JPS6027866A - 恒温器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、恒温器に関するものである。

鐸来、各種テストに用いる恒温器においては、器内の温
度調節は、加熱装置による加熱量の調整と、排気口に設
けられた排気ダンパ又は排気用送風機を用いた排気によ
る排熱で行なっていた。しかしながら、斯かる恒温器を
、半導体素子等のバーンインテスト或いはプリンｌ−Ｍ
板又はマイコン等の電子機器のエージングテスト等に使
用する場合、半導体素子或いは電子機器等の供試体はテ
ストのために該恒温器内で通電されるので熱を発生し、
加熱装置における加熱量の調整のみでは急激な発熱鰻の
変化に追随しきれず、厳格なテストを行なうことは出来
なかった。また、外気の温度が大幅に変化したような場
合も、加熱装置における加熱量の調整のみでは該変化に
追随しきれず、同様の問題が生じていた。斯かる恒温器
内の温度の調整は、排気ダンパの関度又は排気用送風機
の回転数を手動で調整することによっである程度は行な
うこと可能であるが、該調整は変化の都度行なわねばな
らず、極めて煩わしり、温度を一定に保つことは困難で
あった。

本発明の目的は、上記従来の恒温器の欠点を解消し、極
めて簡単な構成により器内の温度を自動的に且つＩｉｉ
疾Ｑく一定に保つことが可能な恒温器を提供することに
ある。　本発明の上記目的は、恒温器内を加熱するため
の加熱装置と、恒温器内熱気を恒温器外へ排出するため
の排気装置と、恒温器内へ外気を取入れるための吸気口
と、恒温器内温度を検出する温度検出器と、前記温度検
出器の検出温度と目標値との差に応じて操作信号を出力
する温度ｉｌｖ器と、前記加熱装置を操作する操作器と
、前記排気装置を操作する操作器と、前記操作信号の符
号を逆にする変換器ど、を備え、該両操作器のうち一方
は前記操作信号を受け、他方は前記操作信号を該変換器
を介して受けるようになっていることを特徴とする恒温
器により達成される。

本発明によれば、供試体の発熱量或いは外気温度が変化
しても、排気装置と加熱装置とを同特に操作し、且つ排
気装置に対する操作信号の符号と、加熱装置に対する操
作信号の符号とを互いに逆にすることによって、加熱装
置による加熱量と排気装置による排熱量とを互いに逆の
関係で＆ｌＩｔＭ］できるようにしたので、極めて簡単
な構成により１ｎ温器内温度を精度良く且つ自動的に一
定に保つことができる恒温器が提供される。

本発明に用いられる前記変換器としては、例えば通常の
符号変換器の他に、入力がオンの時に出力がオフ或いは
その逆となる（ＮＯＴ）機能を有するものを使用するこ
とができる。また、前記排気装置の例としては、排気口
に設けた排気用送風機、又は該送Ｊｉｌｌと排気口及び
吸気口の一方又は双方に設けた開度調節可能のダンパ装
置とすることができる。ダンパ装置を用いる場合、制御
対象を、送ｍ機及びダンパ装置の双方或いはダンパ装置
のみ（この場合送風機の回転数は一定）とすることがで
きる。

本発明を、半導体素子のバーンインテストに使用する恒
温器を例として添付図面を用いて更に詳細に説明する。

第１図は、本発明恒温器の１実施例の概略説明図である
。供試体（２）は、恒温器（１）内の棚（５）上に置か
れている。供試体（２）はテスト用電源装Ｍ（３）に接
続され、一定温度の高温雰囲気下に各種テストを受ける
ようにされている。

操作器（７１）により操作される加に＆装置（７）は、
恒温器下部に配され器内を加熱する。符号（６）は加熱
装置と供試体との間に設けられた隔壁を示す。送風機（
４）は器内の熱気をｔｉｌｔするためのものである。恒
温器（１）の下部には吸気口（１２）が設けられ、恒温
器（１）の上部には排気口（１３）が設けられ、排気口
（１３）には排気用送風機（８）が設けられている。操
作器（８１）は排気同送ｊｆｆ１機（８）を操作するた
めのものである。図中の矢印は器内の空気の流れを示し
ている。温度検出器である熱電対（９）は、恒温器（１
）内に妃され器内の温度を検出し、例えば比例制御方式
の温度ｉ１節器（１０）はその検出温度と目標値との差
に応じて操作（６号を出力する。

加熱装置（７）の操作器（７１）は、濃度調節器（１０
）から出力される操作信号を受け、該信号に基づいて加
熱装置（７）の加熱量を＃Ａ御する。

５− 濃度１ｔｉｓ器（１０）は変換器（１１）にも接続され
、温度調節器（１０）からの操作信号は変換器（１２）
により逆の符号を与えられ、排気用送風ａｌｌ（８）の
操作器（８１）に送られる。操作器（８１）は該逆符号
の操作信号に基づいて送風機（８）の回転数を制卸し排
熱量を調整する。

第２図は、第１図の恒温器の温度調節を説明するための
グラフである。図において、横軸は恒温器内の濃度、縦
軸は加熱装置ｆ　（７）及び排気用送風機（８）の出力
であり、（Ａ）の線は加熱装置、（Ｂ）の線は排気用送
風機を示している。例えば、横軸上の点（ａ）が目標値
であり、この時、加熱装置（７）と送ｍ１ｌｌｉ（８）
の出力の％は同じであるとする。

今、供試体（２）の発熱量が増大して器内の温度が点（
ｂ）に上昇したとする。この温度は熱電対（９）により
検出され、濃度調節器（１０）は目標値との差に応じて
操作信号（−ε）を出力する。加熱装置′（７）の操作
器（７１）は、この操作信号（−ε）により加熱量を減
するように加熱６− 装置（７）をｉｌＪ御し、恒温器内の濃度を下げるよう
にする。一方、操作信号（−ε）は変換器（１１）にも
送られ、該変換器により符号を変換され操作信号（ε）
となる。該操作信号（ε）により排気用送風機（８）の
操作器（８１）は該送風機の回転数を増し出力即ち排熱
量を増大するように該送風機を１ＩＩＪＷＪシ、排気口
（１１）より排出される熱」を増加させ、同時に吸気口
（１３）より流入する外気の墨を増大させ、恒温器内の
温度を下げるようにする。器内の温度と目標値（ａ　）
との差が小さくなるにつれ該操作信号の絶対値は小さく
なるが、加熱装置（７）の加熱量の減少と送風機（８）
による排熱−の増加により器内の温度は急速に目標値（
ａ）にまで下げられる。器内の温度が目標値に達し安定
すると、加熱装置ｆ　（７）及び送風機（８）は定常運
転となる。逆に、供試体の発熱膳が減少して器内の濃度
が下がった場合は、上と反対の操作が行なわれ、同様に
急速に目標値（ａ）にまで上げられる。

斯くして、恒温器の加熱量ｗ（７）と排気用送風機（８
）とを互いに逆の関係（一方は出力の増加、他方は出力
の減少）となるように操作することにより、器内の温度
を自動的に且つ轄廉良く（例えば目標値１００℃に対し
±１℃以内）一定に自動的に保つことが可能となる。

上記実施例では、変換器（１１）は温度−聞難（１０）
と排気用送風１（８）の操作器（８１）との間に配され
ているが、該変換器を温度調節器（１０）と加Ｍ装置（
７）の操作器（７１）との間に配するようにすることも
できる。また、温度調節器（１０）は比例制御方式のも
のとしたが、恒温器の目的に応じて他の制御動作方式の
ものとしてもよいのは当然である。例えば２値動作（オ
ンオフ動作）のものとした場合は、変換器（１１）は前
述のＮ０７機能を有するものとすることが好ましい。

更に、上述の説明では、簡単のために変換器（１１）は
操作信号（−ε）の符号をのみを変換して操作信号（ε
）とするものとしているが、加熱装置及び送風機のの出
力に応じて適宜の係数（ｋ　）を乗じて操作信号（ｋε
）とするような変換器とすることもできる。

恒温器の構造に応じて、排気口（１３）及び吸気口（１
２）を第１図に示す位置以外に設けることができるのは
勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明恒温器の１実施例の概略説明図、第２
図は、第１図に示す恒温器の温度−節を説明するための
図面である。 （１）・・・・・・恒温器 （７）・・・・・・加Ｍ装置 （８）・・・・・・排気用送風機（排気装置１ｆｔ）（
９）・・・・・・熱電対（８ｉ度検出器）（１０）・・
・・・・温度調節器 （１１）・・・・・・変換器 （１２）・・・・・・吸気口 （１３）・・・・・・排気口 （７１）・・・・・・操作器 （８１）・・・・・・操作器 （以　上） ９− 図面の浄書（内容に変更なし） 第１図 第２図 湿度 手続補正書（自船 昭和５８年９月２６日 昭和５８年特　許　願第　１３５４４３　号４、代理人 沢の鶴ビル 大阪市東区平野町２の１０平和ゼ井伺Ｎ話０６−２０３
−０９４１　Ｃ代）３７６−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ■　恒温器内を７７０Ｍするための加熱装置と、恒温器
   内熱気を恒温器外へ排出するための排気口及び排気装置
   と、恒温器内へ外気を取入れるための吸気口と、恒温器
   内温度を検出する温度検出器と、前記温度検出器の検出
   温度と目標値との差に応じて操作信号を出力する温度調
   節器と、前記加熱装置を操作する操作器と、前記排気装
   置を操作する操作器と、前記操作信号の符号を逆にする
   変換器と、を備え、該両操作器のうち一方は前記操作信
   号を受け、他方は前記操作信号を該変換器を介して受け
   るようになっていることを特徴とする恒温器。