性にも優れている
ので、耐久性に優れたディスクとすることができる。
以下本発明のディスク用基板の具体的態様を示すために
、本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。以下に
示す例はあくまでも一例であって、。
、本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。以下に
示す例はあくまでも一例であって、。
これにより本発明の技術的範囲を限定するものではない
。
。
（実施例１）
見掛は比重１．５０、ショア硬度１１０、熱膨張係数３
Ｘ １０−’ （”Ｃ）−１のガラス状カーボン材料
を、直径１３０鰭、厚さ２朋の形状に切り出し、その表
面を粒径１μｍのアルミナ粉で粗研磨し、最終的に粒径
が０．２５μｍのアルミナ粉で研磨して鏡面仕上げを行
った。次いで、これを表面清浄化のために、約２０℃の
フレオン中に１０分間浸漬してディスク用基板とした。
Ｘ １０−’ （”Ｃ）−１のガラス状カーボン材料
を、直径１３０鰭、厚さ２朋の形状に切り出し、その表
面を粒径１μｍのアルミナ粉で粗研磨し、最終的に粒径
が０．２５μｍのアルミナ粉で研磨して鏡面仕上げを行
った。次いで、これを表面清浄化のために、約２０℃の
フレオン中に１０分間浸漬してディスク用基板とした。
この基板の表面平滑性を調べるために、表面粗度計（東
京精密０１のサーフコム）を用いて表面粗さを測定した
。
京精密０１のサーフコム）を用いて表面粗さを測定した
。
また、表面欠陥の程度を調べるために、光学顕微鏡でそ
の表面を観察し、ある一定視野内に存在する直径２μｍ
以上の空孔の数を調べた。これらの結果は表に示す。
の表面を観察し、ある一定視野内に存在する直径２μｍ
以上の空孔の数を調べた。これらの結果は表に示す。
（＊）光学顕微鏡の観察により１枚のディスク表面内に
存在する直径２μｍ以上の空孔の数を表わす。
存在する直径２μｍ以上の空孔の数を表わす。
次に前記基板の耐熱性を調べるために温度８００℃の電
気炉に入れて１時間保持した。その後に、基板を電気炉
から取り出し室温まで冷却してその表面を肉眼で観察し
たところ、加熱前と比べて何の変化も認められなかった
。さらに、この熱処理された基板の表面平滑性と空孔の
数を前記の方法で調べたところ、これらについても、熱
処理以前と何Ｃ″−Ｎ変Ｊ）らないこ占がわか−た。こ
の基（友の百１ｐｌいＪ、す３’ｌＪ、ｆ３００’ｃｍ
ＬＥ）□ｊ二で１と（Ｊろ、三七が確、ｊ（ｊ ；Ｆれ
ノー、。
気炉に入れて１時間保持した。その後に、基板を電気炉
から取り出し室温まで冷却してその表面を肉眼で観察し
たところ、加熱前と比べて何の変化も認められなかった
。さらに、この熱処理された基板の表面平滑性と空孔の
数を前記の方法で調べたところ、これらについても、熱
処理以前と何Ｃ″−Ｎ変Ｊ）らないこ占がわか−た。こ
の基（友の百１ｐｌいＪ、す３’ｌＪ、ｆ３００’ｃｍ
ＬＥ）□ｊ二で１と（Ｊろ、三七が確、ｊ（ｊ ；Ｆれ
ノー、。
次に、前記基板上に反応スパック法によりα−Ｆｅ２０
ａ膜を作成さ−ｌ゛、これを水素雰囲気中３１０℃で還
元してＦｅ３Ｏ４膜とし、さらに空気中３１０°Ｃで酸
化して、最終的に厚さ約１μｍのγ−Ｆｅ２０３］１央
とした。このようにして得られたγ−Ｆｅ２０ｉ膜の磁
気特性を調べたところ、保磁力（１ｌｅ）約７００エル
ステツド、角型比０．７７以上、残留磁束密度（Ｂｒ）
約２５００ガウスであり、高密度記録媒体として好まし
い特性を有することがわかった。
ａ膜を作成さ−ｌ゛、これを水素雰囲気中３１０℃で還
元してＦｅ３Ｏ４膜とし、さらに空気中３１０°Ｃで酸
化して、最終的に厚さ約１μｍのγ−Ｆｅ２０３］１央
とした。このようにして得られたγ−Ｆｅ２０ｉ膜の磁
気特性を調べたところ、保磁力（１ｌｅ）約７００エル
ステツド、角型比０．７７以上、残留磁束密度（Ｂｒ）
約２５００ガウスであり、高密度記録媒体として好まし
い特性を有することがわかった。
（実施例２）
平均粒径０．１０μｍのカーボンフラソク粉末１０容量
％とフルフリルアルコール・ポルマリン・フェノールよ
りなる熱硬化性樹脂９０容量％を混合した後硬化させ、
次いで炭素化してガラス状カーボン材料を含む複合材料
集合体を得た。この複合材料集合体を実施例１と同一の
形状に切り出し、実施例１と同一の表面処理を行って磁
気ディスク用基板を得た。次いで、前記基板に対し、実
施例１と同一の方法で表面Ｉｎさおよび直径２μｍ以上
の空孔の数の測定を行っノこ。これらの結！１′：は表
に示す。
％とフルフリルアルコール・ポルマリン・フェノールよ
りなる熱硬化性樹脂９０容量％を混合した後硬化させ、
次いで炭素化してガラス状カーボン材料を含む複合材料
集合体を得た。この複合材料集合体を実施例１と同一の
形状に切り出し、実施例１と同一の表面処理を行って磁
気ディスク用基板を得た。次いで、前記基板に対し、実
施例１と同一の方法で表面Ｉｎさおよび直径２μｍ以上
の空孔の数の測定を行っノこ。これらの結！１′：は表
に示す。
さらに、耐熱性を実施例１と同一の方法により調べたと
ころ、この基板の耐熱温度もり００°Ｃ以上であること
が確認された。
ころ、この基板の耐熱温度もり００°Ｃ以上であること
が確認された。
次に、前記基板上に、実施例１の方法に準じて厚さ約１
μｍのγ−Ｆｅ２０ａ膜を形成させ、この膜の磁気特性
を調べたところ、実施例１で得られた膜とほぼ同一の磁
気特性を有することがわかった。
μｍのγ−Ｆｅ２０ａ膜を形成させ、この膜の磁気特性
を調べたところ、実施例１で得られた膜とほぼ同一の磁
気特性を有することがわかった。
（比較例）
アルミニュウム材料（純度９９．９％以上）を実施例１
と同一の形状に切り出し、これの表面を陽極酸化処理し
て表面をアルマイト化した。その後、この表面を水でよ
く洗い、エチルアルコールに浸して、次いでこれを１０
０℃で乾燥させてアルマイト表面の空孔から水を完全に
除いた。
と同一の形状に切り出し、これの表面を陽極酸化処理し
て表面をアルマイト化した。その後、この表面を水でよ
く洗い、エチルアルコールに浸して、次いでこれを１０
０℃で乾燥させてアルマイト表面の空孔から水を完全に
除いた。
次に、この表面を実施例１と同一の方法により処理し磁
気ディスク用基板とし、実施例１と同一の方法で、表面
粗さと直径２μｍ以上の空孔の数の測定を行った。これ
らの結泉は表に示す。次にこの基板を、スパッタおよび
酸化還元条件が膜を形成させる温度である３１０℃の電
気炉に１時間入れた。その後、この基板を電気炉から取
り出して室温まで冷却し、その表面を光学顕微鏡で観察
すると、多数のクラックの存在が見られ、耐熱温度が３
１０℃以下であることが確認された。
気ディスク用基板とし、実施例１と同一の方法で、表面
粗さと直径２μｍ以上の空孔の数の測定を行った。これ
らの結泉は表に示す。次にこの基板を、スパッタおよび
酸化還元条件が膜を形成させる温度である３１０℃の電
気炉に１時間入れた。その後、この基板を電気炉から取
り出して室温まで冷却し、その表面を光学顕微鏡で観察
すると、多数のクラックの存在が見られ、耐熱温度が３
１０℃以下であることが確認された。
特許出願人 花王石鹸株式会社 、
′Ｌ１
代理人 弁理士 井 出 直 孝 ９
Claims (1)
- （１）ガラス状カーボン材料集合体および／またｔまガ
ラス状カーボン材料を含む複合材料集合体が成形されて
構成されたことを特徴とする磁気ディスク用基板。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58144576A JPS6035333A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | 磁気ディスク用基板 |
| EP84109140A EP0133684B1 (en) | 1983-08-08 | 1984-08-01 | Substrate for a magnetic disc and method manufacturing same |
| DE8484109140T DE3467947D1 (en) | 1983-08-08 | 1984-08-01 | Substrate for a magnetic disc and method manufacturing same |
| US06/638,770 US4716078A (en) | 1983-08-08 | 1984-08-08 | Substrate for a magnetic disc and method manufacturing same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58144576A JPS6035333A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | 磁気ディスク用基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6035333A true JPS6035333A (ja) | 1985-02-23 |
| JPH0311005B2 JPH0311005B2 (ja) | 1991-02-15 |
Family
ID=15365380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58144576A Granted JPS6035333A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | 磁気ディスク用基板 |
Country Status (4)
| Country | Link |
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1983
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-
1984
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- 1984-08-01 DE DE8484109140T patent/DE3467947D1/de not_active Expired
- 1984-08-08 US US06/638,770 patent/US4716078A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| EP0133684A1 (en) | 1985-03-06 |
| EP0133684B1 (en) | 1987-12-02 |
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