JPH03137707A - 発熱試料処理用恒温器の温度制御方法 - Google Patents
発熱試料処理用恒温器の温度制御方法Info
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- JPH03137707A JPH03137707A JP27649789A JP27649789A JPH03137707A JP H03137707 A JPH03137707 A JP H03137707A JP 27649789 A JP27649789 A JP 27649789A JP 27649789 A JP27649789 A JP 27649789A JP H03137707 A JPH03137707 A JP H03137707A
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 13
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- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract 3
- 230000002265 prevention Effects 0.000 abstract 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 4
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- Control Of Temperature (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
- Testing Resistance To Weather, Investigating Materials By Mechanical Methods (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は発熱試料を処理する恒温器における温度制御方
法に関する。
法に関する。
前記「発熱試料」とは、例えば通電した状態で発熱させ
なからバーンインやエージング等を実施するマイコン、
プリント配線板、半導体素子の様な電子機器やその部品
の如き発熱試料であり、前記［処理Ｊとは、該バーンイ
ンやエージングその仕様々の処理である。
なからバーンインやエージング等を実施するマイコン、
プリント配線板、半導体素子の様な電子機器やその部品
の如き発熱試料であり、前記［処理Ｊとは、該バーンイ
ンやエージングその仕様々の処理である。
従来、前記発熱試料を処理する恒温器の温度制御は、該
恒温器の試料収納部に臨む高温気体吹出し部に設けた温
度検出端にて該吹出し部気温を検出し、該吹出し部気温
を設定温度に制御０シて行われていた。
恒温器の試料収納部に臨む高温気体吹出し部に設けた温
度検出端にて該吹出し部気温を検出し、該吹出し部気温
を設定温度に制御０シて行われていた。
〔発明が解決しようとする課題］
しかしながら、試料の発熱の影響で試料収納部温度は該
設定値温度より高くなりがちであるという問題があった
。
設定値温度より高くなりがちであるという問題があった
。
〔課題を解決するための手段］
そこで本発明者は研究の結果、恒温器の試料収納部に臨
む気体吹出し部の気温１．と試料収納部に臨む気体吸込
み部の気ｆＡ ｔ ２との平均値が設定温度乃至目標温
度となるように温度制御（平均温度制御）すれば前記問
題を解決できることを見出した。しかしながら、恒温器
使用開始当初のような、温度上界過程でこのような温度
制御を行うときには、試料の熱容量が大きい場合に応答
遅れが生じ、このため前記気体吹出し部に非常に大きい
オーバシュートが発生する可能性があるという問題も同
時に見出した。
む気体吹出し部の気温１．と試料収納部に臨む気体吸込
み部の気ｆＡ ｔ ２との平均値が設定温度乃至目標温
度となるように温度制御（平均温度制御）すれば前記問
題を解決できることを見出した。しかしながら、恒温器
使用開始当初のような、温度上界過程でこのような温度
制御を行うときには、試料の熱容量が大きい場合に応答
遅れが生じ、このため前記気体吹出し部に非常に大きい
オーバシュートが発生する可能性があるという問題も同
時に見出した。
そこで更に研究の結果、温度上昇過程においては気体吹
出し部の気温１．を設定温度になるように制御（吹出し
温度制御）すれば前記オーバシュートの問題は回避され
ることを見出し本発明を完成するに至った。
出し部の気温１．を設定温度になるように制御（吹出し
温度制御）すれば前記オーバシュートの問題は回避され
ることを見出し本発明を完成するに至った。
すなわち本発明は、試料収納部に臨む高温気体吹出し部
の気温ｔ、を該試料収納部に臨む気体吸込み部の気温ｔ
２から差し引いた値Ｖが予め決めた値■に達するまでは
該気温ｔ１が設定温度となるように温度制御し、該値Ｖ
が値■に達すると、（ｔ＋ ＋ｔ２）／２が設定温度と
なるように温度制御することを特徴とする発熱試料処理
用恒温器の温度制御方法を提供するものである。
の気温ｔ、を該試料収納部に臨む気体吸込み部の気温ｔ
２から差し引いた値Ｖが予め決めた値■に達するまでは
該気温ｔ１が設定温度となるように温度制御し、該値Ｖ
が値■に達すると、（ｔ＋ ＋ｔ２）／２が設定温度と
なるように温度制御することを特徴とする発熱試料処理
用恒温器の温度制御方法を提供するものである。
本発明において予め決められる値Ｖは任意に決定され得
るが、温度偏差の許容量である約２〜３°Ｃ程度が望ま
しい。
るが、温度偏差の許容量である約２〜３°Ｃ程度が望ま
しい。
具体的な温度制御手段としては、例えば、恒温器内を加
熱する電気ヒータの如き加熱装置及び（又は）恒温器内
の温度を下げる換気装置のフィードバック制御を挙げる
ことができる。
熱する電気ヒータの如き加熱装置及び（又は）恒温器内
の温度を下げる換気装置のフィードバック制御を挙げる
ことができる。
この換気装置としては、恒温器内に連通ずるように設け
た吸気口（低温外気導入用）及び（又は）排熱用排気口
、これらの少なくとも一方に設けたファン装置、更には
これら吸気口及び排気口の少なくとも一方に設けた開度
調節可能なダンパ装置を含むものを例示でき、このよう
な換気装置の場合、ファン装置及びダンパ装置の双方又
は一方が適宜操作される。
た吸気口（低温外気導入用）及び（又は）排熱用排気口
、これらの少なくとも一方に設けたファン装置、更には
これら吸気口及び排気口の少なくとも一方に設けた開度
調節可能なダンパ装置を含むものを例示でき、このよう
な換気装置の場合、ファン装置及びダンパ装置の双方又
は一方が適宜操作される。
本発明によると温度上昇過程においては、試料収納部に
臨む気体吹出し部の気温ｔｌが設定温度に制御され、他
方気温ｔ、と気体吸込み部の気温ｔ２が検出されてｔｚ
−ｔ、＝ｖが算出され、ｔ２−ｔ、＝ｖが予め定められ
た値Ｖに達すると、（ｔ＋ ＋ｔｚ ）／２が設定温度
となるように温度制御される。
臨む気体吹出し部の気温ｔｌが設定温度に制御され、他
方気温ｔ、と気体吸込み部の気温ｔ２が検出されてｔｚ
−ｔ、＝ｖが算出され、ｔ２−ｔ、＝ｖが予め定められ
た値Ｖに達すると、（ｔ＋ ＋ｔｚ ）／２が設定温度
となるように温度制御される。
以下、本発明方法の１実施例を装置例と共に図面を参照
しつつ説明する。
しつつ説明する。
図示の恒温器は、恒温器内を加熱する装置として電気ヒ
ータｌを備えており、恒温器内温度を下げるための換気
装置２として恒温器上部に設けた吸気口２１とそこに臨
ませた吸気ファン２２と、排気口２３とを備えている。
ータｌを備えており、恒温器内温度を下げるための換気
装置２として恒温器上部に設けた吸気口２１とそこに臨
ませた吸気ファン２２と、排気口２３とを備えている。
電気ヒータ１は恒温器上部において換気装置２の下流側
に配置され、ヒータｌの更に下流側には気体循環用ファ
ン３が設けられている。
に配置され、ヒータｌの更に下流側には気体循環用ファ
ン３が設けられている。
排気口２３は吸気口２１より上流側に設けられている。
４はヒータ１及びファン３等を含むダクト形成用の隔壁
である。
である。
試料収納部５に臨む気体吹出し部５１及び気体吸込み部
５２には整流のための多孔板５１０，５２０が設けられ
ている。
５２には整流のための多孔板５１０，５２０が設けられ
ている。
発熱試料６は試料収納部５内の棚７上に載置されており
、恒温器外の給電等のための装置（図示せず）に配線接
続されている。
、恒温器外の給電等のための装置（図示せず）に配線接
続されている。
気体吹出し部５１には温度検出端Ａｌ、Ａ２、Ａ３ （
例えば熱電対、サーミスタ等を利用するもの）が配設さ
れ、第２図に示すようにＡ１は温度調節器８１及び温度
計８２に、Ａ２は温度過昇防止器８３に、Ａ３は温度差
調節器８４にそれぞれ配線接続されている。気体吸込み
部５２には温度検出端Ｂｌ及びＢ２が配設され、Ｂ１は
調節器８１に、Ｂ２は調節器８４にそれぞれ接続されて
いる。第２図中温節器８４中の端子８４１は低熱起電力
リレー出力端子であり、ここからの出力によりリレーコ
イル（図示せず）が励磁され、調節器８１と検出端Ｂｌ
とを結ぶ回路中の接点Ｃが閉成される。
例えば熱電対、サーミスタ等を利用するもの）が配設さ
れ、第２図に示すようにＡ１は温度調節器８１及び温度
計８２に、Ａ２は温度過昇防止器８３に、Ａ３は温度差
調節器８４にそれぞれ配線接続されている。気体吸込み
部５２には温度検出端Ｂｌ及びＢ２が配設され、Ｂ１は
調節器８１に、Ｂ２は調節器８４にそれぞれ接続されて
いる。第２図中温節器８４中の端子８４１は低熱起電力
リレー出力端子であり、ここからの出力によりリレーコ
イル（図示せず）が励磁され、調節器８１と検出端Ｂｌ
とを結ぶ回路中の接点Ｃが閉成される。
なお、調節器８１の出力は、図面に示されていない操作
器に入力され、該操作器はその入力に応じてヒータｌ及
び（又は）ファン２２を操作する。
器に入力され、該操作器はその入力に応じてヒータｌ及
び（又は）ファン２２を操作する。
この装置例による本発明方法の一実施例は次のとおりで
ある。
ある。
恒温器の所望設定温度を例えば１２５°Ｃとすると、ま
ず調節器８１の設定温度ｔ０を１２５°Ｃとする。また
、ｔ２−ｔ、＝ｖを２°Ｃとすると、言周節器８４の設
定温度を２°Ｃとする。
ず調節器８１の設定温度ｔ０を１２５°Ｃとする。また
、ｔ２−ｔ、＝ｖを２°Ｃとすると、言周節器８４の設
定温度を２°Ｃとする。
このように設定することによって第３図に示すように恒
温器昇温過程においては温度検出端Ｂ２により検出され
る気温ｔ２と温度検出端Ａ３により検出される気温ｔ１
の差Ｖが求められ、ｖ＝２°Ｃに達するまでは調節器８
４においてリレー出力がなく、従って調節器８１におい
て温度検出端Ａｌによる検出温度と設定温度１２５°Ｃ
とが比較され、その差に応じて図外操作器がヒータ１及
び（又は）ファン２２を操作し、これにより温度制御を
行う。ｖ＝２°Ｃに達すると調節器８４においてリレー
出力があり、これによって温度検出端Ｂ１を含む回路に
おける接点Ｃが閉じ、そのあとは検出端ＡＩによる検出
温度も、と検出端Ｂ１による検出温度ｔ２とから（ｔ＋
＋ｔｚ）／２の値が求められ、この平均値が設定温度
１２５ ”Ｃとなるように温度制御される。
温器昇温過程においては温度検出端Ｂ２により検出され
る気温ｔ２と温度検出端Ａ３により検出される気温ｔ１
の差Ｖが求められ、ｖ＝２°Ｃに達するまでは調節器８
４においてリレー出力がなく、従って調節器８１におい
て温度検出端Ａｌによる検出温度と設定温度１２５°Ｃ
とが比較され、その差に応じて図外操作器がヒータ１及
び（又は）ファン２２を操作し、これにより温度制御を
行う。ｖ＝２°Ｃに達すると調節器８４においてリレー
出力があり、これによって温度検出端Ｂ１を含む回路に
おける接点Ｃが閉じ、そのあとは検出端ＡＩによる検出
温度も、と検出端Ｂ１による検出温度ｔ２とから（ｔ＋
＋ｔｚ）／２の値が求められ、この平均値が設定温度
１２５ ”Ｃとなるように温度制御される。
かくして試料収納部５の温度は所望温度とされ、実用上
差支えない状態に温度制御される。
差支えない状態に温度制御される。
かくの如く本発明によると、発熱試料処理用恒温器にお
いて試料収納部の温度が実用上差支えのない所望温度に
制御される利点がある。
いて試料収納部の温度が実用上差支えのない所望温度に
制御される利点がある。
第１図は発熱試料処理用恒温器の１例の概略断面図、第
２図は第１図の恒温器における温度制御装置の環路線図
、第３図は本発明による温度制御状態を表すグラフであ
る。 ５・・・恒温器の試料収納部 ５１・・・気体吹出し部 ５２・・・気体吸込み部 Ｌｌ・・・気体吹出し部気温 Ｌ２・・・気体吸込み部気温
２図は第１図の恒温器における温度制御装置の環路線図
、第３図は本発明による温度制御状態を表すグラフであ
る。 ５・・・恒温器の試料収納部 ５１・・・気体吹出し部 ５２・・・気体吸込み部 Ｌｌ・・・気体吹出し部気温 Ｌ２・・・気体吸込み部気温
Claims (1)
- （１）試料収納部に臨む高温気体吹出し部の気温ｔ＿１
を該試料収納部に臨む気体吸込み部の気温ｔ＿２から差
し引いた値ｖが予め決めた値Ｖに達するまでは該気温ｔ
＿１が設定温度となるように温度制御し、該値ｖが値Ｖ
に達すると（ｔ＿１＋ｔ＿２）／２が設定温度となるよ
うに温度制御することを特徴とする発熱試料処理用恒温
器の温度制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27649789A JP2766345B2 (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | 発熱試料処理用恒温器の温度制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27649789A JP2766345B2 (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | 発熱試料処理用恒温器の温度制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03137707A true JPH03137707A (ja) | 1991-06-12 |
| JP2766345B2 JP2766345B2 (ja) | 1998-06-18 |
Family
ID=17570288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27649789A Expired - Lifetime JP2766345B2 (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | 発熱試料処理用恒温器の温度制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2766345B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0564785U (ja) * | 1992-02-07 | 1993-08-27 | 安藤電気株式会社 | 恒温槽内の部品とケーブルを同じ温度にする機構 |
| JP2004509336A (ja) * | 2000-09-15 | 2004-03-25 | キュー−パネル ラブ プロダクツ コーポレイション | 多重送風機相対湿度制御テスト・チャンバ |
| JP2008064368A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Yurikai Co Ltd | 循環式温調装置の送り側と戻り側の両方に設ける温度センサーを利用する温調効果の制御方法 |
| WO2018207270A1 (ja) * | 2017-05-09 | 2018-11-15 | 株式会社ダイチューテクノロジーズ | 記憶媒体の評価試験装置 |
-
1989
- 1989-10-24 JP JP27649789A patent/JP2766345B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0564785U (ja) * | 1992-02-07 | 1993-08-27 | 安藤電気株式会社 | 恒温槽内の部品とケーブルを同じ温度にする機構 |
| JP2004509336A (ja) * | 2000-09-15 | 2004-03-25 | キュー−パネル ラブ プロダクツ コーポレイション | 多重送風機相対湿度制御テスト・チャンバ |
| JP2008064368A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Yurikai Co Ltd | 循環式温調装置の送り側と戻り側の両方に設ける温度センサーを利用する温調効果の制御方法 |
| WO2018207270A1 (ja) * | 2017-05-09 | 2018-11-15 | 株式会社ダイチューテクノロジーズ | 記憶媒体の評価試験装置 |
| JPWO2018207270A1 (ja) * | 2017-05-09 | 2020-03-19 | 株式会社ダイチューテクノロジーズ | 記憶媒体の評価試験装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2766345B2 (ja) | 1998-06-18 |
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