DE3221186A1

DE3221186A1 - Vorrichtung zum einspannen und justieren von proben

Info

Publication number: DE3221186A1
Application number: DE19823221186
Authority: DE
Inventors: Heinrich Dr.rer.nat. 4030 Ratingen Keddeinis; Helmut 4000 Düsseldorf Kirchhof
Original assignee: Mannesmann AG
Current assignee: Vodafone GmbH
Priority date: 1982-06-01
Filing date: 1982-06-01
Publication date: 1983-12-01
Also published as: DE3221186C2

Description

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Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung zum Ein-. ' spannen und Justieren mindestens einer mit einem optischen System abzutastender, eine planebene Oberfläche aufweisenden Probe, die auf einem Träger gehaltert ist.

Anschliffe für mikroskopische Untersuchungen - bei der automatischen BiId-Analyse von Anschliffproben geht man auch von einem mikroskopischen Bild aus- werden normalerweise mit Plastilin mittels einer Handpresse auf einem Probenträger gedrückt. Als Probenträger dient ein Metallplättchen. Nach dem Aufbringen eines Anschliffes auf den Probenträger liegt die Anschlifffläche planparallel zur unteren Auflagefläche; beim Aufbringen mehrerer Anschliffe nebeneinander ist dies nicht mehr gewährleistet. Aber selbst wenn mehrere Anschliff planparallel auf den jeweiligen Probenträger, aufgedrückt wurden und diese Proben dann nebeneinander auf die Auflageplatte des automatisch gesteuerten Scanningtisch.es des Mikroskopes des BiId-Analyse-Systems befestigt \-rorden sind, liegen einige Anschliffflächen, nicht mehr in einer horizontalen Ebene. Ebenso verändert sich z.T. auch die Höhenlage der Anschliff flächen. Das hat zwei Gründe: Der erste Grund ist, daß das' Plastilin, möglicherweise unter Temperatureinfluß, "arbeitet" und deshalb nach einer gewissen Zeit die Lage der Schilffflache in unkontrollierter Weise verändert. Der zweite Grund ist im Scanningtisch selbst zu suchen. Die Auflagefläche des Scanningtisches liegt nicht exakt in einer horizontalen Ebene. Dadurch liegen selbst planparallel auf den Probenträger aufgebracht« Anschliffe, nachdem sie auf dem Scanningtisch befestigt worden sind, nicht mehr genau in einer horizontalen Ebene.

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Bei der automatisch gesteuerten Bild-Analyse, besonders wenn an mehreren Anschliffproben programmgesteuert hintereinander Messungen durchgeführt werden, findet vor allem beim Übergang von einer Anschliffprobe zur anderen eine Defocussierung des Autofocus statt, da die Eigenfocussierung aus praktischen Gründen auf einen möglichst kurzen Bereich begrenzt wird (ca. 20 m). Abgesehen davon, daß die Meßwerte dann unbrauchbar sind, kann auch das Objektiv mit der Probe kollidieren, was zu Beschädigungen der Probenanschlifffläche oder des Objektives führen kann.

Aufgabe der Erfincung ist es eine Einrichtung zu schaffen, die es ermöglicht, eine oder mehrere Proben in ihrer Oberfläche in einer E'bens zu justieren und in diesem Zustand zu halten.

Ss wird daher eine Vorrichtung zum Einspannen und Justieren mindestsns einer mit einem optischen System abzutastender, eine planebane Oberfläche aufweisenden Probe, die auf einem Träger gehaltert ist, vorgeschlagen, die erfindungsgamäß dadurch gekennzeichnet ist, daß auf einer Grundplatte mindestens drei Stehbolzen gleicher Länge lotrecht angeordnet sind und zwischen den Stehbolzen auf der Grundplatte ein Rahmen mit einer Ausnehmung zur Aufnahme mindestens einer Probe beliebiger Querschnittsform angeordnet int, und im Rahmen je Probe mindestens drei verstaubar gelagerte Haltadorne vorgesehen sind, von denen ja zwei vertikal und mindestens eine horizontal verstellbar gelagert sind.

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Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den in den Ansprüchen 2 Ms 4 enthaltenen Maßnahmen.

Die Erfindung soll anhand der scheinatisehen Zeichnung erläutert werden. Es zeigen:

Fig. 1 eine Haltevorrichtung für eine rechteckige Probe,

Fig. 2 eine Haltevorrichtung für mehrere zylindrische Proben. .

Fig. 1 zeigt eine Grundplatte 1 mit vier an den Ecken lotrecht zur Grundplatte angeordnete Stehbolzen 4. Diese überragen den aus Stäben gebildeten Rahmen 2. In der Mitte des jeweiligen Rahmenteils zwischen den Stehbolzen sind parallel zur Grundplatte 1 Haltedorne'5 angeordnet, von denen zwei nebeneinander liegende Haltedorne 5^! lediglich horizontal verschiebbar sind, während die beiden übrigen Haltedorne 5 vertikal mittels eines Schneckentriebes 7 (nicht sichtbar) verstellbar sind. Die Dorne 5¹ werden mittels·Federn 6 in ihrer Halteposition gesichert. Die Spitzen der Haltedorne 5 liegen etwa in mittlerer Höhe des Rahmens 2.

In Figur 2 sind gleiche Teile mit gleichen Bezugsziffer] versehen. Hier befinden sich auf der Grundplatte 1 drei Stehbolzen 4 in Dreipunktanordnung. Der Rahmen 2 ist zweigeteilt und jeder Rahmenteil mit zwei halbzylindrischen Ausnehmungen für die Aufnahme der Proben versehen. Durch versetzte Anordnung .der Rahmenteile entstehen so insgesamt vier Ausnehmungen; es können also

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vier Proben nebeneinander untergebracht und gleichzeitig untersucht werden. E¹Ur jeden Probenraum sind drei Haltedorne 5, 5¹ vorgesehen, von denen sich die zwei horizontal verschiebbaren Haltedorne 5 im Bereich der halbzylindrischen Ausnehmung und der vertikal verstellbare Haltedorn 5' in dem gegenüberliegenden ebenen Wandteil des Rahmens 2 angeordnet ist.

Die Handhabung der Probenhalterung geschieht wie folgt.

Beim Einlegen der Anschliff proben in dem Rahmen 2 wird die Vorrichtung mit den Stehbolzen 4 auf eine glatte planebene Fläche aufgesetzt. Durch Zurückziehen der Haltedorne 5¹ legt sich die Probe ebenfalls auf die planebene Fläche auf. Beim Loslassen der Haltedorne 5' werden diese durch die Federn 6 gegen die Probe gedrückt und die Probe dadurch von allen Haltedomen 5 V, 5 mit hinreichender Genauigkeit fixiert. Werden in einem Rahmen gemäß Fig. 2 mehrere Proben nebeneinander eingesetzt, so liegen diese dadurch in guter Übereinstimmung in einer Ebene. Die xakte Überführung der Anschliffflächen in eine horizontale Ebene erfolgt nach dem Aufbringen des Probenhalters auf dem Scanningtisch. Dazu werden die Anschliffe mittels der in der Vertikalen beweglichen Haltedorne 5 über das Schneckentriebsystem 7 entweder nach unten oder nach oben verschoben. Die Kontrolle darüber, ob die Anschliffflächen in einer horizontalen Ebene liegen oder nicht, erfolgt durch Verschieben des Scanningtisches und Betrachtung der Anschliffflächen mit dem Mikroskop.

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Durch diese Methode ist eine sehr genaue Ausrichtung und fortdauernde Halterung der Anschlifffkächen in einer hotizontalen Ebene gewährleistet. Ein Herauslaufen des Autofocus an einem automatischen Bild-Analysen-System tritt dadurch bedingt nicht mehr auf. Die Messungen können ohne äußere Eingriffe fortlaufend vorgenommen werden.

ZusecffiTaenfassung .

Claims

Patentansprüche

f±J Vorrichtung zum Einspannen und Justieren mindestens einer mit einem optischen System abzutastender, eine planebene Oberfläche aufweisenden Probe, die auf einem Träger gehaltert ist, dadurch gekennzeichnet," daß auf einer Grundplatte (1) mindestens drei Stehbolzen (4) gleicher Länge lotrecht angeordnet sind und zwischen den Stehbolzen (4) auf der Grundplatte ' (l) ein Rahmen (2) mit einer Ausnehmung zur Aufnahme mindestens einer Probe beliebiger Querschnittsform · angeordnet ist, und im Rahmen (2) je Probe mindestens drei verstellbar gelagerte Haltedorne (5) vorgesehen sind, von denen je zwei vertikal und mindestens eine horizontal.verstellbar gelagert sind. ' ^^^_

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2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die vertikal verschiebbaren Haltedorne (5') mittels eines Schneckentriebes (7) verstellbar sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die horizontal verschiebbaren Haltedorne (5) unter Vorspannung mittels einer sie umgebenden Feder (6) in ihrer Halteposition stehen.
4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß bei zylindrischer Probenform die drei Haltedorne (5) je Probe in Dreipunktanordnung zueinander angeordnet sind.

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