JPS60263833A - 顕微鏡検査用試料作製装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ）産業上の利用分野 磨いた断面を顕微鏡によって調べることは印刷回路板生
産の最も包括的な手段を提供する。選ばれた断面の顕微
鏡検査によって、印刷回路板の品質を生産の種々の決定
的段階で決めることができるようになる。このようにし
て工程の早い段階において問題を発見１−ることにより
欠陥材料による極端な追加コストが避けられることがで
き、またより大きい歩留りが得られる。

印刷回路板の多敢の分析を行なうことが必要であること
は大址生産工場で完全な品質管理を行うことへの常に増
大する要求の結果である。その１つの理由は印刷回路板
のテストに対する厳しい要求事項を明記する軍の仕様と
関係があり、１つの要求事項は、最小３個の貫通メッキ
した孔を含む１個のクーポン即ち断面が各メッキしたパ
ネルから作製されねばならないということである。

口）従来の技術 過去において顕微鏡検査のために印刷回路板の磨いた断
面を作製するため手動の作製技術を使うことが一般であ
った。そのような手の技術は１回に１個の断面を暦〈の
に１個の断面が回転する研磨剤を付けたテーブルに手で
圧しつけて保持される手動の磨き作業を含む。磨いた小
さい断面の増大する要求は多敢作業技術が使われ、それ
によって多くのそのような断面が磨き作業の１回の続い
た作業に同時に研磨されることを要求する。しかしなが
らそのような多くの断面を単一の磨き作業で多数に暦〈
ことに対する要求はそのような磨き作業に極端な精度が
要求されるため挑戦的である。

ハ）発明が解決しようとする問題 そのようなサンプル作製での１つの重要な要ぶ事項は磨
きの最終的面ばすべてのテスト孔の中心の軸線を通らね
ばならぬということである。換言すれば、各クーポン即
ち断面は打抜きまたは他の方法によってメンキした印刷
回路板パネルから取った部分を含み、またそのような試
料の部分は顕微鏡検査のため磨かれねばならない１個の
断面端を含む。上に述べたある軍の仕様に従って、顕微
鏡検査を受けるそのような試料クーポンの磨すた断面端
は最小６個の貫通メッキした孔を宮１ねばならない。

断面端を磨いたあと、最終の暦かれた表面が中心線を通
るかまたはすべての６個の貫通メンキした孔の中心線に
近い面を画定することが要求される。そのうえ、単一の
多量磨き作業におＡて５０個またはそれ以上の試料クー
ポンか同時に暦かれるときは、これらクーポンの各々の
最終的に磨いた断面はその試料クーポンの中の孔の各々
の中心軸線に近いことが重要である。

よって、前記の精度上の要求事項を満足させる一方同時
に磨いた断面の多量生産を行うことに特別の問題がある
。このように、もし与えられたクーポン試料の上の磨い
た表面がクーポン内の貫通穴の各々の中心軸線にないな
らば、観察される層は歪みまた測定または解釈上の誤り
が顕微鏡検査に起きるであろう。

二）発明が解決しようとする問題点 よって磨すた断面が各クーポン試料内の複数個の貫通孔
の中心軸線に近い印刷回路板の受け入れることのできる
程度に磨いた多量の断面を提供する方法とｖｉ、置を提
供することは本発明の１つの目的である。

良好な金属組織学的試料作製作業であることと共に最小
数の作製手順を使ってそのような断面を作製する方法と
装置を与えろことは我々の発明のもう１つの目的である
。

さらに他の目的は、比較的に熟練していない人によって
作業が行われるとき：こおいてさえ良好な結果゛を達成
する方法によってそのような断面を作製する方法と装置
を与えることである。

本発明は上記の目的及び他の目的ｉびに本発明の利点は
添附図面を参照した好適な実施例の下記の記述から明ら
かであろう。

さて本技術に熟練した人々に我々の発明を行いまた使用
することに親しみを与えるため、我々は添附図面を参照
して本発明の好適な実施列を記載する。

ホ）実施列 第１図は本発明と共に使用するのに適した型の研磨機械
の周知の形を示し、この研磨機械は回転するテーブル１
２が取り付けられる主ハウジング１０とエヤシリンダ１
６が垂れ下っている上方のハウジング１４を示す。駆動
軸１８はエヤシリンダ１６の底部から突出し、この軸１
８は電気モータ（図示しない）によって回転させられま
たエヤシリンダ１６によって垂直方向に移動することが
できる。チャック２０はそれに固定したサンプル保持装
置２２を有し、またチャックは駆動軸１８に取り外し可
能に取り付けられている。サンプル保持装置２２は円形
に配置した複数個の孔２４を廿み、また谷孔は磨かれる
取り付けた試料を保持するのに適している。

磨かれる各試料は通常取り扱い易くするためプラスチッ
クのサンプル試料台の中に取り付けられ、そのような喉
り付けは磨く試料表面がプラスチック試料台の１つの表
面と略々同じ水平面内にある。

プラスチック試料台は例えば調整可能なねじ装置２６に
よって選ばれた開口２４の中に保持され、また試料台は
サンプル保持装置の中で暦く表面が試料保持装置の底面
の下方に決まった址突出するような方向にあり、よって
試料表面は研磨材料が塗られているテーブル１２に対し
て保持されることができる。

上８己のようにして、複数個の取り付けた試料はサンプ
ル保持装置２２のそれぞれの開口２４内に固定され、チ
ャック２０はサンプル保持装置に確保され、取り付けた
サンプル保持装置を有するチャックは駆動軸１８に確保
され、研磨ペーパ円板を上に付けたテーブル１２は選ば
れた速度で回転され、サンプル保持装置２２は所望の速
度で選ばれた方向に回転され、また圧力シリンダ１６は
サンゾル保持装置２２を下方に移動するよう作動して磨
かれる試料を所望の圧力で回転する研磨材を着けたテー
ブル１２に圧しつけ、それによってターボ、ン試料をし
て磨かれるようにする。サンプル保持装置２２は取り付
けた試料を固定するためいくつかの開口２４を言むので
、多数の試料が単一の作業中に磨かれろことができる。

本発明は上記のタイプの研磨機械を使って複数個の印刷
回路板断面の大址研磨を許す方法と装置に関する。その
ような装置はクーポンと呼ばれる印刷回路板パネルから
採取した部分を取り付ける装置及びあとで行なう取り扱
いと磨きを容易にするプラスチック製試料台の中にクー
ポンを取り付ける装置を苫む。周知の方法により我々は
アセンブリとしての複数個のクーポンをそれらを一緒に
ビンで通すことによって取りつけることを好み、またそ
のあとビンで通したクーポン・アセンブリは本発明に従
って作られる装置を使ってグラスチック試料台の中に鋳
込管れる。

第６図は一対のインデックス・ビン３２と３４によって
一緒にビンを通された複数個のクーポンを示す。各クー
ポン３０はテストの目的のためメッキした印刷回路板パ
ネルから採取した小さい部分を包んでいる。クーポンは
標準工、　Ｐ、　Ｏ，テスト・パターンから収られ、そ
れらは印刷回路板゛から剪断または抜打ち作業によって
採取される。第２図に示すような好適なり−ポンの形は
最終的には標準仕様によって決められ、ここに示すクー
ポンは一般に形は矩形であり、上述の通り、暦かれ検査
されるべき断面贅たは端部におりて少なくとも６個の貫
通メッキをした孔を含む。

我々は、共通の騒き作業で各々の上に与えられる断面を
暦＜１こめ共通の試料台の中にクーポンが鋳込まれるよ
う前板て決められた関係で複数個のクーポンを組み立て
るのに前記のビン基準の方法が最も信頼すべきものと考
える。そのようなビンを基準と′１−る技術は、磨かれ
検査される賛求された断面の面、即ち各クーポン円の少
なくとも６個のテスト孔の中心ｉＩ！ｌｌＩ線を通る平
面に対しての正確な基準点を確立することを許丁。

第５図に示すようなビンを通したクーポン、アセンブリ
を作るためには各クーポンに１対の孔を明ける必要があ
る。その穴は寸法的に安定したビンを受け入れるために
、この技術では周知のように、特定の寸法であり特定の
位置になければならない。本発明によって、インデック
ス・ビン３２と３４は処分することのできる精密ピンで
あるので、ビンを通したアセンブリが取り付は樹脂のブ
ロック中に鋳込まれたあと、再使用のためビンを取り除
く必要はなｈｏ 処分することのできるビンのそのような使用は型を樹脂
材料で満たすことを許すので、樹脂はインデックス・ビ
ンを囲み、これは樹脂材料が型に注入される高さより上
方のある位置にビンが置かれる通常のやり方と対照的で
ある。クーポンを通すビンの挿入を容易にするため固定
具を利用することが好ましく、またクーポン３０をイン
デックス・ビン３２と３４の上で間隔をとって各クーポ
ンの間に型込め作業中孔の中に樹脂材料を流すことを許
すに元号な空間を与えることが望贅しい〇モールド・ア
センブリの６つの主なコンポーネントを図示すろ第４図
、第５図及び第６図に参照して、第４図は円形に配置し
た複数個の穴を有する円板の形をした金属型ベース３６
を言む型基底メンバを示す。この各孔は孔の中に取り外
し可能に個々のシリコン・ラバーの型底３８を有する。

金属型ベース３６には６個の間隔をとった脚４０が設け
られるので、プレートは脚の上に支持されカウンタ台表
面または他の支持表面よりめくらか上方に間隔をとって
置かれることができる、脚４０の各々の上方に上方に突
出するねじを切ったシャフト４２があり、その上にはク
ランプ・ワッシャ４４または類似のものが以下に記載す
る目的のために取りつけられている。

第５図は複数個の孔２４を有するサンプル保持装置を示
し、その各々は、第６図のビンを通したクーポン・アセ
ンブリの１つが鋳込みの目的のために位置させられろ型
コンパートメントの一部を画定する。型部材の組み立て
のとき、サンプル保持装置２２は型ベース・プレート３
６０頂上に置かれる。サンプル保持装置２２の外径は、
型ベース・プレート３６かも突出するねじを切ったシャ
フト４２によって画定される円の直径よりも小さめので
、保持装置２２は６個の柱４２内の型ベース・プレート
３６の頂上に置かれることができる。

第６図を参照して、この図は円形に配置されサンプル保
持装置２２内の孔２４の数と位置及び型ベース・プレー
ト３６内の孔に符合する複数個の孔４８を有する型頂上
プレート４６を示す。型頂上７’レー）　４６は金属で
作られ、また型ベース・プレート３６がそうであるよう
にサンプル保持装置２２Ｊ：り薄いが、サンプル保持装
置２２の直径に略々等しい外径を有する。孔４８の各々
はこの孔の中に取り外し可能に取り付けられた個々のシ
リコン・ラバー注入盾部５０を有し符合する型室への入
口を画定する。型部材が組み立てられると、以下により
詳細に記載するように、型頂上プレート４６はサンプル
保持装置２２の頂上の上に直接取り付けられる。

鋳込み作業を実行するためにサンプル保持装置２２はサ
ンプル保持装置内の孔２４を型ベース・プレート３６内
に取り付けられる個々のゴムの型底３８に芯出しした状
態で、型ベース・プレート３６の頂上に取り付けられる
。このようにして各孔２４は型室を形成し、筐だ一般に
平坦な頂上面を有する各ゴム製型底３８は型室に対する
基底を形成する。

第７図に示すように、サンプル保持装置２２が型ベース
・プレート３６の頂上に置かれたあと、ビンを通したク
ーポン・アセンブリの１つは磨かれる断面のクーポン表
面か上向きになるように型室２４の各々の中に置かれる
。さらに第７図から、そのようなり−ポン表面がサンプ
ル保持装置２２の平面の頂上表面より上方に突出するこ
とが分るが、これはこのあとの磨く作業に対して重要な
ことである。図示の実施例において、サンプル保持装置
２２は９個の空隙を有し、よって９個のビンを通したク
ーポン・アセンブリは各鋳込み作業に対してサンプル保
持装置２２の中に取り付けられる。

頂上プレート開口４８をサンプル保持装置内の孔または
空隙２４に芯出しして、型頂上プレート４６がサンプル
保持装置２２０頂上に向かれる型の組み立ての次の手段
が第８図に示される。よってゴムの注入盾部５０は型の
空隙の各々に対して人口部を形ＦＭ、′１″ることが分
る。そのうえ注入盾部５０は充分高いので樹脂の型材料
がほとんど種々のビンを通したクーポン３０を蔽うこと
を許し、樹脂の高さが磨かれる断面と略に同じ高さであ
ることが好せしい。第８図に示されるように、クシンプ
ーワツシャ４４はモールドの頂上プレートを所定の位置
に確保しそれによってモールド・コンポーネントを積み
重ねたアセンブリに保持するためにねじを切った棒４２
σ）うえ″１−調幣される。

−Ｖモールド・アセンブリが第８図に示すように確保さ
れると、鋳込まれる試料取付は樹脂は型空隙の各々の中
に注入される。本発明によれば、樹脂材料は磨くクーポ
ン断面表面と略々同じ肩さであることか好適である。上
記の方法は、通常は若くクーポン表面がプラスチックの
試料台から限なう研磨と磨き作業のあいだ取り付けたク
ーポンに最も適した支持を与えるであろう。

適当な樹脂はイリノイ州レークブラフのビューラ社のサ
ンプルるグイツク（Ｓａｍｐｌｅ−４ｗｉｃｋ）という
アクリル系樹脂で、この樹脂は５分から７分で硬化しま
た工業界で周知の樹脂である。第９図は樹脂取り付は材
料の硬化中ビンを通したクーポン・アセンブリの各々の
頂上に錘５２を置く選択できる手段を示す。

本発明によってリンを通したクーポンアセンブリが、サ
ンプル保持装置２２の中に直接鋳込まれ、それを別の餉
込み作業によって取り付け、次いでそのあとの酷く作業
のためプラスチックの試料台をサンプル保持装置の中に
位置決めするのと（工対照的であることを理解すること
が重要である。

よって、ビンを辿ったクーポン・アセンブリをそれがサ
ンプル保持装置２２の中にあるあめだ、直接そのプラス
チック試料台の中に鋳込むことによって、ビンを通した
クーポンの共通のサンプル保持装置２２内での互いに対
しての位置決めをすることに関して大きな精度か得られ
、また取り付けたビンを通したアセンブリを取り付は装
置から収り外す工程と次いでサンプル保持装置内での取
り付は装置の位置決めをすることとは全く必要かない。

そのうえ、処分することのできるビン３２と３４を使う
ことによって、鋳造作業のあとそのようなビンを敗り外
す時間のかかる工程もまた必要でなくなる。

樹脂の収り付は材料か硬化したあと、頂上プレート４６
は第１０図に示すように取り除かれ、そのあとサンプル
保持装置２２が収り除かれ、そこにはサンプル保持装置
〜＝内の９個の孔の各りの中にある円筒形の７０ラスチ
ツクの試料台かあり、また谷試料台は、磨かれ検査され
るクーポンの断面表面が試料台の表面と同じ面ＶＣなる
ようにまたはそごから限られた筒さだけ突出するように
、第１１図に示′ｆようにビンを通したクーポンアセン
ブリを封じ込める。第１１図はプラスチックの試料台の
茨■がサンプル保持装置２２の底面から突出するところ
を示し、また以上に説明したように、磨かれるクーポン
の断面についても同じことが成り立つ。

ザンプル保持に置２２は複数個のダイヤモンド形止め具
５４を甘み、止め具５４は、調整部品５６によってセッ
トされる前以て決められた量だけ第１１図に示されるよ
うに突出する。ダイヤモンド形止め具５４はあとの研磨
作業で封じ込められたクーポン３０の１ｉＩｒｒ面表面
から収り除かれる材料の址を制御−１−◇０クーポン３
０が鋳込１れるサンプル保持装置２２はインデックス・
ビン３２と３４及びクーポン３０を貫くテスト孔の間に
前以て決められている′ＭＪ！Ｊ、な寸法上の関係を維
持１−る鞘密工具である。ダイヤモンド形上め具５４は
磨きの正確な面を決めるのに重要であり、丑だそのよう
な止め具はねじ５６を調整τるためねじ回しまたは類似
の工具を使ってｍ１以てセットされている。二面ケゝ−
ジ・プレートがダイヤモンド形止め具をセット１−るの
に使用され、１方の面は粗い研磨作業用の止め具をセッ
トするのに使われ第２の面は細かい研磨作業用止め具を
セットするのに使われる。

次の工程はサンプル保持袋！２２にチャック２０を欧り
付けまたチャックと敗り付けたサンプル保持装置を「Ｆ
磨機様の上に第１図に関連して以上に記載したように取
り付けることである。磨き作業の目的のためテーブル１
２は、機械的装置台によってまたは圧力に敏感である接
着剤を裏に塗ったＵト磨ペーパを使うことによって、表
面に取り付けた研磨ペーパ円板を有する。本発明に使用
するのによく適している研磨機械はイリノイ州、レーク
ゾラフのビューラー社によって販売されており、エコメ
ット■／ユーロメット１サンプル作製機械として知られ
ている。

そのような機械のシリンダ１６は空気動力によって作動
され充分よく制御されているので、均一な、前取て決め
られまた繰り返される圧力を、取り付けたサンプルまた
はクーポン磨き作業中研磨剤を付けた板１２に対して圧
しつけられるとき、かけることが可能である。ここに記
載の好適な実施例に従って、クーポン３０は樹脂の取り
付は材料によってほとんど蔽われ、それによって荷重を
受けるクーポンを支持する。

好適な研磨と磨きの連続作業に従って、ダイヤモンド形
止め具５４は粗い位置にセットされ、また研磨は板１２
にかけられる１２０番目のシリコン・カーバイド研磨ペ
ーパの上に止め具が接触するまで略々２分間行なわれる
。サンプル保持装置２２はそこで洗われ、また止め具５
４は細かい目のセット位置に再びセットされ、そのあと
研磨は、止め具が６００番目のシリコン・カーバイド研
磨ペーパに接触する寸で、約３０秒間行なわれる。

止め具５４はそこでサンプル保持装置２２０表面と同一
平面に再びセットされ、サンプル保持装置はそこで超音
波透明クリーナ内で最大２０秒から６０秒のあいだ洗わ
れる。

そのあとは、磨き作業はビューラー社でテックスメット
という名前で売られているようなけばのない磨き布を使
って行う。この布は６ミクロンのダイヤモンド粉のペー
ストと増敏剤を付けたもので、磨き作業は約６０秒から
４０秒行なわれる。

サンプル保持装置にもう１回超音波洗滌を行なったあと
、最終磨き作業がミクロクロスと論う名前でビューラー
社によって売られているけばだてた磨き布を使って行な
う。この布には０．０５ミクロンのアルミナ粉が付いて
いる。特別の品質を得るためにはマスターメットという
名前でビューラー社によって売られているコロイド状シ
υ力溶液を加えてもよい。試料を中に付けたサンプル保
持装置２２はそこで港がれ、乾燥され、最終的に第１２
図に示″ｆように顕微鏡で検査される。

断面の表面をさらに磨く必要があるときは、サンプル保
持装置２２から取り付けたクーポンを取り外すまえにク
ーポン３０の磨いた断面の表面のおおさつばな検査を行
なうことが好ましい。そのような検査が受け入れられる
磨きの結果を示すならば、個々の取り付けたサンプルは
、そこで簡単にたたき出す方法でサンプル保持装置２２
から取り外される。例えば、ガイド内で滑動するパンチ
具がサンプル保持装置の頂上部の上にあてがわれ個々の
プラスチックの試料台をたたしてゆるめ、磨すた断面の
顕微鏡検査の目的で手で取り外されることができる。第
１３図は磨き作業を行なったあとの取り付けたクーポン
・アセンブリを上から見た平面図で、処分されるピン３
２と３４が破線によって示されている。第１４図は磨き
作業のあと取り付けたクーポン・アセンブリの正面図で
あり、図面から磨いた断面の表面は検査するテスト孔を
宮むろ個の貫通メッキをした孔の軸線を略々通っている
ことが分る。研磨作業中磨き取った部分は破線によって
示されるう 本発明の方法と装置を使用することは多量の受け入れ可
能＋ｃ［＋かれた断面を得ることを達成し、それらの断
面では多くのクーポンの各々の磨かれた断面は各クーポ
ンの最小３つの貫通孔の中実軸線上にあるか捷たはプラ
ス鳴マイナス０．１２’５凹（０，００５インチ）にあ
る。上記のことは各試料台が３個から６個のクーポンを
ビンで通したアセンブリを言むとき、及びサンプル保持
装置２２が単一の研磨作業で同時に磨くため８個から１
５個のビンで通したクーポン・アセンブリを敗り付けて
いるときにも適用する。

【図面の簡単な説明】

第１図は単一の磨き作業において多数の試料を暦〈本発
明に関して使用できる高性能琢機械の斜視図； 第２図はメッキした印刷回路板パネルから打ち抜かれた
または剪断された試料クーポンを示す平面図； 第６図は複数個のクーポンの各々の断面の同時磨きを許
丁ため樹脂試料台の中に鋳込まれるであろうクーポンｅ
アセンブリを形成する一対のインデックス・ぎンに取り
付けた複数個のクーポンを示す斜視図； 第４図は中に形成され円形に配置される複数個の孔を有
する金属製型基底メンバ及び孔の各々の中に取り外し可
能に取り付けた個々のゴム製型基底メンバを示す透視図
； 第５図は第３図に示すタイプのクーポンのそれぞれのビ
ンで通したアセンブリを富むため円形に配置された複数
個の孔を有する金属プレートを言むサンプル保持装置の
斜視図； 第６図は型基底メンバとサンプル保持装置内の類似の孔
に符合するよう円形に配置された複数個の孔を有する型
頂上メンバの斜視図で、そこには型材料の注入を容易に
するため孔の各々内に収り外し可能に取り付けた個々の
注入肩部がある図；第７図は第４図の型基底メンバの頂
上に取り付けた第５図のサンプル保持装置を示し、また
第６図に示したタイプのビンを通したクーポン・アセン
ブリをモールド作業の準備のときサンプル保持装−二内
のそれぞれの孔の中に作業者が入れるところを示す斜視
図： 第８図は完成した型アセンブリを与えるため第７図のア
センブリの頂上に取り付けた第６図の型頂上メンバを示
す斜視図； 第９図は試料取り付は樹脂が型開口の各々の中に注入さ
れたあとビンを通したクーポン・アセングリの各々の頂
上に置かれることのある錘を示す第８図の型アセンブリ
の透視図； 第１０図は型頂上メンバが取り外されたとき、型作り作
業のあとの型アセンブリの図；第１１図は型作り作業の
あとのサンプル保持装置の底部の斜視図で、クーポン・
アセンブリの取り扱いを容易にするため透明の樹脂材料
で作った個々の円筒形型の中に鋳込んだ９個のビンを通
したクーポン・アセンブリの各々を示す図；第１２図は
サンプル保持装置から個々のクーポン・アセンブリを収
り外すまえに取り付けたクーポン・アセンブリの予備的
検査を行っている作業者を示す図； ＠１３図はサンプル保持装置エリ取り外されたあとのク
ーポン・アセンブリの１つの拡大した上方から見た平面
図； 第１４図は第１６図に示す取り付けたクーポン・アセン
ブリの拡大した正面図で、磨き作業中取り除かれる部分
は点線によって示される図である。 図においてニー １２　研磨機回転テーブル、 ２２・・・サンプル保持装置、　２４・・・孔、３０・
・・クーポン、 ３２．３４・インデックス・ビン、 ３６・・全極型ベース（基底）メンバ（プレート）３Ｂ
　型底、　４６・・型頂上プレート、５０・・・注入肩
部、　５２　・錘、 ５４　ダイヤモンド止め具。 代理人　浅　村　晧 ＦＩＧ、　１ ＦＩＧ、４ ＦＩＧ、　１４

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. （１）試料をプラスチック製試料台に取り付ける装置と
   ＠磨機械によって磨くため取り付けた試料を固定する装
   置とを包む顕微鏡検査用試料を作製する装置において、
   貫通して延びる複数個の開口を有するプンート装置を含
   むサンプル保持装置と、型基底メンバと、 前記サンプル保持装置の開口の位置に符合する複数個の
   貫通開口をその中に有するプレー１−装置を言む型頂上
   メンバの組み合わせを有し、前記型基底メンバ、サンプ
   ル保持装置及び賊頂上メンバは、前記サンプル保持装置
   を基底と頂上の間に位置させられ、筐た前記頂上とサン
   プル保持装置内の開口は個々の型空隙を形成するよう芯
   出しされた状態にして、積み軍ねたアセンブリに組み合
   わされることに適応させられることを特徴とする顕微鏡
   検査用試料作製装置。
2. （２）　特許請求の範囲第１項に記載の装置において、
   前記型頂上メンバ、サンプル保持装置及び型基底メンバ
   を積み重ねた型アセンブリとして保持する締め付は装置
   を含むことを特徴とする顕微鏡検査用試料作製装置。
3. （３）特許請求の範囲第１項に記載の装置において、前
   記型基底メンバは前記型基底メンバの頂上に取り外し可
   能に取り付けられた個々の型底の複数個を含むことを特
   徴とする顕微鏡検査用試料作製装置。
4. （４）　特許請求の範囲第１項に記載の装置において、
   前記頂上メンバは前記頂上メンバの前記開口内に敗り外
   し可能に取り付けられた個々の鋳込み肩部の複数個を富
   むことを特徴とする顕微鏡検査用試料作製装置。
5. （５）　特許請求の範囲第１項に記載の装置において、
   前記型基底メンバは前記基底メンバの頂上に取り外し可
   能に取り付けた個々の型底の複数個を會み、前記型頂上
   メンバは前記型頂上メンバ内の前記開口内に取り外し可
   能に取り付けた個々の鋳込み唇部の複数個を注むことを
   特徴とする顕微鏡検査用試料作製装置。
6. （６）特許請求の範囲第５項に記載の装置において、前
   記個々の型底及び前記個々の鋳込み溝部がゴムで作られ
   ていること特徴とする顕微鏡検査用試料作製装置。
7. （７）　特許請求の範囲第１項に記載の装置において、
   前記基底メンバは前記サンプル保持装置の開口の位置に
   符合する複数個の開口を有することを特徴とする顕微鏡
   検査用試料作製装置。
8. （８）　特許請求の範囲第７項に記載の装置において、
   前記型基底メンバは前記型基底メンバ内前記開口内に取
   り外し可、能に取り付けられた個々の型底の複数個を廿
   むことを特徴とする顕微鏡検査用試料作製装置。
9. （９）　特許請求の範囲第１項に記載の装置におＡて、
   前記型頂上メンバと前記サンプル保持装置は一般に円板
   の形をし直径が略々同じであり、前記型基底メンバは一
   般に円板の形をし前記型頂上メンバ及び前記サンプル保
   持装置より大きい直径を有することを特徴とする顕微鏡
   検査用試料作製装置。
10. （１０）　試料をプラスチック製試料台に取り付ける装
    置と研磨機械によって磨くため取り付けた試料を固定す
    る装置を含む顕微鏡用試料を作製する装置において、貫
    通して延びる複数個の開口を有するプレート装置を含む
    サンプル保持装置、前記サンプル保持装置の開口の位置
    に符合する複数個の開口をその中に有する型基底メンバ
    、前記型基底メンバ内の前記開口内に取外し可能に収り
    つけられた複数個の型底、前記サンプル保持装置の開口
    の位置に符合する貫通開口の複数個を有するプレート装
    置を廿む型頂上メンバ、前記型頂上メンバ内の前記開口
    の中に取り外し可能に取り付けた個々の鋳込み溝部の複
    数個な有し、前記型基底メンバ、サンプル保持装−一及
    び型頂上メンバは前記サンプル保持装置が前記型基底メ
    ンバと型頂上メンバとの間に位置させられまた前記頂上
    メンバ、サンプル保持装置及び型基底メンバ内の開口が
    個々の型空隙を形成するよう芯出しされた状態で積み重
    ねたアセンブリに組み合わされることに適応し、各個々
    の型空隙は鋳込み溝部、前記サンプル支持装置内の開口
    及び個々の型底によって画定されることを特徴とする顕
    微鏡検査用試料作製装置。 Ｕ　特許請求の範囲第１０項に記載の装置におりて、前
    記取り外し可能な鋳込み溝部と前記取り外し可能な型底
    はイムで作られることを特徴とする顕微鏡検査用試料作
    製装置。 （１２、特許請求の範囲第１０項に記載の装置において
    、前記型頂上メンバ、サンプル保持装置及び型基底メン
    バな積み重ね型アセンブリに保持するための締め付は装
    置を廿むことを特徴とする顕微鏡検査用試料作製装置。 住■　印刷回路板パネルから採取したクーポンの複数個
    を該クーポンを磨く目的のため取り付ける方法にお込て
    、該方法はビンを通したクーポン・アセンブリを形成す
    るため暦く断面表面に反対の側に各クーポンを貫通して
    延びる処分することのできる一対のビンを使用して間隔
    をとってクーポンの複数個を一緒にビンで通すこと、該
    ビンで通したアセンブリを磨く断面表面を上方に向けて
    型の中に置くこと、及びプラスチック製試料台内に取り
    付けたビンで通したアセンブリを作るため型の中に鋳造
    材料を加えることの組み合わせを含むことを特徴とする
    印刷回路板より採取したクーポンの複数個を収り付ける
    方法。 α初　特許請求の範囲第１６項に記載の方法において、
    鋳造材料が磨かれる断面表面の略々水準のところまで加
    えられることを特徴とする印刷回路板パネルから採取し
    たクーポンの複数個を取り付ける方法。 （１５１特許請求の範囲第１３項に記載の方法において
    、ビンを通したアセンブリの複数個がサンプル保持装置
    の中のそれぞれの穴の中に置かれ、鋳造材料はプラスチ
    ック試料台の中の各ビンを通したアセンブリを前記サン
    プル保持装置の中に直接鋳込むため前記開口の中に加え
    られ、また前記サンプル保持装置は逆さにされて前記断
    面表面の同時研磨用の研磨機械に取り付けられることを
    特徴とする印刷回路板パネルから採取したクーポンの複
    数個を取り付ける方法。 （１０特許請求の範囲第１５項に記載の方法において、
    前記サンプル保持装置は少なくとも６個の調整可能な止
    め具を會み、また該止め具は前記断面表面を磨くあいだ
    前記断面表面から取り除かれる材料の量を制御するよう
    調整されることを特徴とする印刷回路板パネルから採取
    したクーポンの複数個を取り付ける方法。