JPS6032126Y2 - 単結晶製造装置 - Google Patents
単結晶製造装置Info
- Publication number
- JPS6032126Y2 JPS6032126Y2 JP260281U JP260281U JPS6032126Y2 JP S6032126 Y2 JPS6032126 Y2 JP S6032126Y2 JP 260281 U JP260281 U JP 260281U JP 260281 U JP260281 U JP 260281U JP S6032126 Y2 JPS6032126 Y2 JP S6032126Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- single crystal
- sphere
- quartz tube
- introduction path
- Prior art date
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- Expired
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、単結晶製造装置に関し、更に詳しくは、エレ
クトロニクス材料として注目されているオルソフェライ
ト等の良質な単結晶を製造する集中加熱形の単結晶製造
装置に関する。
クトロニクス材料として注目されているオルソフェライ
ト等の良質な単結晶を製造する集中加熱形の単結晶製造
装置に関する。
第１図は、単結晶製造装置の従来例の原理説明図であり
、図中、１はハロゲンランプ、２は内壁面が金めつきさ
れた楕円体状の回転楕円面鏡、３は試料の多結晶素材棒
、４は種子結晶、５は溶融帯域、６は石英管である。
、図中、１はハロゲンランプ、２は内壁面が金めつきさ
れた楕円体状の回転楕円面鏡、３は試料の多結晶素材棒
、４は種子結晶、５は溶融帯域、６は石英管である。
同図において、回転楕円面鏡２の一方の焦点に設置され
たハロゲンランプ１は熱源として作用し、その放射熱は
回転楕円面鏡２で集光して回転楕円面鏡２の他方の焦点
に相当する石英管６の所定箇所を集中的に加熱する。
たハロゲンランプ１は熱源として作用し、その放射熱は
回転楕円面鏡２で集光して回転楕円面鏡２の他方の焦点
に相当する石英管６の所定箇所を集中的に加熱する。
一方、石英管６の中には上から吊り下げられた多結晶素
材棒３と下に支えられた種子結晶４が入れられるととも
に、石英管６内の雰囲気は可変であり普通必要なガスが
流されている。
材棒３と下に支えられた種子結晶４が入れられるととも
に、石英管６内の雰囲気は可変であり普通必要なガスが
流されている。
而して、ハロゲンランプ１に電力が供給されると、多結
晶素材棒３と種子結晶４の間に溶融帯域５ができる。
晶素材棒３と種子結晶４の間に溶融帯域５ができる。
この状態で、多結晶素材棒３と種子結晶４が互いに逆方
向に回転させるとともに全体を上から下へゆっくりと下
降させてゆくと、単結晶が成長する。
向に回転させるとともに全体を上から下へゆっくりと下
降させてゆくと、単結晶が成長する。
然し乍ら、上記従来例においては、石英管６内の雰囲気
に対する制限事項がなくてあらゆる気体が使えるほか熱
源としてのハロゲンランプ１の安定性も高い等の利点を
有する反面、回転楕円面鏡２の製作が極めて難しい上、
該回転楕円面鏡２の高温雰囲気中にハロゲンランプ１が
設置されている構成であるためハロゲンランプ１の寿命
が短くなる等の欠点があった。
に対する制限事項がなくてあらゆる気体が使えるほか熱
源としてのハロゲンランプ１の安定性も高い等の利点を
有する反面、回転楕円面鏡２の製作が極めて難しい上、
該回転楕円面鏡２の高温雰囲気中にハロゲンランプ１が
設置されている構成であるためハロゲンランプ１の寿命
が短くなる等の欠点があった。
本考案は、かかる欠点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的は、上記欠点が全て取り除かれた製作容易な集中
加熱形の単結晶製造装置を提供するにある。
の目的は、上記欠点が全て取り除かれた製作容易な集中
加熱形の単結晶製造装置を提供するにある。
本考案の特徴は、良質な単結晶を製造する集中加熱形の
単結晶製造装置において、内部に試料が真空封入された
回転可能な石英管が貫通するように設けられ且つ内壁面
が鏡面仕上げされた球体を、光線導入路を介することに
よって、光エネルギーを発する光源を有する光源部とは
所定の距離を保って接続させたことにある。
単結晶製造装置において、内部に試料が真空封入された
回転可能な石英管が貫通するように設けられ且つ内壁面
が鏡面仕上げされた球体を、光線導入路を介することに
よって、光エネルギーを発する光源を有する光源部とは
所定の距離を保って接続させたことにある。
以下、本考案について図を用いて詳細に説明する。
第２図は、本考案実施例の原理説明図であり、図中、１
１はレーザー光源若しくは赤外光源等からなり光エネル
ギーを発する光源、１１′は光源１１が収納された光源
部、１２は光線導入路、１３は内壁面が金めつき等で鏡
面仕上げられた球体、１４は石英管、１５は試料の多結
晶素材棒、１６は種子結晶、１７は溶融帯域である。
１はレーザー光源若しくは赤外光源等からなり光エネル
ギーを発する光源、１１′は光源１１が収納された光源
部、１２は光線導入路、１３は内壁面が金めつき等で鏡
面仕上げられた球体、１４は石英管、１５は試料の多結
晶素材棒、１６は種子結晶、１７は溶融帯域である。
同図において、光源１１から発せられた光線は、光線導
入路１２を通って球体１３内へ至り、球体１３の内壁面
で反射しながら石英管１４の所定箇所を集中的に加熱す
る。
入路１２を通って球体１３内へ至り、球体１３の内壁面
で反射しながら石英管１４の所定箇所を集中的に加熱す
る。
一方、石英管１４内には多結晶素材棒１５と種子結晶１
６が真空封入されるとともに、該石英管１４は一様に加
熱を受けるようにモータ回転機構等（図示せず）によっ
てゆっくりと回転せしめられている。
６が真空封入されるとともに、該石英管１４は一様に加
熱を受けるようにモータ回転機構等（図示せず）によっ
てゆっくりと回転せしめられている。
而して、石英管１４内の上記所定箇所に相当する部分に
おいて、上から吊り下げられた多結晶素材棒１５と下か
ら支えられた種子結晶１６の間に溶融帯域１７ができ、
徐々に単結晶へと成長じてゆく。
おいて、上から吊り下げられた多結晶素材棒１５と下か
ら支えられた種子結晶１６の間に溶融帯域１７ができ、
徐々に単結晶へと成長じてゆく。
尚、上記球体１３は、上記一実施例に限定されるもので
はなく、熱副射損失を生じさせない構成の範囲内で種々
の変形は可能であり、例えば石英法の内壁面に金若しく
は白金がミクロンオーダーの厚さでめっきや蒸着が施さ
れたものでなる全反射ミラー、若しくはステンレス等の
金属球の内面を鏡面仕上げしたものであってもよい。
はなく、熱副射損失を生じさせない構成の範囲内で種々
の変形は可能であり、例えば石英法の内壁面に金若しく
は白金がミクロンオーダーの厚さでめっきや蒸着が施さ
れたものでなる全反射ミラー、若しくはステンレス等の
金属球の内面を鏡面仕上げしたものであってもよい。
また、光源１１が赤外光源である場合、数ｋｗの赤外光
源から出る赤外線だけで石英管１４の所定箇所を３００
０°Ｃ位に加熱することも容易にできる。
源から出る赤外線だけで石英管１４の所定箇所を３００
０°Ｃ位に加熱することも容易にできる。
以上、詳しく説明したような本考案の実施例によれば、
光源１１と球体１３が光線導入路１２によって隔てられ
ているために、前記従来例のように光源が高温雰囲気下
に設置されてその寿命が短縮化するようなことはない。
光源１１と球体１３が光線導入路１２によって隔てられ
ているために、前記従来例のように光源が高温雰囲気下
に設置されてその寿命が短縮化するようなことはない。
また、前記従来例の回転楕円面鏡２に比して、本考案実
施例の球体１３は製作が容易であり、単結晶製造装置を
再現性よく容易且つ廉価に製作する上で、本考案の実施
効果は甚大なものがある。
施例の球体１３は製作が容易であり、単結晶製造装置を
再現性よく容易且つ廉価に製作する上で、本考案の実施
効果は甚大なものがある。
更に、上記球体１３を小さくすることにより、上記石英
管１４のうち球体１３の内部に納められている部分の体
積が減少し、石英管１４の局所的昇温か容易になる等の
利点も有する。
管１４のうち球体１３の内部に納められている部分の体
積が減少し、石英管１４の局所的昇温か容易になる等の
利点も有する。
第１図は、単結晶製造装置の従来例の原理説明図、第２
図は、本考案実施例の原理説明図である。 １・・・・・・ハロゲンランプ、２・・・・・・回転楕
円面鏡、３．１５・・・・・・多結晶素材棒、４，１６
・・・・・・種子結晶、５，１７・・・・・・溶融帯域
、６，１４・・・・・・石英管、１１・・・・・・光源
、１１′・・・・・・光源部、１２・・・・・・光線導
入路、１３・・・・・・球体。
図は、本考案実施例の原理説明図である。 １・・・・・・ハロゲンランプ、２・・・・・・回転楕
円面鏡、３．１５・・・・・・多結晶素材棒、４，１６
・・・・・・種子結晶、５，１７・・・・・・溶融帯域
、６，１４・・・・・・石英管、１１・・・・・・光源
、１１′・・・・・・光源部、１２・・・・・・光線導
入路、１３・・・・・・球体。
Claims (1)
- エレクトロニクス材料としての良質な単結晶を製造する
集中加熱形の単結晶製造装置において、光エネルギーを
発する光源を有する光源部と、該光エネルギーを導く光
線導入路と、該光線導入路を介して前記光源部に接続さ
れるとともに内壁面が鏡面仕上げされた球体と、該球体
を貫通するように設置されるとともに回転可能であり且
つ内部に試料が真空封入された石英管とを具備すること
を特徴とする単結晶製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP260281U JPS6032126Y2 (ja) | 1981-01-12 | 1981-01-12 | 単結晶製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP260281U JPS6032126Y2 (ja) | 1981-01-12 | 1981-01-12 | 単結晶製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57116777U JPS57116777U (ja) | 1982-07-20 |
| JPS6032126Y2 true JPS6032126Y2 (ja) | 1985-09-25 |
Family
ID=29801037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP260281U Expired JPS6032126Y2 (ja) | 1981-01-12 | 1981-01-12 | 単結晶製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6032126Y2 (ja) |
-
1981
- 1981-01-12 JP JP260281U patent/JPS6032126Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57116777U (ja) | 1982-07-20 |
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