JPS6059113B2 - 微小サイズウエ−ハの液体無ワツクス取付具 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 機械加工された、研削されたまた精密鋳造された加工片
上に平坦な表面をつくる数多くの機械が考えられている
。

これらの普通の一例は、垂直軸のまわりを中心にして回
転する円筒ディスク様ラップ輪を持ち、そして加工片が
該ラップ片に対して調節自在に支持されるラッピング機
械である。加工片、または加工片が小さいときは２個以
上の加工片を取り付けるため取付具が使用される。小さ
い加工片またはもろい材料の加工片の正確なラッピング
において非常に重要な事項は、加工片をラップ輪に関し
て取り付けるための手段である。もろくて取り扱いが難
しいけれど信頼性を得るためラッピングしなければなら
ない加工片の一品種は、ソリッドステート回路部品に普
通使用されるシリコンのウェーハまたはディスクである
。このウェーハはシリコンの細長い棒から切断またはノ
コ引きされ、そして直径３インチで厚さ０．０２０イン
チであり得る。ウェーハの一表面に複雑な回路が形成さ
れ、他の側はブランクである。次にウェーハはブランク
側から多分たつた０．００８インチの厚さまでラッピン
グされる。このときまたはその後の機械作業中、ウェー
ハの回路側を傷つけないように非常な注意を払わなけれ
ばならない。ラッピングに使用される各種のテクニック
中には、ワックス取付け法、真空システムおよびいくつ
かの無ワックス法が含まれる。ワックス取付け法は、ラ
ッピング前にウェーハを取付具へ取り付け、そしてその
後ウェーハをラッピング作業後取り外すのに沢山の補助
装置と工程とを必要とする。

一例として取付具をワックスがとけ、そのため取付具上
のワックスが粘着性となる温度へ加熱するためにヒータ
ーが使用される。しばしばレンズ組織のような細かい組
織が取付具の上に置かれ、そしてウェーハの背後の過剰
のワックスを押し出すのに十分なりをもつてウェーハが
組織に対して押し付けられる。取付具はワックスが固化
するように冷却され、従つてワックスはウェーハを取付
具へしつかりと固定する。その後余分のワックスは、し
ばしば塩素化溶剤または多分蒸気状グリース除去剤を使
用して除去されなければならない。次に取り付けられた
ウエーハノは機械加工できるようになる。ラッピング後
取付具は、ウェーハを取付具からそれを側方へスライド
させることにより除去できるようにワックスが軟化する
温度へ再加熱されなければならない。しかしながらワッ
クス中になお埋没している研摩剤・粒子は、このときし
ばしばウェーハを傷付ける。また非常に注意深く行わな
い限り、薄いウェーハは容易に割れることができる。ウ
ェーハを取付具から首尾よく除去した後でも、ウェーハ
の割れ目中になお埋没しているすべてのワックスを除去
す・るため、脱グリース作業などによりウェーハは洗浄
されなければならず、超音波脱グリース機を使用する多
数の場合、ウェーハの割れが発生し得る。さらに取付具
は別のウェーハのその後のラッピングのため再び洗浄さ
れ、準備されなければならない。ウェーハ取り付けの真
空システムは、穴のあいた取付具、各取付具のための導
管またはその類似物、そしてポンプおよび弁をそなえた
真空装置を含む特別の設備を必要とする。

さらにこのシステムは、ウェーハと取付具の真空面とが
極めて清浄で、そしてさらにウェーハが真空フェースに
対して平坦でしかも一直線となつている場合だけ有効で
ある。そのためウェーハと真空面との間に捕捉されたほ
こりは偶然真空の破れを生じ、そしてウェーハの脱落を
許容する。このことはまたウェーハが平坦でないか、ま
たは真空フェースの口を完全に覆つていない場合にもお
こる。さらに多数個ウェーハ取付具においては、もしウ
ェーハの１個について真空が失われると、それは一般に
ウェーハの全部について真空が失われ、そして全部が脱
落することを意味する。さらに真空システムの重大な欠
点は、フィルタその他にもか）わらず、研摩剤ラッピン
グスラリーが真空装置内まで吸引され、真空ポンプの寿
命を短かくする可能性である。容易に認められるように
、真空取り付けシステムは、高い設備投資と高い継続費
用を有する。ウェーハ取り付けのためのいわゆる無ワッ
クス法の一つは、ウェーハの回路側を感光性耐食膜で被
覆し、そして次に研摩剤スラリーによる可能性ある汚染
から保護するためそれに対してエッチングテープが取り
付けられる。次にウェーハはマイラー（ポリエステルフ
ィルム）材料からつくつた取付具ポケット中に置かれ、
そして水を使用してその表面張力によりウェーハを取付
具に固定する。しかしながらテープの厚みに対して隙間
を取らなければならず、そしてこの寸法の不確実性のた
め寸法および平行に対する小さいラッピング許容差を得
ることが困難である。さらにウェーハの回路側とテープ
自体との間に汚染物を全く捕捉しないために非常な注意
を必要とする。機械加工後、エッチングテープは一般に
全く危険なそして望ましくないアセトンの浴中にウェー
ハ全体を浸．漬することによつて除去しなければならな
い。それでもエッチングテープの小片がしばしばウェー
ハ表面上に残り、それは余分のもつと特別の洗浄工程を
必要とする。ウェーハ取り付けのための他のいわゆる無
ワックス法は、取り付けポケットを、ウェーハに対し変
化する温度またはその他の環境条件によつて変化する表
面接着特性を示すポリ塩化ビニルのような高分子材料の
薄膜で形成する。

典型的には取付具は、配置されたウェーハに対する接着
を提供するために加熱され、そしてラッピングは取付具
がなお加熱されている間に行われる。機械加工後、ウェ
ーハは、部品を冷却することにより、例えば氷水中に浸
すことにより取付具から分離される。このアプローチは
、このように最初およびラッピング中取付具を加熱し、
そしてウェーハの冷却浴取り外しのため補助設備を必要
とする。従来のウェーハ取り付け方法を開示する米国特
許は、第２９６８１３５号、３３０４６６２号、３７３
１４３５号、４１３２０３７号および４１４１１（イ）
号がある。

本発明は、大部分の慣用ラッピング機械に使用するため
の、そして取付具またはウェーハの前処理または後処理
のためにさもなければ必要な特別な補助設備、例えば真
空装置、加熱、冷却または洗浄手段を必要としない、も
ろい材料の薄いウェーハを正確にそして信頼して取り付
けるための改良されたシステムを提供する。そのため本
発明は設備投資および必要な床面積を最小にする。ウェ
ーハの装置および脱離はラッピング機械のすぐそばで速
かにそして容易に行うことができ、ウェーハの回路側を
傷つけたり、汚染することなく行うことができ、そして
さらに完全寸法でなくそして取付具ポケットを全部ふさ
ぐことのないような割れたまたは寸法の足りないウェー
ハさえも本発明を使用して取り付けることができる。本
発明は、めいめいが一般にウェーハの形である架台と、
該架台を取り囲むファイバーリングを含む取り付けブロ
ックの使用を提供する。架台の前表面に、ポリウレタン
、発泡ウレタン、ベルトン多孔バッドＫまたはある種の
硬質発泡スチロール材料またはポリスチレンのような、
微細孔硬質発泡材料のバッドが取り付けられる。この材
料は一般に堅固であるが、しかしウェーハの表面のどん
な不連続をも受け入れるのに十分なほど軟かく、そして
さらに多数の内部開放孔または細胞を持つ細胞状である
。次に湿潤性の液体がバッド表面に非常に薄い層または
フィルムとして一様にひろげられ、そして該液体を殆ん
どゼロ厚みへウェーハの背後からそしてバッドの細胞中
へ押し出すように、ウェーハをバッド中へ押し込む。ウ
ェーハをバッド中へ押し込む間、ウェーハをバッドでこ
すり、そして多分ウェーハの損傷をおこすねじり運動を
避けるのが望ましい。このようにしてウェーハとバッド
との間の全界面にひろがるバッド細胞中の液体は、事実
上ウェーハをバッドに対し１てぴつたりと結合する真空
を確立する。好ましくは該液体はカーボワツクスポリエ
チレングリコールであり、水溶性であり、ウェーハが圧
力下にあるとき高い張力性質を有し、そして最後にラッ
ピングに使用される研摩剤スラリーがウェーハの背門後
にまわることを防止する傾向を有する。ウェーハとバッ
ドの間に向けた水流ジェットは、取り付けたウェーハま
たは真空ピツクアツプ工具の容易な離脱を提供する。好
ましい具体句は、さらに別々のウェーハの複数を同時に
支持するため多数のポケットを有する。一例として１個
の中央のポケットと６個の周囲ポケットよりなる群の取
付具１個に対し合計７ポケットが、慣用の３インチ直径
ウェーハおよび直径１２インチの圧力プレートを持つラ
ッピング機械に対して好適である。多数ポケット取付具
を使用し、架台それ自体も同一平面にラッピングされ、
そしてバッドが架台の同一平面のフェース上へ接合され
た後、次にバッドが同一平面にラッピングされる。ウェ
ーハ厚み調節手段が好ましくは取付具の周辺に配置され
た４本のダイヤモンド先端調節ネジの形で取付具上に設
けられる。これらの手段により、ウェーハをそこまでラ
ッピングすべき正確の厚みをラッピングサイクルに先立
つて当初に設定することができる。第１図は、本発明の
ウェーハ取付具を組み込んだラッピング機械の斜視図で
ある。

第２図は、第１図のラッピング機械に使用したウェーハ
取付具の斜視図である。

ただし第１図におけるその位置と比較して反転した取付
具を示す。第３図は第２図から一般に見られるように、
一つの取付具ポケットの断面図であるが、再び第１図の
ラッピング機械において作業時に位置する取付具に対応
するようにその位置は反転されている。

第４図は第３図の線４−４から見た拡大断面図である。

第１図を参照すると、図示したラッピング機械１０は静
止フレーム１２と、回転し得るラップ輪一１４を有する
。一般に直角円柱ディスク形であるこの輪は、中心軸１
６のまわりを回転するのに適応している。フレーム１２
は、回転するラップ輪１４を取り囲むテーブル様表面１
８を含む。フレーム１２の上に重なる部分２２に動力シ
リンダ２０が取り付けられ、下端で圧力プレート２６を
回転可能にそして傾斜可能に支持するロッドまたはシャ
フト２４を提供する。従つて動力シリンダの作動は、圧
力プレートをラップ軸１４の十分上方へ隙間を持つて上
昇させ、そして圧力プレートを二調節自在の力をもつて
殆んどラップ輪に対して下降させる。圧力プレートとラ
ップ輪の中間に取付具２８があり、それは最低１個およ
び図示するようにいくつかの加工片またはウェーハディ
スク３０を支持するのに適しており、該ウェーハはラツ
クプ輪１４に対向して座着される。圧力プレート２６お
よび取付具２８の両方より少し大きい形直しおよび保持
リング３２がそれらを一所にとどめるため各自に自由に
嵌合する。ラッピング機械１０の一般的作動において、
ウェーハ３０は調節自在な軸方向圧縮力をもつてラップ
輪１４に対して片寄せられ、ラップ輪１４は軸１６のま
わりを回転する。

このことは取付具全体の横方向すベリを生じさせ、そし
て勿論ラップ輪と接触しているウェーハの表面を研摩す
る。ラップ輪自体の研摩グレードと、ラップ輪の回転速
度と、ラップ輪に対する加工片の圧力と、そして使用す
る研摩剤スラリーのタイプにより、加工片ノの研削また
は摩耗の速度または度合いを所望どおりに選択すること
ができる。１分間当り約５ないし１５ミクロンの好まし
い研削速度に使用される１２ミクロンの研摩剤スラリー
を使用する場合、正常な接触圧力は１平方インチ当り１
ないし３ボンド・の範囲であろう。

これは典型的な３インチ直径のシリコン加工片またはウ
ェーハのためのものである。圧力プレート２６および下
側の取付具２８は、支持ロッドまたはシャフト２４に関
して自由に回転または旋回し得る。同様に保持リング３
２は、ラップ輪１４に関して係合しそして自由に回転す
るように支持されるのが好ましい。これらの特色は、そ
れにより小さい加工片またはウェーハのラップ輪に対す
る局在化された接触によつて生じるラップ輪にみぞの発
生を防止する傾向を有し、またラップ輪とウェーハとを
一層真に平行に保つ傾向を有する。たつた１個の動力シ
リンダ２０および圧力プレート２６をラッピング機械１
０に図示したが、２個以上のこのようなシリンダをラッ
プ輪１４の中心軸１６の周囲の各種位置において使用す
ることか好ましく、そして自明であろう。ラッピング機
械１０は、加工片３０が取付具２８に固定されるとき、
そしてそれらが回転するラップ輪１４と係合するとき加
工片３０が受ける力に関する背景情報のためだけに開示
される。

認められるように、ラッピング中ウェーハは降下してい
る圧力プレートおよび取付具と、その下のラップ輪１４
との間で圧縮力を受ける。さらに回転するラップ輪１４
はウェーハ３０に関して運動し、ウェーハと取付具２８
との間にせん断力を発生させる。このラッピング作業の
問、ウェーハ取付具はウェーハをしつかりと固定しなけ
ればならず、そして固定具に関してシフトを少しも許容
してはならない。こ）で第２図を参照すると、取付具２
８は第１図および第３図に比べて反転された分離された
斜視図として示されており、そして個々のポケット３３
と該ポケットのいくつかに固定されたウェーハ３０を図
示する。

取付具２８は台板３４から形成され、そして各ポケット
は、取付具ポケット中に支持さるべき個々の加工片また
はウェーハ３０の寸法に一般に相当する寸法の架台３６
（詳細は第３図を見よ）を含む。架台は台板中の開口に
嵌入されそして架台の後側の雌ネジヘネジ止めされたネ
ジ３８によつて固定される。後で詳述するバッド４０は
架台３６の露出面へ接合され、そしてそれ自身加工片３
０が直接密着される露出面４１を有する。好ましくは軟
質プラスチック材料のガイドリング４２は少しの隙間を
もつてウェーハ３０、バッド４０および架台３６のまわ
りに環状に嵌合する寸法となつている。このガイドリン
グは架台に関し、ガイドリング４２へネジ込まれ、そし
てバッド４０の露出面を少し超えて突出するがしかしラ
ッピング作業後のウェーハの最終厚みよ−リ手前へ突出
するように、架台３６の環状みぞまたはくぼみ４４内で
架台と係合するセットスクリュー４３によつて調節可能
となつている。取付具台板３４はさらに４個の間隔をお
いた高さ調節ネジ部材５０を持ち、それらは好ましくは
ネジ５３によつて台板へ固着されたブラケット５２によ
つて支持される。

各調節ネジ５０は最初ブラケット５２の雌ネジヘネジ込
まれ、そして所定位置においてナット５８によつて係止
される。露出表面６０は好ましくは研摩ダイヤモンドチ
ップのように硬くて平滑である。ネジ５０は４個所にお
いてバッドの露出面４１をラップ輪１４の象徴である真
の平面からの制御された調節された高さに位置させ、そ
してチップ６０がラップ輪に底をついたときウェーハの
仕上げ厚みを決定するように調節される。第３図および
第４図を参照すると、本発明のさらに詳しい説明が与え
られる。

特に重要なことは、バッド４０の組成と、そのウェーハ
を取付具２８に対し保持する役目である。特にバッド４
０は微孔質の硬質ポリウレタンフォームからつくるのが
よい。これはその一般的な多孔性とその軟かさまたは圧
縮性のためにこの目的に選択される。このように発泡体
バッド４０はその中に非常に多数の細胞状ポケットまた
は空間を有し、それはもろいウェーハが損傷されるのを
防止するようにバッドの少々のクッション作用を許容し
、そしてさらにウェーハの回路側の表面の凸凹を吸収す
る役目をする。例えばウェーハとバッド表面４１との間
にほこりのような形の汚染物があつても、弾力性、発泡
バッド中へ吸収および／または圧縮される。ウェーハ３
０とバッド４０との間に接着を提供するため、特別の液
体の数滴がバッド表面４１上へ滴下され、そして表面全
体に薄いフィルム６２として均一に広げられる。

好ましい液体はユニオン、カーバイト社製造のカーボワ
ツクスポリエチレングリコールである。この液体は水溶
性であるが、しかし単なるグリコール類および／または
グリセリンほど親水性ではない。しかしながら後者の液
体も好ましくはないが、しかし同様に作用するであろう
。前記液体はまた高い張力性質を有し、ウェーハをバッ
ドに対し所定位置にしつかりと保持する役目を果す。ウ
ェーハ３０をバッド４０へ確保することに関し、液体を
バッド上に落し、そしてフィルム６２としてバッド表面
上に均一に広げた後、ウェーハ３０をバッドに対して位
置させ、そしてバッドに向つて均等に少し圧力を加える
。

これはウェーハとバッド間に捕捉された液体をバッドの
開放孔中へ圧入し、そして事実上フィルムを他の個所に
おいて厚みゼロへ減少させる。ウェーハから圧力を抜い
ても、細胞中の液体は事実上真空の役目を果し、ウェー
ハをバッドに対しぴつたりと接触させて保持する。これ
はウェーハがバッドから垂直に落下するを防止するばか
りでなく、さらにウェーハが剥がれたり、ねじれたりま
たは回転する運動を防止する。ウェーハは取付具ポケッ
ト３３の監禁から単にウェーハの縁へ向けた中速度のジ
ェットにより、口過された水溶液、好ましくは脱イオン
水で加工片を洗い流すことによつて取り除かれる。

その代りにウェーハの縁を把持するためピンセットを使
ノ用し、それをバッドから横方向へスライドさせること
もできるし、または真空タイプのピックアップ器具を使
用することもできる。好ましい構成においては、台板３
４はアルミニウムで製作され、水道水、研摩剤スラリー
その他に対する連続的露出による損傷を避けるため、硬
質の陽極酸化皮膜を施される。

これは架台３６についても同じである。取り付けブラケ
ット５２は好ましくはもつと耐久性のステンレス鋼で製
作され、そして調節ネジ５０は耐久性および硬度のため
にダイヤモンドチップ６０を有する。多数個のポケット
取付具全体の好ましい作業および本発明の提案において
は、架台表面全部が最初ラッピング機械で相互に関して
同一平面にラッピングされる。

次にバッド４０が架台の平坦な平面側へ、最初両方の表
面へ粘着性になるまで塗布され、次いで粘着性表面を一
所に接触させた適当な接着剤、例えは諦社の接着剤ＮＯ
．ｌ３５７によつて接着される。その代りに当業者には
良く知られた二液性エポキシ樹脂を使用することもでき
る。バッド自体は次にラッピング機械で同一平面にラッ
ピングされる。ガイドリング４２が、次に最終ウェーハ
３０プラス必要な許容差プラス典型的に非常に小さい研
摩剤許容値を許容するように調節される。勿論ごみまた
はほこり粒子が仕上つた表面に集まらないように注意し
なければならない。これは軟かい毛ブラシまたは空気ホ
ース放出で行うことができる。次に液体を好ましくは第
２図のように取付具を反転して架台バッドフェース４１
上に置く。これは直径３インチのウェーハては数滴を要
し、そしてカーボワツクスポリエチレングリコールが好
ましい。液体はバッド表面全体に均一に広げる。ウェー
ハのきれいな回路側をバッドに対し軽い圧力下に置き、
それに対する均一な接触を確立する。ガイドリング４２
はウェーハを正し．くそしてバッド表面４１との完全な
接触に位置させる。事実上液体はゼロ厚み近くに広がり
、そしてバッド自体の孔へ押し込まれ、そしてバッドの
材質はウェーハの回路側の正常な平滑さの不連続を吸引
するのに十分な程度に軟かい。前述のよう．にバッド材
料の孔へ押し出された液体フィルムは、ウェーハをバッ
ドに対してしつかりと固定しそしてウェーハのバッドに
対する運動を阻止する真空をつくり出す。ガイドリング
４２はさらに湿潤性液体とともにラッピング作業中研摩
剤スラリーがウェーハの回路側と接触するように移動す
る可能性を妨げるシールを保持するのを助ける。このよ
うに各ウェーハを配置した後、全体の取付具をラッピン
グ機械１０の所定位置へ位置させ、そしてラッピングサ
イクルを開始するようにセットされる。作動中の機械は
次に制御された割合で材料を削り取り、そして一般に最
良の材料研削を与える約１ないし３ボンド／平方インチ
に必要な圧力が動力シリンダに発生させられる。ウェー
ハからの材料研削を達成するためミクロン寸法のラップ
輪および研摩削スラリーが選択できる。サイクルの終り
において、形直しおよび保持リング３２が除去され、そ
して取付具全体も同様に少ノしスライドさせそして上方
へ動かすことにより、ラップ輪との接触から動かされる
。これはウェーハを個々のポケット内に維持する。次に
個々のウェーハは水流ジェットまたはビックの洗浄およ
び／またはピンセットを使つてポケットから取り・出さ
れる。仕上つたウェーハは水で洗い、そして後の取り扱
いおよび組み立ての準備のためさらに洗浄および／クリ
ーニングのため、例えば水をみたしたカセット中に重ね
られる。ウェーハ様加工片３０を取付具２８内に取り付
゛けるこの開示した形式は、非常に少ししか設備投資を
必要とせず、そして先行技術で使用するヒーター、真空
ポンプ、弁および穴あき取付具のような特別の設備のた
めの余分の床スペースを必要としない。

ウェーハ３０の装着および離脱の速度は全く印象的て、
そして取り外しを容易にする単純な水道口および排水路
を必要とするだけで、機械の設置場所で行うことができ
る。さらに研摩されたウェーハ自体または取付具の大幅
な清掃は必要でない。加工片は取付具から容易に取り外
すことができ、そして後処理またはクリーニングの苦心
を必要としないから、回路表面の傷つきは殆んど完全に
除かれる。さらにガイドリング４０の使用によつて、損
傷されたウェーハのスライディングその他の防止するの
に十分なウェーハのガイドリングに対する表面接触があ
れば、割れたウェーハさえも受け入れることができる。
また特に重要な事項は、ラッピング作業中研摩剤スラリ
ーがウェーハの回路側へ侵入しないようにガイドリング
４２と接着液が互いに協力することである。

前述したように該リングはバッドおよびウェーハに対し
、非常に接近した隙間、例えばたつた数千分の１インチ
の隙間をもつて嵌合する。ウェーハ３０とバッド表面４
１の間から押し出された過剰の液体はこの隙間を埋め、
そしてそれによつて事実上リング４２とシールを形成す
る。０．０４０インチのオーダー厚みを有するバッド４
０は、０．２０インチのオーダーの出発厚みと、０．０
０８インチのオーダーの研摩または仕上り厚みを有する
３インチ直径のシリコンウェーハについて有効に働らい
た。

本発明を特にシリコンウェーハについて強調したが、サ
ファイア、ガーネットまたはガラスのような他のもろい
結晶性材料のウェーハもこの特定のラッピング取付具に
使用できよう。さらに金属ミラーのような金属部品もこ
の取付具に有利に使用できるであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の取付具を使用するラッピング機械の斜
視図、第２図は本発明の取付具の反転位置における斜視
図、第３図は第２図の線３−３から見た断面図、第４図
は第３図の線４−４から見た拡大断面図である。 １０はラッピング機械、１２は静止フレーム、１４はラ
ップ輪、２６は圧力プレート、２８は取付具、３０はウ
ェーハ、３４は台板、３６は架“台、４０は発泡体バッ
ド、４２はガイドリング、５０は高さ調節ネジ、６０は
ダイヤモンドチップである。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 研摩表面と、薄い一般に平坦なウェーハを該研摩表
   面に対して制御された運動のために支持する取付具と、
   そして該研摩表面をウェーハに対しそれをラッピングす
   るために横方向へ動かすための手段を持つているラッピ
   ング装置において、平坦な表面を有する取付具の架台部
   分と、ポリウレタン、発泡ウレタン、ポリスチレンおよ
   び発泡スチロールなどの発泡体であつて一般にウェーハ
   に相当する寸法の平坦な表面を有する前記架台表面を覆
   う堅固であるが弾力ある発泡体の薄いパッドと、カーボ
   ワックスポリエチレングリコール、グリコールおよびグ
   リセリンなどの水溶性にして湿潤性の高い表面張力を有
   する湿潤性液体の前記の平坦なパッド表面に配置された
   非常に薄いフィルムとを備え、前記ウェーハは該液体フ
   ィルムの大部分を前記パッドの隣接開放孔中へ押し込む
   のに十分な均一な力をもつて該フィルムに対して位置し
   、それによつて前記の力を解放するとき前記ウェーハを
   前記パッドおよび対応する取付具に関するスライドおよ
   び回転運動に対ししつかりと保持するのに十分な真空様
   接着が形成されていることを特徴とするウェーハを取付
   具に関して支持するための改良された手段。 ２ 小さい隙間をもつてパッドおよびウエーハを取り囲
   んでいるガイドリングがラッピング後のウェーハの厚み
   より小さい距離だけ前記平坦表面から突出している特許
   請求の範囲第１項の取り付け手段。 ３ 前記ガイドリングとウェーハおよびパッドとの間の
   前記隙間は、パッド表面とウェーハとの間から押し出さ
   れた過剰の液体フィルムが該隙間をみたし、それによつ
   てウェーハを前記パッドに対しシールすることを許容す
   るのに十分なほど小さい特許請求の範囲第２項の取り付
   け手段。 ４ 前記パッドはポリウレタンから製作される特許請求
   の範囲第１項ないし第３項のいずれかの取り付け手段。 ５ 前記液体はカーボワックスポリエチレングリコール
   である特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかの
   取り付け手段。６ 前記パッドはポリウレタンから製作
   され、前記液体はカーボワックスポリエチレングリコー
   ルである特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれか
   の取り付け手段。 ７ シリコンのようなもろい材料の薄いウェーハを前記
   ウェーハの露出表面の研摩を許容するために取り付ける
   改良方法であつて、堅固であるがしかし弾力ある発泡材
   料から形成したパッドの平坦な表面へ高い表面張力を有
   する水溶性湿潤液体のフィルムを適用することと、そし
   てウェーハをねじり運動をもつて殆んど全部のフィルム
   のパッドの細胞中へ押し込むようにフィルムに対して押
   し付け、それによりパッドとウェーハとの間にウェーハ
   をパッドに対し固着する真空様接着が発生するようにす
   ることを特徴とする前記方法。 ８ パッドはポリウレタンから製作される特許請求の範
   囲第７項のウェーハ取り付け方法。 ９ 液体はカーボワックスポリエチレングリコールであ
   る特許請求の範囲第７項または第８項のウェーハ取り付
   け方法。